JPS5851664B2 - 試料像表示装置 - Google Patents
試料像表示装置Info
- Publication number
- JPS5851664B2 JPS5851664B2 JP54036691A JP3669179A JPS5851664B2 JP S5851664 B2 JPS5851664 B2 JP S5851664B2 JP 54036691 A JP54036691 A JP 54036691A JP 3669179 A JP3669179 A JP 3669179A JP S5851664 B2 JPS5851664 B2 JP S5851664B2
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- JP
- Japan
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- sample
- image display
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- Expired
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/022—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of tv-camera scanning
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は試料像表示装置、特に走査型電子顕微鏡および
その類似装置（以下ＳＥＭと略称する）において用いら
れる試料像表示装置に関する。
その類似装置（以下ＳＥＭと略称する）において用いら
れる試料像表示装置に関する。
ＳＥＭにおいては、試料を電子ビームにより走査しなが
ら照射したときに発生する試料信号にもとづいて像表示
器上に試料の拡大像を表示するが、この拡大表示された
像が実際の試料上でどの程度の長さを持つのか知ること
は必須の要件である。
ら照射したときに発生する試料信号にもとづいて像表示
器上に試料の拡大像を表示するが、この拡大表示された
像が実際の試料上でどの程度の長さを持つのか知ること
は必須の要件である。
従来よりＳＥＭにおいては像表示器上に試料像の他に試
料上の一定の長さを表わすスケールを表示することが行
われる。
料上の一定の長さを表わすスケールを表示することが行
われる。
これを第１図を参照して説明するに、像表示器１に表示
される試料像は低い拡大率の時には２、高い拡大率の時
には２′のようになる。
される試料像は低い拡大率の時には２、高い拡大率の時
には２′のようになる。
この時、像表示器１には試料上の一定の長さに対応した
間隔のスケールが低い拡大率の像信号表示が行われてい
る時には３のように表示され、高い拡大率の像信号表示
が行われている時には３′のように表示される。
間隔のスケールが低い拡大率の像信号表示が行われてい
る時には３のように表示され、高い拡大率の像信号表示
が行われている時には３′のように表示される。
ここでスケール３゜３′の長さは試料像２，２′の大き
さの変化と共に変化して、試料上に換算して一定の長さ
のスケールとなっている。
さの変化と共に変化して、試料上に換算して一定の長さ
のスケールとなっている。
この従来方式においては試料像の拡大率が大きな範囲、
例えば１０倍以上にわたって変えられた時には、スケー
ルの間隔（長さ）も１０倍以上変化する。
例えば１０倍以上にわたって変えられた時には、スケー
ルの間隔（長さ）も１０倍以上変化する。
この時にはスケールが像表示器の表示可能な巾を超えて
はみ出してしまったり、あるいは像表示器の巾に比較し
て非常に短くなってその長さを判別する精度が低下する
欠点がある。
はみ出してしまったり、あるいは像表示器の巾に比較し
て非常に短くなってその長さを判別する精度が低下する
欠点がある。
この欠点を解決するために長さの異なる３種類のスケー
ルを像表示器上に同時に表示することが提案されている
。
ルを像表示器上に同時に表示することが提案されている
。
これによれば、３種類のスケールのうち、試料像の拡大
された範囲に応じて像表示器からはみ出していないもの
でかつ小さすぎないものを１個選択して使用することが
できる。
された範囲に応じて像表示器からはみ出していないもの
でかつ小さすぎないものを１個選択して使用することが
できる。
第２図はその方式を示す図である。
第２図ａは低拡大率、第２図すは高拡大率における表票
例を示す。
例を示す。
低拡大率の時に表示されているスケール３は３種類の長
さのスケールから構成される。
さのスケールから構成される。
この低拡大率時には１００μ扉のスケールを使用する。
高拡大率の時（第３図ｂ）は３種類のスケール３′は像
の拡大と共に大きくなる。
の拡大と共に大きくなる。
そして１００μ扉および１０μｍのスケールは表示可能
な映像面からはみ出す。
な映像面からはみ出す。
この時には１μ扉のスケールを使用する。
以上により述べた２種類の従来方法は、いずれも試料像
の拡大率が変るのに応じてスケールの長さが変る方式で
、表示されたスケールの長さが像表示器の巾より短くか
つその巾に近い時（例えば第１図すのような場合）には
、スケールの長さを試料像の大きさと比較して精度良く
読みとることは容易である。
の拡大率が変るのに応じてスケールの長さが変る方式で
、表示されたスケールの長さが像表示器の巾より短くか
つその巾に近い時（例えば第１図すのような場合）には
、スケールの長さを試料像の大きさと比較して精度良く
読みとることは容易である。
しかしたとえば第１図ａの如くスケールの長さが像表示
器の巾よりも大巾に短くなった時にはスケールの長さを
精度良く読みとることが難しくなる。
器の巾よりも大巾に短くなった時にはスケールの長さを
精度良く読みとることが難しくなる。
本発明は前述の如き従来方式における欠点を改良し、ス
ケールの長さを高精度をもって読みとることが可能な試
料像表示装置を提供するものである。
ケールの長さを高精度をもって読みとることが可能な試
料像表示装置を提供するものである。
本発明の特徴は試料像の大きさが変っても長さが変化し
ないスケールと、このスケールの試料上の換算長さを表
わすキャラクタ−とを表示するようにした点にある。
ないスケールと、このスケールの試料上の換算長さを表
わすキャラクタ−とを表示するようにした点にある。
第３図は本発明の一実施例によるスケールの表示例を示
す。
す。
第３図ａは低い拡大率、同図すは高い拡大率のときの例
である。
である。
像表示器１には試料信号像２，２′がスケール３と共に
表示されている。
表示されている。
又、このスケール３の、試料上換算長さを表わすキャラ
クタ−４，４′も表示されている。
クタ−４，４′も表示されている。
キャラクタ−４，４′は具体的には数字、文字、その他
の記号などであるが、図では数字である。
の記号などであるが、図では数字である。
ａの５０というキャラクタ−４はスケール３の試料上換
算値が５０μｍであることを表わしており、ｂの１０と
いうキャラクタ−４′はスケール３の試料上換算値が１
０μｍであることを表わしている。
算値が５０μｍであることを表わしており、ｂの１０と
いうキャラクタ−４′はスケール３の試料上換算値が１
０μｍであることを表わしている。
スケール３の長さは試料像の大きさ、したがって拡大率
が変っても一定であり変化しない。
が変っても一定であり変化しない。
スケール３の長さは像表示器の巾になるべく近く選ばれ
る。
る。
この長いスケール長によりスケールの読取精度が高くな
り、像の大きさ、長さとの対応をみるのが容易となる。
り、像の大きさ、長さとの対応をみるのが容易となる。
第４図は本発明の一実施例のブロックダイアグラムであ
る。
る。
第５図は第４図の動作を説明するための波形図である。
走査信号発生器９および１０からの鋸歯状波ｅＸおよび
ｅｙは、各々、電子顕微鏡体１の偏向コイル２および３
を励磁するための偏向回路４および５と、表示を行うた
めのＣＲＴ１５の偏向コイル１１および１２を励磁する
ための偏向回路１３および１４に供給される。
ｅｙは、各々、電子顕微鏡体１の偏向コイル２および３
を励磁するための偏向回路４および５と、表示を行うた
めのＣＲＴ１５の偏向コイル１１および１２を励磁する
ための偏向回路１３および１４に供給される。
電子顕微鏡体１の偏向コイル２および３の電流の大きさ
は、倍率切換器６およびＴにより切り換えられる。
は、倍率切換器６およびＴにより切り換えられる。
この電流の大きさを切り換えることによりＣＲＴ１５に
表示される試料像の拡大率が変わる。
表示される試料像の拡大率が変わる。
一方、鋸歯状波ｅＸおよびｅｙはスケール信号発生器１
６に供給される。
６に供給される。
鋸歯状波ｅＸがＥｌとＥ２の間に、鋸歯状波ｅｙがＥ３
とＥ４の間にある時にスケール信号発生器１６の出力に
はスケール表示信号ｅＡが発生する また鋸歯状波ｅｙは文字信号発生器１７に供給されてい
る。
とＥ４の間にある時にスケール信号発生器１６の出力に
はスケール表示信号ｅＡが発生する また鋸歯状波ｅｙは文字信号発生器１７に供給されてい
る。
鋸歯状波ｅｙ ｆＪ″−Ｅ４より大きくなるとキャラク
タ−信号発生器１７の出力にはキャラクタ−表示信号ｅ
Ｂが発生する。
タ−信号発生器１７の出力にはキャラクタ−表示信号ｅ
Ｂが発生する。
ｅＡおよびｅＢは信号合成器１８において試料信号検出
器８からの信号と合成されてＣＲＴ１５のグリッド２０
に供給される。
器８からの信号と合成されてＣＲＴ１５のグリッド２０
に供給される。
ＣＲＴ１５のスクリーン２１には試料像、スケール、キ
ャラクタ−が表示される。
ャラクタ−が表示される。
スクリーン２１に表示されたキャラクタ−（スケールの
試料上換算長さを表わす数字、文字、記号など）はキャ
ラクタ−表示切換器１９により切り換えられる。
試料上換算長さを表わす数字、文字、記号など）はキャ
ラクタ−表示切換器１９により切り換えられる。
キャラクタ−表示切換器１９は倍率切換器６および倍率
切換器７と連動して切り換えられる。
切換器７と連動して切り換えられる。
すなわちスクリーン２１に表示されたキャラクタ−は試
料信号像の拡大率が変わるのと連動して該拡大率に逆比
例するように変化することになる。
料信号像の拡大率が変わるのと連動して該拡大率に逆比
例するように変化することになる。
この時スケールの長さは変わらない。上記実施例によれ
ば従来のスケール長さを像表示器上において約１０倍以
上変える方式と比較して、スケールの読取精度は概略１
０倍以上向上する。
ば従来のスケール長さを像表示器上において約１０倍以
上変える方式と比較して、スケールの読取精度は概略１
０倍以上向上する。
上記実施例においては、スケールおよびキャラクタ−は
ＣＲＴ上に表示されるようになっているが、スケールお
よびキャラクタ−の一方又は両方をＣＲＴとは別の、該
ＣＲＴと近接して配置した表示器を用いて表示してもよ
い。
ＣＲＴ上に表示されるようになっているが、スケールお
よびキャラクタ−の一方又は両方をＣＲＴとは別の、該
ＣＲＴと近接して配置した表示器を用いて表示してもよ
い。
この表示器としてはＬＥＤを用いることができる。
以上の説明から理解されるように、本発明によれば前述
した本発明の目的が達成されるので、その実用上の効果
は頗る太きい。
した本発明の目的が達成されるので、その実用上の効果
は頗る太きい。
第１図および第２図は従来性による試料像およびスゲニ
ルの表示例を示す図、第３図は本発明の実施例による試
料像、スケールおよびキャラクタ−の表示例を示す図、
第４図は本発明にもとづく一実施例を示す試料像表示装
置のブロックダイアグラム、第５図は第４図の各部の波
形図である。 １・・・・・・像表示器、２および２′・・・・・・試
料像、３および３′・・・・・・スケール、４・・・・
・・キャラクタ−１８−・・・・・試料信号検出器、９
および１０・・・・・・走査信号発止器、 １６・・・・・・スケール信号発生器、 １７・・・・・・キ ャラクター信号発生器、 １８・・・・・・信号合成器。
ルの表示例を示す図、第３図は本発明の実施例による試
料像、スケールおよびキャラクタ−の表示例を示す図、
第４図は本発明にもとづく一実施例を示す試料像表示装
置のブロックダイアグラム、第５図は第４図の各部の波
形図である。 １・・・・・・像表示器、２および２′・・・・・・試
料像、３および３′・・・・・・スケール、４・・・・
・・キャラクタ−１８−・・・・・試料信号検出器、９
および１０・・・・・・走査信号発止器、 １６・・・・・・スケール信号発生器、 １７・・・・・・キ ャラクター信号発生器、 １８・・・・・・信号合成器。
Claims (1)
- １ 試料の像を表示し、かつ該像の拡大率を可変するよ
うに構成した試料像表示装置において、上記拡大率に関
係なく一定の長さをもつスケールと上記拡大率と連動し
て変る、上記スケールの試料上換算長さを表わすキャラ
クタ−とを表示するように構成したことを特徴とする試
料像表示装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54036691A JPS5851664B2 (ja) | 1979-03-28 | 1979-03-28 | 試料像表示装置 |
| US06/134,284 US4385317A (en) | 1979-03-28 | 1980-03-26 | Specimen image display apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54036691A JPS5851664B2 (ja) | 1979-03-28 | 1979-03-28 | 試料像表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55128241A JPS55128241A (en) | 1980-10-03 |
| JPS5851664B2 true JPS5851664B2 (ja) | 1983-11-17 |
Family
ID=12476830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54036691A Expired JPS5851664B2 (ja) | 1979-03-28 | 1979-03-28 | 試料像表示装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4385317A (ja) |
| JP (1) | JPS5851664B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018020577A1 (ja) * | 2016-07-26 | 2018-02-01 | オリンパス株式会社 | エネルギー制御装置及び処置システム |
| US11534197B2 (en) | 2016-07-26 | 2022-12-27 | Olympus Corporation | Energy control device, treatment system, and actuating method of energy control device |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3585013D1 (de) * | 1984-03-20 | 1992-02-06 | Vickers Plc | Verfahren zum praezisionsmessen mittels eines abtastelelektronenmikroskops. |
| JPS61233949A (ja) * | 1985-04-10 | 1986-10-18 | Akashi Seisakusho Co Ltd | 試料像の倍率表示方法および装置 |
| JPS61240545A (ja) * | 1985-04-17 | 1986-10-25 | Akashi Seisakusho Co Ltd | 試料像の倍率表示方法および装置 |
| JPS61290641A (ja) * | 1985-06-18 | 1986-12-20 | Akashi Seisakusho Co Ltd | 試料像のスケール目盛表示装置 |
| US4777525A (en) * | 1985-12-23 | 1988-10-11 | Preston Jr Kendall | Apparatus and method for a multi-resolution electro-optical imaging, display and storage/retrieval system |
| JPH0245734A (ja) * | 1988-08-05 | 1990-02-15 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 自動組織解析処理装置 |
| FR2684184B1 (fr) * | 1991-11-26 | 1994-02-11 | Jacques Pain | Procede de mesure de la durete d'un materiau et dispositif pour la mise en óoeuvre de ce procede. |
| US5822875A (en) * | 1995-08-09 | 1998-10-20 | Siemens Aktiengesellschaft | Scanning electron microscopic ruler and method |
| JP2003032524A (ja) * | 2001-07-16 | 2003-01-31 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡用デジタルカメラ |
| US8496575B2 (en) | 2006-11-14 | 2013-07-30 | Olympus Corporation | Measuring endoscope apparatus, program and recording medium |
| JP5186286B2 (ja) * | 2007-06-04 | 2013-04-17 | オリンパス株式会社 | 計測用内視鏡装置およびプログラム |
| US7745786B2 (en) * | 2008-03-19 | 2010-06-29 | Fama Leo A | Method and apparatus allowing simultaneous direct observation and electronic capture of scintillation images in an electron microscope |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2204654C3 (de) * | 1972-01-28 | 1974-10-10 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Korpuskularstrahlgerät mit einem Leuchtschirm und einer Fernsehkamera |
| JPS51134558A (en) * | 1975-05-19 | 1976-11-22 | Hitachi Ltd | Measuring unit |
| JPS5477060A (en) * | 1977-12-01 | 1979-06-20 | Hitachi Ltd | Electron microscope |
-
1979
- 1979-03-28 JP JP54036691A patent/JPS5851664B2/ja not_active Expired
-
1980
- 1980-03-26 US US06/134,284 patent/US4385317A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018020577A1 (ja) * | 2016-07-26 | 2018-02-01 | オリンパス株式会社 | エネルギー制御装置及び処置システム |
| US11534197B2 (en) | 2016-07-26 | 2022-12-27 | Olympus Corporation | Energy control device, treatment system, and actuating method of energy control device |
| US11583309B2 (en) | 2016-07-26 | 2023-02-21 | Olympus Corporation | Energy control device, treatment system, and actuating method of energy control device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55128241A (en) | 1980-10-03 |
| US4385317A (en) | 1983-05-24 |
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