JPS5847827B2 - ソウサデンシケンビキヨウ - Google Patents
ソウサデンシケンビキヨウInfo
- Publication number
- JPS5847827B2 JPS5847827B2 JP50118867A JP11886775A JPS5847827B2 JP S5847827 B2 JPS5847827 B2 JP S5847827B2 JP 50118867 A JP50118867 A JP 50118867A JP 11886775 A JP11886775 A JP 11886775A JP S5847827 B2 JPS5847827 B2 JP S5847827B2
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- JP
- Japan
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- electrons
- electron
- sample
- mesh
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- Expired
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は走査電子顕微鏡に係り、特にその高分解能を実
現し得る走査電子顕微鏡に関する。
現し得る走査電子顕微鏡に関する。
走査電子顕微鏡において、走査電子線を試料に照剖する
ことにより得られる情報の中で、最も多く利用されてい
るのは2次電子像である。
ことにより得られる情報の中で、最も多く利用されてい
るのは2次電子像である。
しかし実際には2次電子像には反躬電子による情報も含
まれる。
まれる。
反躬電子は、2次電子と異り、試料内部の拡がりを持っ
た領域の・隋報をも含むため2次電子像の分解能を本質
的に劣化させている。
た領域の・隋報をも含むため2次電子像の分解能を本質
的に劣化させている。
本発明はこの点に着目してなされたものでありその目的
は、高分解能の2次電子像の得られる走査電子顕微鏡を
提供するにある。
は、高分解能の2次電子像の得られる走査電子顕微鏡を
提供するにある。
第1図において、走査電子線1が試料2を照躬すると、
2次電子SE1,反躬電子RE、反剤電子がエスケープ
するときに発生する2次電子SE2などが発生する。
2次電子SE1,反躬電子RE、反剤電子がエスケープ
するときに発生する2次電子SE2などが発生する。
2次電子SEIは、試料表面から100人程度の深さの
試料表層部3から狭い拡がりで発生するが、反躬電子R
Eは固体内散乱のために反則電子散乱領域4に示すよう
に、2次電子よりも深い広い領域から発生する。
試料表層部3から狭い拡がりで発生するが、反躬電子R
Eは固体内散乱のために反則電子散乱領域4に示すよう
に、2次電子よりも深い広い領域から発生する。
従って通常走査電子顕微鏡で得られる2次電子像は2次
電子SEI ,SE2、反躬電子REによる混合情報で
形或されていることがわかる。
電子SEI ,SE2、反躬電子REによる混合情報で
形或されていることがわかる。
第2図は電子線の照躬点からの距離dと検知される2次
電子、および反則電子の数Nとの関係を示したものであ
る。
電子、および反則電子の数Nとの関係を示したものであ
る。
曲線N(SEI+SF2+RE)は2次電子および反躬
電子の混合情報を表示したもので、ある拡がりを持った
領域に分布している。
電子の混合情報を表示したもので、ある拡がりを持った
領域に分布している。
曲線NREは反躬電子情報を表示したもので、上記混合
情報よりもさらに拡がりをもった領域に分布している。
情報よりもさらに拡がりをもった領域に分布している。
曲線N(S。1+SE2)は純粋の2次電子情報による
ものである。
ものである。
この2次電子情報は、反躬電子が2次電子より高いエネ
ルギーを持っているので、直接に求めることはできない
。
ルギーを持っているので、直接に求めることはできない
。
この2次電子情報を求めるには、
N(SE1+SE2+RE) 一NRE=N(SE1+
SE2)という操作を行なう必要がある。
SE2)という操作を行なう必要がある。
この操作によって、曲線N( SE1+ SE2)に示
すように狭い領域からの情報が得られ、2次電子像の分
解能が向上する。
すように狭い領域からの情報が得られ、2次電子像の分
解能が向上する。
また、さらに、
N ( SEI +SE2 )一NRE=N( SE4
+ SE2 − RE)という操作を行えば、第3図
において、概念的に示すように、上記2次電子情報より
もさらに狭い領域からの情報を得ていることになり、分
解能が一層向上する。
+ SE2 − RE)という操作を行えば、第3図
において、概念的に示すように、上記2次電子情報より
もさらに狭い領域からの情報を得ていることになり、分
解能が一層向上する。
混合情報N(SEl+SE2+RE)と反躬電子情報N
REを選択的に検出するためには、第4図に示すように
、試料2を包むような形で、試料2および試料ホルダ7
から絶縁物6によって電気的に絶縁されている半円球状
のメッシュ5を設け、該メッシュ5にパルス電圧を印加
して行う。
REを選択的に検出するためには、第4図に示すように
、試料2を包むような形で、試料2および試料ホルダ7
から絶縁物6によって電気的に絶縁されている半円球状
のメッシュ5を設け、該メッシュ5にパルス電圧を印加
して行う。
走査電子線1が試料2を照躬すると、2次電子SE、反
剖電子REなどが生ずるが、メッシュ5に負の電圧v2
が印加されたときは、2次電子SEはメッシュ5を通過
することができない。
剖電子REなどが生ずるが、メッシュ5に負の電圧v2
が印加されたときは、2次電子SEはメッシュ5を通過
することができない。
一向、反躬電子REはメッシュ5を通過するか、又はメ
ッシュ5に衝突して反則電子の・隋報を持った2次電子
SE(R)が新たに生ずる。
ッシュ5に衝突して反則電子の・隋報を持った2次電子
SE(R)が新たに生ずる。
すなわち、この状態では、反躬電子REの情報のみが検
出される。
出される。
また、第5図のようにメッシュ5に正の電圧v2が印加
されたときは、2次電子SEはメッシュ5を通過する。
されたときは、2次電子SEはメッシュ5を通過する。
この状態では、2次電子SEと反躬電子REによる混合
情報が検出され、通常の2次電子像と同じである。
情報が検出され、通常の2次電子像と同じである。
第6図は、メッシュ5に印加するパルス電圧8を示すも
ので、実験によれば、■2=+2〜5V,V2−−30
V繰り返し周期T = 1 〜0. 5 m sec程
度が好適である。
ので、実験によれば、■2=+2〜5V,V2−−30
V繰り返し周期T = 1 〜0. 5 m sec程
度が好適である。
以下、本発明の実施例にもとすいて説明する。
第7図は本発明の一実施例を示すもので、情報選択千段
9において時分割的に選択された反躬電子および2次電
子と反躬電子の混合情報は、2次電子検出器10で検出
される信号電流に与えられる。
9において時分割的に選択された反躬電子および2次電
子と反躬電子の混合情報は、2次電子検出器10で検出
される信号電流に与えられる。
12はパルス電圧発生器で、得られたパルス電圧はメッ
シュ5に加えられると同時に、増幅器11を制御し、該
増幅器11を反転増幅器および非反転増幅器として交互
に繰返し動作させる。
シュ5に加えられると同時に、増幅器11を制御し、該
増幅器11を反転増幅器および非反転増幅器として交互
に繰返し動作させる。
また、13は映像増幅器、14は表示管である。
メッシュ5が正にバイアスされ反躬電子と2次電子によ
る混合情報が検出されるときには、表示管14上に非反
転・隋報が表示され、メッシュ5が負にバイアスされ反
則電子情報のみが検出されるときには、反転情報が表示
される。
る混合情報が検出されるときには、表示管14上に非反
転・隋報が表示され、メッシュ5が負にバイアスされ反
則電子情報のみが検出されるときには、反転情報が表示
される。
走査電子顕微鏡においては、表示管14における走査は
、試料上の走査電子線と同期して行なわれ、この走査電
子線が上記情報信号によって輝度変調される。
、試料上の走査電子線と同期して行なわれ、この走査電
子線が上記情報信号によって輝度変調される。
非反転情報によって変調されているときには基準輝度よ
り明るく表示され、反転情報によって変調されていると
きには、暗らく表示される。
り明るく表示され、反転情報によって変調されていると
きには、暗らく表示される。
したがって、表示管上には、混合情報より反躬電子情報
が相殺されたものが表示されることになる。
が相殺されたものが表示されることになる。
この点につき、さらに詳細に説明する。第8図において
、I,n,l,・・・は走査電子線を表わし、■,■,
■,・・・は絵素を表わしている。
、I,n,l,・・・は走査電子線を表わし、■,■,
■,・・・は絵素を表わしている。
第8図Aのごとく混合情報すなわち、非反転情報の入っ
ている絵素20と、反則電子情報すなわち、反転情報の
入っている・絵素21とを交互に組立てる。
ている絵素20と、反則電子情報すなわち、反転情報の
入っている・絵素21とを交互に組立てる。
第8図Bのごとく、絵素20と絵素21とを配列すれば
、視覚的には、一層よく混合する。
、視覚的には、一層よく混合する。
以上本実施によれば、簡単な手段により、2次電子線の
分解能を向上させることができる。
分解能を向上させることができる。
以上本発明によれば、混合情報に含まれる反則電子情報
を消去することにより、2次電子像の分解能を向上させ
ることができる。
を消去することにより、2次電子像の分解能を向上させ
ることができる。
第1図、第2図、第3図は、本発明の原理説明図、第4
図、第5図、第6図は、情報を選択する原理説明図、第
7図は本発明の一実施例、第8図は、本発明の情報表示
に採用される輝度変調法の一実施である。 符号の説明、1・・・・・・走査電子線、2・・・・・
・試料、SE1・・・・・・2次電子、SE2・・・・
・・2次電子、RE・・・・・・反躬電子、N・・・・
・・放出電子数、d・・・・・・距離、5・・・・・・
メッシュ、6・・・・・・絶縁物、7・・・・・・試料
ホルダ、9・・・・・・情報選択手段、10・・・・・
・2次電子検出器、11・・・・・・増巾器、12・・
・・・・パルス電圧発生器、13・・・・・・映像増巾
器、14・・・・・・表示管、20・・・・・・非反転
・隋報、21・・・・・・反転情報。
図、第5図、第6図は、情報を選択する原理説明図、第
7図は本発明の一実施例、第8図は、本発明の情報表示
に採用される輝度変調法の一実施である。 符号の説明、1・・・・・・走査電子線、2・・・・・
・試料、SE1・・・・・・2次電子、SE2・・・・
・・2次電子、RE・・・・・・反躬電子、N・・・・
・・放出電子数、d・・・・・・距離、5・・・・・・
メッシュ、6・・・・・・絶縁物、7・・・・・・試料
ホルダ、9・・・・・・情報選択手段、10・・・・・
・2次電子検出器、11・・・・・・増巾器、12・・
・・・・パルス電圧発生器、13・・・・・・映像増巾
器、14・・・・・・表示管、20・・・・・・非反転
・隋報、21・・・・・・反転情報。
Claims (1)
- 1 試料を電子線でもって走査し、それによって前記試
料から得られる二次電子情報および反躬電子情報を含む
混合情報と前記反則電子情報とは逆極性の反躬電子情報
とによって交互に表示装置の輝度変調を行って、前記試
料の前記二次電子情報による像を前記表示装置に表示す
るようにしたことを特徴とする走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP50118867A JPS5847827B2 (ja) | 1975-10-03 | 1975-10-03 | ソウサデンシケンビキヨウ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP50118867A JPS5847827B2 (ja) | 1975-10-03 | 1975-10-03 | ソウサデンシケンビキヨウ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5244158A JPS5244158A (en) | 1977-04-06 |
JPS5847827B2 true JPS5847827B2 (ja) | 1983-10-25 |
Family
ID=14747076
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP50118867A Expired JPS5847827B2 (ja) | 1975-10-03 | 1975-10-03 | ソウサデンシケンビキヨウ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5847827B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5857248A (ja) * | 1981-09-30 | 1983-04-05 | Hitachi Ltd | 走査形電子顕微鏡 |
JPS5996759U (ja) * | 1982-12-21 | 1984-06-30 | 日本電子株式会社 | 分析装置 |
JPS6077341A (ja) * | 1983-10-04 | 1985-05-01 | Agency Of Ind Science & Technol | 画像観察装置 |
JPS63102148A (ja) * | 1986-10-17 | 1988-05-07 | Akashi Seisakusho Co Ltd | 電子線装置 |
JP5170728B2 (ja) * | 2005-12-13 | 2013-03-27 | サンユー電子株式会社 | 画像生成方法および画像生成装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4984361A (ja) * | 1972-12-18 | 1974-08-13 | ||
JPS49124964A (ja) * | 1973-04-02 | 1974-11-29 |
-
1975
- 1975-10-03 JP JP50118867A patent/JPS5847827B2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4984361A (ja) * | 1972-12-18 | 1974-08-13 | ||
JPS49124964A (ja) * | 1973-04-02 | 1974-11-29 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5244158A (en) | 1977-04-06 |
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