JP4890077B2 - スライダの製造方法 - Google Patents
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Description
実施例では、ステップS3におけるIBEのエッチング継続時間、およびステップS4のガスクラスターイオンビーム照射ステップの有無をパラメータとして、最大高さRmaxおよび保護膜の中心線平均粗さRaを変動させながら、スライダの浮上気圧の測定と腐食試験をおこなった。最大高さRmaxおよび中心線平均粗さRaは、AFM(原子間力顕微鏡)を用いて、走査線256本、40μm×40μmの測定範囲で求めた。スライダの浮上気圧は、記録媒体とスライダとが取り付けられたフライングハイトテスターを、アコースティックセンサーを備えた真空チャンバーに入れて測定した。記録媒体を7200rpmで回転し、真空チャンバー内を徐々に減圧していくと、スライダが浮上状態を維持できなくなり、記録媒体に接触する。これをアコースティックセンサーによって検出した。次に、真空チャンバー内の圧力を、接触が生じた時の圧力から増加していき、ヘッドが浮上を始める圧力(浮上気圧)を測定した。腐食試験は、シュウ酸0.05Nの溶液の中にバーを10分間浸漬し、酸により腐食した箇所を200倍の光学顕微鏡にて観察した。
24 リードライト部
25a、25b レール部
26 凹部
27 基板
28 薄膜磁気ヘッド部
42 保護膜
44 ヘッド素子
45 第1の面
ABS 媒体対向面
Claims (5)
- 金属層を有する薄膜磁気ヘッド部と前記金属層より高硬度の基板とを備えたヘッド素子の、記録媒体と対向するべき面をラッピングして、第1の面を形成するラッピングステップと、
前記ラッピングステップに続いて、イオンビームを前記第1の面に照射して、該第1の面の最大高さを、1.5nm以上、3.5nm以下に形成するイオンビーム照射ステップと、
前記イオンビーム照射ステップに続いて、ガスクラスターイオンビームを前記第1の面に照射し、さらに、媒体対向面を形成する保護膜を、表面の中心線平均粗さが0.5nm以上、1.5nm以下となるように、前記第1の面に堆積させる保護膜形成ステップと、
を有する、スライダの製造方法。 - 前記イオンビーム照射ステップは、前記第1の面の最大高さを、2nm以上、3nm以下に形成することを含む、請求項1に記載のスライダの製造方法。
- 前記イオンビーム照射ステップは、前記イオンビームとして、Ar、Xe,Kr、Ne、CH4、C2H4、O2、N2、またはこれらの混合ガスを用いることを含む、請求項1または2に記載のスライダの製造方法。
- 前記ヘッド素子は、前記第1の面の一部を構成する、Al2O3−TiCを含む前記基板を備えている、請求項1から3のいずれか1項に記載のスライダの製造方法。
- 前記ガスクラスターイオンビームは、前記第1の面の法線との相対角度が45°以上、90°未満となる入射角で照射される、請求項1から4のいずれか1項に記載のスライダの製造方法。
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