JP2005302185A - 薄膜磁気ヘッド装置、該薄膜磁気ヘッド装置を備えたヘッドジンバルアセンブリ、該ヘッドジンバルアセンブリを備えた磁気ディスク装置及び薄膜磁気ヘッド装置の製造方法 - Google Patents
薄膜磁気ヘッド装置、該薄膜磁気ヘッド装置を備えたヘッドジンバルアセンブリ、該ヘッドジンバルアセンブリを備えた磁気ディスク装置及び薄膜磁気ヘッド装置の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 薄膜磁気ヘッド素子を有するスライダを備えており、スライダの磁気記録媒体と対向する面上に、下地層と下地層上に積層された炭素層とからなる総膜厚が5nm以下の保護膜が形成されている。
【選択図】 図3
Description
10a、15a 軸
11 HGA
12、20 磁気ヘッドスライダ
13 サスペンション
14 支持アーム
15 キャリッジ
16 VCMの駆動コイル
21 薄膜磁気ヘッド素子
22 端子電極
23 トレーリング端面
24 レール
24a ABS
30 基板
31 下地層
32 炭素層
Claims (7)
- 薄膜磁気ヘッド素子を有するスライダを備えており、該スライダの磁気記録媒体と対向する面上に、下地層と該下地層上に積層された炭素層とからなる総膜厚が5nm以下の保護膜が形成されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド装置。
- 前記下地層が、少なくとも珪素を含む層であることを特徴とする請求項1に記載の薄膜磁気ヘッド装置。
- 前記炭素層が、25atm%未満の水素含有量の層であることを特徴とする請求項1又は2に記載の薄膜磁気ヘッド装置。
- 薄膜磁気ヘッド素子を有するスライダを備えており、該スライダの磁気記録媒体と対向する面上に、下地層と該下地層上に積層された炭素層とからなる総膜厚が5nm以下の保護膜が形成されている薄膜磁気ヘッド装置と、該薄膜磁気ヘッド装置を支持するサスペンションとを備えたことを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。
- 情報を記録する磁気記録媒体と、
薄膜磁気ヘッド素子を有するスライダを備えており、該スライダの磁気記録媒体と対向する面上に、下地層と該下地層上に積層された炭素層とからなる総膜厚が5nm以下の保護膜が形成されている薄膜磁気ヘッド装置と、該薄膜磁気ヘッド装置を支持するサスペンションとを備えたヘッドジンバルアセンブリと、
前記磁気記録媒体上で前記ヘッドジンバルアセンブリを移動させる手段とを備えたことを特徴とする磁気ディスク装置。 - 多数の薄膜磁気ヘッド素子を形成したウエハを複数の薄膜磁気ヘッド素子が並ぶバー部材に切断し、切断して得た各バー部材の磁気記録媒体と対向する側の面をラッピングし、該ラッピング面上に下地層と炭素層とからなる総膜厚が5nm以下の保護膜を積層した後、個々の薄膜磁気ヘッド装置に切断分離することを特徴とする薄膜磁気ヘッド装置の製造方法。
- 前記炭素層が、カソーディックアーク法を用いて成膜されることを特徴とする請求項6に記載の製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009134839A (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-18 | Shinka Jitsugyo Kk | 保護膜形成方法 |
JP2011238338A (ja) * | 2010-05-01 | 2011-11-24 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | フィルムスタック内の結晶アライメントのためのケイ素/金シード構造 |
US8310788B2 (en) | 2007-11-28 | 2012-11-13 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Protective film forming method |
US8472134B2 (en) | 2011-08-02 | 2013-06-25 | HGST Netherlands B.V. | Air bearing surface overcoat with soft intermediate film, and methods of producing the same |
US20240013804A1 (en) * | 2022-07-07 | 2024-01-11 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Microwave-assisted magnetic recording (mamr) head slider, head gimbal assembly, and disk drive unit |
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2004
- 2004-04-14 JP JP2004118714A patent/JP2005302185A/ja active Pending
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