JP4889401B2 - Electronic component storage package, multi-component electronic component storage package, and electronic device - Google Patents
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Description
本発明は、電子部品を搭載するための電子部品収納用パッケージおよび複数個取り電子部品収納用パッケージ、ならびに電子装置に関するものである。 The present invention relates to an electronic component storage package for mounting electronic components, a multi-piece electronic component storage package, and an electronic device.
従来、半導体素子や水晶振動子等の電子部品を搭載するための電子部品収納用パッケージは、例えば、酸化アルミニウム質焼結体等の電気絶縁材料からなる絶縁基体の表面に、タングステンやモリブデン等の金属粉末メタライズから成る配線導体を配設することにより構成されている。 Conventionally, an electronic component storage package for mounting an electronic component such as a semiconductor element or a crystal resonator is made of, for example, tungsten or molybdenum on the surface of an insulating base made of an electrically insulating material such as an aluminum oxide sintered body. It is configured by arranging a wiring conductor made of metal powder metallization.
そして、このような電子部品収納用パッケージには、通常、電子部品を収容するための凹部が形成されている。そして、電子部品を凹部内に収容するとともに、電子部品の各電極を半田やボンディングワイヤ等の電気的接続手段を介して対応する各配線導体に電気的に接続し、その電子部品を金属やセラミックス、ガラス等からなる蓋体、あるいはポッティング樹脂で覆われて封止されることにより電子装置が形成される。 And in such an electronic component storage package, the recessed part for accommodating an electronic component is normally formed. And while accommodating an electronic component in a recessed part, each electrode of an electronic component is electrically connected to each corresponding wiring conductor via electrical connection means, such as solder and a bonding wire, and the electronic component is connected to metal or ceramics. An electronic device is formed by covering and sealing with a lid made of glass or the like, or potting resin.
このような電子部品収納用パッケージは、絶縁基体用のセラミックグリーンシート上や枠体用のセラミックグリーンシート上の所定の位置に、配線導体用のメタライズペーストを印刷し、これらを積層することにより凹部を形成し、その後、高温で焼成することにより形成される。 Such an electronic component storage package is formed by printing a metallized paste for a wiring conductor on a ceramic green sheet for an insulating substrate or a ceramic green sheet for a frame, and laminating them to form a recess. And then fired at a high temperature.
ところで、電子部品収納用パッケージの製作工程中には、絶縁基体用のセラミックグリーンシートと枠体用のセラミックグリーンシートとの間に異物(加工装置等の屑、セラミックグリーンシートの脱粒屑、環境屑等)が入り込んでしまうことがある。そして、異物が入り込んだ状態でセラミックグリーンシートを焼成すると、焼成温度が高温であることから、前記異物が融解し、その結果、絶縁基体と枠体との間に空隙部が形成されてしまうということがあった。 By the way, during the manufacturing process of the electronic component storage package, foreign matter (debris from processing equipment, degreasing debris from the ceramic green sheet, environmental debris, etc.) between the ceramic green sheet for the insulating substrate and the ceramic green sheet for the frame body. Etc.) may enter. When the ceramic green sheet is fired in a state where foreign matter has entered, since the firing temperature is high, the foreign matter is melted, and as a result, a void is formed between the insulating base and the frame. There was a thing.
また、焼成温度で蒸発しやすい材料からなる異物が入り込んでいる場合には、セラミックグリーンシートを高温で焼成した際に、この異物が蒸発して、やはり絶縁基体と枠体との間に空隙部を形成するということがあった。 In addition, when foreign substances made of a material that easily evaporates at the firing temperature enter, when the ceramic green sheet is fired at a high temperature, the foreign substances evaporate, and a gap is also formed between the insulating substrate and the frame. There was that to form.
このような空隙部が、絶縁基体と枠体との間に電子部品収納用パッケージの外縁と凹部とを連通して形成されていると、凹部内に電子部品を搭載して、蓋体等により凹部を封止しても、その気密性が低下してしまうことがある。 When such an air gap is formed between the insulating base and the frame so that the outer edge of the electronic component storage package and the concave portion communicate with each other, the electronic component is mounted in the concave portion, Even if the recess is sealed, its airtightness may be lowered.
そこで、凹部の気密性を確認するために、電子部品収納用パッケージに対してヘリウムリーク試験等が行われているが、このような試験は、電子部品収納用パッケージ上に、電子部品を搭載し、さらに、電子部品収納領域を気密封止した後に行う場合、気密性の損なわれた電子部品収納用パッケージに搭載した電子部品が無駄になる等、生産性の観点からは好ましくなかった。 Therefore, in order to confirm the airtightness of the recess, a helium leak test or the like is performed on the electronic component storage package. Such a test is performed by mounting the electronic component on the electronic component storage package. Moreover, when the electronic component storage area is hermetically sealed, the electronic component mounted on the electronic component storage package whose airtightness is impaired is not preferable from the viewpoint of productivity.
なお、このような融解または蒸発しやすい異物の材料としては、絶縁基体および枠体が酸化アルミニウム質焼結体からなる場合は、鉄、銅、ステンレス、カーボン、紙、有機物等の酸化アルミニウム質の焼成温度で融解または蒸発しやすい材料が考えられ、絶縁基体および枠体がガラスセラミックスからなる場合は、カーボン、紙、有機物等のガラスセラミックスの焼成温度で融解し、蒸発しやすい材料が考えられる。 In addition, as a material of such a foreign substance that is easily melted or evaporated, when the insulating base and the frame are made of an aluminum oxide sintered body, the material of the aluminum oxide such as iron, copper, stainless steel, carbon, paper, organic matter, etc. A material that easily melts or evaporates at the firing temperature is conceivable. When the insulating base and the frame are made of glass ceramics, a material that melts and evaporates at the firing temperature of glass ceramics such as carbon, paper, and organic matter can be considered.
また、このような電子部品収納用パッケージは、近年の電子装置の薄型化および小型化の要求に伴い、大きさが数mm角以下の極めて小さなものとなってきている。そして、薄く小さな電子部品収納用パッケージは、その取り扱いを容易なものとするために、また電子部品収納用パッケージやこれを使用した電子装置の製作の効率を向上させるために、電子部品収納用パッケージとなる多数の電子部品収納用パッケージ領域が広面積の母基板の中央部に縦横に配列形成されたいわゆる複数個取り基板の形態で製作されている。 Such electronic component storage packages have become extremely small with a size of several mm square or less in accordance with recent demands for thinner and smaller electronic devices. In order to make the thin and small electronic component storage package easy to handle, and to improve the efficiency of manufacturing the electronic component storage package and the electronic device using the same, the electronic component storage package A large number of electronic component storage package regions are manufactured in the form of a so-called multi-piece substrate in which a large-area mother board is arranged in the vertical and horizontal directions at the center.
このような複数個取り配線基板は、母基板用のセラミックグリーンシートを準備し、そのセラミックグリーンシートに配線導体用のメタライズペーストを所定の位置に印刷し、必要に応じて複数枚のセラミックグリーンシートを積層した後、高温で焼成することにより製作されている。 Such a multiple wiring board is prepared by preparing a ceramic green sheet for a mother board, printing a metallized paste for a wiring conductor on the ceramic green sheet at a predetermined position, and if necessary, a plurality of ceramic green sheets After being laminated, it is manufactured by firing at a high temperature.
そして、電子部品が、複数個取り基板の各電子部品収納用パッケージ領域に搭載された後に、母基板を電子部品収納用パッケージ領域毎に分割することにより、多数の電子装置が同時集約的に製造される。個々の電子部品収納用パッケージ領域に分割する方法としては、複数個取り配線基板の各電子部品収納用パッケージ領域の境界に分割溝を形成しておき、この分割溝に沿って撓折して分割する方法、またはスライシング法等により電子部品収納用パッケージ領域毎に切断する方法等がある。
しかしながら、母基板に複数の電子部品収納用パッケージを配列させた複数個取り基板においては、複数個取り取り基板の状態のままでは、個々の電子部品収納用パッケージに対して凹部の気密性を確認することができないという問題を有していた。すなわち、複数個取り基板は、母基板に複数の電子部品収納用パッケージ領域を配列形成しているため、電子部品収納用パッケージごとに個片化する前の複数個取り基板の状態では、各電子部品収納用パッケージの側面が外部に露出しておらず、凹部から側面まで連通する空隙部が存在するかどうかの確認ができないこととなる。 However, in the case of a multi-chip substrate in which a plurality of electronic component storage packages are arranged on the mother substrate, the airtightness of the recesses is confirmed with respect to the individual electronic component storage packages in the state of the multi-collection substrate. Had the problem of not being able to. In other words, since the multi-chip board has a plurality of electronic component storage package areas arranged on the mother board, each electronic component storage package is in the state of the multi-chip board before being separated into individual electronic component storage packages. The side surface of the component storage package is not exposed to the outside, and it cannot be confirmed whether or not there is a gap that communicates from the recess to the side surface.
本発明は、上記従来技術の問題点を鑑み案出されたもので、その目的は、電子部品収納用パッケージ領域に対して凹部の気密性を効率良くかつ良好に確認することができる電子部品収納用パッケージ及び複数個取り電子部品収納用パッケージを提供することにある。また、信頼性に優れた電子装置を提供することにある。 The present invention has been devised in view of the above-mentioned problems of the prior art, and the object thereof is to store electronic components that can efficiently and satisfactorily confirm the airtightness of the recesses with respect to the package region for storing electronic components. It is to provide an electronic package and a package for storing electronic components. Another object is to provide an electronic device with excellent reliability.
本発明の電子部品収納用パッケージは、絶縁基体と、該絶縁基体の少なくとも一方主面に搭載された枠体とを有する電子部品収納用パッケージであって、前記絶縁基体と前記枠体との間に埋設されたパッケージ測定用メタライズ層と、該パッケージ測定用メタライズ層に電気的に接続されるとともに、前記絶縁基体の外表面または前記枠体の外表面まで導出され、1つの前記パッケージ測定用メタライズ層に対して一対のパッケージ測定用端子とを備えることを特徴とする。
The electronic component storage package of the present invention is an electronic component storage package having an insulating base and a frame mounted on at least one main surface of the insulating base, and the electronic base is a space between the insulating base and the frame. and package measuring metallized layer embedded in, is electrically connected to the package measuring metallized layer, the derived to the outer surface or the outer surface of the frame body of the insulating base, one of the package measuring metallized A pair of package measuring terminals is provided for the layer .
本発明の電子部品収納用パッケージは、絶縁基体と、該絶縁基体の少なくとも一方主面に搭載された複数層からなる枠体とを有する電子部品収納用パッケージであって、前記枠体の層間に埋設されたパッケージ測定用メタライズ層と、前記パッケージ測定用メタライズ層に電気的に接続されるとともに、前記絶縁基体または枠体の外表面に導出され、1つの前記パッケージ測定用メタライズ層に対して一対のパッケージ測定用端子とを備えることを特徴とする。
An electronic component storage package according to the present invention is an electronic component storage package having an insulating base and a frame made of a plurality of layers mounted on at least one main surface of the insulating base. The packaged metallization layer for package measurement and the package measurement metallization layer are electrically connected to each other and led out to the outer surface of the insulating base or frame to form a pair for one package measurement metallization layer. And a package measuring terminal.
また、好ましくは、前記パッケージ測定用メタライズ層が、前記枠体の高さ位置の異なる層間のそれぞれに埋設されていることを特徴とする。 Preferably, the package measuring metallization layer is embedded in each of the layers having different height positions of the frame.
また、好ましくは、前記パッケージ測定用メタライズ層が、複数形成されており、複数の前記パッケージ測定用メタライズ層のそれぞれに一対のパッケージ測定用端子が電気的に接続されていることを特徴とする。 Preferably, a plurality of the package measurement metallization layers are formed, and a pair of package measurement terminals are electrically connected to each of the plurality of package measurement metallization layers.
また、好ましくは、前記パッケージ測定用メタライズ層が、平面視で前記枠体内を周回するように形成されていることを特徴とする。 Preferably, the package measurement metallization layer is formed to circulate in the frame body in a plan view.
また、好ましくは、周回する前記パッケージ測定用メタライズ層が、一対のパッケージ測定用端子間で、直列回路或いは並列回路を形成していることを特徴とする。 Preferably, the metallization layer for package measurement that circulates forms a series circuit or a parallel circuit between a pair of package measurement terminals.
本発明の複数個取り電子部品収納用パッケージは、母基板の少なくとも一方主面上に、格子状体が配置され、複数の凹部と、該凹部に対応する複数の電子部品収納用パッケージ領域とを有する複数個取り電子部品収納用パッケージであって、前記各電子部品収納用パッケージ領域の前記母基板と格子状体との間に埋設された測定用メタライズ層と、該測定用メタライズ層に電気的に接続されるとともに、前記母基板の外表面または格子状体の外表面まで導出され、1つの前記測定用メタライズ層に対して一対の測定用端子とを備えることを特徴とする。
The multi-component electronic component storage package of the present invention has a lattice-shaped body disposed on at least one main surface of the mother board, and includes a plurality of recesses and a plurality of electronic component storage package regions corresponding to the recesses. A plurality of electronic component storage packages having a measurement metallization layer embedded between the mother substrate and the grid-like body in each electronic component storage package region, and an electrical connection to the measurement metallization layer And is connected to the outer surface of the mother substrate or the outer surface of the lattice-like body, and includes a pair of measurement terminals for one measurement metallization layer .
本発明の複数個取り電子部品収納用パッケージは、母基板の少なくとも一方主面上に、複数層からなる格子状体が配置され、複数の凹部と、該凹部に対応する複数の電子部品収
納用パッケージ領域とを有する複数個取り電子部品収納用パッケージであって、前記各電子部品収納用パッケージ領域の前記複数層からなる格子状体の層間に埋設された測定用メタライズ層と、該測定用メタライズ層に電気的に接続されるとともに、前記母基板の外表面または格子状体の外表面まで導出され、1つの前記測定用メタライズ層に対して一対の測定用端子とを備えることを特徴とする。
The multi-component electronic component storage package according to the present invention includes a plurality of layers of a lattice-shaped body disposed on at least one main surface of a mother board, a plurality of concave portions, and a plurality of electronic component storage portions corresponding to the concave portions. A plurality of electronic component storage packages each having a package region, the measurement metallization layer embedded between the plurality of layers of the plurality of layers of each electronic component storage package region, and the measurement metallization And being electrically connected to a layer, led out to the outer surface of the mother substrate or the outer surface of the lattice, and provided with a pair of measuring terminals for one measuring metallization layer. .
また、好ましくは、前記測定用メタライズ層が、前記格子状体の高さ位置の異なる層間のそれぞれに埋設されていることを特徴とする。 Preferably, the measurement metallization layer is embedded in each of the layers having different height positions of the lattice-like body.
また、好ましくは、前記各電子部品収納用パッケージ領域に前記測定用メタライズ層が複数形成されており、複数の前記測定用メタライズ層のそれぞれに一対の測定用端子が電気的に接続されていることを特徴とする。 Preferably, a plurality of the measurement metallization layers are formed in each of the electronic component storage package regions, and a pair of measurement terminals are electrically connected to each of the plurality of measurement metallization layers. It is characterized by.
また、好ましくは、前記各電子部品収納用パッケージ領域の前記各測定用メタライズ層のそれぞれが、平面視で前記各電子部品収納用パッケージ領域の前記凹部を囲繞するように形成されていることを特徴とする。 Preferably, each of the measurement metallization layers in each electronic component storage package region is formed so as to surround the concave portion of each electronic component storage package region in plan view. And
また、好ましくは、前記測定用メタライズ層が、一対の測定用端子間で、直列回路或いは並列回路を形成していることを特徴とする。 Preferably, the measurement metallization layer forms a series circuit or a parallel circuit between a pair of measurement terminals.
また、好ましくは、前記母基板は、前記電子部品収納用パッケージ領域の配列領域よりも外側に外側ダミー領域を備えており、前記測定用端子は、前記外側ダミー領域における前記母基板の一方主面に導出していることを特徴とする。 Preferably, the mother board includes an outer dummy area outside an arrangement area of the electronic component storage package area, and the measurement terminal is one main surface of the mother board in the outer dummy area. It is derived from the above.
また、好ましくは、前記母基板は、隣接する前記電子部品収納用パッケージ領域間に中間ダミー領域を備えており、前記測定用端子は、前記中間ダミー領域における前記母基板の一方主面に導出していることを特徴とする。 Preferably, the mother board includes an intermediate dummy area between adjacent electronic component storage package areas, and the measurement terminal is led out to one main surface of the mother board in the intermediate dummy area. It is characterized by.
また、好ましくは、高さ位置の異なる層間に形成された前記測定用メタライズ層同士は、接続用導体により電気的に接続されていることを特徴とする。 Preferably, the measurement metallization layers formed between layers having different height positions are electrically connected by a connection conductor.
本発明の電子装置は、上述した電子部品収納用パッケージと、該電子部品収納用パッケージに搭載される電子部品とを備えることを特徴とする。 An electronic device according to the present invention includes the above-described electronic component storage package and an electronic component mounted on the electronic component storage package.
或いは、本発明の電子装置は、上述した複数個取り電子部品収納用パッケージと、該複数個取り電子部品収納用パッケージの前記電子部品収納用パッケージ領域ごとに搭載される電子部品とを備えた複数個取り電子装置を、電子部品収納用パッケージ領域ごとに分割して得られることを特徴とする。 Alternatively, an electronic device of the present invention includes a plurality of electronic component storage packages described above and a plurality of electronic components mounted in each of the electronic component storage package regions of the multi-component electronic component storage package. The individual electronic device is obtained by being divided for each electronic component storage package area.
本発明の電子部品収納用パッケージは、絶縁基体と、該絶縁基体の少なくとも一方主面に搭載された枠体とを有する電子部品収納用パッケージであって、絶縁基体と枠体との間に埋設されたパッケージ測定用メタライズ層と、パッケージ測定用メタライズ層に電気的に接続されるとともに、絶縁基体の外表面または枠体の外表面まで導出され、1つのパッケージ測定用メタライズ層に対して一対のパッケージ測定用端子とを備えている。そして、製造工程中に絶縁基体と枠体との間に異物が入り込めば、パッケージ測定用メタライズ層となる導電ペーストの印刷工程において、導電ペーストが確実に塗布されず、焼成工程中にパッケージ測定用メタライズ層が断線するとともに、異物が焼失して凹部の気密性を低下させる空隙部が形成されてしまうこととなる。また、積層圧着工程時において積層面に異物が存在していると、この異物がパッケージ測定用メタライズ層を分断してしまう。そして、その後の焼成工程において異物が焼失して凹部の気密性を低下させる空隙部が形成されてしまう。
An electronic component storage package according to the present invention is an electronic component storage package having an insulating base and a frame mounted on at least one main surface of the insulating base, and is embedded between the insulating base and the frame. and package measuring metallized layers is electrically connected to the package measuring metallized layer, is derived to the outer surface of the outer surface or frame of the insulating substrate, a pair of for one package measuring metallized layer And a package measuring terminal. If foreign matter enters between the insulating substrate and the frame during the manufacturing process, the conductive paste is not reliably applied in the printing process of the conductive paste that becomes the metallization layer for package measurement, and the package measurement is performed during the firing process. As a result, the metallized layer is disconnected, and foreign matters are burned out, resulting in the formation of voids that reduce the airtightness of the recesses. In addition, if foreign matter is present on the laminated surface during the laminated crimping step, the foreign matter will sever the packaged metallization layer. And in a subsequent baking process, a foreign material will burn out and the space | gap part which reduces the airtightness of a recessed part will be formed.
このような空隙部が形成された場合、絶縁基体と枠体との間のパッケージ測定用メタライズ層も同時に断線した状態となることから、一対のパッケージ測定用端子を介してパッケージ測定用メタライズ層の断線の有無を調べることにより、異物の混入による空隙部の有無を確認して、各電子部品収納用パッケージ領域の凹部の気密性を確認することができる。 When such a gap is formed, the metallization layer for package measurement between the insulating base and the frame is also disconnected at the same time. Therefore, the metallization layer for package measurement is connected via a pair of package measurement terminals. By examining the presence or absence of disconnection, it is possible to confirm the presence or absence of voids due to the inclusion of foreign matter, and to confirm the airtightness of the recesses in each electronic component storage package area.
また、一対のパッケージ測定用端子間の電気的導通状態の確認を、電子部品収納用パッケージに形成された種々の配線導体の電気的導通状態の確認等を行う工程と同じ検査工程にて行うことも可能であることから、電子部品収納用パッケージに対して凹部の気密状態の確認を効率良く行うことができる。 In addition, the confirmation of the electrical continuity between the pair of package measurement terminals should be performed in the same inspection process as the process of confirming the electrical continuity of various wiring conductors formed in the electronic component storage package. Therefore, the airtight state of the recess can be efficiently confirmed with respect to the electronic component storage package.
本発明の電子部品収納用パッケージは、絶縁基体と、絶縁基体の少なくとも一方主面に搭載された複数層からなる枠体とを有する電子部品収納用パッケージであって、枠体の層間に埋設されたパッケージ測定用メタライズ層と、パッケージ測定用メタライズ層に電気的に接続されるとともに、絶縁基体または枠体の外表面に導出され、1つのパッケージ測定用メタライズ層に対して一対のパッケージ測定用端子とを備えている。この場合も上述と同様に、一対のパッケージ測定用端子間の電気的導通状態を確認してパッケージ測定用メタライズ層の断線の有無を調べることにより、複数層からなる枠体の層間の異物の混入による空隙部の有無を確認して、電子部品収納用パッケージの凹部の気密性を確認することができる。
The electronic component storage package of the present invention is an electronic component storage package having an insulating base and a frame made of a plurality of layers mounted on at least one main surface of the insulating base, and is embedded between layers of the frame. A package measurement metallization layer and a package measurement metallization layer that are electrically connected to the package measurement metallization layer and led out to the outer surface of the insulating substrate or the frame. And. Also in this case, as described above, by checking the electrical continuity between the pair of package measurement terminals and checking for the presence or absence of disconnection of the package measurement metallization layer, foreign matter can be mixed between the layers of the multi-layer frame. It is possible to confirm the airtightness of the concave portion of the electronic component storage package by confirming the presence or absence of the void portion.
また、同様に、一対のパッケージ測定用端子間の電気的導通状態の確認を、電子部品収納用パッケージに形成された種々の配線導体の電気的導通状態の確認等を行う工程と同じ検査工程にて行うことができる。 Similarly, the confirmation of the electrical continuity between the pair of package measuring terminals is performed in the same inspection process as the process of confirming the electrical continuity of various wiring conductors formed in the electronic component storage package. Can be done.
また、好ましくは、パッケージ測定用メタライズ層が、枠体の高さ位置の異なる層間のそれぞれに埋設されていることから、一対のパッケージ測定用端子を介して、各層間に形成されたパッケージ測定用メタライズ層のそれぞれの電気的導通状態を調べることにより、各電子部品収納用パッケージ領域に対して高さ位置の異なる層間のそれぞれの気密性を効率良く確認することができるようになる。 Preferably, since the package measurement metallization layer is embedded in each of the layers having different height positions of the frame, the package measurement metallization layer is formed between the layers via a pair of package measurement terminals. By examining the respective electrical continuity states of the metallized layers, it becomes possible to efficiently check the airtightness between the layers having different height positions with respect to each electronic component storage package region.
また、好ましくは、前記パッケージ測定用メタライズ層が、複数形成されており、複数の前記パッケージ測定用メタライズ層のそれぞれに一対のパッケージ測定用端子が電気的に接続されていることから、パッケージ測定用メタライズ層のそれぞれについて電気的導通状態を確認できる。 Preferably, a plurality of the package measurement metallization layers are formed, and a pair of package measurement terminals are electrically connected to each of the plurality of package measurement metallization layers. The electrical conduction state can be confirmed for each of the metallized layers.
また、好ましくは、パッケージ測定用メタライズ層が、平面視で枠体内を周回するように形成されていることから、一対のパッケージ測定用端子間の電気的接続状態を確認することにより、電子部品収納用パッケージに対して凹部の周囲領域における気密性をより良好に確認することができる。 Preferably, since the metallization layer for package measurement is formed so as to circulate in the frame body in a plan view, the electrical connection state between the pair of package measurement terminals is confirmed by checking the electrical connection state. It is possible to better confirm the airtightness in the peripheral region of the recess with respect to the package for use.
また、好ましくは、周回するパッケージ測定用メタライズ層が、一対のパッケージ測定用端子間で、直列回路或いは並列回路を形成していることから、一対のパッケージ測定用端子間の電気的導通状態を、凹部を囲むパッケージ測定用メタライズ層の直列回路および並列回路により確認することができ、電子部品収納用パッケージに対して凹部の周囲領域における気密性をより良好に確認することができる。すなわち、パッケージ測定用メタライズ層が直列回路の場合においては、一対のパッケージ測定用端子間の電気的導通の有無により確認することができ、パッケージ測定用メタライズ層が並列回路の場合においては、一対のパッケージ測定用端子間の抵抗値の差(断線がある場合の抵抗値と、断線がない場合の抵抗値の差)により確認することができる。 Preferably, since the metallization layer for circulating package measurement forms a series circuit or a parallel circuit between the pair of package measurement terminals, the electrical conduction state between the pair of package measurement terminals is This can be confirmed by a series circuit and a parallel circuit of the package measuring metallization layer surrounding the recess, and the airtightness in the peripheral region of the recess can be better confirmed with respect to the electronic component storage package. That is, when the package measurement metallization layer is a series circuit, it can be confirmed by the presence or absence of electrical continuity between the pair of package measurement terminals, and when the package measurement metallization layer is a parallel circuit, This can be confirmed by a difference in resistance value between the package measuring terminals (a resistance value when there is a disconnection and a resistance value when there is no disconnection).
本発明の複数個取り電子部品収納用パッケージは、各電子部品収納用パッケージ領域に、母基板と格子状体との間に埋設された測定用メタライズ層と、測定用メタライズ層に電気的に接続されるとともに、母基板の外表面または格子状体の外表面まで導出され、1つ
の測定用メタライズ層に対して一対の測定用端子とを備えている。
The multi-component electronic component storage package according to the present invention is electrically connected to the measurement metallization layer embedded between the mother board and the grid in each electronic component storage package region and the measurement metallization layer. while it is, derived to the outer surface of the outer surface or lattice-like body of the mother board, one
A pair of measurement terminals is provided for the measurement metallization layer .
そして、製造工程中に母基板と格子状体との間に異物が入り込めば、測定用メタライズ層となる導電ペーストの印刷工程において、導電ペーストが確実に塗布されず、焼成工程中に測定用メタライズ層が断線するとともに、異物が焼失して凹部の気密性を低下させる空隙部が形成されてしまうこととなる。また、積層圧着工程時において積層面に異物が存在していると、この異物が測定用メタライズ層を分断してしまう。そして、その後の焼成工程において異物が焼失して凹部の気密性を低下させる空隙部が形成されてしまう。 If foreign matter enters between the mother substrate and the lattice during the manufacturing process, the conductive paste is not reliably applied in the printing process of the conductive paste that becomes the metallization layer for measurement. As the metallized layer breaks, foreign matters are burned out and voids that reduce the airtightness of the recesses are formed. In addition, if foreign matter is present on the laminated surface during the laminated crimping step, the foreign matter will sever the measurement metallized layer. And in a subsequent baking process, a foreign material will burn out and the space | gap part which reduces the airtightness of a recessed part will be formed.
このような空隙部が形成された場合、母基板と格子状体との間の測定用メタライズ層も同時に断線した状態となることから、一対の測定用端子を介して測定用メタライズ層の断線の有無を調べることにより、異物の混入による空隙部の有無を確認して、各電子部品収納用パッケージ領域の凹部の気密性を確認することができる。 When such a gap is formed, the measurement metallization layer between the mother substrate and the lattice is also disconnected at the same time, so the measurement metallization layer is disconnected via a pair of measurement terminals. By checking the presence / absence, it is possible to confirm the presence / absence of a void due to the mixing of foreign matter, and to confirm the airtightness of the recesses in the respective electronic component storage package regions.
そして、これにより、各電子部品収納用パッケージ領域に対する凹部の気密性の確認を、複数個取り電子部品収納用パッケージの形態のまま行うことができるので、複数の電子部品収納用パッケージ領域に対して凹部の気密性の確認を効率良く、かつ良好に行うことができるようになる。 As a result, it is possible to confirm the airtightness of the recesses for each electronic component storage package area in the form of a plurality of electronic component storage packages. The airtightness of the recess can be confirmed efficiently and satisfactorily.
本発明の複数個取り電子部品収納用パッケージは、各電子部品収納用パッケージ領域に、複数層からなる格子状体の層間に埋設された測定用メタライズ層と、測定用メタライズ層に電気的に接続されるとともに、母基板の外表面または格子状体の外表面まで導出され、1つの測定用メタライズ層に対して一対の測定用端子とを備えている。この場合も上述と同様に、一対の測定用端子を介して測定用メタライズ層の電気的導通状態を調べることにより、複数層からなる格子状体の層間の異物の混入による空隙部の有無を確認して、各電子部品収納用パッケージ領域の凹部の気密性を確認することができる。 The multi-component electronic component storage package according to the present invention is electrically connected to a measurement metallization layer embedded in a plurality of layers of a lattice-like body in each electronic component storage package region and the measurement metallization layer. In addition, it is led out to the outer surface of the mother substrate or the outer surface of the lattice-like body, and is provided with a pair of measuring terminals for one measuring metallized layer . In this case as well, as described above, the presence or absence of voids due to the inclusion of foreign matter between the layers of the grid-like body composed of multiple layers is confirmed by examining the electrical continuity of the measurement metallization layer via a pair of measurement terminals. And the airtightness of the recessed part of each electronic component storage package area | region can be confirmed.
また、好ましくは、測定用メタライズ層が、凹部の気密性が低下する可能性のある格子状体の高さ位置の異なる層間のそれぞれに埋設されていることから、一対の測定用端子を介して、各層間に形成された測定用メタライズ層のそれぞれの電気的導通状態(断線の有無)を調べることにより、各電子部品収納用パッケージ領域に対して高さ位置の異なる層間のそれぞれの気密性を効率良く確認することができるようになる。 Preferably, the measurement metallization layer is embedded in each of the layers having different height positions of the lattice-like body that may reduce the hermeticity of the recesses, so that the measurement metallization layer is interposed between the pair of measurement terminals. By checking the electrical continuity of each measurement metallization layer formed between the layers (presence / absence of disconnection), the respective airtightness between the layers having different height positions with respect to each electronic component storage package region can be obtained. It becomes possible to confirm efficiently.
また、好ましくは、各電子部品収納用パッケージ領域に測定用メタライズ層が複数形成されており、複数の測定用メタライズ層のそれぞれに一対の測定用端子が電気的に接続されていることから、測定用メタライズ層のそれぞれについて電気的導通状態を確認でき、測定用メタライズ層が形成された領域ごとの空隙部の有無を確認することにより、各電子部品収納用パッケージ領域内の複数の領域に対して凹部の気密性をより良好に確認することができる。 Preferably, a plurality of measurement metallization layers are formed in each electronic component storage package region, and a pair of measurement terminals are electrically connected to each of the plurality of measurement metallization layers. For each of the metallized layers for use, the electrical continuity state can be confirmed, and by confirming the presence or absence of a gap for each region where the measurement metallized layer is formed, a plurality of regions in each electronic component storage package region The airtightness of the recess can be confirmed better.
また、好ましくは、各電子部品収納用パッケージ領域の各測定用メタライズ層のそれぞれが、平面視で各電子部品収納用パッケージ領域の凹部を囲繞するように形成されていることから、測定用メタライズ層の電気的導通状態を調べることにより、各電子部品収納用パッケージ領域に対して凹部の周囲領域の全域において気密性をより良好に確認することができる。 Preferably, each of the measurement metallization layers of each electronic component storage package region is formed so as to surround the concave portion of each electronic component storage package region in plan view. By checking the electrical continuity state, it is possible to better check the airtightness in the entire region around the recess with respect to each electronic component storage package region.
また、好ましくは、前記測定用メタライズ層が、一対の測定用端子間で、直列回路或いは並列回路を形成していることから、一対の測定用端子間の電気的導通状態を、凹部を囲む測定用メタライズ層の直列回路および並列回路により確認することができ、各電子部品収納用パッケージ領域に対して凹部の周囲領域における気密性をより良好に確認することができる。すなわち、測定用メタライズ層が直列回路の場合においては、一対の測定用端子間の電気的導通の有無により確認することができ、測定用メタライズ層が並列回路の場合においては、一対の測定用端子間の抵抗値の差(断線がある場合の抵抗値と、断線がない場合の抵抗値の差)により確認することができる。 Preferably, since the measurement metallization layer forms a series circuit or a parallel circuit between the pair of measurement terminals, the electrical continuity between the pair of measurement terminals is measured around the recess. This can be confirmed by the series circuit and the parallel circuit of the metallization layer for the electronic component, and the airtightness in the peripheral region of the recess can be confirmed more favorably with respect to each electronic component storage package region. That is, when the measurement metallization layer is a series circuit, it can be confirmed by the presence or absence of electrical continuity between the pair of measurement terminals. When the measurement metallization layer is a parallel circuit, the pair of measurement terminals It can be confirmed by the difference in resistance value between them (resistance value when there is a disconnection and difference between resistance values when there is no disconnection).
また、好ましくは、母基板は、電子部品収納用パッケージ領域の配列領域よりも外側に外側ダミー領域を備えており、測定用端子は、外側ダミー領域における母基板の一方主面に導出していることから、測定用端子が各電子部品収納用パッケージ領域以外の領域に位置し、電子部品収納用パッケージ領域において、測定用端子を形成するための領域を考慮する必要がなく、電子部品収納用パッケージ領域を小型化できる。 Preferably, the mother board includes an outer dummy area outside the arrangement area of the electronic component storage package area, and the measurement terminal is led out to one main surface of the mother board in the outer dummy area. Therefore, the measurement terminal is located in an area other than each electronic component storage package area, and it is not necessary to consider the area for forming the measurement terminal in the electronic component storage package area. The area can be reduced in size.
また、好ましくは、母基板は、隣接する電子部品収納用パッケージ領域間に中間ダミー領域を備えており、測定用端子は、中間ダミー領域における母基板の一方主面に導出していることから、上記と同様により各電子部品収納用パッケージ領域を小型化できる。 Preferably, the mother board is provided with an intermediate dummy area between adjacent electronic component storage package areas, and the measurement terminals are led to one main surface of the mother board in the intermediate dummy area. In the same manner as described above, each electronic component storage package area can be reduced in size.
また、好ましくは、高さ位置の異なる層間に形成された測定用メタライズ層同士は、接続用導体により電気的に接続されていることから、外表面に導出した測定用端子を介して、測定用メタライズ層の電気的導通状態を調べることにより、各電子部品収納用パッケージ領域の高さ位置の異なる層間の領域の状態を同時に確認することができるので、各電子部品収納用パッケージ領域に対して凹部の気密性の確認を効率良く、かつ良好に行うことができる。 Preferably, the measurement metallization layers formed between the layers having different height positions are electrically connected to each other by the connection conductor, so that the measurement metallization layers are connected via the measurement terminals led to the outer surface. By examining the electrical continuity state of the metallized layer, it is possible to simultaneously confirm the state of the regions between the different height positions of each electronic component storage package region. The airtightness can be confirmed efficiently and satisfactorily.
本発明の電子装置は、上述した電子部品収納用パッケージと、該電子部品収納用パッケージに搭載される電子部品とを備えることから、信頼性の高い電子装置となる。 Since the electronic device of the present invention includes the above-described electronic component storage package and the electronic component mounted on the electronic component storage package, the electronic device is a highly reliable electronic device.
或いは、本発明の電子装置は、上述した複数個取り電子部品収納用パッケージと、該複数個取り電子部品収納用パッケージの電子部品収納用パッケージ領域に搭載される電子部品とを備えた複数個取り電子装置を、電子部品収納用パッケージ領域ごとに分割して得られることから、複数の信頼性の高い電子装置を効率良く製作することができる。 Alternatively, an electronic device according to the present invention includes a plurality of electronic component storage packages described above, and a plurality of electronic components mounted in the electronic component storage package area of the multi-component electronic component storage package. Since the electronic device is obtained by dividing each electronic component storage package region, a plurality of highly reliable electronic devices can be efficiently manufactured.
以下に、添付の図面を参照して、本発明の複数個取り電子部品収納用パッケージの実施の形態について説明する。図1(a)は、本発明の複数個取り電子部品収納用パッケージの実施の形態の一例を示す平面図、図1(b)は、図1(a)のA−A’線における断面図、図1(c)は、図1(a)のB−B’線における断面図である。図1において、1は母基板、2は格子状体、3は測定用メタライズ層、4は測定用端子、5は凹部、6は電子部品収納用パッケージ領域、7は配線導体である。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Embodiments of a multi-package electronic component storage package according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1A is a plan view showing an example of an embodiment of a package for storing multiple electronic components according to the present invention, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. FIG. 1C is a cross-sectional view taken along the line BB ′ of FIG. In FIG. 1, 1 is a mother substrate, 2 is a lattice-like body, 3 is a metallization layer for measurement, 4 is a measurement terminal, 5 is a recess, 6 is a package region for storing electronic components, and 7 is a wiring conductor.
本発明の複数個取り電子部品収納用パッケージは、母基板1の一主面に、複数の貫通部が配列された格子状体2を、凹部5が配列されるように搭載することにより複数の電子部品収納用パッケージ領域が配列されてなる複数個取り電子部品収納用パッケージであって、母基板1と格子状体2との間に埋設された測定用メタライズ層3と、測定用メタライズ層3に電気的に接続されるとともに、母基板1の外表面または格子状体2の外表面まで導出された一対の測定用端子4とを備えている。
The package for storing multiple electronic components according to the present invention has a plurality of grid-
母基板1および格子状体2は、酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、炭化珪素質焼結体等の電気絶縁材料から成り、例えば、酸化アルミニウム質焼結体から成る場合には、アルミナ(Al2O3)、シリカ(SiO2)、カルシア(CaO)、マグネシア(MgO)等の原料粉末に適当な有機溶剤、溶媒を添加混合して泥漿状となすとともにこれを従来周知のドクターブレード法やカレンダーロール法等を採用し、シート状に成形することによってセラミックグリーンシート(セラミック生シート)を得、次にセラミックグリーンシートに適当な打ち抜き加工を施すとともに、必要に応じて複数枚積層し、高温(約1500〜1800℃)で焼成することによって製作される。
The
なお、格子状体2用のセラミックグリーンシートの所定の領域に、金型やパンチングマシンによる打ち抜き方法またはレーザ加工等の加工方法により凹部5となる複数の貫通部を形成しておき、枠体2用のセラミックグリーンシートを母基板1用のセラミックグリーンシートの一方主面に積層して搭載することにより複数の凹部5が形成される。そして、母基板1用のセラミックグリーンシートと格子状体2用のセラミックグリーンシートとを高温で焼成することにより、母基板1と格子状体2とが焼結一体化される。
In addition, a plurality of penetrating portions to be the
複数の電子部品収納用パッケージ領域6が、母基板1および格子状体2の中央部に形成されており、各電子部品収納用パッケージ領域6には凹部5と配線導体7とがそれぞれ形成されている。図1(a)の平面図において、各電子部品収納用パッケージ領域の外縁に沿って形成される分割予定線8を一点鎖線により示している。複数個取り電子部品収納用パッケージを分割予定線8に沿って電子部品収納用パッケージ領域6毎に分割することにより、多数の電子部品収納用パッケージを形成することができる。個々の電子部品収納用パッケージに分割する方法としては、複数個取り電子部品収納用パッケージの分割予定線8に分割溝を形成しておき、この分割溝に沿って撓折して分割する方法、またはスライシング法等により電子部品収納用パッケージ領域8毎に切断する方法等がある。
A plurality of electronic component
また、配線導体7は、各電子部品収納用パッケージ領域6の各凹部5内に収容される電子部品を外部電気回路基板に電気的に接続するための導電路として機能する。配線導体7は、タングステンやモリブデン、銅、銀等の金属粉末メタライズから成り、母基板1用のセラミックグリーンシートまたは格子状体2用のセラミックグリーンシートにスクリーン印刷法等により配線導体7用のメタライズペーストを印刷塗布し、そのメタライズペーストを母基板1用のセラミックグリーンシートおよび格子状体2用のセラミックグリーンシートとともに焼成することによって所定の領域に被着形成される。
In addition, the
配線導体7用のメタライズペーストは、主成分の金属粉末に有機バインダー、有機溶剤、必要に応じて分散剤等を加えてボールミル、三本ロールミル、プラネタリーミキサー等の混練手段により混合および混練することで製作される。セラミックグリーンシートの焼結挙動に合わせたり、焼結後の積層基板との接合強度を高めたりするためにガラスやセラミックスの粉末を添加しても良い。
The metallized paste for the
また、母基板1または格子状体2の表面および内部に形成された配線導体7は、必要に応じて母基板1または格子状体2を貫通する貫通導体により電気的に接続されている。このような貫通導体は、配線導体7を形成するためのメタライズペーストの印刷塗布に先立って母基板1用のセラミックグリーンシートまたは格子状体2用のセラミックグリーンシートに金型やパンチングによる打ち抜き方法またはレーザ加工等の加工方法により貫通導体用の貫通孔を形成し、この貫通孔に貫通導体用のメタライズペーストをスクリーン印刷法等の印刷手段により充填しておき、これを母基板1用のセラミックグリーンシートおよび格子状体2用のセラミックグリーンシートとともに焼成することによって各領域に形成される。貫通導体用のメタライズペーストは配線導体7用のメタライズペーストと同様にして作製されるが、有機バインダーや有機溶剤の量により充填に適した粘度に調製される。
Further, the
また、配線導体7の母基板1および格子状体2の外表面に露出する部分は、ニッケル(Ni)、金(Au)等の耐蝕性に優れる金属を被着させておくと、配線導体7が酸化腐食するのを有効に防止できるとともに、配線導体7と電子部品との接合、および配線導体7とAuワイヤや半田バンプ等の電気的接続、および配線導体7と外部の回路基板との接合を強固なものとすることができる。従って、配線導体7が母基板1および格子状体2の外表面に露出する部分には、厚み1〜10μm程度のNiめっき層と厚み0.1〜3μm程度の金(Au)めっき層とが電解めっき法や無電解めっき法により順次被着されている。
In addition, the portion of the
そして、本発明の複数個取り配線基板は、母基板1と格子状体2との間に埋設された測定用メタライズ層3と、測定用メタライズ層3に電気的に接続されるとともに、母基板1の外表面または格子状体2の外表面まで導出された一対の測定用端子4とを備えている。
The multiple wiring substrate of the present invention is electrically connected to the
測定用メタライズ層3は、複数の凹部5の周囲、すなわち、電子部品収納用パッケージ領域6毎に凹部5と各電子部品収納用パッケージ領域の外縁との間、かつ母基板1と格子状体2との間に埋設され、各電子部品収納用パッケージ領域6の各凹部5の気密性を確認するためのものとして機能する。測定用メタライズ層3は、タングステンやモリブデン、銅、銀等の金属粉末メタライズから成り、母基板1用のセラミックグリーンシートまたは格子状体2用のセラミックグリーンシートの所定の領域(母基板1用のセラミックグリーンシートと格子状体2用のセラミックグリーンシートとが積層により当接する領域)にスクリーン印刷法等により測定用メタライズ層3用のメタライズペーストを印刷塗布し、母基板1用のセラミックグリーンシートと格子状体2用のセラミックグリーンシートとを積層した後、そのメタライズペーストを母基板1用のセラミックグリーンシートおよび格子状体2用のセラミックグリーンシートとともに焼成することによって母基板1と格子状体2との間に埋設されて形成される。
The
測定メタライズ層3用のメタライズペーストは、配線導体7用のメタライズペーストと同様な手法により製作することができ、メタライズペーストは配線導体7用のメタライズペーストと同様にして作製されるが、有機バインダーや有機溶剤の量により印刷に適した粘度に調整される。
The metallized paste for the measurement metallized
なお、母基板1と格子状体2とを積層することにより形成される複数の凹部5の気密性をより良好に確認することができるようにするため、各電子部品収納用パッケージ領域6の外縁と凹部5の内壁との間に形成される測定用メタライズ層3の長さはそれぞれの凹部5の辺の長さよりも長くなるように形成しておくことが好ましい。ここで、測定用メタライズ層3の辺の長さとは、この辺に沿った測定用メタライズ層3の長さをいう。
In addition, in order to be able to confirm the airtightness of the plurality of
なお、測定用メタライズ層3の幅は、各電子部品収納用パッケージ領域7の外縁と凹部5との間の間隔よりも狭く形成される。測定用メタライズ層3の幅は、母基板1および格子状体2の材質や形状により異なるが、0.05mm以上となるように形成されることが好ましい。0.05mm未満であると、母基板1用のセラミックグリーンシートまたは格子状体2用のセラミックグリーンシートに、測定用メタライズ層3のメタライズペーストを印刷塗布する際、印刷時のかすれ等により良好に形成することができなくなり、測定用メタライズ層3が断線してしまう可能性がある。
The width of the
測定用端子4は、測定用メタライズ層3と電気的に接続された一対のものとして形成され、母基板1と格子状体2との間に形成された測定用メタライズ層3の状態を確認するための導電路として機能する。測定用端子4は、タングステンやモリブデン、銅、銀等の金属粉末メタライズから成り、母基板1用のセラミックグリーンシートまたは格子状体2用のセラミックグリーンシートの所定の領域にスクリーン印刷法等により測定用端子4用のメタライズペーストを印刷塗布し、母基板1用のセラミックグリーンシートと格子状体2用のセラミックグリーンシートとを積層した後、そのメタライズペーストを母基板1用のセラミックグリーンシートおよび格子状体2用のセラミックグリーンシートとともに焼成することによって測定用メタライズ層3から母基板1の外表面または格子状体2の外表面まで導出されて形成される。測定用端子4用のメタライズペーストは、配線導体7用のメタライズペーストと同様な手法により製作することができ、メタライズペーストは配線導体7用のメタライズペーストと同様にして作製されるが、有機バインダーや有機溶剤の量により印刷に適した粘度に調製される。
The
測定用端子4は、母基板1または格子状体2の主面や側面等の外表面に導出される。母基板1または格子状体2の主面に導出する場合は、測定用メタライズ層3から母基板1または格子状体2を貫通する貫通導体として母基板1または格子状体2の主面にかけて測定用端子4を導出して形成してすれば良く、側面に導出する場合は、測定用メタライズ層3から母基板1または格子状体2の側面にかけて測定用端子4を導出して形成してすれば良い。
The
なお、母基板1または格子状体2の主面における配線導体7等の形成等により形成領域に制約がある場合は、測定用端子4は、母基板1または格子状体2の側面に導出させておくことが好ましい。また、電気的導通状態を確認する際に効率良く行うことができるように、一対の測定用端子4は、同一方向の外表面に導出させておくことが好ましい。
When the formation region is restricted due to the formation of the
なお、測定用端子4の母基板1または格子状体2の外表面に露出する部分には、測定用端子4が酸化腐食するのを防止するために、配線導体7と同様に、厚み1〜10μm程度のNiめっき層と厚み0.1〜3μm程度の金(Au)めっき層とが電解めっき法や無電解めっき法により順次被着されていることが好ましい。
In addition, in order to prevent the
測定用メタライズ層3は、その製作工程中に母基板1と格子状体2との間に異物が入り込んだ際、異物の影響により、印刷工程時の塗布形成不具合または積層工程時の分断等が発生して断線しやすくなる。すなわち、測定用メタライズ層3用のメタライズペーストを母基板1用のセラミックグリーンシートまたは格子状体2用のセラミックグリーンシートに印刷塗布する際に、印刷面に異物が付着していると、この異物上にはメタライズペーストを良好に印刷しにくく、測定用メタライズ層3のメタライズペーストは分断されやすくなる。また、母基板1用のセラミックグリーンシートと格子状体2用のセラミックグリーンシートを積層する際、積層面に異物が付着していると、この異物により測定用メタライズ層3用のメタライズペーストは分断される。これにより、母基板1用のセラミックグリーンシートと格子状体2との間に異物が入り込んだ状態のものを焼成すると、異物が焼失することにより、母基板1と格子状体2との間に凹部5の気密性を低下させる空隙部が形成されると同時に、母基板1と格子状体2との間の測定用メタライズ層3が断線した状態で形成される。
The
このため、一対の測定用端子4間の電気的導通状態、すなわち断線の有無を確認することにより、測定用メタライズ層3が形成された母基板1と格子状体2との間の領域の状態、すなわち空隙部の有無を確認することができ、各電子部品収納用パッケージ領域6に対して凹部5の気密性が確保された電子部品収納用パッケージ領域を、容易に選定することができる。
For this reason, the state of the region between the
また、各電子部品収納用パッケージ領域に対する凹部5の気密性の確認を複数個取り電子部品収納用パッケージの形態のまま行うことができるので、各電子部品収納用パッケージ領域6に対して凹部5の気密性の確認を効率良く、かつ良好に行うことができるようになる。
Further, since it is possible to confirm the airtightness of the
また、図2に示すように、格子状体2は複数層(図2においては、絶縁層2a,2b)からなっていても良く、複数層からなる格子状体2の層間に埋設された測定用メタライズ層3と、測定用メタライズ層3に電気的に接続されるとともに、母基板1の外表面または格子状体2の外表面まで導出された測定用端子4とを備えていても良い。
Further, as shown in FIG. 2, the lattice-
このような格子状体2は、絶縁層2a用のセラミックグリーンシートまたは絶縁層2b用のセラミックグリーンシートの所定の領域(絶縁層2a用のセラミックグリーンシートと絶縁層2b用のセラミックグリーンシートとが積層により当接する領域)にスクリーン印刷法等により測定用メタライズ層3用のメタライズペーストを印刷塗布し、母基板1用のセラミックグリーンシートと格子状体2(絶縁層2a,2b)用のセラミックグリーンシートとを積層した後、そのメタライズペーストを母基板1用のセラミックグリーンシートおよび格子状体2用のセラミックグリーンシートとともに焼成することによって格子状体2間に埋設されて形成される。
Such a lattice-
そして、上述の母基板1と格子状体2との間に形成された測定用メタライズ層3と同様に、その製作工程中に複数層からなる格子状体2間に異物が入り込んだ際、測定用メタライズ層3は、異物の影響により印刷工程時の塗布形成不具合または積層工程時の分断等が発生して断線する。このため、一対の測定用端子4を介して測定用メタライズ層3の断線の有無を調べることにより、各電子部品収納用パッケージ領域6に対して凹部5の気密性を確認することができるようになる。
As in the case of the measurement metallized
また、上述と同様に各電子部品収納用パッケージ領域6に対する凹部5の気密性の確認を複数個取り電子部品収納用パッケージの形態のまま行うことができるので、各電子部品収納用パッケージ領域6に対して凹部5の気密性の確認を効率良く、かつ良好に行うことができるようになる。
Similarly to the above, since it is possible to confirm the airtightness of the
なお、格子状体2は、絶縁層2a,2bの2層から形成されている場合に限らず、3層以上から形成されていても良い。例えば、図3に示すように、格子状体2が絶縁層2a,2b,2cの3層から形成されているような場合、測定用メタライズ層3が、格子状体2の厚み方向における全ての層間のそれぞれに埋設されていることが好ましい。この構成により、凹部5の気密性が低下する可能性のある格子状体2の全ての層間に測定用メタライズ層3が形成されるので、一対の測定用端子4を介して、複数層からなる格子状体2の各層間に形成された測定用メタライズ層3の電気的導通状態を確認することにより、各電子部品収納用パッケージ領域6に対して凹部5の厚み方向における全ての層間の気密性を効率良く確認することができるようになる。
The lattice-
また、図4に示すように、各電子部品収納用パッケージ領域6に測定用メタライズ層3が複数形成されており、複数の測定用メタライズ層3のそれぞれに一対の測定用端子4が電気的に接続されていることが好ましい。図4において、図4(a)は、母基板1と格子状体2との間に測定用メタライズ層3が形成されている複数個取り電子部品収納用パッケージの一例を示す平面図であり、図4(b)は、図4(a)の母基板1における平面図である。なお、図4(a)において各電子部品収納用パッケージ領域6の各凹部5が形成されている領域を、図4(b)においては母基板1における電子部品収納用パッケージ領域6毎に破線にて囲んで示している。これにより、各電子部品収納用パッケージ領域6の測定用メタライズ層3が形成された領域ごとに気密状態を確認することができる。
As shown in FIG. 4, a plurality of
また、一対の測定用端子4間の電気的導通がないことが確認された際、それぞれの測定用メタライズ層3の状態を確認することで各電子部品収納用パッケージ領域6内の複数の測定用メタライズ層3が形成された領域のうち、どの領域において凹部5の気密性が低下する可能性があるかを良好に確認しやすくなる。
Further, when it is confirmed that there is no electrical continuity between the pair of
また、測定用メタライズ層3のそれぞれが、平面視で各電子部品収納用パッケージ領域6の凹部5を囲繞するように形成されていることが好ましい。この構成により、一対の測定用端子4間の電気的接続状態を確認して、測定用メタライズ層3の状態を確認することにより、各電子部品収納用パッケージ領域6に対して凹部5の周囲領域における気密性をより良好に確認することができる。
Each of the measurement metallization layers 3 is preferably formed so as to surround the
また、図5、図6に示すように、測定用メタライズ層3が、一対の測定用端子4間で、直列回路或いは並列回路を形成していることが好ましい。図5において、図5(a)は、母基板1と格子状体2との間に測定用メタライズ層3が直列回路を形成している複数個取り電子部品収納用パッケージの一例を示す平面図であり、図5(b)は、図5(a)の母基板1における平面図である。なお、図5においては、一対の測定用端子4が、直列回路を形成した測定用メタライズ層3から格子状体2の主面に導出されていることを示している。図6において、図6(a)は、母基板1と格子状体2との間に測定用メタライズ層3が並列回路を形成している複数個取り電子部品収納用パッケージの一例を示す平面図であり、図6(b)は、図6(a)の母基板1における平面図である。なお、図6において、一対の測定用端子4が、並列回路を形成した測定用メタライズ層3から格子状体2の主面に導出されていることを示している。なお、図5(b)および図6(b)において、格子状体2が搭載されることにより凹部5が形成される領域の外周を破線にて示している。この構成により、一対の測定用端子4間の電気的導通状態を、凹部5を囲繞する測定用メタライズ層3の直列回路および並列回路により確認することができ、各電子部品収納用パッケージ領域6に対して凹部5の周囲領域における気密性をより良好に確認することができる。すなわち、測定用メタライズ層3の状態を、直列回路の場合においては、一対の測定用端子4間の電気的導通の有無により確認することができ、並列回路の場合においては、一対の測定用端子4間の抵抗値の差(断線がある場合の抵抗値と、断線がない場合の抵抗値の差)により確認することができる。例えば、実際には一対の測定用端子4等の抵抗値も合算して検出することとなるが、図6(b)のような並列回路を形成する測定用メタライズ層3の抵抗値が1/2R(それぞれの測定用メタライズ層3の抵抗値はR)の場合、一方の測定用メタライズ層3が断線した場合、測定用メタライズ層3の抵抗値は2倍のRとして算出される。
As shown in FIGS. 5 and 6, the
なお、並列回路の場合には、図6(b)に示すように、測定用メタライズ層3を凹部5の全周を囲むように配置しておくことにより、各電子部品収納用パッケージ領域6に対して凹部5の全周領域における気密性をより良好に確認することができるようになる。
In the case of a parallel circuit, as shown in FIG. 6B, by arranging the
また、母基板1は、電子部品収納用パッケージ領域6の配列領域よりも外側に外側ダミー領域を備えており、測定用端子4は、外側ダミー領域における母基板1の一方主面に導出していることが好ましい。この構成により、測定用端子4が各電子部品収納用パッケージ領域6以外の領域に導出しているので、測定用端子4を電子部品収納用パッケージ領域6の主面に形成する必要がなく、電子部品収納用パッケージ領域6における配線導体7の配設領域等に与える影響が小さくなり、測定用端子4を配置することができ、複数の電子部品収納用パッケージ領域を小型なものとして形成することができる。
Further, the
なお、外側ダミー領域は、母基板1の外周部に非製品部として形成され、母基板1の製造や搬送を容易にするための領域として用いることができ、母基板1を加工もしくは搬送する際の位置決め用および固定用として用いることができる。また、外側ダミー領域には、必要に応じて、配線導体7にめっき層を被着するためのめっき導通パターンや、配線基板の側面に外部回路基板に接続するための配線導体7を形成するための貫通穴が形成される。
The outer dummy area is formed as a non-product part on the outer peripheral portion of the
また、母基板1は、隣接する電子部品収納用パッケージ領域間に中間ダミー領域を備えており、測定用端子4は、中間ダミー領域における母基板1の一方主面に導出していることが好ましい。この構成により、測定用端子4が各電子部品収納用パッケージ領域6以外の領域に導出しているので、測定用端子4を電子部品収納用パッケージの主面に形成する必要がなく、電子部品収納用パッケージ領域6における配線導体7の配設領域等に与える影響が小さくなり、接続用メタライズ層4を配置することができ、複数の電子部品収納用パッケージ領域を小型なものとして形成することができる。
Moreover, the
なお、中間ダミー領域は、母基板1の電子部品収納用パッケージ領域6間に非製品部として形成され、必要に応じて、配線導体7にめっき層を被着するためのめっき導通パターンや、配線基板の側面に外部回路基板に接続するための配線導体7を形成するための貫通穴が形成される。
The intermediate dummy area is formed as a non-product part between the electronic component
また、図7に示すように、高さ位置の異なる層間のそれぞれに形成された測定用メタライズ層3同士は、接続用導体9により電気的に接続されていることが好ましい。この構成により、一対の測定用端子4間の電気的導通状態を確認することにより、各電子部品収納用パッケージ領域6の高さ位置の異なる層間のそれぞれの領域の状態を同時に確認することができるので、各電子部品収納用パッケージ領域6に対して凹部5の気密性の確認を効率良く、かつ良好に行うことができる。なお、測定用メタライズ層3が、母基板1と格子状体2との間および格子状体2間に形成される場合、これらの全ての測定用メタライズ層3を同様にして電気的に接続しておくことが好ましい。
Further, as shown in FIG. 7, it is preferable that the measurement metallization layers 3 formed in the respective layers having different height positions are electrically connected to each other by the
接続用導体9は、タングステンやモリブデン、銅、銀等の金属粉末メタライズから成り、測定用メタライズ層3を形成するためのメタライズペーストの印刷塗布に先立って母基板1用のセラミックグリーンシートまたは格子状体2用のセラミックグリーンシートに金型やパンチングによる打ち抜き方法またはレーザ加工等の加工方法により貫通導体用の貫通孔を形成し、この貫通孔に接続用導体9用のメタライズペーストをスクリーン印刷法等の印刷手段により充填しておき、これを母基板1用のセラミックグリーンシートおよび格子状体2用のセラミックグリーンシートとともに焼成することによって各領域に形成される。接続用導体9用のメタライズペーストは配線導体7用のメタライズペーストと同様にして作製されるが、有機バインダーや有機溶剤の量により充填に適した粘度に調製される。
The
また、各電子部品収納用パッケージ領域6のうち隣接する電子部品収納用パッケージの測定用メタライズ層3同士を接続用導体9により電気的に接続するようにしても構わない。例えば、母基板1および格子状体2に配列されている各電子部品収納用パッケージ領域6を列毎もしくは行毎に隣接する測定用メタライズ層3同士を接続用導体9により電気的に接続し、列毎もしくは行毎に配列した複数の電子部品収納用パッケージ領域6の測定用メタライズ層3が電気的に導通するようにしても良い。そして、これらの電気的に接続した測定用メタライズ層3に電気的に接続した一対の測定用端子4を母基板1の外表面または格子状体2の外表面に導出しておき、この一対の測定用端子4を介して、これらの測定用メタライズ層3の電気的導通状態を一括して確認することで、列毎もしくは行毎に配列した複数の電子部品収納用パッケージ領域6に対して凹部5の気密性の確認を効率良く行うことができる。また、各電子部品収納用パッケージ領域6のうち周囲のいくつかの測定用メタライズ層3同士が接続用導体9により電気的に接続されるようにしても良く、全ての電子部品収納用パッケージ領域6の測定用メタライズ層3が接続用導体9により電気的に接続されるようにしても構わない。また、測定用端子4の電気的導通がなく、複数の電子部品収納用パッケージ領域6の凹部5の気密性が低下している可能性が確認された場合、分割予定線8に沿って分割した後、電気的導通が確認されなかった電子部品収納用パッケージに対して凹部5の気密性を確認しても構わない。なお、上述の場合、接続用導体9は、測定用メタライズ層3が形成された層間と同じ層間である母基板1と格子状体2との間もしくは格子状体2間に、分割予定線8を跨って形成され、隣接する測定用メタライズ層3同士を電気的に接続する。
Further, the measurement metallized
また、図8に示すように、一対の測定用端子4が、測定用端子4よりも面積の大きな測定用パッド10により被覆されていることが好ましい。この構成により、電子部品収納用パッケージ領域6が小さく、測定用端子4が小さく形成される場合であっても、母基板1の外表面または格子状体2の外表面により大きく形成された測定用パッド9に測定用器具等を良好に接触させて確認できるので、一対の測定用端子4間の電気的導通状態を確認することができ、各電子部品収納用パッケージ領域6に対して凹部5の気密性を効率良く、かつ良好に確認することができる。
As shown in FIG. 8, the pair of
なお、このような測定用パッド10は、タングステンやモリブデン、銅、銀等の金属粉末メタライズから成り、母基板1用のセラミックグリーンシートまたは格子状体2用のセラミックグリーンシートの所定の領域に、測定用端子4を被覆するように、スクリーン印刷法等により測定用パッド10用のメタライズペーストを印刷塗布し、母基板1用のセラミックグリーンシートと格子状体2用のセラミックグリーンシートとを積層した後、そのメタライズペーストを母基板1用のセラミックグリーンシートおよび格子状体2用のセラミックグリーンシートとともに焼成することによって測定用端子4の外表面に被着される。測定用パッド10用のメタライズペーストは、配線導体7用のメタライズペーストと同様な手法により製作することができ、メタライズペーストは配線導体7用のメタライズペーストと同様にして作製されるが、有機バインダーや有機溶剤の量により印刷に適した粘度に調製される。
Note that such a
なお、測定用パッド10の母基板1または格子状体2の外表面に露出する部分には、測定用パッド10が酸化腐食するのを防止するために、配線導体7と同様に、厚み1〜10μm程度のNiめっき層と厚み0.1〜3μm程度の金(Au)めっき層とが電解めっき法や無電解めっき法により順次被着されていることが好ましい。
In order to prevent the
なお、本発明の複数個取り電子部品収納用パッケージの測定用端子4の電気的導通状態は、母基板1または格子状体2の外表面に導出した一対の測定用端子4の位置に合わせて配設された測定ピンを備える測定用器具を用いることで良好に確認することができる。また、一対の測定用端子4が外表面に複数導出している場合、それぞれの一対の測定用端子4の位置に合わせて配設された複数の測定ピンを備える測定用器具を用いることで、複数の一対の測定用端子4の電気的導通状態を同時に測定することができ、複数の電子部品収納用パッケージ領域6に対して効率良く確認することができる。
The electrical continuity state of the
なお、本発明は、上述のような複数個取り電子部品収納用パッケージに限って適用されるものではなく、個々の電子部品収納用パッケージに対しても適用することができる。次に、添付の図面を参照して、本発明の電子部品収納用パッケージの実施の形態について説明する。図9(a)は、本発明の電子部品収納用パッケージの実施の形態の一例を示す平面図、図9(b)は、図9(a)のE−E’線における断面図、図9(c)は、図9(a)のF−F’線における断面図である。図9において、11は絶縁基体、12は枠体、13はパッケージ測定用メタライズ層、14はパッケージ測定用端子、5は凹部、7は配線導体である。 The present invention is not limited to the multi-package electronic component storage package as described above, but can also be applied to individual electronic component storage packages. Next, an embodiment of an electronic component storage package of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 9A is a plan view showing an example of an embodiment of the electronic component storage package of the present invention, FIG. 9B is a cross-sectional view taken along the line EE ′ of FIG. (C) is sectional drawing in the FF 'line | wire of Fig.9 (a). In FIG. 9, 11 is an insulating substrate, 12 is a frame, 13 is a metallization layer for package measurement, 14 is a package measurement terminal, 5 is a recess, and 7 is a wiring conductor.
本発明の電子部品収納用パッケージは、絶縁基体11と、絶縁基体11の少なくとも一方主面に搭載された枠体12とを有する電子部品収納用パッケージであって、絶縁基体11と枠体12との間に埋設されたパッケージ測定用メタライズ層13と、パッケージ測定用メタライズ層13に電気的に接続されるとともに、絶縁基体11の外表面または枠体12の外表面まで導出された一対のパッケージ測定用端子14とを備えている。
The electronic component storage package of the present invention is an electronic component storage package having an insulating
絶縁基体11および枠体12は、酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、炭化珪素質焼結体等の電気絶縁材料から成り、例えば、酸化アルミニウム質焼結体から成る場合には、アルミナ(Al2O3)、シリカ(SiO2)、カルシア(CaO)、マグネシア(MgO)等の原料粉末に適当な有機溶剤、溶媒を添加混合して泥漿状となすとともにこれを従来周知のドクターブレード法やカレンダーロール法等を採用し、シート状に成形することによってセラミックグリーンシートを得、次にセラミックグリーンシートに適当な打ち抜き加工を施すとともに必要に応じて複数枚積層し、高温(約1500〜1800℃)で焼成することによって製作される。
The insulating
また、枠体12用のセラミックグリーンシートの所定の領域に、金型やパンチングマシンによる打ち抜き方法またはレーザ加工等の加工方法により凹部5となる貫通孔を形成しておき、枠体12用のセラミックグリーンシートを絶縁基体11用のセラミックグリーンシートの一方主面に積層して搭載することにより凹部5が形成される。そして、絶縁基体11用のセラミックグリーンシートと枠体12用のセラミックグリーンシートとをともに高温で焼成することにより、絶縁基体11と枠体12とが焼結一体化される。
In addition, a through-hole serving as the
また、絶縁基体11または枠体12には、配線導体7が形成されている。配線導体7は、凹部5内に収容される電子部品を外部電気回路基板に電気的に接続するための導電路として機能する。また、絶縁基体11または枠体12の表面および内部に形成された配線導体7は、必要に応じて絶縁基体11または枠体12を貫通する貫通導体により電気的に接続されている。このような貫通導体は、配線導体を形成するためのメタライズペーストの印刷塗布に先立って絶縁基体11用のセラミックグリーンシートまたは枠体12用のセラミックグリーンシートに金型やパンチングによる打ち抜き方法またはレーザ加工等の加工方法により貫通導体用の貫通孔を形成し、この貫通導体用の貫通孔に貫通導体用のメタライズペーストをスクリーン印刷法等の印刷手段により充填しておき、これを絶縁基体11用のセラミックグリーンシートおよび枠体12用のセラミックグリーンシートとともに焼成することによって各領域に形成される。配線導体7用のメタライズペーストおよび貫通導体用のメタライズペーストは有機バインダーや有機溶剤の量により充填に適した粘度に調製される。
A
また、配線導体7の絶縁基体11および枠体12の外表面に露出する部分は、ニッケル(Ni)、金(Au)等の耐蝕性に優れる金属を被着させておくと、配線導体7が酸化腐食することを有効に防止できるとともに、配線導体7と電子部品との接合、および配線導体7とAuワイヤや半田バンプ等の電気的接続、および配線導体7と外部の回路基板との接合を強固なものとすることができる。従って、配線導体7が絶縁基体11および枠体12の外表面に露出する部分には、厚み1〜10μm程度のNiめっき層と厚み0.1〜3μm程度の金(Au)めっき層とが電解めっき法や無電解めっき法により順次被着されている。
In addition, the portions exposed to the outer surface of the insulating
そして、本発明の電子部品収納用パッケージは、絶縁基体11と枠体12との間に埋設されたパッケージ測定用メタライズ層13と、パッケージ測定用メタライズ層13に電気的に接続されるとともに、絶縁基体11の外表面または枠体12の外表面まで導出された一対のパッケージ測定用端子14とを備えている。
The electronic component storage package of the present invention is electrically connected to the package
パッケージ測定用メタライズ層13は、凹部5の周囲、すなわち凹部5と電子部品収納用パッケージの外縁との間、かつ絶縁基体11と枠体12との間に埋設され、電子部品収納用パッケージの凹部5の気密性の状態を確認するためのものとして機能する。パッケージ測定用メタライズ層13は、タングステンやモリブデン、銅、銀等の金属粉末メタライズから成り、絶縁基体11用のセラミックグリーンシートまたは枠体12用のセラミックグリーンシートの所定の領域(絶縁基体11用のセラミックグリーンシートと枠体12用のセラミックグリーンシートとが積層される領域)にスクリーン印刷法等によりパッケージ測定用メタライズ層13用のメタライズペーストを印刷塗布し、絶縁基体11用のセラミックグリーンシートと枠体12用のセラミックグリーンシートとを積層した後、そのメタライズペーストを絶縁基体11用のセラミックグリーンシートおよび枠体12用のセラミックグリーンシートとともに焼成することによって絶縁基体11と枠体12との間に埋設されて形成される。測定メタライズ層3用のメタライズペーストは、配線導体7用のメタライズペーストと同様な手法により製作することができ、メタライズペーストは配線導体7用のメタライズペーストと同様にして作製されるが、有機バインダーや有機溶剤の量により印刷に適した粘度に調製される。
The package measuring
そして、絶縁基体11と枠体12とを積層することにより形成される凹部5の気密性をより良好に確認することができるようにするため、パッケージ測定用メタライズ層13は、凹部5の辺の長さよりも長くなるように形成しておくことが好ましい。ここで、パッケージ測定用メタライズ層13の辺の長さとは、この辺に沿ったパッケージ測定用メタライズ層13の長さをいう。
And in order to be able to confirm the airtightness of the recessed
そして、パッケージ測定用メタライズ層13の幅は、枠体12の幅よりも狭く形成される。なお、パッケージ測定用メタライズ層13の幅は、絶縁基体11および枠体12の材質や形状により異なるが、0.05mm以上となるように形成されることが好ましい。0.05mm未満であると、絶縁基体11用のセラミックグリーンシートまたは枠体12用のセラミックグリーンシートに、パッケージ測定用メタライズ層13のメタライズペーストを印刷塗布する際、印刷時のかすれ等により良好に形成することができなくなり、パッケージ測定用メタライズ層13が断線してしまう可能性がある。
The width of the package measuring
パッケージ測定用端子14は、パッケージ測定用メタライズ層13と電気的に接続された一対のものとして形成され、パッケージ測定用メタライズ層13から絶縁基体11の外表面または枠体12の外表面まで導出するための導電路として機能する。パッケージ測定用端子14は、タングステンやモリブデン、銅、銀等の金属粉末メタライズから成り、絶縁基体11用のセラミックグリーンシートまたは枠体12用のセラミックグリーンシートの所定の領域にスクリーン印刷法等によりパッケージ測定用端子用のメタライズペーストを印刷塗布し、絶縁基体11用のセラミックグリーンシートと枠体12用のセラミックグリーンシートとを積層した後、そのメタライズペーストを絶縁基体11用のセラミックグリーンシートおよび枠体12用のセラミックグリーンシートとともに焼成することによってパッケージ測定用メタライズ層13から絶縁基体11の外表面または枠体12の外表面まで導出されて形成される。パッケージ測定用端子14用のメタライズペーストは、配線導体7用のメタライズペーストと同様な手法により製作することができ、メタライズペーストは配線導体7用のメタライズペーストと同様にして作製されるが、有機バインダーや有機溶剤の量により印刷に適した粘度に調製される。
The
パッケージ測定用端子14は、絶縁基体11または枠体12の主面、或いは絶縁基体11または枠体12の側面等の外表面に導出される。絶縁基体11または枠体12の主面に導出する場合は、パッケージ測定用メタライズ層13から絶縁基体11または枠体12を貫通する貫通導体として絶縁基体11または枠体12の主面にかけてパッケージ測定用端子14を導出して形成しておけば良く、側面に導出する場合は、パッケージ測定用メタライズ層13から絶縁基体11または枠体12の側面にかけてパッケージ測定用端子14を導出して形成しておけば良い。
The
なお、絶縁基体11または枠体12の主面における配線導体7等の形成等により形成領域に制約がある場合は、パッケージ測定用端子14は、絶縁基体11または枠体12の側面に導出させておくことが好ましい。また、一対のパッケージ測定用端子14は、電気的導通状態を確認する際、効率良く行うことができるように絶縁基体11または枠体12の同一方向の面に導出させておくことが好ましい。
If the formation region is restricted due to the formation of the
なお、パッケージ測定用端子14の絶縁基体11または枠体12の外表面に露出する部分には、パッケージ測定用端子14が酸化腐食するのを防止するために、配線導体7と同様に、厚み1〜10μm程度のNiめっき層と厚み0.1〜3μm程度の金(Au)めっき層とが電解めっき法や無電解めっき法により順次被着されていることが好ましい。
In addition, in order to prevent the
パッケージ測定用メタライズ層13は、その製作工程中に絶縁基体11と枠体12との間に異物が入り込んだ際、上述の複数個取り電子部品収納用パッケージの場合と同様に、印刷工程時の塗布形成不具合または積層工程時の切断等が発生して断線する。これにより、一対のパッケージ測定用端子14を介して、パッケージ測定用メタライズ層13の電気的導通状態を確認することにより、電子部品収納用パッケージに対して凹部5の気密性を良好に確認することができる。
The
また、パッケージ測定用端子14間の電気的導通状態の確認は、電子部品収納用パッケージに形成された種々の配線導体の電気的導通状態の確認等を行う工程と同じ検査工程にて行うことにより、電子部品収納用パッケージに対して凹部5の気密性の確認を効率良く行うことができる。
The confirmation of the electrical continuity between the
また、図10に示すように、枠体12が複数層(図10においては、絶縁層12a,12b)からなる場合であっても良く、複数層からなる枠体12の層間に埋設されたパッケージ測定用メタライズ層13と、パッケージ測定用メタライズ層13に電気的に接続されるとともに、絶縁基体11または枠体12の外表面に導出された一対のパッケージ測定用端子14とを備えていても良い。このような枠体12は、絶縁層12a用のセラミックグリーンシートまたは絶縁層12b用のセラミックグリーンシートの所定の領域(絶縁層12a用のセラミックグリーンシートと絶縁層12b用のセラミックグリーンシートとが積層される領域)にスクリーン印刷法等によりパッケージ測定用メタライズ層13用のメタライズペーストを印刷塗布し、絶縁基体11用のセラミックグリーンシートと枠体12(絶縁層12a,12b)用のセラミックグリーンシートとを積層した後、そのメタライズペーストを絶縁基体11用のセラミックグリーンシートおよび枠体12用のセラミックグリーンシートとともに焼成することによって枠体12間に埋設して形成される。そして、電子部品収納用パッケージの製作工程中に、複数層からなる枠体12間に異物が入り込んだ場合、複数個取り電子部品収納用パッケージの場合と同様に、パッケージ測定用メタライズ層13は、異物の影響により印刷工程時の塗布形成不具合または積層工程時切断等が発生して断線する。このため、一対のパッケージ測定用端子14を介して、複数層からなる枠体2間に形成されたパッケージ測定用メタライズ層13の状態を確認することにより、電子部品収納用パッケージに対して凹部5の気密性を確認することができる。
Further, as shown in FIG. 10, the
なお、枠体12は、絶縁層12a,12bの2層から形成されている場合に限らず、3層以上から形成されていても良い。例えば、図11に示すように、枠体12が絶縁層12a,12b,12cの3層から形成されているような場合、パッケージ測定用メタライズ層13が、枠体2の高さ位置の異なる層間のそれぞれに埋設されていることが好ましい。この構成により、一対のパッケージ測定用端子14間の電気的導通状態を確認することにより、高さ位置の異なる層間のそれぞれの領域の状態を同時に確認することができるので、電子部品収納用パッケージに対して凹部の気密性の確認を効率良く、かつ良好に行うことができる。
The
また、図12に示すように、各層に形成されたパッケージ測定用メタライズ層13同士が接続用導体9により電気的に接続するようにしても構わない。これにより、各層のパッケージ測定用メタライズ層13の電気的導通状態を同時に測定することができ、電子部品収納用パッケージに対して凹部5の気密性を効率良く、かつ良好に確認することができる。なお、パッケージ測定用メタライズ層13が、絶縁基体11と枠体12との間および枠体12間に形成される場合、これら全てのパッケージ測定用メタライズ層13を同様にして電気的に接続しておくことが好ましい。
Further, as shown in FIG. 12, the package measurement metallization layers 13 formed in the respective layers may be electrically connected by the
また、図13に示すように、パッケージ測定用メタライズ層13が複数形成されており、複数のパッケージ測定用メタライズ層13のそれぞれに一対のパッケージ測定用端子14が電気的に接続されていることが好ましい。図13において、図13(a)は、絶縁基体11と枠体12との間にパッケージ測定用メタライズ層13が形成されている電子部品収納用パッケージの一例を示す平面図であり、図13(b)は、図13(a)の絶縁基体11における平面図である。なお、図13(b)において、枠体12が搭載されることにより凹部5が形成される領域の外周を破線にて示している。
Further, as shown in FIG. 13, a plurality of package measurement metallization layers 13 are formed, and a pair of
この構成により、電子部品収納用パッケージのパッケージ測定用メタライズ層13が形成された複数の領域に対して、一対のパッケージ測定用端子14を介して凹部5の気密性をより良好に確認することができる。
With this configuration, it is possible to better check the airtightness of the
また、一対のパッケージ測定用端子14間の電気的導通がないことが確認された際、それぞれのパッケージ測定用メタライズ層13の状態を確認することで電子部品収納用パッケージ内の複数のパッケージ測定用メタライズ層13が形成された領域のうち、どの領域において凹部5の気密性が低下する可能性があるかを良好に確認しやすくなる。
When it is confirmed that there is no electrical continuity between the pair of
また、パッケージ測定用メタライズ層13が、平面視で枠体2内を周回するように形成されていることが好ましい。パッケージ測定用メタライズ層13が電子部品収納用パッケージの凹部5を囲むこととなるので、一対のパッケージ測定用端子14間の電気的接続状態を確認することにより、電子部品収納用パッケージに対して凹部5の周囲領域における気密性をより良好に確認することができる。
Moreover, it is preferable that the
また、周回するパッケージ測定用メタライズ層13が、一対のパッケージ測定用端子14間で、直列回路或いは並列回路を形成していることが好ましい。図14において、図14(a)は、絶縁基体11と枠体12との間にパッケージ測定用メタライズ層13とが直列回路を形成している場合における絶縁基体1の平面図であり、図14(b)は、絶縁基体11と枠体12との間にパッケージ測定用メタライズ層13とが並列回路を形成している場合における絶縁基体1の平面図である。なお、図14においては、一対のパッケージ測定用端子14が、パッケージ測定用メタライズ層13から絶縁基体1の側面に導出していることを示している。この構成により、一対のパッケージ測定用端子14間の電気的導通状態を、凹部5を囲むパッケージ測定用メタライズ層14の直列回路および並列回路により確認することができ、電子部品収納用パッケージに対して凹部5の周囲領域における気密性をより良好に確認することができる。すなわち、パッケージ測定用メタライズ層13の状態の確認を、直列回路の場合においては、一対のパッケージ測定用端子14間の電気的導通の有無により確認することができ、並列回路の場合においては、一対のパッケージ測定用端子14間の抵抗値の差(断線がある場合の抵抗値と、断線がない場合の抵抗値の差)により確認することができる。
Further, it is preferable that the packaged
なお、並列回路の場合には、図14(b)に示すように、パッケージ測定用メタライズ層13を凹部5の全周を囲むように配置しておくことにより、電子部品収納用パッケージに対して凹部5の全周領域における気密性をより良好に確認することができるようになる。
In the case of a parallel circuit, as shown in FIG. 14B, the package
また、図15に示すように、パッケージ測定用端子14が、外表面においてパッケージ測定用端子14よりも面積の大きな測定用パッド10により被覆されていても良い。この構成により、電子部品収納用パッケージが小さく、パッケージ測定用端子14が小さく形成される場合であっても、絶縁基体11の外表面または枠体12の外表面に形成される測定用パッド10を用いて測定用器具等を良好に接触させて確認できるので、一対のパッケージ測定用端子14間の電気的導通状態を確認することができ、電子部品収納用パッケージに対して凹部5の気密性を効率良く、かつ良好に確認することができる。
Further, as shown in FIG. 15, the
本発明の電子装置は、上述の電子部品収納用パッケージと、電子部品収納用パッケージに搭載される電子部品とを備えている。この構成により、凹部5内の気密性が良好であることが確認された信頼性に優れた電子部品収納用パッケージに電子部品を搭載することとなり、信頼性の高い電子装置となる。
An electronic device according to the present invention includes the electronic component storage package described above and an electronic component mounted on the electronic component storage package. With this configuration, an electronic component is mounted on a highly reliable electronic component storage package that has been confirmed to have good airtightness in the
なお、上述の電子部品収納用パッケージの凹部5内に、ICチップやLSIチップ等の半導体素子、水晶振動子や圧電振動子等の圧電素子、各種センサ等の電子部品を搭載することにより電子装置となる。なお、複数個取り電子部品収納用パッケージにおいては、複数個取り電子部品収納用パッケージを分割予定線8に沿って分割した電子部品収納用パッケージに電子部品を搭載してもよいし、複数個取り配線基板の各電子部品収納用パッケージ領域6に複数の電子部品を搭載して複数個取り電子装置とした後に分割し、複数の電子装置を形成しても構わない。なお、複数個取り配線基板の各電子部品収納用パッケージ領域6に複数の電子部品を搭載した後に分割する場合、凹部5の気密性が良好であることが確認された電子部品収納用パッケージ領域6にのみ電子部品を搭載すれば良く、電子部品収納用パッケージ領域6に電子部品を搭載した後に電子部品収納用パッケージ領域6ごとに分割することにより、複数の信頼性に優れた電子装置を効率良く製作することができる。
An electronic device is provided by mounting a semiconductor element such as an IC chip or an LSI chip, a piezoelectric element such as a crystal oscillator or a piezoelectric vibrator, or various electronic parts such as various sensors in the
電子部品の搭載は、電子部品がフリップチップ型の半導体素子である場合には、はんだバンプや金バンプ、または導電性樹脂(異方性導電樹脂等)を介して、半導体素子の電極と配線導体7とを電気的に接続することにより行なわれ、また、電子部品がワイヤボンディング型の半導体素子である場合には、ガラス、樹脂、ろう材等の接合材により固定した後、ボンディングワイヤを介して半導体素子の電極と配線導体7とを電気的に接続することにより行なわれる。また、電子部品が水晶振動子等の圧電素子である場合には、導電性樹脂により圧電素子の固定と圧電素子の電極と配線導体7の電気的な接続を行なう。
When the electronic component is a flip-chip type semiconductor element, the electrode of the semiconductor element and the wiring conductor are connected via a solder bump, a gold bump, or a conductive resin (anisotropic conductive resin, etc.). In the case where the electronic component is a wire bonding type semiconductor element, it is fixed by a bonding material such as glass, resin, brazing material, etc. This is performed by electrically connecting the electrode of the semiconductor element and the
そして、電子部品は、封止はエポキシ樹脂等の封止樹脂により電子部品を覆うことにより行なったり、電子部品を覆うようにして載置した樹脂や金属、セラミックス等からなる蓋体をガラス、樹脂、ろう材等の接着剤により電子部品収納用パッケージに取着することにより封止される。 The electronic component is sealed by covering the electronic component with a sealing resin such as an epoxy resin, or a lid made of resin, metal, ceramics or the like placed so as to cover the electronic component is made of glass, resin. It is sealed by being attached to an electronic component storage package with an adhesive such as a brazing material.
なお、本発明は上述の実施の形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更を施すことは何ら差し支えない。例えば、複数個取り電子部品収納用パッケージにおいて、母基板1の両主面に格子状体2を搭載し、両主面に凹部5を形成したものであっても構わない。また、凹部5は、各電子部品収納用パッケージ領域6に一つ以上、すなわち複数の凹部5を形成したものであっても構わない。上述のような場合、それぞれの凹部5の周囲に測定用メタライズ層3を形成し、この測定用メタライズ層3に電気的に接続される一対の測定用端子4を形成しておけば良い。なお、上述のような例は、複数個取り電子部品収納用パッケージに限って適用されるものではなく、電子部品収納用パッケージに対しても適用することができる。
Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention. For example, in a multi-package electronic component storage package, the lattice-
1・・・母基板
2・・・格子状体
3・・・測定用メタライズ層
4・・・測定用端子
5・・・凹部
6・・・電子部品収納用パッケージ領域
7・・・配線導体
8・・・分割予定線
9・・・接続用導体
10・・・測定用パッド
11・・・絶縁基体
12・・・枠体
13・・・パッケージ測定用メタライズ層
14・・・パッケージ測定用端子
DESCRIPTION OF
Claims (17)
前記絶縁基体と前記枠体との間に埋設されたパッケージ測定用メタライズ層と、該パッケージ測定用メタライズ層に電気的に接続されるとともに、前記絶縁基体の外表面または前記枠体の外表面まで導出され、1つの前記パッケージ測定用メタライズ層に対して一対のパッケージ測定用端子とを備えることを特徴とする電子部品収納用パッケージ。 An electronic component storage package having an insulating base and a frame mounted on at least one main surface of the insulating base,
A metallization layer for package measurement embedded between the insulating base and the frame, and electrically connected to the metallization layer for package measurement, to the outer surface of the insulating base or the outer surface of the frame An electronic component storage package , which is derived and includes a pair of package measurement terminals for one of the package measurement metallization layers .
前記枠体の層間に埋設されたパッケージ測定用メタライズ層と、該パッケージ測定用メタライズ層に電気的に接続されるとともに、前記絶縁基体または枠体の外表面に導出され、1つの前記パッケージ測定用メタライズ層に対して一対のパッケージ測定用端子とを備えることを特徴とする電子部品収納用パッケージ。 An electronic component storage package having an insulating base and a frame body composed of a plurality of layers mounted on at least one main surface of the insulating base,
A metallization layer for package measurement embedded between the layers of the frame body, and is electrically connected to the metallization layer for package measurement, and is led out to the outer surface of the insulating substrate or the frame body . An electronic component storage package comprising a pair of package measurement terminals for the metallized layer .
前記各電子部品収納用パッケージ領域の前記母基板と格子状体との間に埋設された測定
用メタライズ層と、
該測定用メタライズ層に電気的に接続されるとともに、前記母基板の外表面または格子状体の外表面まで導出され、1つの前記測定用メタライズ層に対して一対の測定用端子とを備えることを特徴とする複数個取り電子部品収納用パッケージ。 A plurality of electronic component storage packages having a grid-like body disposed on at least one main surface of a mother board, and having a plurality of recesses and a plurality of electronic component storage package regions corresponding to the recesses,
A metallization layer for measurement embedded between the mother board and the lattice-like body of each electronic component storage package region;
It is electrically connected to the measurement metallization layer and led out to the outer surface of the mother substrate or the outer surface of the lattice-like body, and has a pair of measurement terminals for one measurement metallization layer. A package for storing multiple electronic components.
前記各電子部品収納用パッケージ領域の前記複数層からなる格子状体の層間に埋設された測定用メタライズ層と、該測定用メタライズ層に電気的に接続されるとともに、前記母基板の外表面または格子状体の外表面まで導出され、1つの前記測定用メタライズ層に対して一対の測定用端子とを備えることを特徴とする複数個取り電子部品収納用パッケージ。 A multi-package electronic component storage package having a plurality of layers and a plurality of recesses and a plurality of electronic component storage package regions corresponding to the recesses on at least one main surface of the mother board. Because
A metallization layer for measurement embedded between the layers of the plurality of layers of the electronic component storage package region, and electrically connected to the metallization layer for measurement, and an outer surface of the mother board or A package for storing a plurality of electronic components, wherein the package is led to the outer surface of the lattice-like body, and includes a pair of measurement terminals for one measurement metallization layer .
納用パッケージに搭載される電子部品とを備えた電子装置。 An electronic device comprising the electronic component storage package according to any one of claims 1 to 6 and an electronic component mounted on the electronic component storage package.
して得られた電子装置。 The multi-component electronic component storage package according to claim 7, and an electronic component mounted in the electronic component storage package region of the multi-component electronic component storage package. An electronic device obtained by dividing a plurality of electronic devices into electronic component storage package areas.
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