JP4885195B2 - ラップ盤 - Google Patents
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上定盤と下定盤との間に被加工物を介在させて、前記被加工物をラッピング加工するラップ盤において、
前記上定盤は円環状に形成され、前記上定盤の上方に複数の直方体状のレインフォースをその長手方向が前記上定盤の中心から放射方向に向くように配置しており、
各レインフォースの長手方向の中心を挟んで両側に吊りボルトが吊るされ、前記吊りボルトならびにレインフォースによって、前記上定盤の内周縁部及び外周縁部を連結したことを特徴とするラップ盤である。
上下動する吊り上げプレートと、円環状をなす前記上定盤と、複数の吊りシャフトと、複数の直方体状のレインフォースと、複数の吊りボルトとを備え、
前記複数の吊りシャフトの下端は、前記上定盤を周方向に均等割りした位置に配置されるように前記上定盤の上面に固着され、前記複数の吊りシャフトの上端は前記吊り上げプレートに固定されており、
前記各吊りシャフトには直方体状のレインフォースが取り付けられ、
前記複数の直方体状のレインフォースはその長手方向が前記上定盤の中心から放射方向に向くように上定盤の上方に配置され、
前記各レインフォースは、それぞれのレインフォースに取り付けられた吊りシャフトを挟んで長手方向の両側に前記吊りボルトが吊るされ、前記吊りボルトならびにレインフォースによって、前記上定盤の内周縁部及び外周縁部を連結したことを特徴とするラップ盤である。
上下動する吊り上げプレートを備え、
前記吊り上げプレートに固定され、吊り上げプレートに対する上下方向の相対変位が不可能な吊り部材と、
上定盤の熱膨張による反りに応じて、吊り上げプレートに対する上方向の相対変位が可能な吊り部材と、
を混在させて、前記上定盤を吊持したことを特徴とするラップ盤である。
吊り上げプレートに固定された第1の吊り部材と、
前記第1の吊り部材に固定され、前記上定盤の半径方向に沿って配置されたレインフォースと、
前記レインフォースに吊り下げられた第2の吊り部材と、を有し、
前記第1の吊り部材と前記第2の吊り部材によって前記上定盤を吊持したことを特徴とするラップ盤である。
吊り上げプレートに固定された第1の吊り部材と、
前記第1の吊り部材に固定され、前記上定盤の半径方向に沿って配置されたレインフォースと、
前記レインフォースに形成された長穴を通して吊り下げられ、前記半径方向ならびに上方向に変位可能な第2の吊り部材と、を有し、
前記第1の吊り部材と前記第2の吊り部材によって前記上定盤を吊持したことを特徴とするラップ盤である。
前記上定盤の中心に近い1点および前記上定盤の外周に近い1点は、前記半径方向ならびに上方向に変位が可能であることを特徴とするラップ盤である。
前記上定盤の半径方向ならびに上方向に変位可能な第1の吊り部材と、水平方向の位置が固定された第2の吊り部材と、前記半径方向ならびに上方向に変位可能な第3の吊り部材を、前記半径方向に沿って第1から第3の順に配置し、前記上定盤を吊持したことを特徴とするラップ盤である。
下端が前記上定盤に固定され上端が前記上定盤の半径方向ならびに上方向に変位可能な第1の吊り部材と、下端が前記上定盤に固定され上端の水平方向の位置が固定された第2の吊り部材と、下端が前記上定盤に固定され上端が前記半径方向ならびに上方向に変位可能な第3の吊り部材を、
前記上定盤の前記半径方向に沿って第1から第3の順に配置したことを特徴とするラップ盤である。
前記上定盤は円環状に形成され、前記上定盤の上方に複数の直方体状のレインフォースをその長手方向が前記上定盤の中心から放射方向に向くように配置しており、
各レインフォースの両端側にはそれぞれ上下方向に貫通する長穴を有し、前記各長穴の短径は吊りボルトのねじ部の直径よりも大きく且つ吊りボルトの頭部の直径よりも小さく、前記各長穴を通して吊りボルトが吊り下げられ、
各レインフォースならびに各レインフォースの両端側に吊り下げられた前記吊りボルトによって、前記上定盤の内周縁部及び外周縁部を連結したことを特徴とするラップ盤である。
図1は本発明にかかわるラップ盤1の概略構造を示す縦断面図であり、図2はラップ盤1の上定盤吊り上げ機構の一部断面図である。また、図3はレインフォース18の平面図であり、図4はラップ盤1の上定盤の平面図である。
不図示の回転機構によってサンギヤ45およびインターナルギヤ44の少なくとも何れか一方を回転させると、両ギヤによってキャリア41に回転駆動が与えられる。キャリア41はサンギヤ45を中心に遊星歯車運動を行い、自転および公転する。キャリア41の自転と公転の方向および回転速度はサンギヤ45およびインターナルギヤ44の回転数の比によって決まる。また、キャリア41に設けられた収容穴42はウェーハ30の直径よりも大きいため、キャリア41の運動に合わせてこの収容穴42の中でウェーハ30が自由に自転する。
ラップ盤1の停止時のラップ荷重を従来と同様の87kgにした場合と、上定盤19の形状を修正しラップ盤1停止時のラップ荷重を150kgにした場合の効果について、以下に具体的に説明する。
11…主シリンダ 11a…ロッド
12…サブシリンダ 12a…ロッド
13…吊り上げプレート
14…吊りシャフト
15a…ボルト 15b…座金 15c…貫通穴
16…座金
17…吊りボルト
18…レインフォース 18a…ブロック部材 18b…係合部
19…上定盤 19a…雌ねじ
20…撓み部分
21…長穴
22…固定ねじ
23…ブラケット
30…ウェーハ
31…下定盤
32…下定盤受け
33…研磨液供給ノズル
34…研磨液供給回路
35…温度センサ
36…研磨液タンク
37…アンプ
38…熱交換器
39…温度調節器
41…キャリア
42…収容穴
43…プラネットギヤ
44…インターナルギヤ
45…サンギヤ
50…ラップ盤
56…吊りボルト
57…上定盤
58…下定盤
60…キャリア。
Claims (11)
- 上定盤と下定盤との間に被加工物を介在させて、前記被加工物をラッピング加工するラップ盤において、
前記上定盤は円環状に形成され、前記上定盤の上方に複数の直方体状のレインフォースをその長手方向が前記上定盤の中心から放射方向に向くように配置しており、
各レインフォースの長手方向の中心を挟んで両側に吊りボルトが吊るされ、前記吊りボルトならびにレインフォースによって、前記上定盤の内周縁部及び外周縁部を連結したことを特徴とするラップ盤。 - 前記上定盤を吊り上げた位置で下方へ撓んだ周縁部を削り平坦化されたことを特徴とする請求項1に記載のラップ盤。
- 前記上定盤は吊りシャフトによって、上下動する吊り上げプレートに装着されていることを特徴とする請求項1に記載のラップ盤。
- 上定盤と下定盤との間に被加工物を介在させて、前記被加工物をラッピング加工するラップ盤において、
上下動する吊り上げプレートと、円環状をなす前記上定盤と、複数の吊りシャフトと、複数の直方体状のレインフォースと、複数の吊りボルトとを備え、
前記複数の吊りシャフトの下端は、前記上定盤を周方向に均等割りした位置に配置されるように前記上定盤の上面に固着され、前記複数の吊りシャフトの上端は前記吊り上げプレートに固定されており、
前記各吊りシャフトには直方体状のレインフォースが取り付けられ、
前記複数の直方体状のレインフォースはその長手方向が前記上定盤の中心から放射方向に向くように上定盤の上方に配置され、
前記各レインフォースは、それぞれのレインフォースに取り付けられた吊りシャフトを挟んで長手方向の両側に前記吊りボルトが吊るされ、前記吊りボルトならびにレインフォースによって、前記上定盤の内周縁部及び外周縁部を連結したことを特徴とするラップ盤。 - 上定盤と下定盤との間に被加工物を介在させて、前記被加工物をラッピング加工するラップ盤において、
上下動する吊り上げプレートを備え、
前記吊り上げプレートに固定され、吊り上げプレートに対する上下方向の相対変位が不可能な吊り部材と、
上定盤の熱膨張による反りに応じて、吊り上げプレートに対する上方向の相対変位が可能な吊り部材と、
を混在させて、前記上定盤を吊持したことを特徴とするラップ盤。 - 上定盤と下定盤との間に被加工物を介在させて、前記被加工物をラッピング加工するラップ盤において、
吊り上げプレートに固定された第1の吊り部材と、
前記第1の吊り部材に固定され、前記上定盤の半径方向に沿って配置されたレインフォースと、
前記レインフォースに吊り下げられた第2の吊り部材と、を有し、
前記第1の吊り部材と前記第2の吊り部材によって前記上定盤を吊持したことを特徴とするラップ盤。 - 上定盤と下定盤との間に被加工物を介在させて、前記被加工物をラッピング加工するラップ盤において、
吊り上げプレートに固定された第1の吊り部材と、
前記第1の吊り部材に固定され、前記上定盤の半径方向に沿って配置されたレインフォースと、
前記レインフォースに形成された長穴を通して吊り下げられ、前記半径方向ならびに上方向に変位可能な第2の吊り部材と、を有し、
前記第1の吊り部材と前記第2の吊り部材によって前記上定盤を吊持したことを特徴とするラップ盤。 - 上定盤と下定盤との間に被加工物を介在させて、前記被加工物をラッピング加工するラップ盤において、少なくとも前記上定盤の半径方向に沿って配置された3点で前記上定盤を吊り上げ、
前記上定盤の中心に近い1点および前記上定盤の外周に近い1点は、前記半径方向ならびに上方向に変位が可能であることを特徴とするラップ盤。 - 上定盤と下定盤との間に被加工物を介在させて、前記被加工物をラッピング加工するラップ盤において、
前記上定盤の半径方向ならびに上方向に変位可能な第1の吊り部材と、水平方向の位置が固定された第2の吊り部材と、前記半径方向ならびに上方向に変位可能な第3の吊り部材を、前記半径方向に沿って第1から第3の順に配置し、前記上定盤を吊持したことを特徴とするラップ盤。 - 上定盤と下定盤との間に被加工物を介在させて、前記被加工物をラッピング加工するラップ盤において、
下端が前記上定盤に固定され上端が前記上定盤の半径方向ならびに上方向に変位可能な第1の吊り部材と、下端が前記上定盤に固定され上端の水平方向の位置が固定された第2の吊り部材と、下端が前記上定盤に固定され上端が前記半径方向ならびに上方向に変位可能な第3の吊り部材を、
前記上定盤の前記半径方向に沿って第1から第3の順に配置したことを特徴とするラップ盤。 - 上定盤と下定盤との間に被加工物を介在させて、前記被加工物をラッピング加工するラップ盤において、
前記上定盤は円環状に形成され、前記上定盤の上方に複数の直方体状のレインフォースをその長手方向が前記上定盤の中心から放射方向に向くように配置しており、
各レインフォースの両端側にはそれぞれ上下方向に貫通する長穴を有し、前記各長穴の短径は吊りボルトのねじ部の直径よりも大きく且つ吊りボルトの頭部の直径よりも小さく、前記各長穴を通して吊りボルトが吊り下げられ、
各レインフォースならびに各レインフォースの両端側に吊り下げられた前記吊りボルトによって、前記上定盤の内周縁部及び外周縁部を連結したことを特徴とするラップ盤。
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