JP2002346918A - 両面研磨装置 - Google Patents
両面研磨装置Info
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- JP2002346918A JP2002346918A JP2001161064A JP2001161064A JP2002346918A JP 2002346918 A JP2002346918 A JP 2002346918A JP 2001161064 A JP2001161064 A JP 2001161064A JP 2001161064 A JP2001161064 A JP 2001161064A JP 2002346918 A JP2002346918 A JP 2002346918A
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- Japan
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- arm
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- surface plate
- outer peripheral
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- Pending
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 上定盤の撓みを抑えることにより被研磨物の
研磨精度を高める。 【解決手段】 上定盤２２の上方にアーム１１を位置
し、アーム１１と上定盤２２とを吊下げ部材１８によっ
て連結する。アーム１１の外周端面部に駆動ブラケット
２８を設け、駆動ブラケット２８に対応する上定盤２２
の外周端面部の部分に駆動ピン２７を設け、駆動ピン２
７を駆動ブラケット２８の溝２９に係合させる。駆動源
からの駆動力は、アーム１１からアーム１１外周端面部
の駆動ブラケット２８、上定盤２２外周端面部の駆動ピ
ン２７を介して上定盤２２側に伝達され、上定盤２２が
回転駆動させられる。動力伝達部が上定盤２２の外周端
面部に位置しているので、回転モーメントが上定盤２２
の研磨面に作用することはなく、上定盤が撓むことはな
く、被研磨物９の研磨精度を高めることができる。
研磨精度を高める。 【解決手段】 上定盤２２の上方にアーム１１を位置
し、アーム１１と上定盤２２とを吊下げ部材１８によっ
て連結する。アーム１１の外周端面部に駆動ブラケット
２８を設け、駆動ブラケット２８に対応する上定盤２２
の外周端面部の部分に駆動ピン２７を設け、駆動ピン２
７を駆動ブラケット２８の溝２９に係合させる。駆動源
からの駆動力は、アーム１１からアーム１１外周端面部
の駆動ブラケット２８、上定盤２２外周端面部の駆動ピ
ン２７を介して上定盤２２側に伝達され、上定盤２２が
回転駆動させられる。動力伝達部が上定盤２２の外周端
面部に位置しているので、回転モーメントが上定盤２２
の研磨面に作用することはなく、上定盤が撓むことはな
く、被研磨物９の研磨精度を高めることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、アルミディス
ク、半導体ウエハ等の薄板を研磨する両面研磨装置に関
し、特に、研磨時における上定盤の撓みを防止すること
ができる両面研磨装置に関するものである。
ク、半導体ウエハ等の薄板を研磨する両面研磨装置に関
し、特に、研磨時における上定盤の撓みを防止すること
ができる両面研磨装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種の両面研磨装置の一例が特許第３
１３３３００号公報に記載されている。すなわち、この
両面研磨装置は、回転可能に設けられる下定盤と、下定
盤の上方に回転可能かつ上下移動可能に設けられる上定
盤と、下定盤の中心部に回転可能に設けられるサンギア
と、下定盤の外周側に回転可能に設けられるインターナ
ルギアと、下定盤の上面側に設けられるとともに、サン
ギア及びインターナルギアに噛合されて、両ギアの回転
に追従して自転、公転可能であり、かつ複数枚のワーク
を保持可能な複数枚のキャリアとを具えている。
１３３３００号公報に記載されている。すなわち、この
両面研磨装置は、回転可能に設けられる下定盤と、下定
盤の上方に回転可能かつ上下移動可能に設けられる上定
盤と、下定盤の中心部に回転可能に設けられるサンギア
と、下定盤の外周側に回転可能に設けられるインターナ
ルギアと、下定盤の上面側に設けられるとともに、サン
ギア及びインターナルギアに噛合されて、両ギアの回転
に追従して自転、公転可能であり、かつ複数枚のワーク
を保持可能な複数枚のキャリアとを具えている。
【０００３】この場合、サンギアは駆動軸により回転駆
動され、下定盤は中空の駆動軸により回転駆動され、上
定盤は上定盤駆動軸により回転駆動され、インターナル
ギアは回転体により回転駆動されるようになっている。
動され、下定盤は中空の駆動軸により回転駆動され、上
定盤は上定盤駆動軸により回転駆動され、インターナル
ギアは回転体により回転駆動されるようになっている。
【０００４】また、上定盤駆動軸は、連結機構を介して
駆動プレートに連結され、駆動プレートは支持ブロック
及びホルダーを介して上定盤に連結され、上定盤駆動軸
の駆動力は、連結機構、駆動プレート、支持ブロック及
びホルダーを介して上定盤側に伝達されるようになって
いる。
駆動プレートに連結され、駆動プレートは支持ブロック
及びホルダーを介して上定盤に連結され、上定盤駆動軸
の駆動力は、連結機構、駆動プレート、支持ブロック及
びホルダーを介して上定盤側に伝達されるようになって
いる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構成の両面研磨装置にあっては、上定盤の上面側
に設けたホルダーと駆動プレートの下面側に設けた支持
ブロックとをフローティング状態で連結しているが、両
者の連結部が上定盤の研磨面の上方に位置しているため
に、両者の連結部に作用するモーメントによって上定盤
に撓みが発生してしまい、この上定盤の撓みにより被研
磨物の被研磨面にうねり等が発生し、被研磨物の研磨精
度が大幅に低下してしまう。
ような構成の両面研磨装置にあっては、上定盤の上面側
に設けたホルダーと駆動プレートの下面側に設けた支持
ブロックとをフローティング状態で連結しているが、両
者の連結部が上定盤の研磨面の上方に位置しているため
に、両者の連結部に作用するモーメントによって上定盤
に撓みが発生してしまい、この上定盤の撓みにより被研
磨物の被研磨面にうねり等が発生し、被研磨物の研磨精
度が大幅に低下してしまう。
【０００６】この発明は、前記のような従来のもののも
つ問題点を解決したものであって、上定盤に撓みが発生
するのを防止することにより被研磨物の被研磨面にうね
り等が発生するのを防止し、これにより被研磨物の研磨
精度を大幅に高めることができる両面研磨装置を提供す
ることを目的とするものである。
つ問題点を解決したものであって、上定盤に撓みが発生
するのを防止することにより被研磨物の被研磨面にうね
り等が発生するのを防止し、これにより被研磨物の研磨
精度を大幅に高めることができる両面研磨装置を提供す
ることを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記のような目的を達成
するためにこの発明は、回転可能に設けられる下定盤
と、該下定盤の上方に上下動可能かつ回転可能に設けら
れる上定盤と、下定盤の中心部に回転可能に設けられる
サンギアと、下定盤の外周側に回転可能に設けられるイ
ンターナルギアと、下定盤の上部に設けられるととも
に、サンギア及びインターナルギアに噛合して両ギアの
回転に追従して自転、公転可能であり、かつ被研磨物を
保持可能なキャリアとを具えた両面研磨装置において、
前記上定盤の上方にアームを設けて該アームを駆動源に
連結するとともに、該アームの外周端面部又は前記上定
盤の外周端面部の何れか一方に径方向外方に突出する駆
動ピンを設け、前記アームの外周端面部又は前記上定盤
の外周端面部の何れか他方に前記駆動ピンが回転方向に
所定のクリアランスをもって係合する溝を有する駆動ブ
ラケットを設け、前記駆動ピンと前記駆動ブラケットと
により前記アーム側の駆動力を前記上定盤側に伝達する
駆動力伝達機構を構成した手段を採用したものである。
また、前記アームと前記上定盤とを吊下げ部材を介して
相対的に接離可能に連結した手段を採用したものであ
る。さらに、前記上定盤を上下方向に２つに分割し、上
側上定盤を前記アーム側に一体に連結し、前記アーム及
び前記上側上定盤と前記下側上定盤とを吊下げ部材を介
して相対的に接離可能に連結した手段を採用したもので
ある。さらに、前記吊下げ部材はチェーン、シャフト又
はワイヤーである手段を採用したものである。さらに、
前記駆動源は、前記下定盤の下方又は前記上定盤の上方
に位置する手段を採用したものである。
するためにこの発明は、回転可能に設けられる下定盤
と、該下定盤の上方に上下動可能かつ回転可能に設けら
れる上定盤と、下定盤の中心部に回転可能に設けられる
サンギアと、下定盤の外周側に回転可能に設けられるイ
ンターナルギアと、下定盤の上部に設けられるととも
に、サンギア及びインターナルギアに噛合して両ギアの
回転に追従して自転、公転可能であり、かつ被研磨物を
保持可能なキャリアとを具えた両面研磨装置において、
前記上定盤の上方にアームを設けて該アームを駆動源に
連結するとともに、該アームの外周端面部又は前記上定
盤の外周端面部の何れか一方に径方向外方に突出する駆
動ピンを設け、前記アームの外周端面部又は前記上定盤
の外周端面部の何れか他方に前記駆動ピンが回転方向に
所定のクリアランスをもって係合する溝を有する駆動ブ
ラケットを設け、前記駆動ピンと前記駆動ブラケットと
により前記アーム側の駆動力を前記上定盤側に伝達する
駆動力伝達機構を構成した手段を採用したものである。
また、前記アームと前記上定盤とを吊下げ部材を介して
相対的に接離可能に連結した手段を採用したものであ
る。さらに、前記上定盤を上下方向に２つに分割し、上
側上定盤を前記アーム側に一体に連結し、前記アーム及
び前記上側上定盤と前記下側上定盤とを吊下げ部材を介
して相対的に接離可能に連結した手段を採用したもので
ある。さらに、前記吊下げ部材はチェーン、シャフト又
はワイヤーである手段を採用したものである。さらに、
前記駆動源は、前記下定盤の下方又は前記上定盤の上方
に位置する手段を採用したものである。
【０００８】
【作用】この発明は、前記のような手段を採用したこと
により、駆動源の駆動力は、駆動源からアームに伝達さ
れるとともに、アームの外周端面部から駆動力伝達機構
の駆動ピン及び駆動ブラケットを介して上定盤の外周端
面部に伝達され、上定盤が回転駆動されることになる。
さらに、アームと上定盤とは吊下げ部材を介して相対的
に接離可能に連結されることになり、上定盤のみの荷重
又はアームと上定盤の合計荷重が下定盤に加えられるこ
とになる。さらに、上定盤を上下方向に２つに分割した
場合には、吊り下げ部材を介して下側上定盤のみの荷重
又はアームと上側及び下側上定盤の合計荷重が下定盤側
に加えられることになる。
により、駆動源の駆動力は、駆動源からアームに伝達さ
れるとともに、アームの外周端面部から駆動力伝達機構
の駆動ピン及び駆動ブラケットを介して上定盤の外周端
面部に伝達され、上定盤が回転駆動されることになる。
さらに、アームと上定盤とは吊下げ部材を介して相対的
に接離可能に連結されることになり、上定盤のみの荷重
又はアームと上定盤の合計荷重が下定盤に加えられるこ
とになる。さらに、上定盤を上下方向に２つに分割した
場合には、吊り下げ部材を介して下側上定盤のみの荷重
又はアームと上側及び下側上定盤の合計荷重が下定盤側
に加えられることになる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面に示すこの発明の実施
の形態について説明する。図１〜図５には、この発明に
よる両面研磨装置の第１の実施の形態が示されていて、
この両面研磨装置１は、回転可能に設けられる下定盤２
と、下定盤２の上方に回転可能かつ上下移動可能に設け
られる上定盤２２と、上定盤２２の上方に回転可能かつ
上下動可能に設けられるアーム１１と、アーム１１と上
定盤２２との間に設けられる動力伝達機構２６と、下定
盤２の中心部に回転可能に設けられるサンギア６及びド
ライバー４と、下定盤２の外周側に回転可能に設けられ
るインターナルギア７と、下定盤２の上面側に設けられ
るとともに、サンギア６及びインターナルギア７に噛合
して両ギア６、７の回転に追従して自転、公転可能であ
り、かつ少なくとも１つの被研磨物９を保持可能なキャ
リア８とを具えている。
の形態について説明する。図１〜図５には、この発明に
よる両面研磨装置の第１の実施の形態が示されていて、
この両面研磨装置１は、回転可能に設けられる下定盤２
と、下定盤２の上方に回転可能かつ上下移動可能に設け
られる上定盤２２と、上定盤２２の上方に回転可能かつ
上下動可能に設けられるアーム１１と、アーム１１と上
定盤２２との間に設けられる動力伝達機構２６と、下定
盤２の中心部に回転可能に設けられるサンギア６及びド
ライバー４と、下定盤２の外周側に回転可能に設けられ
るインターナルギア７と、下定盤２の上面側に設けられ
るとともに、サンギア６及びインターナルギア７に噛合
して両ギア６、７の回転に追従して自転、公転可能であ
り、かつ少なくとも１つの被研磨物９を保持可能なキャ
リア８とを具えている。
【００１０】下定盤２は、円板状に形成されるものであ
って、中心部には上下方向に貫通する孔３が設けられ、
上面側には研磨パッドが貼着されるようになっている。
下定盤２は、下定盤２の下方に位置する駆動源（図示せ
ず）に連結され、駆動源の作動時に水平方向に回転駆動
するようになっている。下定盤２の中心部の孔３内には
下方から駆動軸３０が挿通するようになっている。駆動
軸３０は、下定盤２の下方に位置する駆動源（図示せ
ず）に連結されるようになっている。なお、下定盤２の
上面側に研磨パッドを貼着しなくても良いものである。
って、中心部には上下方向に貫通する孔３が設けられ、
上面側には研磨パッドが貼着されるようになっている。
下定盤２は、下定盤２の下方に位置する駆動源（図示せ
ず）に連結され、駆動源の作動時に水平方向に回転駆動
するようになっている。下定盤２の中心部の孔３内には
下方から駆動軸３０が挿通するようになっている。駆動
軸３０は、下定盤２の下方に位置する駆動源（図示せ
ず）に連結されるようになっている。なお、下定盤２の
上面側に研磨パッドを貼着しなくても良いものである。
【００１１】ドライバー４は、円柱状に形成されるもの
であって、駆動軸３０の上端部に一体に連結され、駆動
軸３０と一体に水平方向に回動駆動するようになってい
る。ドライバー４の外周面には上下方向を向く係合溝５
が４箇所に設けられ、この係合溝５内に後述するアーム
１１側のドライバーフック１７が係合するようになって
いる。
であって、駆動軸３０の上端部に一体に連結され、駆動
軸３０と一体に水平方向に回動駆動するようになってい
る。ドライバー４の外周面には上下方向を向く係合溝５
が４箇所に設けられ、この係合溝５内に後述するアーム
１１側のドライバーフック１７が係合するようになって
いる。
【００１２】サンギア６は、円板状に形成されるもので
あって、駆動軸３０のドライバー４の下部に一体に連結
され、駆動軸３０と一体に水平方向に回転駆動するよう
になっている。サンギア６の外周面には所定のギアが設
けられ、このギアと後述するキャリア８のギアとが相互
に噛合するようになっている。
あって、駆動軸３０のドライバー４の下部に一体に連結
され、駆動軸３０と一体に水平方向に回転駆動するよう
になっている。サンギア６の外周面には所定のギアが設
けられ、このギアと後述するキャリア８のギアとが相互
に噛合するようになっている。
【００１３】インターナルギア７は、下定盤２の外周側
に設けられる環状をなすものであって、内周面には所定
のギアが設けられ、このギアと後述するキャリア８のギ
アとが相互に噛合するようになっている。インターナル
ギア７は、下定盤２の下方に位置する駆動源（図示せ
ず）に連結され、駆動源の作動時に水平方向に回転する
ようになっている。
に設けられる環状をなすものであって、内周面には所定
のギアが設けられ、このギアと後述するキャリア８のギ
アとが相互に噛合するようになっている。インターナル
ギア７は、下定盤２の下方に位置する駆動源（図示せ
ず）に連結され、駆動源の作動時に水平方向に回転する
ようになっている。
【００１４】キャリア８は、円板状に形成されるもので
あって、少なくとも１箇所に上下方向に貫通する孔が設
けられ、この孔内にアルミディスク、半導体ウエハ等の
円板状の被研磨物９が装填されるようになっている。キ
ャリア８の外周面には所定のギアが設けられ、このギア
とサンギア６のギア及びインターナルギア７のギアとが
相互に噛合するようになっている。キャリア８は、下定
盤２の上部に少なくとも１枚設ければ良いものである。
あって、少なくとも１箇所に上下方向に貫通する孔が設
けられ、この孔内にアルミディスク、半導体ウエハ等の
円板状の被研磨物９が装填されるようになっている。キ
ャリア８の外周面には所定のギアが設けられ、このギア
とサンギア６のギア及びインターナルギア７のギアとが
相互に噛合するようになっている。キャリア８は、下定
盤２の上部に少なくとも１枚設ければ良いものである。
【００１５】駆動軸３０の軸線方向上方には上下動用シ
リンダ（図示せず）が設けられ、この上下動用シリンダ
のロッド（図示せず）に吊り軸１０が連結されるように
なっている。吊り軸１０にはアーム１１及び吊下げ部材
１８を介して上定盤２２が連結されるようになってい
る。
リンダ（図示せず）が設けられ、この上下動用シリンダ
のロッド（図示せず）に吊り軸１０が連結されるように
なっている。吊り軸１０にはアーム１１及び吊下げ部材
１８を介して上定盤２２が連結されるようになってい
る。
【００１６】アーム１１は、吊り軸１０の下端部に連結
される円板状の基部１２と、基部１２の外周部に一体に
連結される斜め下方に向って放射状に広がる６本の斜部
１３と、各斜部１３の先端から水平方向に延出する支持
部１４とから構成されている。各支持部１４には上下方
向に貫通する孔１５が１箇所に設けられ、この孔１５内
を後述する吊下げ部材１８のチェーン１９が挿通するよ
うになっている。基部１２の下面側にはＬ型状の支持部
材１６が一体に連結され、この支持部材１６にアーム１
１とドライバー４とを一体に連結するドライバーフック
１７が回動自在に設けられるようになっている。ドライ
バーフック１７はカムフォロア等を使用することができ
る。なお、アーム１１は、前記の形状に限定することな
く、他の形状であっても良いものであり、例えば、円板
状の基部１２の外周部に、垂直方向下方を向く連結部材
を一体に設け、その下端に水平を向く支持部を一体に設
ける構成等としても良いものである（図示せず）。
される円板状の基部１２と、基部１２の外周部に一体に
連結される斜め下方に向って放射状に広がる６本の斜部
１３と、各斜部１３の先端から水平方向に延出する支持
部１４とから構成されている。各支持部１４には上下方
向に貫通する孔１５が１箇所に設けられ、この孔１５内
を後述する吊下げ部材１８のチェーン１９が挿通するよ
うになっている。基部１２の下面側にはＬ型状の支持部
材１６が一体に連結され、この支持部材１６にアーム１
１とドライバー４とを一体に連結するドライバーフック
１７が回動自在に設けられるようになっている。ドライ
バーフック１７はカムフォロア等を使用することができ
る。なお、アーム１１は、前記の形状に限定することな
く、他の形状であっても良いものであり、例えば、円板
状の基部１２の外周部に、垂直方向下方を向く連結部材
を一体に設け、その下端に水平を向く支持部を一体に設
ける構成等としても良いものである（図示せず）。
【００１７】吊下げ部材１８は、アーム１１の支持部１
４の孔１５内を所定のクリアランスをもって挿通するチ
ェーン１９と、支持部１４の上面側に設けられる円板状
の固定板２１とから構成されている。チェーン１９の上
端は支持部１４の孔１５を挿通して固定板２１に連結さ
れ、下端は上定盤２２の上面側に連結されるようになっ
ている。この場合、チェーン１９は、アーム１１と上定
盤２２とを接触させたときに所定の弛みが生じる長さに
調整されている。
４の孔１５内を所定のクリアランスをもって挿通するチ
ェーン１９と、支持部１４の上面側に設けられる円板状
の固定板２１とから構成されている。チェーン１９の上
端は支持部１４の孔１５を挿通して固定板２１に連結さ
れ、下端は上定盤２２の上面側に連結されるようになっ
ている。この場合、チェーン１９は、アーム１１と上定
盤２２とを接触させたときに所定の弛みが生じる長さに
調整されている。
【００１８】上定盤２２は、円板状に形成されるもので
あって、中心部には上下方向に貫通する孔２５が設けら
れ、下面側には研磨パッドが貼着されるようになってい
る。上定盤２２は、吊下げ部材１８を介してアーム１１
に連結され、吊下げ部材１８を介してアーム１１と一体
に上下方向に移動可能となっている。そして、アーム１
１の下降位置を調整することにより上定盤２２のみの荷
重又は上定盤２２とアーム１１との合計荷重を下定盤２
側に加えることができるものである。なお、上定盤２２
の下面側に研磨パッドを貼着しなくても良いものであ
る。
あって、中心部には上下方向に貫通する孔２５が設けら
れ、下面側には研磨パッドが貼着されるようになってい
る。上定盤２２は、吊下げ部材１８を介してアーム１１
に連結され、吊下げ部材１８を介してアーム１１と一体
に上下方向に移動可能となっている。そして、アーム１
１の下降位置を調整することにより上定盤２２のみの荷
重又は上定盤２２とアーム１１との合計荷重を下定盤２
側に加えることができるものである。なお、上定盤２２
の下面側に研磨パッドを貼着しなくても良いものであ
る。
【００１９】上定盤２２の外周部とアーム１１の外周部
との間には動力伝達機構２６が設けられるようになって
いる。動力伝達機構２６は、各アーム１１の外周端面部
に一体に設けられる駆動ブラケット２８と、各駆動ブラ
ケット２８に対応する上定盤２２の外周端面部の部分に
一体に設けられる駆動ピン２７とから構成されている。
駆動ブラケット２８には上定盤２２の中心方向を向くＵ
形状の溝２９が貫通した状態で設けられ、この溝２９内
に駆動ピン２７が上下方向及び上定盤２２の回転方向に
所定のクリアランスをもって係合するようになってい
る。駆動ブラケット２８の溝２９と駆動ピン２７とのク
リアランスは、アーム１１の支持部１４の孔１５と吊下
げ部材１８のチェーン１９とのクリアランスよりも小さ
く設定されている。駆動ピン２７にはカムフォロア等を
使用することができる。駆動ブラケット２８及び駆動ピ
ン２７は、上定盤２２の外周端面部とアーム１１の外周
端面部との間に３セット以上設ける必要がある。なお、
図示はしないが、アーム１１側に駆動ピン２７を設け、
上定盤２２側に駆動ブラケット２８を設けるようにして
も良い。また、駆動ピン２７と駆動ブラケット２８の組
合せに限らず、他の組合せであっても良い。
との間には動力伝達機構２６が設けられるようになって
いる。動力伝達機構２６は、各アーム１１の外周端面部
に一体に設けられる駆動ブラケット２８と、各駆動ブラ
ケット２８に対応する上定盤２２の外周端面部の部分に
一体に設けられる駆動ピン２７とから構成されている。
駆動ブラケット２８には上定盤２２の中心方向を向くＵ
形状の溝２９が貫通した状態で設けられ、この溝２９内
に駆動ピン２７が上下方向及び上定盤２２の回転方向に
所定のクリアランスをもって係合するようになってい
る。駆動ブラケット２８の溝２９と駆動ピン２７とのク
リアランスは、アーム１１の支持部１４の孔１５と吊下
げ部材１８のチェーン１９とのクリアランスよりも小さ
く設定されている。駆動ピン２７にはカムフォロア等を
使用することができる。駆動ブラケット２８及び駆動ピ
ン２７は、上定盤２２の外周端面部とアーム１１の外周
端面部との間に３セット以上設ける必要がある。なお、
図示はしないが、アーム１１側に駆動ピン２７を設け、
上定盤２２側に駆動ブラケット２８を設けるようにして
も良い。また、駆動ピン２７と駆動ブラケット２８の組
合せに限らず、他の組合せであっても良い。
【００２０】そして、上記のように構成したこの実施の
形態による両面研磨装置１のキャリア８の孔内に被研磨
物９を装填し、アーム１１と一体に上定盤２２を下降さ
せて上定盤２２の下面を被研磨物９の上面側に当接さ
せ、アーム１１側のドライバーフック１７をドライバー
４側の係合溝５内に係合させる。
形態による両面研磨装置１のキャリア８の孔内に被研磨
物９を装填し、アーム１１と一体に上定盤２２を下降さ
せて上定盤２２の下面を被研磨物９の上面側に当接さ
せ、アーム１１側のドライバーフック１７をドライバー
４側の係合溝５内に係合させる。
【００２１】そして、この状態で駆動源を作動させて下
定盤２、上定盤２２、サンギア６及びインターナルギア
７を回転させると、サンギア６とインターナルギア７と
の協働によりキャリア８が上下定盤２、２２間で公転、
自転し、キャリア８に保持されている被研磨物９の上下
面が研磨されるものである。
定盤２、上定盤２２、サンギア６及びインターナルギア
７を回転させると、サンギア６とインターナルギア７と
の協働によりキャリア８が上下定盤２、２２間で公転、
自転し、キャリア８に保持されている被研磨物９の上下
面が研磨されるものである。
【００２２】この場合、上定盤２２を回転駆動させる駆
動力は、駆動源からアーム１１に伝達されるとともに、
アーム１１からアーム１１外周端面部と上定盤２２外周
端面部との間の動力伝達機構２６（駆動ブラケット２８
及び駆動ピン２７）を介して上定盤２２側に伝達される
ことになる。すなわち、上定盤２２の研磨面の外側に動
力伝達部が位置することになる。
動力は、駆動源からアーム１１に伝達されるとともに、
アーム１１からアーム１１外周端面部と上定盤２２外周
端面部との間の動力伝達機構２６（駆動ブラケット２８
及び駆動ピン２７）を介して上定盤２２側に伝達される
ことになる。すなわち、上定盤２２の研磨面の外側に動
力伝達部が位置することになる。
【００２３】したがって、回転モーメントが上定盤２２
の研磨面に作用することはないので、上定盤２２が回転
モーメントの作用によって撓むようなことはなく、被研
磨物９の被研磨面に上定盤２２の撓みによるうねりが発
生するようなことはなく、被研磨物９の研磨精度を大幅
に高めることができることになる。
の研磨面に作用することはないので、上定盤２２が回転
モーメントの作用によって撓むようなことはなく、被研
磨物９の被研磨面に上定盤２２の撓みによるうねりが発
生するようなことはなく、被研磨物９の研磨精度を大幅
に高めることができることになる。
【００２４】なお、前記の場合、アーム１１の上下方向
位置を調整して、最初に上定盤２２のみの荷重を被研磨
物９に加えて研磨を行い、次いでアーム１１と上定盤２
２との合計荷重を被研磨物９に加えて研磨を行うように
しても良いものである。そして、このような研磨を行う
ことにより、下定盤２の平面度に応じて被研磨物９に対
する荷重を変えることができるので、下定盤２の平面度
に影響されることなく一定の研磨精度が得られることに
なる。
位置を調整して、最初に上定盤２２のみの荷重を被研磨
物９に加えて研磨を行い、次いでアーム１１と上定盤２
２との合計荷重を被研磨物９に加えて研磨を行うように
しても良いものである。そして、このような研磨を行う
ことにより、下定盤２の平面度に応じて被研磨物９に対
する荷重を変えることができるので、下定盤２の平面度
に影響されることなく一定の研磨精度が得られることに
なる。
【００２５】図６には、この発明による両面研磨装置の
第２の実施の形態が示されていて、この両面研磨装置１
は、吊下げ部材１８のチェーン１９の代わりにシャフト
２０を使用したものであって、その他の構成は前記第１
の実施の形態に示すものと同様である。
第２の実施の形態が示されていて、この両面研磨装置１
は、吊下げ部材１８のチェーン１９の代わりにシャフト
２０を使用したものであって、その他の構成は前記第１
の実施の形態に示すものと同様である。
【００２６】この場合、シャフト２０は、アーム１１と
上定盤２２とを接触させたときにシャフト２０の上端部
がアーム１１の支持部１４の上面から所定の長さ突出す
る長さに調整されている。また、アーム１１の支持部１
４の孔１５と吊下げ部材１８のシャフト２０とのクリア
ランスは、駆動ブラケット２８の溝と駆動ピン２７との
クリアランスよりも大きく設定されている。
上定盤２２とを接触させたときにシャフト２０の上端部
がアーム１１の支持部１４の上面から所定の長さ突出す
る長さに調整されている。また、アーム１１の支持部１
４の孔１５と吊下げ部材１８のシャフト２０とのクリア
ランスは、駆動ブラケット２８の溝と駆動ピン２７との
クリアランスよりも大きく設定されている。
【００２７】そして、この実施の形態による両面研磨装
置１にあっても、前記第１の実施の形態に示すものと同
様に、上定盤２２を回転駆動させる駆動力は、駆動源か
らアーム１１に伝達されるとともに、アーム１１からア
ーム１１外周端面部と上定盤２２外周端面部との間の動
力伝達機構２６（駆動ブラケット２８及び駆動ピン２
７）を介して上定盤２２側に伝達されることになる。す
なわち、上定盤２２の研磨面の外側に動力伝達部が位置
することになる。
置１にあっても、前記第１の実施の形態に示すものと同
様に、上定盤２２を回転駆動させる駆動力は、駆動源か
らアーム１１に伝達されるとともに、アーム１１からア
ーム１１外周端面部と上定盤２２外周端面部との間の動
力伝達機構２６（駆動ブラケット２８及び駆動ピン２
７）を介して上定盤２２側に伝達されることになる。す
なわち、上定盤２２の研磨面の外側に動力伝達部が位置
することになる。
【００２８】したがって、回転モーメントが上定盤２２
の研磨面に作用することはないので、上定盤２２が回転
モーメントの作用によって撓むようなことはなく、被研
磨物９の被研磨面に上定盤２２の撓みによるうねりが発
生するようなことはなく、被研磨物９の研磨精度を大幅
に高めることができることになる。
の研磨面に作用することはないので、上定盤２２が回転
モーメントの作用によって撓むようなことはなく、被研
磨物９の被研磨面に上定盤２２の撓みによるうねりが発
生するようなことはなく、被研磨物９の研磨精度を大幅
に高めることができることになる。
【００２９】なお、この実施の形態においても、アーム
１１の上下方向位置を調整して、最初に上定盤２２のみ
の荷重を被研磨物９に加えて研磨を行い、次いでアーム
１１と上定盤２２との合計荷重を被研磨物９に加えて研
磨を行うようにしても良いものである。そして、このよ
うな研磨を行うことにより、下定盤２の平面度に応じて
被研磨物９に対する荷重を変えることができるので、下
定盤２の平面度に影響されることなく一定の研磨精度が
得られることになる。
１１の上下方向位置を調整して、最初に上定盤２２のみ
の荷重を被研磨物９に加えて研磨を行い、次いでアーム
１１と上定盤２２との合計荷重を被研磨物９に加えて研
磨を行うようにしても良いものである。そして、このよ
うな研磨を行うことにより、下定盤２の平面度に応じて
被研磨物９に対する荷重を変えることができるので、下
定盤２の平面度に影響されることなく一定の研磨精度が
得られることになる。
【００３０】図７には、この発明による両面研磨装置の
第３の実施の形態が示されていて、この両面研磨装置１
は、上定盤２２を上下方向に２つに分割したものであっ
て、その他の構成は前記第１の実施の形態に示すものと
同様である。
第３の実施の形態が示されていて、この両面研磨装置１
は、上定盤２２を上下方向に２つに分割したものであっ
て、その他の構成は前記第１の実施の形態に示すものと
同様である。
【００３１】この場合、上側上定盤２３はアーム１１側
に一体に連結され、アーム１１の支持部１４の孔１５に
対応する上側上定盤２３の部分に上下方向に貫通する孔
２３ａが設けられ、これらの孔１５、２３ａ内を吊下げ
部材１８のチェーン１９が挿通するようになっている。
そして、チェーン１９の上端は支持部１４の上面側に位
置する固定板２１に連結され、下端は下側上定盤２４の
上面側に連結されるようになっている。また、動力伝達
機構２６の駆動ピン２７は下側上定盤２４の外周面に設
けられている。なお、３１は、上側上定盤２３と下側上
定盤２４とが接触したときの衝撃を吸収する弾性体であ
り、弾性体３１は、上側上定盤２３の下面側又は下側上
定盤２４の上面側に設けることができる（この実施の形
態においては、上側上定盤２３の下面側に設けてい
る）。
に一体に連結され、アーム１１の支持部１４の孔１５に
対応する上側上定盤２３の部分に上下方向に貫通する孔
２３ａが設けられ、これらの孔１５、２３ａ内を吊下げ
部材１８のチェーン１９が挿通するようになっている。
そして、チェーン１９の上端は支持部１４の上面側に位
置する固定板２１に連結され、下端は下側上定盤２４の
上面側に連結されるようになっている。また、動力伝達
機構２６の駆動ピン２７は下側上定盤２４の外周面に設
けられている。なお、３１は、上側上定盤２３と下側上
定盤２４とが接触したときの衝撃を吸収する弾性体であ
り、弾性体３１は、上側上定盤２３の下面側又は下側上
定盤２４の上面側に設けることができる（この実施の形
態においては、上側上定盤２３の下面側に設けてい
る）。
【００３２】そして、この実施の形態による両面研磨装
置１にあっても、前記第１の実施の形態に示すものと同
様に、上定盤２２を回転駆動させる駆動力は、駆動源か
らアーム１１に伝達されるとともに、アーム１１から動
力伝達機構２６（駆動ピン２７及び駆動ブラケット２
８）を介して上定盤２２側に伝達されることになる。す
なわち、上定盤２２の研磨面の外側に動力伝達部が位置
することになる。
置１にあっても、前記第１の実施の形態に示すものと同
様に、上定盤２２を回転駆動させる駆動力は、駆動源か
らアーム１１に伝達されるとともに、アーム１１から動
力伝達機構２６（駆動ピン２７及び駆動ブラケット２
８）を介して上定盤２２側に伝達されることになる。す
なわち、上定盤２２の研磨面の外側に動力伝達部が位置
することになる。
【００３３】したがって、回転モーメントが上定盤２２
の研磨面に作用することはないので、上定盤２２が回転
モーメントの作用によって撓むようなことはなく、被研
磨物９の被研磨面に上定盤２２の撓みによるうねりが発
生するようなことはなく、被研磨物９の研磨精度を大幅
に高めることができることになる。
の研磨面に作用することはないので、上定盤２２が回転
モーメントの作用によって撓むようなことはなく、被研
磨物９の被研磨面に上定盤２２の撓みによるうねりが発
生するようなことはなく、被研磨物９の研磨精度を大幅
に高めることができることになる。
【００３４】なお、この実施の形態においても、アーム
１１の上下方向位置を調整して、最初に下側上定盤２４
のみの荷重を被研磨物９に加えて研磨を行い、次いでア
ーム１１、上側上定盤２３及び下側上定盤２４の合計荷
重を被研磨物９に加えて研磨を行うようにしても良いも
のである。そして、このような研磨を行うことにより、
下定盤２の平面度に応じて被研磨物９に対する荷重を変
えることができるので、下定盤２の平面度に影響される
ことなく一定の研磨精度が得られることになる。
１１の上下方向位置を調整して、最初に下側上定盤２４
のみの荷重を被研磨物９に加えて研磨を行い、次いでア
ーム１１、上側上定盤２３及び下側上定盤２４の合計荷
重を被研磨物９に加えて研磨を行うようにしても良いも
のである。そして、このような研磨を行うことにより、
下定盤２の平面度に応じて被研磨物９に対する荷重を変
えることができるので、下定盤２の平面度に影響される
ことなく一定の研磨精度が得られることになる。
【００３５】図８には、この発明による両面研磨装置の
第４の実施の形態が示されていて、この両面研磨装置１
は、吊下げ部材１８のチェーン１９の代わりにシャフト
２０を使用したものであって、その他の構成は前記第３
の実施の形態に示すものと同様である。
第４の実施の形態が示されていて、この両面研磨装置１
は、吊下げ部材１８のチェーン１９の代わりにシャフト
２０を使用したものであって、その他の構成は前記第３
の実施の形態に示すものと同様である。
【００３６】この場合、シャフト２０の長さは、アーム
１１と上定盤２２とを接触させたときにシャフト２０の
上端部がアーム１１の支持部１４の上面から所定の長さ
突出する値に調整されている。また、アーム１１の支持
部１４の孔１５と吊下げ部材１８のシャフト２０とのク
リアランスは、駆動ブラケット２８の溝２９と駆動ピン
２７とのクリアランスよりも大きく設定されている。
１１と上定盤２２とを接触させたときにシャフト２０の
上端部がアーム１１の支持部１４の上面から所定の長さ
突出する値に調整されている。また、アーム１１の支持
部１４の孔１５と吊下げ部材１８のシャフト２０とのク
リアランスは、駆動ブラケット２８の溝２９と駆動ピン
２７とのクリアランスよりも大きく設定されている。
【００３７】そして、この実施の形態による両面研磨装
置１にあっても、前記第３の実施の形態に示すものと同
様に、上定盤２２を回転駆動させる駆動力は、駆動源か
らアーム１１に伝達されるとともに、アーム１１からア
ーム１１外周端面部と上定盤２２外周端面部との間の動
力伝達機構２６（駆動ブラケット２８及び駆動ピン２
７）を介して上定盤２２側に伝達されることになる。す
なわち、上定盤２２の研磨面の外側に動力伝達部が位置
することになる。
置１にあっても、前記第３の実施の形態に示すものと同
様に、上定盤２２を回転駆動させる駆動力は、駆動源か
らアーム１１に伝達されるとともに、アーム１１からア
ーム１１外周端面部と上定盤２２外周端面部との間の動
力伝達機構２６（駆動ブラケット２８及び駆動ピン２
７）を介して上定盤２２側に伝達されることになる。す
なわち、上定盤２２の研磨面の外側に動力伝達部が位置
することになる。
【００３８】したがって、回転モーメントが上定盤２２
の研磨面に作用することはないので、上定盤２２が回転
モーメントの作用によって撓むようなことはなく、被研
磨物９の被研磨面に上定盤２２の撓みによるうねりが発
生するようなことはなく、被研磨物９の研磨精度を大幅
に高めることができることになる。
の研磨面に作用することはないので、上定盤２２が回転
モーメントの作用によって撓むようなことはなく、被研
磨物９の被研磨面に上定盤２２の撓みによるうねりが発
生するようなことはなく、被研磨物９の研磨精度を大幅
に高めることができることになる。
【００３９】なお、この実施の形態においても、アーム
１１の上下方向の位置を調整して、最初に下側上定盤２
４のみの荷重を被研磨物９に加えて研磨を行い、次いで
アーム１１、上側上定盤２３及び下側上定盤２４の合計
荷重を被研磨物９に加えて研磨を行うようにしても良い
ものである。そして、このような研磨を行うことによ
り、下定盤２の平面度に応じて被研磨物９に対する荷重
を変えることができるので、下定盤２の平面度に影響さ
れることなく一定の研磨精度が得られることになる。
１１の上下方向の位置を調整して、最初に下側上定盤２
４のみの荷重を被研磨物９に加えて研磨を行い、次いで
アーム１１、上側上定盤２３及び下側上定盤２４の合計
荷重を被研磨物９に加えて研磨を行うようにしても良い
ものである。そして、このような研磨を行うことによ
り、下定盤２の平面度に応じて被研磨物９に対する荷重
を変えることができるので、下定盤２の平面度に影響さ
れることなく一定の研磨精度が得られることになる。
【００４０】なお、前記各実施の形態においては、下定
盤２の下方に位置する駆動源（図示せず）に駆動軸３
０、ドライバー４、及びドライバーフック１７を介して
アーム１１を連結するように構成したが、ドライバー４
及びドライバーフック１７を使用せずに、アーム１１の
上方に設けた駆動源（図示せず）にアーム１１を連結す
るようにしても良いものである。また、前記各実施の形
態においては、吊下げ部材１８にチェーン１９、シャフ
ト２０を用いたが、ワイヤー（図示せず）を用いても良
いものである。
盤２の下方に位置する駆動源（図示せず）に駆動軸３
０、ドライバー４、及びドライバーフック１７を介して
アーム１１を連結するように構成したが、ドライバー４
及びドライバーフック１７を使用せずに、アーム１１の
上方に設けた駆動源（図示せず）にアーム１１を連結す
るようにしても良いものである。また、前記各実施の形
態においては、吊下げ部材１８にチェーン１９、シャフ
ト２０を用いたが、ワイヤー（図示せず）を用いても良
いものである。
【００４１】
【発明の効果】この発明は、請求項１のように構成した
ことにより、駆動源からの駆動力はアームに伝達される
とともに、アームからアームの外周端面部と上定盤の外
周端面部の動力伝達機構（駆動ブラケット及び駆動ピ
ン）を介して上定盤側に伝達されることになる。したが
って、動力伝達部が上定盤の研磨面の外側に位置するこ
とになるので、回転モーメントが上定盤の研磨面に作用
するようなことはなくなり、上定盤が回転モーメントに
よって撓むようなことはなく、上定盤の撓みによって被
研磨物の研磨精度が低下するようなことはなく、被研磨
物の研磨精度を大幅に高めることができることになる。
ことにより、駆動源からの駆動力はアームに伝達される
とともに、アームからアームの外周端面部と上定盤の外
周端面部の動力伝達機構（駆動ブラケット及び駆動ピ
ン）を介して上定盤側に伝達されることになる。したが
って、動力伝達部が上定盤の研磨面の外側に位置するこ
とになるので、回転モーメントが上定盤の研磨面に作用
するようなことはなくなり、上定盤が回転モーメントに
よって撓むようなことはなく、上定盤の撓みによって被
研磨物の研磨精度が低下するようなことはなく、被研磨
物の研磨精度を大幅に高めることができることになる。
【００４２】また、請求項２〜４のように構成したこと
により、吊下げ部材を介して上定盤のみによる荷重又は
アームと上定盤との合計荷重を被研磨物側に加えること
ができるので、下定盤の平面度に応じて被研磨物に対す
る荷重を変えることができることになる。したがって、
下定盤の平面度に影響されることなく一定の研磨精度が
得られることになる。さらに、請求項５のように構成し
たことにより、アームと駆動源との連結部の構造を簡単
にすることができるので、安価なものを提供することが
できることになる。
により、吊下げ部材を介して上定盤のみによる荷重又は
アームと上定盤との合計荷重を被研磨物側に加えること
ができるので、下定盤の平面度に応じて被研磨物に対す
る荷重を変えることができることになる。したがって、
下定盤の平面度に影響されることなく一定の研磨精度が
得られることになる。さらに、請求項５のように構成し
たことにより、アームと駆動源との連結部の構造を簡単
にすることができるので、安価なものを提供することが
できることになる。
【図１】この発明による両面研磨装置の第１の実施の形
態を示した概略図である。
態を示した概略図である。
【図２】図１に示すもののドライバーとドライバーフッ
クとの関係を示した説明図である。
クとの関係を示した説明図である。
【図３】図１に示すもののアームの平面図である。
【図４】駆動ピンと駆動ブラケットとの関係を示した説
明図である。
明図である。
【図５】図４に示すもののＡ−Ａ線に沿って見た断面図
である。
である。
【図６】この発明による両面研磨装置の第２の実施の形
態を示した概略図である。
態を示した概略図である。
【図７】この発明による両面研磨装置の第３の実施の形
態を示した概略図である。
態を示した概略図である。
【図８】この発明による両面研磨装置の第４の実施の形
態を示した概略図である。
態を示した概略図である。
１……両面研磨装置 ２……下定盤 ３、１５、２３ａ、２５……孔 ４……ドライバー ５……係合溝 ６……サンギア ７……インターナルギア ８……キャリア ９……被研磨物 １０……吊り軸 １１……アーム １２……基部 １３……斜部 １４……支持部 １６……支持部材 １７……ドライバーフック １８……吊下げ部材 １９……チェーン ２０……シャフト ２１……固定板 ２２……上定盤 ２３……上側上定盤 ２４……下側上定盤 ２６……動力伝達機構 ２７……駆動ピン ２８……駆動ブラケット ２９……溝 ３０……駆動軸 ３１……弾性体
Claims (5)
- 【請求項１】 回転可能に設けられる下定盤と、該下定
盤の上方に上下動可能かつ回転可能に設けられる上定盤
と、下定盤の中心部に回転可能に設けられるサンギア
と、下定盤の外周側に回転可能に設けられるインターナ
ルギアと、下定盤の上部に設けられるとともに、サンギ
ア及びインターナルギアに噛合して両ギアの回転に追従
して自転、公転可能であり、かつ被研磨物を保持可能な
キャリアとを具えた両面研磨装置において、 前記上定盤の上方にアームを設けて該アームを駆動源に
連結するとともに、該アームの外周端面部又は前記上定
盤の外周端面部の何れか一方に径方向外方に突出する駆
動ピンを設け、前記アームの外周端面部又は前記上定盤
の外周端面部の何れか他方に前記駆動ピンが回転方向に
所定のクリアランスをもって係合する溝を有する駆動ブ
ラケットを設け、前記駆動ピンと前記駆動ブラケットと
により前記アーム側の駆動力を前記上定盤側に伝達する
駆動力伝達機構を構成したことを特徴とする両面研磨装
置。 - 【請求項２】 前記アームと前記上定盤とを吊下げ部材
を介して相対的に接離可能に連結した請求項１に記載の
両面研磨装置。 - 【請求項３】 前記上定盤を上下方向に２つに分割し、
上側上定盤を前記アーム側に一体に連結し、前記アーム
及び前記上側上定盤と前記下側上定盤とを吊下げ部材を
介して相対的に接離可能に連結した請求項１又は２に記
載の両面研磨装置。 - 【請求項４】 前記吊下げ部材はチェーン、シャフト又
はワイヤーである請求項２又は３に記載の両面研磨装
置。 - 【請求項５】 前記駆動源は、前記下定盤の下方又は前
記上定盤の上方に位置する請求項１〜４の何れかに記載
の両面研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001161064A JP2002346918A (ja) | 2001-05-29 | 2001-05-29 | 両面研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001161064A JP2002346918A (ja) | 2001-05-29 | 2001-05-29 | 両面研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002346918A true JP2002346918A (ja) | 2002-12-04 |
Family
ID=19004398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001161064A Pending JP2002346918A (ja) | 2001-05-29 | 2001-05-29 | 両面研磨装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002346918A (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| JP2009023088A (ja) * | 2008-10-30 | 2009-02-05 | Ｓｕｍｃｏ Ｔｅｃｈｘｉｖ株式会社 | ラップ盤 |
| WO2010150757A1 (ja) * | 2009-06-24 | 2010-12-29 | 旭硝子株式会社 | ガラスディスク研磨装置及びガラスディスク研磨方法 |
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-
2001
- 2001-05-29 JP JP2001161064A patent/JP2002346918A/ja active Pending
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