JP4881403B2 - パターン形成方法 - Google Patents

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Description

本発明は半導体装置の製造工程、ハードディスクの製造工程、フォトアレイの製造工程などに用いられるパターン形成方法に関する。
光ナノインプリント法による微細パターンの形成において、アスペクト比の高いパターンを形成する際の離型工程においてレジストパターンが切断されるという問題がある。この問題を解決するため、UV光吸収性を有する官能基を備えた被パターニング材料を用いることで、UV光照射時にパターンの堆積収縮を生じさせて離型時の摩擦を小さくする手法が開示されている(例えば、特許文献1参照。)。しかし、この手法では収縮後のパターンが台形形状になるなど、垂直側壁のパターンを得ることは難しかった。
特開2008−91782号公報
本発明は、半導体装置等の製造に用いられるインプリントリソグラフィ方法において、光硬化剤とテンプレートとの離型特性を向上することができるパターン形成方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係るパターン形成方法は、光硬化剤表面に
親水化成分を含む親水層を形成する工程と、凹部パターンが形成されたテンプレートを前
記親水層が形成された表面から前記光硬化剤に接触させて前記凹部パターンに前記光硬化
剤を充填する工程と、充填された前記光硬化剤に第一の光を照射して前記光硬化剤を硬化
する工程と、前記第一の光を照射後、前記親水層を有する前記光硬化剤に対して第二の光
を照射して、前記テンプレートの界面で前記光硬化剤を分解反応させてガスを生じさせる
工程と、前記テンプレートと前記光硬化剤を離型して光硬化剤パターンを形成する工程と
、を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、半導体装置等の製造に用いられるインプリントリソグラフィ方法において、光硬化剤とテンプレートとの離型特性を向上することができるパターン形成方法を提供することができる。
第1の実施形態に係るパターン形成方法を実施するためのナノインプリント装置の概略図。 第1の実施形態に係るパターン形成方法を説明するフローチャート。 第1の実施形態に係るパターン形成方法を説明する工程断面図。 第2の実施形態に係るパターン形成方法を説明するフローチャート。 第2の実施形態に係るパターン形成方法を説明する工程断面図。 第3の実施形態に係るパターン形成方法を説明するフローチャート。 第3の実施形態に係るパターン形成方法を説明する工程断面図。 第4の実施形態に係るパターン形成方法を説明するフローチャート。 第4の実施形態に係るパターン形成方法を説明する工程断面図。 第5の実施形態に係るパターン形成方法を実施するためのナノインプリント装置の概略図。 第5の実施形態に係るパターン形成方法を説明するフローチャート。 第5の実施形態に係るパターン形成方法を説明する工程断面図。 各実施形態に係るパターン形成方法に利用できる別のテンプレートの断面概略図。
以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。
(第1の実施形態)
第1の実施形態に係るインプリント法によるパターン形成方法を、図1乃至図3を用いて説明する。
まず、本実施形態に係るパターン形成方法に用いるインプリント装置の概略を説明する。図1は、本実施形態に係るパターン形成方法に用いるインプリント装置の概略構成図である。
インプリント装置100は、被処理基板200の主面(被パターン形成面)を上に向けて固定する被処理基板チャック104と、これを3次元的に移動させるための被処理基板用ステージ103と、被処理基板200上に選択的に光硬化剤を供給する光硬化剤塗布手段105と、凹部パターンが形成されたインプリント用テンプレート300を凹部パターン形成面が下方に向くように保持するテンプレート保持手段108と、テンプレート300を介して光硬化剤を硬化するための光を照射する第一の光源(例えば、UVランプ)106と、第一の光源106からの光照射により硬化した光硬化剤パターンの離型を促進するための照射を行う第二の光源107と、被処理基板表面(凹部パターン形成面)に光硬化剤を親水化させるための親水化成分を供給する高湿度供給手段109を具備している。第二の光源には、例えば波長λ<200nmの光源を用いることができ、本実施形態では、λ=175nmのエキシマランプを使用する。インプリント用のテンプレート300は、透明な石英基板にプラズマエッチングで凹部パターンが形成されたもの等である。なお、高湿度供給手段109は、図1に示すように装置100に具備されていても良いし、装置100の外部手段として設けられていてもよい。なお、被処理基板200及びテンプレート300は、図1の装置100を利用する際に装置内部にセットされるものであり、本装置100の構成には含まれない。
次に、図2及び図3を参照して、前述のインプリント装置を用いたパターン形成方法を説明する。図2は、本実施形態に係るパターン形成方法を説明するフローチャートである。図3は、本実施形態に係るパターン形成方法を説明する工程断面図である。
まず、本実施形態に係るパターン形成に用いる光硬化剤、例えばエポキシ樹脂を準備した(図2(a))。ただし、光硬化剤としても用いることができる樹脂はこれに限るものではなく、アクリル系ポリマー剤など、一般的にインプリント法に用いている光硬化材料であれば、如何なるものも用いることができる。
続いて、図3(a)に示すように、被処理基板200の主面を上に向けて被処理基板チャック104で固定したのち、被処理基板200を光硬化剤塗布手段105の直下に移動させて、被処理基板200の主面の被パターン形成領域に光硬化剤210を塗布形成した(図2(b))。光硬化剤210の塗布は、光硬化剤塗布手段105を走査させることで行った。なお、本実施形態では、被処理基板200上に選択的に光硬化剤210を塗布する。
次いで、図3(b)に示すように、高湿度供給手段109を用いて、光硬化剤の塗布膜表面に、光硬化剤210を親水化する親水化成分、例えば水分を吸着させて親水層218を形成した(図2(c))。光硬化剤表面に吸着させる親水化成分は水が好ましいが、ブタノール、ヘプタノール、ヘキサノール、オクタノールなどのアルコール物質を供給し吸着させても良く、さらには、これらのアルコールに水を混合したものを供給し吸着させてもよい。ここで、寸法制御性を高めるため、親水層218をできるかぎり薄く、硬化剤表面に1nm程度或いはそれ以下の膜厚で形成することが好ましい。そのため、高湿度供給手段109には蒸気発生手段を設け、蒸気により親水化成分の供給を行うことが好ましい。しかし、所望の厚さ精度で親水層218を形成できるのであれば、高湿度供給手段109を用いて、親水化成分をミストによって供給してもよいし、塗布によって供給してもよい。
続いて、図3(c)に示すように、親水層218を形成した基板200を、被処理基板用ステージを用いて、テンプレート保持手段によって保持されたテンプレート300の直下に移動させた。
さらに、図3(d)に示すように、被処理基板用ステージ103を上方に移動させて、被処理基板200上に形成した光硬化剤表層の親水層218とテンプレート300の凹部パターン面を接触させる(図2(d))。このとき光硬化剤210は、流動性を有するため、毛細管現象によりテンプレートの凹部パターン内に充填され、テンプレート300のパターン面と光硬化剤210の界面に、光硬化剤の親水化層218が形成される。ここで、パターンテンプレート300が合成石英の場合、光硬化剤表面の親水層218により、毛細管現象を効率よく行うことができ、充填不良を抑えることができる。一般に、表面張力γ、粘度ρの液体を半径rの毛管に上昇させたときの高さhと接触角θ(本実施形態では、テンプレートとレジスト表層の接触角)の関係はγcosθ=ρgrh/2で表せるが、充填性を高める、つまり高さhを大きくするには、cosθを小さくすることが望ましい。本実施形態では、合成石英と親水層の接触角θが小さいため、充填性を向上することができる。ここで充填不良とは、パターン内に光硬化剤が十分に充填されず、結果として所望寸法及び所望形状の光硬化剤パターンが形成されないことなどをいう。
光硬化剤218の充填後、被処理基板主面とテンプレートパターンとの位置あわせを行った後、テンプレート300の凹部パターン面と対向する面から、第一の光源を用いて光照射116(第一の光照射)して光硬化剤を硬化させる(図2(e))。なお、光源106には、波長300nmから400nmの範囲で発光するランプを用いた。この工程で用いる光源の波長は、光硬化剤が光を吸収して架橋反応を生じる波長を含むものであれば良く、高圧水銀ランプ、タングステンランプ、UV−LED、紫外線レーザーなど、光硬化剤の吸収帯に応じて選定すればよい。
次に、図3(e)に示すように、テンプレート300の凹部パターン面と対向する面から、第二の光源を用いて、波長172nmのXeエキシマランプ光を光硬化剤210の親水層218に照射(第二の光照射117)し、テンプレート300界面の光硬化剤210を分解し、ガス219を発生させた(図2(f))。この工程で用いる光の波長は、光硬化剤表面の親水層中の親水化成分が励起され、光硬化剤に対して分解反応を促進するものであれば如何なる波長でも良い。親水化成分が水の場合、200nm以下の光を吸収しOHラジカル或いは酸素ラジカルを発生し、これらラジカルが光硬化剤と反応して炭酸ガスを生じた。波長220nm付近に吸収帯を持つ親水化成分(例えば、過酸化水素水やアルコール類)を用いる場合には波長222nmのKrClエキシマランプを用いても、光硬化剤に対して分解反応を促進させガスを発生させることができる。また、波長190nm付近に吸収帯を持つ親水化成分(例えば、水やアルコール類)を用いる場合には波長193nmのArFエキシマレーザーを用いても、光硬化剤に対して分解反応を促進させガスを発生させることができる。
本工程で行う光照射は、テンプレートの離型特性を向上するためのガス219を生じさせる程度で良いが、光硬化剤を光照射によりさらに硬化させてパターンの寸法を細めながら離型することができる。この際、離型後の光硬化剤パターンが所望の寸法になるよう予め照射量を定めておいて、設定寸法に応じた照射量コントロールを行うこともできる。
テンプレートと光硬化剤の界面でガスを発生させた後、図3(f)に示すように、被処理基板ステージを下方に移動させて、被処理基板200及び光硬化剤210とテンプレート300を離型して被処理基板上に光硬化剤パターン212を形成した(図2(g))。なお、図3(e)に示した光照射によるガス発生工程中に、テンプレート300を離型することも可能である。
本実施形態に係るパターン形成方法によれば、光硬化剤表面を親水化させて、テンプレートのパターン面を接触させるため、テンプレートパターン内への硬化剤の充填欠陥が抑制され、充填特性を向上することができる。また、テンプレートと硬化剤の離型前或いは離型時に、テンプレートと硬化剤の界面においてガスを発生させることにより、それらの離型を促進し、離型特性を向上することできる。
なお、この離型後のテンプレートに対して、適宜、第二の光源を照射することにより、テンプレート表面に付着した有機汚染物を分解除去してもよい(図2(h))。また、この有機汚染物除去工程は、図2(g)に示す離型工程と同時に行うこともでき、エキシマランプ光117を照射しながら離型することもできる。これにより、離型しながらエキシマランプ光照射によりテンプレート表面の有機汚染物を分解することができる。
(第2の実施形態)
第2の実施形態に係るパターン形成方法を、図4及び図5を参照して説明する。図4は、本実施形態に係るパターン形成方法を説明するフローチャートである。図5は、本実施形態に係るパターン形成方法を説明する工程断面図である。なお、本実施形態に係るパターン形成方法の説明において、第1の実施形態に係るパターン形成方法と同様の工程の説明及び説明に使用する図面については、一部の記載を省略し、図面における参照番号を統一する。
まず、光硬化剤を親水化する親水化成分を含有した光硬化剤、例えばエポキシ樹脂剤などを準備した(図4(a))。親水化成分として水分を用い、水分1wt%程度を含有したエポキシ樹脂を光硬化剤として準備した。親水化成分としては、ブタノール、ヘプタノール、ヘキサノール、オクタノールなどのアルコールを用いても良い。なお、光硬化剤として利用可能な樹脂はエポキシ樹脂に限るものではなく、親水化成分含有アクリル系ポリマー剤など、一般的にインプリントに用いている材料であれば、如何なるものも用いることができる。
続いて、図5(a)に示すように、被処理基板200の主面を上にして被処理基板チャックで固定した後、被処理基板200を光硬化剤塗布手段105の直下に移動させ、被処理基板200のパターン形成面に親水化成分311を含有した流動性を有する光硬化剤310を塗布して膜を形成した。光硬化剤310の塗布は光硬化剤塗布手段105を走査させることで行った(図4(b))。
次に、図5(b)に示すように、硬化剤310の塗布を終えた後、被処理基板200を、被処理基板用ステージを用いて、テンプレート300の直下に移動させた。さらに、硬化剤310にテンプレート300を接触させ、テンプレートの凹部パターン内に硬化剤310を充填させた(図4(c))。このとき、親水化成分含有エポキシ樹脂剤中に含まれていた親水化成分311が樹脂とテンプレートの界面に偏析し、流動性を有する光硬化剤310は毛細管現象によりテンプレートの凹領域に充填される。
以降のパターン形成工程は、第1の実施形態の一部の工程と同様である。すなわち、図2(e)〜(h)及び図3(d)〜(f)に示すように、光硬化剤を硬化するための光照射工程、親水化成分の励起による硬化剤の分解反応を施してガスを発生させるための光照射工程、テンプレートの離型工程を実施して、被処理基板上にパターンを形成する。
なお本実施形態において、親水化成分を含有した光硬化剤を塗布した後、第一の実施形態と同様の方法により、光硬化剤表層に親水層を形成してもよく、親水層形成後は、第1の実施形態の図3(b)〜(f)に示す工程を実施する。
(第3の実施形態)
第3の実施形態に係るパターン形成方法を、図6及び図7を参照して説明する。図6は、本実施形態に係るパターン形成方法を説明するフローチャートである。図7は、本実施形態に係るパターン形成方法を説明する工程断面図である。なお、本実施形態に係るパターン形成方法の説明において、第1の実施形態に係るパターン形成方法と同様の工程の説明及び説明に使用する図面については、一部の記載を省略し、図面における参照番号を統一する。
まず、本実施形態に係るパターン形成方法に使用する光硬化剤210を用意した(図6(a))。光硬化剤210は、第1の実施形態又は第2の実施形態と同様の材料を用いることができる。
続いて、図7(a)に示すように、第1の実施形態と同様、被処理基板200の被パターン形成面上に光硬化剤塗布手段105を用いて流動性を有する光硬化剤210を塗布形成した(図6(b))。光硬化剤の塗布は光硬化剤塗布手段を走査させることで行った。
次いで、図7(b)に示すように、光照射により光硬化剤を親水化する成分を含有した親水化成分含有雰囲気411、例えば水分含有雰囲気に光硬化剤210を曝露して、波長172nmのXeエキシマランプ光118を光硬化剤210に照射し、光硬化剤の表面に親水層418を形成した(図6(c))。この親水化反応では、雰囲気中の水分が波長200nm以下の光を吸収することで励起し、OHラジカルを発生し、このOHラジカルが光硬化剤と反応してOHが生成し親水化する。本実施形態に係るパターン形成方法を、図1に示すインプリント装置を用いて実施する場合、第二の光源107を用いて照射することが可能である。ただし、第一の光源、第二の光源と異なる他の光源により光照射することも可能である。
この光照射工程では、後のテンプレートパターンへの硬化剤の充填工程において、充填可能な程度に硬化剤を未硬化状態に維持するため、光硬化剤の硬化反応が十分進まない程度の照射量で光を照射する。またさらに、この照射工程において光硬化剤が反応することにより、後工程であるテンプレートパターンへ充填された硬化剤の硬化工程において照射される光に対して硬化剤が光硬化作用を生じなくなるような照射量より十分少ない照射量で光を照射する。
なお、前述の水分含有雰囲気にかえて、あるいは水分含有雰囲気に加えて、酸素を含有した酸素含有雰囲気(親水化成分含有雰囲気411)に被処理基板及び光硬化剤を晒した状態で、硬化剤に光を照射することでも光硬化剤表面に親水層を形成することも可能である。前述の図7(b)に示す親水化工程と同様、酸素を含む雰囲気で酸素が吸収を有する波長200nm以下の光を照射して酸素を励起し、酸素ラジカルを発生させ、これを光硬化に作用させることで光硬化剤表面に親水層が形成される。この照射工程では、前述と同様、図1に示す装置100の第二の光源107を用いて光照射を実施することができる。
この照射工程では、光硬化剤の硬化反応が十分進まない程度の照射量で、かつ、光硬化剤が反応することにより、光硬化剤が必要以上に酸化分解されない程度の照射量で光照射する。
またさらに、水分や酸素含有雰囲気にかえて、あるいは水分や酸素含有雰囲気に加えて、過酸化水素雰囲気(親水化成分雰囲気411)に被処理基板を晒した状態で、被処理基板に光を照射することでも光硬化剤表面に親水層を形成することも可能である。過酸化水素を含む雰囲気で過酸化水素が吸収を有する波長250nm以下の光を照射して励起し、OHラジカルを発生させ、これを光硬化剤塗布膜に作用させても硬化剤表面に親水層を形成することができる。前述と同様、図1に示すインプリント装置100の第二の光源107を用いて光照射を実施可能で有り、この場合の照射量は、光硬化剤の硬化反応が十分進まない程度の照射量で行う。
以降のパターン形成工程は、第1の実施形態の一部の工程と同様である。すなわち、図2(d)〜(h)及び図3(c)〜(f)に示すように、光硬化剤にテンプレートを接触させてテンプレートの凹部パターンに光硬化剤を充填する充填工程(このとき、図3(d)に示すように、テンプレート界面に親水層が形成される)、光硬化剤を硬化するための光照射工程、親水化成分の励起による硬化剤の分解反応を施してガスを発生させるための光照射工程、テンプレートの離型工程を実施して、被処理基板上にパターンを形成することができる。
なお、図7(b)に示す光硬化剤表面の親水化工程後、第1の実施形態の図3(b)〜(f)に示す工程を追加することも可能である。すなわち、親水化成分含有雰囲気で光照射して光硬化剤表面を親水化した後、さらに、図3に示す高湿度供給手段109等を用いて、親水性成分を光硬化剤表面に吸着させる。その後、図3(c)〜(f)に示す工程を実施することにより、被処理基板上にパターンを形成することができる。また、本実施形態において、第2の実施形態のパターン形成方法で用いたような親水化成分を含有した光硬化剤を硬化剤として用いることも可能である。テンプレートと硬化剤の界面にて親水化成分の偏析層が形成される。
(第4の実施形態)
本発明の第4の実施形態に係るパターン形成方法を、図8及び図9を参照して説明する。図8は、本実施形態に係るパターン形成方法を説明するフローチャートである。図9は、本実施形態に係るパターン形成方法を説明する工程断面図である。なお、本実施形態に係るパターン形成方法の説明において、第1の実施形態に係るパターン形成方法と同様の工程の説明及び説明に使用する図面については、一部の記載を省略し、図面における参照番号を統一する。
まず、本実施形態に係るパターン形成方法に用いる光硬化剤210を用意した(図8(a))。光硬化剤210は、第1の実施形態乃至第3の実施形態のいずれかの光硬化剤と同様の材料を用いることができる。
続いて、図9(a)に示すように、第1の実施形態と同様、被処理基板200の被パターン形成面上に光硬化剤塗布手段105を用いて流動性を有する光硬化剤210を塗布形成した(図8(b))。光硬化剤の塗布は光硬化剤塗布手段を走査させることで行った。
次いで、図9(b)に示すように、光硬化剤を酸化させる酸化性成分を含有した酸化性成
分含有雰囲気518に光硬化剤210を晒すことにより、光硬化剤表面に親水層を形成し
た(図8(c))。酸化性ガス雰囲気518として、例えばオゾン、過酸化水素又は過酸
化窒素を含有した雰囲気、或いはそれら複数を混合したガス雰囲気を利用することができ
る。
雰囲気の酸化性成分の濃度と曝露時間は、光硬化剤が反応することにより、光硬化剤が必要以上に酸化分解したり、後の硬化剤の光硬化工程において、硬化剤が硬化されなかったりする程度より十分少なく、且つ、表面が親水化される程度であればよい。
なお、酸化性成分含有雰囲気518に光硬化剤を晒した状態で、酸化性成分が吸収する波長の光を酸化性成分含有雰囲気518を介して光硬化剤に照射し、酸化性成分を光励起させることにより、硬化剤表面に親水化成分を有する親水層を形成してもよい。この光照射工程は、例えば第1の実施形態に示す装置100の第二の光源を用いて実施することができる。
以降のパターン形成工程は、第1の実施形態の一部の工程と同様である。すなわち、図2(d)〜(h)及び図3(c)〜(f)に示すように、光硬化剤にテンプレートを接触させてテンプレートの凹部パターンに光硬化剤を充填する充填工程(このとき、図3(d)に示すように、テンプレート界面に親水層が形成される)、光硬化剤を硬化するための光照射工程、親水層の励起による硬化剤の分解反応を施してガスを発生させるための光照射工程、テンプレートの離型工程を実施して、被処理基板上にパターンを形成することができる。
なお、図9(b)に示す光硬化剤表面の親水化工程後、第1の実施形態の図3(b)〜(f)に示す工程を追加することも可能である。すなわち、酸化性成分含有雰囲気に晒して光硬化剤表面を親水化した後、さらに、図3に示す高湿度供給手段109等を用いて、親水性成分を光硬化剤表面に吸着させる。その後、図3(c)〜(f)に示す工程を実施して、被処理基板上にパターンを形成することができる。また、本実施形態において、第2の実施形態のパターン形成方法で用いたような親水化成分を含有した光硬化剤を硬化剤として用いることも可能である。テンプレートと硬化剤の界面にて親水化成分の偏析層が形成される。
(第5の実施形態)
第5の実施形態に係るパターン形成方法を、図10乃至図12を参照して説明する。図10は、本実施形態に係るパターン形成方法を実施するために用いるインプリント装置の概略図である。図11は、本実施形態に係るパターン形成方法を説明するフローチャートである。図12は、本実施形態に係るパターン形成方法を説明する工程断面図である。なお、本実施形態に係るパターン形成方法の説明において、第1の実施形態に係るパターン形成方法と同様の工程の説明及び説明に使用する図面については、一部の記載を省略し、図面における参照番号を統一する場合がある。
図10に示すインプリント装置600は、被処理基板700の主面(被パターン形成面)を下方に向けて固定する被処理基板チャック604と、これを3次元的に移動させるための被処理基板用ステージ603、テンプレート800の凹凸パターン上に選択的に光硬化材料を供給する光硬化剤塗布手段605と、インプリント用テンプレート800を凹部パターン形成面が上方に向くように保持するテンプレート保持手段608と、テンプレートを介して光硬化剤を硬化するための光を照射する第一の光源606(例えばUVランプなど)と、硬化した光硬化剤の離型を促進するための光を照射する第二の光源607を具備している。第二の光源には、例えば波長λ<200nmの光源を用いることができ、本実施形態では、λ=175nmのエキシマランプを使用する。インプリント用のテンプレート800は、透明な石英基板にプラズマエッチングで凹凸のパターンが形成されたもの等である。なお、被処理基板700及びテンプレート800は、図10の装置600を利用する際に装置内部にセットされるものであり、本装置600の構成には含まれない。
まず、本実施形態に係るパターン形成方法に用いる光硬化剤710として、親水化成分811を含有した親水化成分含有光硬化剤810、例えば水分を含有したエポキシ樹脂を準備した(図11(a))。なお、親水化成分含有光硬化剤810には、その他の材料、例えば第2の実施形態で用いた光硬化剤310と同様の材料を用いることができる。
続いて、図12(a)に示すように、テンプレート800を凹部パターン面が上方を向くようにテンプレート保持手段608により保持して、このテンプレート800のパターン面上に光硬化剤塗布手段605を移動させ、テンプレート800のパターン面上に親水化成分含有光硬化剤810を供給する(図11(b))。光硬化剤810を供給し、テンプレート700の凹部パターン内に充填した後、光硬化剤塗布手段605をテンプレート800の上方から退避させる。なお、テンプレート800は合成石英を加工して作成されている。
次いで、図12(b)に示すように、テンプレートのパターン内に充填された親水化成分含有光硬化剤810中に含まれていた親水化成分811を合成石英のテンプレート界面に偏析させた(図11(c))。
さらに、図12(c)に示すように、被処理基板ステージを下方に移動させて、被パターン形成面を下に向けて保持された被処理基板700を下方に移動し、被処理基板700の被パターン形成面を、光硬化剤810を介してテンプレート800に接触させた(図11(d))。
以降のパターン形成工程は、第1の実施形態の一部の工程と同様である。すなわち、図2(e)〜(h)及び図3(d)〜(f)に示すように、光硬化剤を硬化するための光照射工程、親水化成分の励起による硬化剤の分解反応を施してガスを発生させるための光照射工程、テンプレートの離型工程を実施して、被処理基板上にパターンを形成する。ただし、次の点で第1の実施形態と異なる。すなわち、光硬化剤を硬化するための光照射工程や親水化成分の励起による硬化剤の分解反応を施してガスを発生させるための光照射工程では、テンプレート上方ではなく、テンプレート下方から、テンプレートを介して光硬化剤に光を照射した。また、テンプレートと被処理基板の離型工程では、テンプレートではなく被処理基板ステージを上方に移動させることにより、テンプレートから被処理基板を離型した。さらに、第1の実施形態の図2(h)に記載したテンプレートに付着した有機汚染物の除去工程を実施する場合には、前述と同様、テンプレート上方ではなく、テンプレート下方から、テンプレートに光を照射した。
第1の実施形態から第5の実施形態に係るパターン形成方法で用いたテンプレートでは、光照射対象部全てにおいて合成石英等の一定の透過率を有する透光性材料を用いているが、テンプレートの一部の透過率を変更したり、テンプレートの一部に遮光性材料を用いたりすることもできる。例えば、図13に示すテンプレート900のように、パターン構成部901とベース部902の材料が異なるようなテンプレート900を用いることが可能である。テンプレート900は、ベース部902の材料に波長200nm以下の光の吸収率が小さい材料(例えば合成石英等の透光膜)を用いており、パターン構成部901の材料には波長200nm以下の光に対して吸収率が大きい材料(例えばCr等の遮光膜)を用いている。テンプレート900を上述の各実施形態のテンプレートとして用いた場合、テンプレート界面でガスを発生させるための光照射工程において、テンプレート900のパターン構成部901間のベース部902に照射された光は、ベース部902を透過し光硬化剤に十分に照射されるものの、テンプレート900のパターン構成部901に照射された光は、その大部分が吸収されることとなり光硬化剤へ十分に到達しない。従って、テンプレートのパターン構成部901間のベース部902の界面及びパターン構成部901の側面において光硬化剤が分解してガスが発生する。このような場合であっても、テンプレートから光硬化剤パターンを押し出すような離型力が生じることから、離型特性を向上することができる。また、テンプレート900のパターン構成部901が照射光に対して半透明である場合には、テンプレート900のベース部902の表面(凹部表面)からパターン構成部901の表面(凸部表面)に向かって光硬化剤へ到達する光の照射量が単調に減少する。その結果、テンプレートの凹部表面から凸部表面に向かって、テンプレート界面におけるガス発生量を単調に低下させることができ、テンプレート凹凸の圧力損失を補正して光硬化樹脂パターンを押し出すことも可能である。すなわち、テンプレートを離型する際、テンプレート凹部は側面において光硬化剤と接触しているため、テンプレート表面に比べて、大きな離型力が必要となる。しかし、テンプレート凹部を離型するため、光硬化剤から一定量で多量のガスを発生させると、テンプレート表面で過剰な離型力が働き、離型時に光硬化剤パターンが倒壊してしまう恐れがある。しかし前述のように、テンプレートの凹部表面から凸部表面に向かって、テンプレート界面におけるガス発生量を単調に低下させることにより、テンプレート凹部では十分な離型力を作用させつつ、テンプレート表面では過剰な離型力が働かないようにガス発生量を調整することができ、パターン欠陥を抑えることが可能となる。このような照射光に対して半透明である材料としては、例えば、MoSi、MoSiの酸化膜、MoSiの窒化膜、MoSiの酸窒化膜などを用いることができる。
また、第一の実施形態から第四の実施形態に用いる被処理基板としては半導体素子製造用基板、MEMS、ハードディスクなどのメディア基板など、従来のインプリント技術を用いているものであれば、いかなるものでも適用できる。
また、第1の実施形態から第5の実施形態に用いる被処理基板が第一の光源から照射される光に対して透過性を有するものであれば、第一の光源の光を被処理基板を介して光硬化剤に照射することも可能である。
また、前述の各実施形態において、光硬化剤表面を親水化する手法については、特開2006−186111号公報に開示されている手法を用いることもできる。さらに、特開2006−32992号公報又は特開2004−363444号公報に開示されている手法を用いて、水または酸素含有雰囲気中に晒された光硬化剤に光を照射して、OHラジカルまたは酸素ラジカルを発生させて、光硬化剤を分解し、ガスを発生させることも可能である。
以上、上記の各種実施例に係るパターン形成方法によれば、テンプレートと光硬化剤の離型前或いは離型時に、テンプレートと硬化剤の界面においてガスを発生させることにより、それらの離型を促進して離型特性を向上することできる。
116…第一の光源からの光
117…第二の光源からの光
118…光照射
200、700…被処理基板
210、310、810…光硬化剤
212…光硬化剤パターン
218、418、518…親水層
219…ガス
300、800、900…テンプレート
311、811…親水化成分
411…親水化成分含有雰囲気
511…酸化性成分含有雰囲気
901…テンプレートのパターン構成部
902…テンプレートのベース部

Claims (5)

  1. 光硬化剤表面に親水化成分を含む親水層を形成する工程と、
    凹部パターンが形成されたテンプレートを前記親水層が形成された表面から前記光硬化剤
    に接触させて前記凹部パターンに前記光硬化剤を充填する工程と、
    充填された前記光硬化剤に第一の光を照射して前記光硬化剤を硬化する工程と、
    前記第一の光を照射後、前記親水層を有する前記光硬化剤に対して第二の光を照射して、
    前記テンプレートの界面で前記光硬化剤を分解反応させてガスを生じさせる工程と、
    前記テンプレートと前記光硬化剤を離型して光硬化剤パターンを形成する工程と、
    を備えたことを特徴とするパターン形成方法。
  2. 前記親水層を形成する工程では、親水化成分を含有した親水化成分含有雰囲気に前記光硬
    化剤を晒す、又は、酸化性成分を含有した酸化性成分含有雰囲気に前記光硬化剤を晒すこ
    とにより、前記光硬化剤の表面に親水層を形成することを特徴とする請求項1記載のパタ
    ーン形成方法。
  3. 前記親水層を形成する工程では、前記親水化成分を含有した親水化成分含有雰囲気、また
    は、酸化する酸化性成分を含有した酸化性成分含有雰囲気に前記光硬化剤を晒した状態で
    、前記親水化成分含有雰囲気、または、前記酸化性成分含有雰囲気を介して前記光硬化剤
    に光を照射することにより、前記光硬化剤の表面に親水層を形成することを特徴とする請
    求項2記載のパターン形成方法。
  4. 凹部パターンが形成されたテンプレートと親水化成分を含む光硬化剤とを接触させて前記
    凹部パターンに前記光硬化剤を充填する工程と、
    前記テンプレートと前記光硬化剤との界面に前記親水化成分を偏析させる工程と、
    充填された前記光硬化剤に第一の光を照射して前記光硬化剤を硬化する工程と、
    前記第一の光を照射後、前記親水化成分を含む前記光硬化剤に対して第二の光を照射して
    、前記テンプレートの界面で前記光硬化剤を分解反応させてガスを生じさせる工程と、
    前記テンプレートと前記光硬化剤を離型して光硬化剤パターンを形成する工程と、
    を備えたことを特徴とするパターン形成方法。
  5. 前記光硬化剤を分解反応させてガスを生じさせる工程では、
    前記光硬化剤に対して第二の光を照射することにより、前記テンプレートの界面で前記親
    水化成分からOHラジカル又は酸素ラジカルを発生させて、前記OHラジカル又は酸素ラ
    ジカルにより、前記光硬化剤を分解反応させることを特徴とする請求項1乃至4のいずれ
    か一項記載のパターン形成方法。
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6012344B2 (ja) * 2011-10-24 2016-10-25 キヤノン株式会社 膜の形成方法
JP5971938B2 (ja) * 2011-12-19 2016-08-17 キヤノン株式会社 硬化物の製造方法およびパターン形成方法
WO2013129096A1 (ja) * 2012-02-27 2013-09-06 リンテック株式会社 エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物、粘着シートおよび親水性構造体
JP6000712B2 (ja) * 2012-07-24 2016-10-05 キヤノン株式会社 樹脂の製造方法及び樹脂の製造装置
JP6278645B2 (ja) * 2012-09-24 2018-02-14 キヤノン株式会社 光硬化性組成物及びこれを用いた膜の製造方法
JP2014120604A (ja) * 2012-12-17 2014-06-30 Canon Inc インプリント装置、デバイス製造方法及びインプリント装置に用いられる型
JP6398200B2 (ja) * 2014-01-24 2018-10-03 大日本印刷株式会社 樹脂パターンの形成方法および樹脂パターン形成装置
US10754243B2 (en) * 2016-03-31 2020-08-25 Canon Kabushiki Kaisha Pattern forming method as well as production methods for processed substrate, optical component, circuit board, electronic component and imprint mold

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10310873A (ja) * 1997-05-07 1998-11-24 Sony Corp 無電解メッキ方法
US6218316B1 (en) * 1998-10-22 2001-04-17 Micron Technology, Inc. Planarization of non-planar surfaces in device fabrication
US6313038B1 (en) * 2000-04-26 2001-11-06 Micron Technology, Inc. Method and apparatus for controlling chemical interactions during planarization of microelectronic substrates
WO2004013693A2 (en) * 2002-08-01 2004-02-12 Molecular Imprints, Inc. Scatterometry alignment for imprint lithography
KR100667134B1 (ko) * 2004-11-12 2007-01-12 엘지.필립스 엘시디 주식회사 평판표시소자의 제조방법 및 장치
JP4695679B2 (ja) * 2008-08-21 2011-06-08 株式会社東芝 テンプレートの洗浄方法及びパターン形成方法
JP4892025B2 (ja) * 2008-09-26 2012-03-07 株式会社東芝 インプリント方法

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