JP4867309B2 - 固体撮像装置およびその製造方法、並びにカメラ - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係る固体撮像装置の概略構成図である。本実施形態に係る固体撮像装置1は、撮像部2と、水平転送部3と、出力部4とを有する。
図12は、第2実施形態に係る固体撮像装置の断面図である。図12は、図2のA−A’線における断面図に相当する。
本発明は、インターライントランスファ方式以外にも、フレームトランスファ方式、フレームインターライントランスファ方式の固体撮像装置に適用することもできる。また、転送電極20の構造には特に限定はない。このため、単層構造の転送電極であっても、2層あるいは3層構造の転送電極であってもよい。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
Claims (7)
- 基板に行列状に形成された複数の受光部と、
前記受光部の列の間において前記基板に形成された第1導電型の転送チャネルと、
前記受光部の周囲に配置され、かつ、前記転送チャネルを被覆する転送電極と、
前記受光部の周囲であって、前記受光部と読み出し側の転送チャネルとの間を除いた領域に形成された第2導電型のチャネルストップ領域と
を有し、
前記受光部は、
前記基板に形成された第1導電型領域と、
前記基板の表面に形成された第2導電型領域とを有し、
前記第2導電型領域は、
前記受光部の全面に形成された第1領域と、
両側の前記転送電極に対して行方向に離れ、前記列方向に隣接する前記チャネルストップ領域に対してオーバーラップするように配置されており、前記第1領域よりも第2導電型の不純物濃度が濃く、所定の電圧に固定されるように前記チャネルストップ領域に接続された第2領域とを有する
固体撮像装置。 - 前記チャネルストップ領域は、前記転送電極からはみ出している
請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記第2領域は、前記第1領域よりも深い
請求項1または2に記載の固体撮像装置。 - 基板に第1導電型の転送チャネルを形成する工程と、
前記基板の行列状の受光部となる領域に第1導電型領域を形成する工程と、
前記受光部の周囲であって、前記受光部と読み出し側の転送チャネルとの間を除いた領域に、第2導電型のチャネルストップ領域を形成する工程と、
前記転送チャネル上であって前記受光部を除く領域に、転送電極を形成する工程と、
前記基板の受光部となる領域に第2導電型領域を形成する工程と
を有し、
前記第2導電型領域を形成する工程は、
前記転送電極をマスクとして第2導電型不純物をイオン注入して、前記受光部の全面に第1領域を形成する工程と、
イオン注入マスクを用いて前記第2導電型不純物をイオン注入して、前記第1領域よりも第2導電型の不純物濃度が濃く、行方向に隣接する前記転送電極に対して離れ、列方向に隣接する前記チャネルストップ領域に対してオーバーラップするように配置して、所定の電圧に固定されるように前記チャネルストップ領域に接続して、第2領域を形成する工程と
を有する固体撮像装置の製造方法。 - 前記転送電極を形成する工程において、前記チャネルストップ領域を前記転送電極からはみ出させるように、前記転送電極を形成する
請求項4記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記第2領域を形成する工程において、前記第1領域よりも深い第2領域を形成する
請求項4または5に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 固体撮像装置と、
前記固体撮像装置の撮像面に光を結像させる光学系と、
前記固体撮像装置からの出力信号に対して所定の信号処理を行う信号処理回路と
を有し、
前記固体撮像装置は、
基板に行列状に形成された複数の受光部と、
前記受光部の列の間において前記基板に形成された第1導電型の転送チャネルと、
前記受光部の周囲に配置され、かつ、前記転送チャネルを被覆する転送電極と、
前記受光部の周囲であって、前記受光部と読み出し側の転送チャネルとの間を除いた領域に形成された第2導電型のチャネルストップ領域と
を有し、
前記受光部は、
前記基板に形成された第1導電型領域と、
前記基板の表面に形成された第2導電型領域とを有し、
前記第2導電型領域は、
前記受光部の全面に形成された第1領域と、
両側の前記転送電極に対して行方向に離れ、前記列方向に隣接する前記チャネルストップ領域に対してオーバーラップするように配置されており、前記第1領域よりも第2導電型の不純物濃度が濃く、所定の電圧に固定されるように前記チャネルストップ領域に接続された第2領域とを有する
カメラ。
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JP2005336577A JP4867309B2 (ja) | 2005-11-22 | 2005-11-22 | 固体撮像装置およびその製造方法、並びにカメラ |
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JP2002198510A (ja) * | 2000-12-27 | 2002-07-12 | Sony Corp | 固体撮像素子およびその製造方法 |
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- 2005-11-22 JP JP2005336577A patent/JP4867309B2/ja not_active Expired - Fee Related
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