JP2007036119A - 固体撮像装置およびその製造方法、並びにカメラ - Google Patents
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Abstract
【課題】受光部の周囲の電極に対して正孔蓄積層の位置を最適化することにより、撮像特性の向上および安定化を図った固体撮像装置およびその製造方法、並びにカメラを提供する。
【解決手段】本実施形態に係る固体撮像装置は、基板に複数形成された受光部5と、受光部5の周囲における基板上に形成された電極20とを有する。電極20は、少なくとも正電圧Vtが印加される第1電極21と、0あるいは負電圧φV2,φV4のみが印加される第2電極22とを有する。受光部5は、基板に形成された信号電荷蓄積領域と、前記信号電荷蓄積領域の表層部に形成された正孔蓄積領域13とを有する。正孔蓄積領域13は、第1電極21に対して距離を隔てて配置され、第2電極22に対してオーバーラップして配置されている。
【選択図】図2
【解決手段】本実施形態に係る固体撮像装置は、基板に複数形成された受光部5と、受光部5の周囲における基板上に形成された電極20とを有する。電極20は、少なくとも正電圧Vtが印加される第1電極21と、0あるいは負電圧φV2,φV4のみが印加される第2電極22とを有する。受光部5は、基板に形成された信号電荷蓄積領域と、前記信号電荷蓄積領域の表層部に形成された正孔蓄積領域13とを有する。正孔蓄積領域13は、第1電極21に対して距離を隔てて配置され、第2電極22に対してオーバーラップして配置されている。
【選択図】図2
Description
本発明は、固体撮像装置およびその製造方法、並びにカメラに関し、特に、埋め込みフォトダイオードからなる受光部をもつ固体撮像装置およびその製造方法、並びにカメラに関する。
CCD(Charge Coupled Device)の受光部として、埋め込みフォトダイオードが採用されている。埋め込みフォトダイオードでは、pn接合がすべて基板中に存在するため、暗電流が抑制される。埋め込みフォトダイオードからなる受光部は、n型の電荷蓄積層と、電荷蓄積層の表層に形成されたp+型の正孔蓄積層とを有する。
従来、電荷蓄積層および正孔蓄積層は、転送電極の形成後にイオン注入により形成されている(例えば、特許文献1参照)。n型の電荷蓄積層の位置は、読み出し電圧やブルーミング特性に影響するため、転送電極に対してセルフアラインで電荷蓄積層を形成することにより、これらの特性を安定させることができる。また、正孔蓄積層の位置は、読み出し電圧や暗電流値に影響するため、転送電極に対してセルフアラインで正孔蓄積層を形成することにより、これらの特性を安定させることができる。
n型の電荷蓄積層については、転送電極の形成前にイオン注入により形成する方法が開示されている(例えば、特許文献2参照)。これは、露光装置の合わせ精度向上により可能となったプロセスである。転送電極の形成前にn型の電荷蓄積層を形成することにより、電荷蓄積層を拡大させて感度の向上を図ることができる。
特許第3320589号
特許第2866351号
しかしながら、従来では、正孔蓄積層は、転送電極に対してセルフアラインで形成されている。このため、撮像特性の向上あるいは安定化の観点から、受光部の周囲の電極に対する正孔蓄積層の位置の最適化を測ることができなかった。
本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、受光部の周囲の電極に対して正孔蓄積層の位置を最適化することにより、撮像特性の向上および安定化を図った固体撮像装置およびその製造方法、並びにカメラを提供することにある。
上記の目的を達成するため、本発明の固体撮像装置は、基板に複数形成された受光部と、前記受光部の周囲における前記基板上に形成された電極とを有し、前記電極は、少なくとも正電圧が印加される第1電極と、0あるいは負電圧のみが印加される第2電極とを有し、前記受光部は、前記基板に形成された信号電荷蓄積領域と、前記信号電荷蓄積領域の表層部に形成された正孔蓄積領域とを有し、前記正孔蓄積領域は、前記第1電極に対して距離を隔てて配置され、前記第2電極に対してオーバーラップして配置されている。
上記の目的を達成するため、本発明の固体撮像装置の製造方法は、基板に配置される複数の受光部となる領域に、それぞれ信号電荷蓄積領域を形成する工程と、前記各信号電荷蓄積領域の表層部に、正孔蓄積領域を形成する工程と、前記受光部の周囲における前記基板上に電極を形成する工程とを有し、前記電極を形成する工程において、少なくとも正電圧が印加される第1電極と、0あるいは負電圧のみが印加される第2電極とを形成し、前記正孔蓄積領域を形成する工程において、前記第1電極に対して距離を隔てて配置され、前記第2電極に対してオーバーラップして配置されるように前記正孔蓄積領域を形成する。
上記の目的を達成するため、本発明のカメラは、固体撮像装置と、前記固体撮像装置の撮像面に光を結像させる光学系と、前記固体撮像装置からの出力信号に対して所定の信号処理を行う信号処理回路とを有し、前記固体撮像装置は、基板に複数形成された受光部と、前記受光部の周囲における前記基板上に形成された電極とを有し、前記電極は、少なくとも正電圧が印加される第1電極と、0あるいは負電圧のみが印加される第2電極とを有し、前記受光部は、前記基板に形成された信号電荷蓄積領域と、前記信号電荷蓄積領域の表層部に形成された正孔蓄積領域とを有し、前記正孔蓄積領域は、前記第1電極に対して距離を隔てて配置され、前記第2電極に対してオーバーラップして配置されている。
上記の本発明では、受光部の正孔蓄積領域は、正電圧が印加される第1電極に対して距離を隔てて配置され、第2電極に対してオーバーラップして形成されている。このように、正孔蓄積領域の位置を最適化するため、正孔蓄積領域は転送電極の形成工程前に形成される。
本発明によれば、受光部の周囲の電極に対して正孔蓄積層の位置を最適化することにより、撮像特性の向上および安定化を図った固体撮像装置およびカメラを実現することができる。
以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。各図において、同一の構成要素には同一の符号を付してある。本実施形態では、本発明をインターライントランスファ方式のCCD(Charge Coupled Device)型の固体撮像装置に適用した例について説明する。ただし、転送方式に特に限定はない。
図1は、本実施形態に係る固体撮像装置の概略構成図である。本実施形態に係る固体撮像装置1は、撮像部2と、水平転送部3と、出力部4とを有する。
撮像部2には、画素毎に行列状に配置された複数の受光部5と、受光部5の垂直列ごとに配置された複数本の垂直転送部7と、受光部5と垂直転送部7との間に配置された読み出しゲート部6とを有する。
受光部5は、例えば埋め込みフォトダイオードからなり、被写体から入射する像光(入射光)をその光量に応じた電荷量の信号電荷に光電変換して蓄積する。読み出しゲート部6は、受光部5に蓄積された信号電荷を垂直転送部7に読み出す。
垂直転送部7は、例えば4相の転送パルスφV1,φV2,φV3,φV4によって駆動され、受光部5から読み出された信号電荷を垂直方向(図中、下方向)に転送する。なお、転送パルスとしては、4相に限定されるものではない。転送パルスφV1〜φV4は、例えば0Vあるいは−7Vである。
水平転送部3は、2相の転送パルスφH1,φH2によって駆動され、垂直転送部7から垂直転送された信号電荷を、水平方向(図中、左方向)に転送する。
垂直転送部7および水平転送部3は、基板に形成された転送方向に伸びる転送チャネルと、転送チャネル上に絶縁膜を介在させた状態で、転送方向に並べて形成された複数の転送電極とを有する。
出力部4は、水平転送部3により水平転送された信号電荷を電気信号に変換して出力する。出力部4は、例えばフローティングディフュージョンアンプにより構成される。出力部4は、フローティングディフュージョンFDとリセットゲートRGとリセットドレインRDからなるトランジスタ4aと、アンプ4bと、出力端子4cとを有する。
水平転送部により水平転送された信号電荷量に応じてフローティングディフュージョンFDの電圧が変化する。フローティングディフュージョンFDの電圧はアンプ4bにより増幅されて、出力端子4cによりアナログ画像信号として取り出される。その後、リセットゲートRGにリセットパルスが入力されて、トランジスタ4aがオン状態となり、フローティングディフュージョンFDの信号電荷がリセットドレインRDに掃き捨てられる。なお、リセットドレインRDには電源電圧Vddが印加されている。
図2は、撮像部2における要部平面図である。図2では、転送電極のみを図解している。
受光部5は、水平方向(第1方向)Hおよび垂直方向(第2方向)Vに配置されている。受光部5は、基板の表層部にp+型の正孔蓄積領域13を有する。
受光部5の周囲における基板上には、絶縁膜を介して転送電極20が形成されている。本実施形態では、転送電極(電極)20は、第1転送電極(第1電極)21と第2転送電極(第2電極)22とを有する。第1転送電極21および第2転送電極22を区別する必要がない場合には、単に転送電極20と称する。
転送電極20は単層構造であり、例えば1層のポリシリコン層により形成される。本実施形態では、各受光部5に対応して2つの転送電極が配置されている。
第1転送電極21は、受光部5に対して水平方向に隣接して配置されている。各受光部5に対応して配置された第1転送電極21は、水平および垂直方向に分離して配置されている。
第2転送電極22は、垂直方向に隣接する受光部5間を通って水平方向に伸びて配置されている。垂直転送部7において、第1転送電極21と第2転送電極22が交互に配置されている。
水平方向に伸びる第2転送電極22に重なるようにして、水平方向に伸びる駆動配線41が配置されている。駆動配線41は、第2転送電極22上に絶縁膜を介して形成されている。駆動配線41は、垂直転送部7上において垂直方向に伸びており、コンタクトホールCHを介して第1転送電極21に接続されている。
駆動配線41は、ポリシリコン、タングステン等の金属材料、あるいはシリサイド系材料により形成される。駆動配線41として金属材料を用いる場合には、ポリシリコンを用いる場合に比べて、膜厚や幅を小さくしても同等の抵抗値が得られるため、受光部5の周縁に発生する段差を緩和できるという利点がある。
読み出し時には、駆動配線41を介して第1転送電極21に正の読み出し電圧Vtが印加される。読み出し電圧は、例えば+10〜+15Vである。読み出し電圧Vtの印加により、受光部5に蓄積された信号電荷(電子)は、第1転送電極21下の転送チャネルへ読み出される。
読み出し後の垂直転送の際には、垂直方向に並ぶ第1転送電極21、第2転送電極22、第1転送電極21、第2転送電極22に0Vあるいは負電圧の転送パルスφV1〜φV4が印加される。第1転送電極21には、駆動配線41を介して転送パルスφV1、φV3が印加される。転送パルスφV1〜φV4は、例えば0Vあるいは−7Vである。
正孔蓄積領域13は、垂直方向に隣接する0あるいは負の転送パルスが印加される第2転送電極22に対してオーバーラップするように配置されている。また、正孔蓄積領域13は、水平方向に隣接する正電圧が印加される第1転送電極21に対して距離を隔てて配置されている。
例えば、正孔蓄積領域13は、読み出し側(図中、左側)の第1転送電極21に対してオフセット量W1だけ隔てて配置されている。また、正孔蓄積領域13は、読み出し側の反対側(図中、右側)の第1転送電極21に対してオフセット量W2だけ隔てて配置されている。オフセット量W1、W2は、例えば0.1〜0.3μmである。
図3は、図2のA−A’線に沿った断面図である。図4は、図2のB−B’線に沿った断面図である。なお、図示の簡略化のため遮光膜の上層については、図3のみに図解している。
例えば、n型のシリコン基板10(以下、基板10という)に、p型ウェル11が形成されている。p型ウェル11は、オーバーフローバリアを形成する。
受光部5は、p型ウェル11に形成されたn型の信号電荷蓄積領域12と、信号電荷蓄積領域12の表層に形成されたp+型の正孔蓄積領域13を有する。正孔蓄積領域13は、信号電荷蓄積領域12の表面近くで発生し、雑音源となる暗電流を抑制するために設けられている。
受光部5には、信号電荷蓄積領域12、p型ウェル11および基板10により、npn構造が形成されている。このnpn構造は、受光部5に強い光が入射して過剰に発生した信号電荷がp型ウェル11により形成されるオーバーフローバリアを超えると、当該信号電荷を基板10側に排出する縦型オーバーフロードレイン構造を構成する。
また、上記の受光部5は電子シャッタの機能を備えている。すなわち、基板10に供給される基板電位を高レベル(例えば+12V)にすることにより、p型ウェル11の電位障壁が下がり、信号電荷蓄積領域12に蓄積された電荷が当該電位障壁を乗り越えて、縦方向すなわち基板10に掃き捨てられる。これにより露光期間を調整することができる。
垂直転送部7は、信号電荷蓄積領域12と所定間隔を隔ててp型ウェル11に形成されたn型の転送チャネル14と、転送チャネル14上に酸化シリコン膜からなるゲート絶縁膜30を介して形成された例えばポリシリコンからなる転送電極21,22により構成されている。転送チャネル14の下には、比較的高濃度のp型領域15が形成されている。p型領域15は、転送チャネル14の下に電位障壁を形成する。このため、基板10の深部で光電変換された信号電荷が転送チャネル14へ入ることが防止され、スミアの発生が抑制される。
読み出しゲート部6は、信号電荷蓄積領域12と転送チャネル14との間のp型の読み出しゲート領域16と、読み出しゲート領域16上にゲート絶縁膜30を介して形成された転送電極21により構成されている。読み出しゲート領域16は、n型の信号電荷蓄積領域12と転送チャネル14との間に、電位障壁を形成する。読み出し時には、第1転送電極21に正の読み出し電圧(例えば+12V)が印加されて、読み出しゲート領域16の電位障壁が引き下げられて、信号電荷は信号電荷蓄積領域12から転送チャネル14へと読み出される。
信号電荷蓄積領域12に対して読み出し側とは反対側には、p型のチャネルストップ領域17が形成されている。また、垂直方向に隣接する受光部5の間であって第2転送電極22下には、チャネルストップ領域17が形成されている(図4参照)。チャネルストップ領域17は、信号電荷に対して電位障壁を形成し、信号電荷の流出入を防止する。正孔蓄積領域13は、垂直方向に隣接する第2転送電極22に対してオーバーラップするように配置されている。このため、第2転送電極22下において、チャネルストップ領域17と正孔蓄積領域13が繋がっている。
第1転送電極21および第2転送電極22上には、絶縁膜31を介して駆動配線41が形成されている。第1転送電極21と駆動配線41は、絶縁膜31に形成されたコンタクトホールを介して接続されている。駆動配線41は、例えばポリシリコン、タングステン等の金属材料、シリサイド系材料からなる。駆動配線41を被覆して、例えば酸化シリコンからなる絶縁膜32が形成されている。
上記の転送電極20および駆動配線41を被覆するように、遮光膜50が形成されている。遮光膜50は、例えばタングステンなどの高融点金属からなる。遮光膜50には、受光部5に光を入射させるための開口部50aが形成されている。
遮光膜50上には、例えばBPSG(Boro Phospho Silicate glass)からなる層間絶縁膜61が形成されている。層間絶縁膜61上には、例えば窒化シリコンからなるパッシベーション膜62が形成されている。パッシベーション膜62の表面は、平坦化されている。
パッシベーション膜62上には、カラーフィルタ70が形成されている。カラーフィルタ70は例えば原色タイプであり、グリーンカラーフィルタ71と、ブルーカラーフィルタ72と、レッドカラーフィルタ73とを有する。補色タイプの場合には、カラーフィルタ70はシアン、マゼンタ、イエロー、グリーンのカラーフィルタにより形成される。
カラーフィルタ70上には、例えばアクリル熱硬化樹脂からなる平坦化膜80が形成されている。平坦化膜80上には、マイクロレンズ90が形成されている。
上記の固体撮像装置では、入射光は、マイクロレンズ90により集光されて各カラーフィルタ71,72,73に到達する。所定の波長領域の光のみが各カラーフィルタを通過し、受光部5に入射する。受光部5に入射した光は、入射光量に応じた信号電荷に光電変換されて、信号電荷蓄積領域12に蓄積される。その後、転送チャネル14に読み出されて、垂直転送部7により垂直方向に転送される。
次に、上記の本実施形態に係る固体撮像装置の製造方法について、図5〜図12を参照して説明する。図5〜図11は、固体撮像装置の製造における工程断面図である。図12は、固体撮像装置のプロセスフロー図である。
図5(a)に示すように、n型のシリコンからなる基板10を用意する(ST1)。基板10としては、例えばn型CZ基板上に20〜40Ωcm程度の抵抗率のn型エピタキシャル層を数μm〜数十μm程度形成した基板を用いる。続いて、基板10にイオン注入法によりp型ウェル11を形成する(ST2)。
次に、図5(b)に示すように、基板10にイオン注入法により、n型の転送チャネル14、p型領域15、p型の読み出しゲート領域16、p型のチャネルストップ領域17を形成する(ST3)。
次に、図5(c)に示すように、イオン注入法により、基板10の受光部となる領域にn型の信号電荷蓄積領域12を形成する(ST4)。
次に、図6(a)に示すように、熱酸化法により基板10上に酸化シリコン膜からなるゲート絶縁膜30を形成する(ST5)。なお、ゲート絶縁膜30として、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜の積層膜を形成してもよい。
次に、図6(b)に示すように、イオン注入法により、基板10に形成された信号電荷蓄積領域12の表層部にp+の正孔蓄積領域13を形成する(ST6)。続いて、図示はしないが、トランジスタ(Tr)4aのリセットドレインRDやフローティングディフュージョンFDの形成のためのイオン注入を行う(ST7)。
次に、図7(a)に示すように、基板10上にゲート絶縁膜30を介して転送電極20を形成する(ST8)。転送電極20は、例えば基板10上にポリシリコン層を堆積し、リソグラフィ技術およびエッチング技術によりポリシリコン層を加工することにより、単層構造の転送電極20を形成する。ポリシリコン層の膜厚は、200nm〜500nmである。これにより、第1転送電極21および第2転送電極22からなる転送電極20が形成される。転送電極20のパターンは、図2に示した通りである。
次に、図7(b)に示すように、転送電極20を被覆するように絶縁膜31を形成する(ST9)。絶縁膜31は、例えばCVD法により酸化シリコン膜を堆積して形成される。10数Vの駆動電圧に耐えられるように、絶縁膜31の膜厚は100nm前後に設定する。
次に、図8(a)に示すように、リソグラフィ技術およびエッチング技術により、第1転送電極21上の絶縁膜31にコンタクトホールCHを形成する。
次に、図8(b)に示すように、全面にポリシリコン層を堆積して、リソグラフィ技術およびエッチング技術によりポリシリコン層を加工することにより、駆動配線41を形成する。駆動配線41は、コンタクトホールCHを介して第1転送電極21と接続される。ポリシリコン層の膜厚は、200〜500nmである。
次に、図9(a)に示すように、駆動配線41を被覆する絶縁膜32を形成する。絶縁膜32は、例えばCVD法により酸化シリコン膜を堆積して形成される。10数Vの駆動電圧に耐えられるように、絶縁膜32の膜厚は100nm前後に設定する。
次に、図9(b)に示すように、受光部5の位置に開口部50aをもち、転送電極20および駆動配線41を被覆する遮光膜50を形成する(ST10)。遮光膜50は、例えば全面にタングステンなどの高融点金属膜を堆積し、レジストマスクを用いたドライエッチングにより高融点金属膜を加工して形成される。
次に、図10(a)に示すように、基板10上に、例えばBPSGを堆積させて、リフロー処理を行うことにより層間絶縁膜61を形成する(ST11)。続いて、図示はしないが、層間絶縁膜61に、出力部4のトランジスタ4aのフローティングディフュージョンFDやリセットドレインRDに接続するためのコンタクトホールを形成する。その後、層間絶縁膜61上に配線を形成する(ST12)。
次に、図10(b)に示すように、層間絶縁膜61上にプラズマCVD法により窒化シリコン膜を堆積し、窒化シリコン膜の表面を平坦化加工することによりパッシベーション膜62を形成する(ST13)。
次に、図11(a)に示すように、パッシベーション膜62上にカラーフィルタ70を形成する(ST14)。カラーフィルタ70は、例えばカラーレジスト法を用いて形成する。例えばパッシベーション膜62上にグリーンカラーレジストを形成した後に、グリーンカラーレジストを露光および現像することにより、グリーンカラーフィルタ71のパターンを形成する。同様に、カラーレジストの形成、露光および現像を行うことにより、ブルーカラーフィルタ72およびレッドカラーフィルタ73を形成する。なお、カラーフィルタ70の形成順序に限定はない。
次に、図11(b)に示すように、カラーフィルタ70の表面凹凸を平坦化する目的で、カラーフィルタ70上に透明な平坦化膜80を形成する。平坦化膜80としては、例えばアクリル熱硬化樹脂を用いる。
次に、平坦化膜80上にマイクロレンズ90を形成する(図3参照、ST15)。例えばレンズ材料を塗布した後に、レンズ形状のレジストマスクを形成し、レジストマスクとレンズ材料のエッチング選択比が1となるような条件でエッチングすることにより、マイクロレンズ90が形成される。
以上のように、本実施形態に係る固体撮像装置が製造される。図5〜図11の工程断面図および図12のプロセスフロー図を参照して説明したように、本実施形態では、正孔蓄積領域13の全てが転送電極20の加工前に形成される。
図13に、本実施形態に係る固体撮像装置の製造の変形例を示す。図13に示すように、例えば酸化シリコン膜、窒化シリコン膜および酸化シリコン膜の積層膜からなるゲート絶縁膜30を採用する場合には、正孔蓄積領域13の形成前後にゲート絶縁膜30を構成する各絶縁膜を形成してもよい。例えば、1層目の酸化シリコン膜を熱酸化法により形成(ST5a)した後に、正孔蓄積領域13を形成し(ST6)、その後窒化シリコン膜および酸化シリコン膜を形成(ST5b)してもよい。正孔蓄積領域13を形成した後の窒化シリコン膜および酸化シリコン膜の形成工程において、熱酸化プロセスを行わなければ、浅い正孔蓄積領域13を維持することができる。
上記の固体撮像装置は、例えば、ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ、あるいは電子内視鏡用カメラなどのカメラに用いられる。
図14は、上記の固体撮像装置が用いられるカメラの概略構成図である。
カメラ100は、上記した固体撮像装置1と、光学系102と、駆動回路103と、信号処理回路104とを有する。
光学系102は、被写体からの像光(入射光)を固体撮像装置1の撮像面上に結像させる。これにより、固体撮像装置1の各受光部5において、入射光は入射光量に応じた信号電荷に変換され、受光部5の信号電荷蓄積領域12において、一定期間当該信号電荷が蓄積される。
駆動回路103は、上述した4相の転送パルスφV1,φV2,φV3,φV4および2相の転送パルスφH1,φH2などの各種のタイミング信号を固体撮像装置1に与える。これにより、固体撮像装置1の信号電荷の読み出し、垂直転送、水平転送などの各種の駆動が行われる。また、この駆動により、固体撮像装置1の出力部4からアナログ画像信号が出力される。
信号処理回路104は、固体撮像装置1から出力されたアナログ画像信号に対して、ノイズ除去や、ディジタル信号への変換等の各種の信号処理を行う。信号処理回路104による信号処理が行われた後に、メモリなどの記憶媒体に記憶される。
次に、上記の本実施形態に係る固体撮像装置およびその製造方法、並びにカメラの効果について、図15を参照して説明する。図15(a)は、本実施形態に係る固体撮像装置の受光部5近傍の断面図であり、図15(b)は転送電極20に対して正孔蓄積領域13がセルフアラインで形成された比較例の断面図である。
本実施形態では、図15(a)に示すように、p+の正孔蓄積領域13は、第1転送電極21に対して水平方向に距離を隔てて配置されている。読み出し側の第1転送電極21に対する正孔蓄積領域13のオフセット量をW1とし、読み出し側とは反対側の第1転送電極21に対する正孔蓄積領域13のオフセット量をW2とする。
図15(b)に示すように、第1転送電極21の端部直下にp+の正孔蓄積領域13が形成されている場合には、第1転送電極21の端部直下に急峻なpn接合が形成されることとなり、第1転送電極21への読み出し電圧Vt(+10〜15V)の印加時にきわめて大きい電界が発生する。このため、読み出し時において、信号電荷蓄積領域12に蓄積された信号電荷(電子)は、高電界中を加速され、高いエネルギーをもつホットエレクトロンとなる。ホットエレクトロンは、エネルギーが高いため、ゲート絶縁膜30のエネルギー障壁を越えて、ゲート絶縁膜30中にトラップされることになる。ホットエレクトロンが、ゲート絶縁膜30のエネルギー障壁を越えるだけのエネルギーをもたなくても、強電界によるband-to-band tunneling効果や、Trap assisted band-to-band Tunneling効果により、ゲート絶縁膜30に電子が注入される確率が高くなる。
ゲート絶縁膜30中に電子が注入されると、しきい値が大きくなる方向にシフトする。このため、同じ読み出し電圧を印加しても、信号電荷蓄積領域12に蓄積された信号電荷(電子)を完全に読み出せないという読み出し不良が生じる。
これに対して、本実施形態では、図15(a)に示すように、読み出し電圧が印加される第1転送電極21に対してオフセット量W1,W2だけ距離を隔てて正孔蓄積領域13を配置している。このため、第1転送電極21の端部直下に急峻なpn接合が存在しないことから、電界集中を緩和することができる。電界集中を緩和できることにより、ゲート絶縁膜30への電子の注入が抑制され、しきい値がシフトすることもない。このため、経時変化の少ない安定した固体撮像装置を実現することができる。
また、正孔蓄積領域13は、第2転送電極22に対して垂直方向にオーバーラップして形成されている(図4参照)。垂直方向に並ぶ受光部5間における第2転送電極22の下には、チャネルストップ領域17が形成されており、第2転送電極22下において正孔蓄積領域13とチャネルストップ領域17が繋がっている。
受光部5において光電変換過程で生成された電子正孔対のうち正孔については、正孔蓄積領域13を通り、チャネルストップ領域17を通って撮像部2外の外部へ逃がすことができる。これにより、正孔蓄積領域13の電位を一定に維持することができる。
以上のようにして、転送電極20に対する正孔蓄積領域13の位置を最適化することにより、撮像特性の向上および安定化を図った固体撮像装置を実現することができる。本実施形態に係る固体撮像装置を備えたカメラによれば、撮像特性の向上および安定化を図ったカメラを実現することができる。
本実施形態に係る固体撮像装置の製造方法では、転送電極20に対する正孔蓄積領域13の位置を最適化するために、転送電極20よりも前に正孔蓄積領域13の全てを形成する。
転送電極20をマスクとしたイオン注入により正孔蓄積領域13を形成する従来技術においては、正孔蓄積領域13を表層部にのみ形成するため、イオン注入を低エネルギーで行う必要がある。このため、受光部5上に形成されたゲート絶縁膜30を除去する工程が必要となる。本実施形態では、受光部5上のゲート絶縁膜30を除去する工程が必要なくなることから、工程が簡略化され、コストの安価な固体撮像装置を製造することができる。
また、転送電極20の形成後に、信号電荷蓄積領域12および正孔蓄積領域13を形成する場合には、イオン注入工程において、転送電極20のエッジ部の絶縁膜31中の酸素や窒素が注入原子とともに基板10に注入されてしまう。これは、ノックオンインプランテーションあるいはリコイルインプランテーションと称される。基板10にこのような原子が注入されると基板10に欠陥が形成され、この欠陥によって受光期間中に熱的に少数キャリア(電子)が発生し、ノイズ成分(暗電流)が増加してしまう。とくに、転送電極20の端部下における信号電荷蓄積領域12と正孔蓄積領域13の境界付近は、電界が強い部分であることから、熱的に少数キャリアが発生しやすくなる。
本実施形態では、転送電極20を形成する前に、信号電荷蓄積領域12および正孔蓄積領域13を形成することから、上記したノックオンインプランテーションを抑制することができ、暗電流成分の少ない固体撮像装置を製造することができる。
本発明は、上記の実施形態の説明に限定されない。
本発明は、インターライントランスファ方式以外にも、フレームトランスファ方式、フレームインターライントランスファ方式の固体撮像装置に適用することもできる。また、転送電極20の構造には特に限定はない。このため、単層構造の転送電極であっても、2層あるいは3層構造の転送電極であってもよい。また、駆動配線41はなくてもよい。さらに、本実施形態に係る固体撮像装置は、CCD型ではなくMOS型の固体撮像装置にも適用可能である。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
本発明は、インターライントランスファ方式以外にも、フレームトランスファ方式、フレームインターライントランスファ方式の固体撮像装置に適用することもできる。また、転送電極20の構造には特に限定はない。このため、単層構造の転送電極であっても、2層あるいは3層構造の転送電極であってもよい。また、駆動配線41はなくてもよい。さらに、本実施形態に係る固体撮像装置は、CCD型ではなくMOS型の固体撮像装置にも適用可能である。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
1…固体撮像装置、2…撮像部、3…水平転送部、4…出力部、4a…トランジスタ、4b…アンプ、4c…出力端子、5…受光部、6…読み出しゲート部、7…垂直転送部、10…基板、11…p型ウェル、12…信号電荷蓄積領域、13…正孔蓄積領域、14…転送チャネル、15…p型領域、16…読み出しゲート領域、17…チャネルストップ領域、20…転送電極、21…第1転送電極、22…第2転送電極、30…ゲート絶縁膜、31…絶縁膜、32…絶縁膜、41…駆動配線、50…遮光膜、50a…開口部、61…層間絶縁膜、62…パッシベーション膜、70…カラーフィルタ、71…グリーンカラーフィルタ、72…ブルーカラーフィルタ、73…レッドカラーフィルタ、80…平坦化膜、90…マイクロレンズ、100…カメラ、102…光学系、103…駆動回路、104…信号処理回路、CH…コンタクトホール、FD…フローティングディフュージョン、RG…リセットゲート、RD…リセットドレイン
Claims (10)
- 基板に複数形成された受光部と、
前記受光部の周囲における前記基板上に形成された電極と
を有し、
前記電極は、少なくとも正電圧が印加される第1電極と、0あるいは負電圧のみが印加される第2電極とを有し、
前記受光部は、前記基板に形成された信号電荷蓄積領域と、前記信号電荷蓄積領域の表層部に形成された正孔蓄積領域とを有し、
前記正孔蓄積領域は、前記第1電極に対して距離を隔てて配置され、前記第2電極に対してオーバーラップして配置された
固体撮像装置。 - 第1方向および前記第1方向に直交する第2方向において、基板に複数形成された受光部と、
前記受光部の周囲における前記基板上に形成された転送電極と
を有し、
前記転送電極は、
前記受光部に対して第1方向に隣接して形成され、正の読み出し電圧と、0あるいは負の転送パルスが印加される第1転送電極と、
前記第2方向に並ぶ前記受光部間を通って形成され、0あるいは負の転送パルスが印加される第2転送電極とを有し、
前記受光部は、前記基板に形成された信号電荷蓄積領域と、前記信号電荷蓄積領域の表層部に形成された正孔蓄積領域とを有し、
前記正孔蓄積領域は、前記第1転送電極に対して第1方向に距離を隔てて配置され、前記第2転送電極に対して第2方向にオーバーラップして配置された
固体撮像装置。 - 前記第2転送電極下であって前記第2方向に並ぶ前記受光部間に、チャネルストップ領域が形成されており、
前記正孔蓄積領域と前記チャネルストップ領域が、前記第2転送電極下において繋がっている
請求項2記載の固体撮像装置。 - 前記正孔蓄積領域は、前記受光部の両側の2つの前記第1転送電極に対してそれぞれ第1方向に距離を隔てて配置されている
請求項2記載の固体撮像装置。 - 前記正孔蓄積領域は、前記受光部の両側の2つの前記第2転送電極に対してそれぞれ第2方向にオーバーラップして配置されている
請求項2記載の固体撮像装置。 - 基板に配置される複数の受光部となる領域に、それぞれ信号電荷蓄積領域を形成する工程と、
前記各信号電荷蓄積領域の表層部に、正孔蓄積領域を形成する工程と、
前記受光部の周囲における前記基板上に電極を形成する工程と
を有し、
前記電極を形成する工程において、少なくとも正電圧が印加される第1電極と、0あるいは負電圧のみが印加される第2電極とを形成し、
前記正孔蓄積領域を形成する工程において、前記第1電極に対して距離を隔てて配置され、前記第2電極に対してオーバーラップして配置されるように前記正孔蓄積領域を形成する
固体撮像装置の製造方法。 - 前記電極を形成する工程の前に、ゲート絶縁膜を形成する工程をさらに有する
請求項6記載の固体撮像装置の製造方法。 - 基板の第1方向および前記第1方向に直交する第2方向に配置される受光部となる領域に、複数の信号電荷蓄積領域を形成する工程と、
前記各信号電荷蓄積領域の表層部に正孔蓄積領域を形成する工程と、
前記受光部の周囲における前記基板上に、転送電極を形成する工程とを有し、
前記転送電極を形成する工程において、
前記受光部に対して第1方向に隣接して配置され、正の読み出し電圧と、0あるいは負の転送パルスが印加される第1転送電極と、
前記第2方向に並ぶ前記受光部間を通って配置され、0あるいは負の転送パルスが印加される第2転送電極とを形成し、
前記正孔蓄積領域を形成する工程において、前記第1転送電極に対して距離を隔てて配置され、前記第2転送電極に対してオーバーラップして配置されるように前記正孔蓄積領域を形成する
を有する固体撮像装置の製造方法。 - 前記転送電極を形成する工程の前に、ゲート絶縁膜を形成する工程をさらに有する
請求項8記載の固体撮像装置の製造方法。 - 固体撮像装置と、
前記固体撮像装置の撮像面に光を結像させる光学系と、
前記固体撮像装置からの出力信号に対して所定の信号処理を行う信号処理回路と
を有し、
前記固体撮像装置は、
基板に複数形成された受光部と、
前記受光部の周囲における前記基板上に形成された電極と
を有し、
前記電極は、少なくとも正電圧が印加される第1電極と、0あるいは負電圧のみが印加される第2電極とを有し、
前記受光部は、前記基板に形成された信号電荷蓄積領域と、前記信号電荷蓄積領域の表層部に形成された正孔蓄積領域とを有し、
前記正孔蓄積領域は、前記第1電極に対して距離を隔てて配置され、前記第2電極に対してオーバーラップして配置された
カメラ。
Priority Applications (4)
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JP2005220939A JP2007036119A (ja) | 2005-07-29 | 2005-07-29 | 固体撮像装置およびその製造方法、並びにカメラ |
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US12/461,932 US8643757B2 (en) | 2005-07-27 | 2009-08-28 | Method of producing solid state imaging device with optimized locations of internal electrical components |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2005220939A JP2007036119A (ja) | 2005-07-29 | 2005-07-29 | 固体撮像装置およびその製造方法、並びにカメラ |
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JP (1) | JP2007036119A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008256677A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-10-23 | Fujifilm Corp | 放射線画像検出器 |
Citations (4)
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-
2005
- 2005-07-29 JP JP2005220939A patent/JP2007036119A/ja active Pending
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