JP4863826B2 - 測定装置および測定方法 - Google Patents
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Description
上述したMEMSミラー70等のミラーシステムは、電圧を入力することによって偏向角度が制御されるようになっており、入力電圧に対するミラーシステムの偏向特性(最大偏向角度,所定の電圧を入力した場合の偏向角度,入力電圧を所定の振動周波数により変化させた場合の偏向速度および共振点等)に個体差が生じる場合がある。例えば、同一構成の複数のミラーシステムに同一の電圧を入力した場合であっても、偏向角度や共振点が異なったり、電圧の入力に対する偏向速度が異なったりすることがあるので、製造時においてミラーシステムの偏向特性を個別に測定し、この測定結果に基づいてミラーシステムを動作させるための電圧設定値を補正する工程が必要である。
しかしながら、上述したPSD手法においては、PSD素子84が反射光83の位置情報をアナログ信号として出力するようになっているので、位置情報の信頼性(安定性)が低く、精度の高い測定が困難であるという課題がある。更に、例えば、図18に示すように、ミラーシステム70の外側に保護用のカバーガラス85が設けられている場合には、PSD素子84がミラー面71からの反射光83だけでなく、カバーガラス85の表面85aおよび裏面85bからの反射光86a,86b,86cも受光する場合もある。PSD素子84においては、このように同時に複数の入力光を受光した場合には正確に測定することができないという課題がある。
一方、レーザードップラー振動系手法を用いた場合においては、反射光83と反射光83を反射させた光との干渉を測定する必要があるので、測定機器の配置等の条件設定が煩雑であり、又、測定機器が高価であるという課題がある。
さらに、ミラー面の傾きが変更される前の投射光点を第1画像として撮像するとともに、ミラー面の傾きが変更された後の投射光点を第2画像として撮像し、これらの第1画像と第2画像とに基づいて投射光点の移動量を測定することにより、ミラー面の傾き動作に伴ったミラーシステムの特性を容易に測定することができる。
また、投射された光点の強度に基づいて測定対象の投射光点を抽出することにより、測定対象の投射光点を確実に特定することができる。
〔1〕本発明の一実施形態の説明
図1は本発明の一実施形態としての測定装置の構成例を模式的に示す図、図2はその測定対象であるMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)ミラーの構成例を模式的に示す斜視図、図3はその撮像部により撮像された画像の例を示す図である。
なお、以下、この図2に示すような、X軸方向とY軸方向との2軸方向にミラー面11が回動可能に構成されたMEMSミラー12を、2軸をそなえたMEMSミラー12という場合もある。
測定用光源14は、ミラー面11にレーザ光(測定光)28を照射するものであって、レーザ光28をミラー面11に対して出力する既知の種々の手法により実現するようになっている。
投射スクリーン17は、測定用光源14から照射されたレーザ光28がミラー面11で反射することにより形成された反射光13が投射光点50として投射(照射,投影)されるものであって、図3に示すように、ミラー面11からの反射光13を投射光点50(点像)として表示(結像)するようになっている。この投射スクリーン17は、ミラー面11からの反射光13の一部を透過させる拡散板によって実現されており、具体的には、光の一部を透過させる光透過性の部材を用いて構成するとともに、反射光13が投射される投射面17aおよび裏面17b(投射面17aの反対側面)をそれぞれ凹凸状に形成することにより、入射した反射光13を拡散させるようになっている。
画像取得部29は、反射光13が投射光点50として投射された投射スクリーン17を撮像し、投射スクリーン17の画像(図3参照)を取得するものであって、例えば、CCD(Charge Coupled Device)やCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)センサ等の撮像素子(映像素子;センサ)をそなえたカメラ装置(TVカメラ等)によって実現される。又、この画像取得部29には、例えば、映像素子に受光させる時間(撮像蓄積時間)を任意に設定できるシャッタスピード変更機能や、複数の画像を1つの画像上に重ねて露光可能な多重露光機能をそなえて構成されている。又、本実施形態における画像取得部29は、取得した画像を画像データとして後述する撮像制御部19に出力するようになっている。
また、図1に示す例においては、撮像部18は、投射スクリーン17における裏面17b側に配置され、投射スクリーン17の裏面17bを撮像するように構成されており、撮像レンズ30の倍率等に基づいて撮像部18と投射スクリーン17との距離を任意に設定できるようになっている。
撮像制御部19は、撮像部18を制御することによって画像取得部29で取得した画像を取り込むための制御回路として構成されるものであって、画像取得部29から入力された画像データを量子化する他、例えば、画像取得部29や撮像レンズ30に対して制御信号を出力することにより、画像取得部29に対して撮像指示を行なったり、画像取得部29のシャッタスピードを変更したり、撮像レンズ30の倍率の調整を行なったりするようになっている。本実施形態では、撮像制御部19によって量子化された量子化画像を後述する画像処理部20に出力するようになっている。
処理端末21は、制御部31,抽出部32および測定部33としての機能をそなえたコンピュータとして構成されている。
制御部31は、ミラー面11の偏向角度を制御するものであって、例えば、上述した検査者が入力装置を介してミラー面11の偏向角度を変更させるための駆動条件(入力電圧の値,入力電圧の振動周波数等)を入力することにより、後述する駆動波形発生部22に対して、入力された駆動条件に対応する制御信号を出力するようになっている。又、この制御部31は、測定光制御部15におけるシャッタの開閉動作も制御するようになっており、例えば、検査者が入力装置を介して測定開始の指示を入力した場合にはシャッタの開動作を行ない、測定終了の指示を入力した場合にはシャッタの閉動作を行なうようになっている。
測定部33は、撮像部18によって撮像された投射スクリーン17の画像(処理画像)に基づいてMEMSミラー12の偏向特性を測定するものであって、測定対象の投射光点50の強度(明るさ),サイズ(大きさ),座標値(位置)等を測定し、これらの値に基づいてMEMSミラー12の偏向特性(最大偏向角度,所定の電圧を入力した場合の偏向角度,入力電圧を所定の振動周波数により変化させた場合の偏向速度および共振点等)を測定するようになっている。
上述した制御部31,抽出部32および測定部33としての機能は、CPU(Central Processing Unit;図示省略)により実現される。なお、これらの制御部31,抽出部32および測定部33としての各機能は、コンピュータ(CPU,情報処理装置,各種端末を含む)が所定のアプリケーションプログラムを実行することによって実現されてもよい。
なお、本実施形態としての記録媒体としては、上述したフレキシブルディスク,CD,DVD,磁気ディスク,光ディスク,光磁気ディスクのほか、ICカード,ROMカートリッジ,磁気テープ,パンチカード,コンピュータの内部記憶装置(RAMやROMなどのメモリ),外部記憶装置等や、バーコードなどの符号が印刷された印刷物等の、コンピュータ読取可能な種々の媒体を利用することもできる。
先ず、検査者が、MEMSミラー12をステージ16上に載置し、入力装置を介して測定開始の指示を入力することにより、測定光制御部15がシャッタの開動作を行ない、測定用光源14がミラー面11にレーザ光28を照射する(ステップS11;照射ステップ)。
次に、検査者が、入力装置を介して駆動条件(入力電圧の値,入力電圧の振動周波数等)を制御部31に対して入力することにより、駆動波形発生部22は、入力された駆動条件に基づく駆動信号を生成し、この駆動信号を駆動回路27に出力する。駆動信号が入力された駆動回路27は、その駆動信号に基づいてミラー面11を所定角度に傾かせる(ステップS12;制御ステップ)。
画像取得部29から出力された画像データは、撮像制御部19において量子化され、その後、画像処理部20においてノイズの除去等の画像処理が行なわれる。
図5は本発明の一実施形態としての測定装置を用いてミラー面の外側にカバーガラスが設けられているミラーシステムを測定する場合の例を示す図、図6はその場合に撮像部により撮像された画像の例を示す図、図7は反射光の光点と不要光の光点とが同一ライン上に並んで表示された場合の例を示す図、図8は反射光の光点と不要光の光点とが異なるライン上に表示された場合の例を示す図、図9は図8に示す状態における撮像部により撮像された画像の例を示す図である。
本発明の一実施形態に係る測定装置10は、MEMSミラー12およびカバーガラス35から反射された光(反射光13,不要光34a,34b,34c)を画像として捉え、ミラー面11により偏向された反射光13とカバーガラス35から反射された不要光34a,34b,34cについて、複数の取得画像から偏向による動きのあるなし、強度等から判別し、目的の光(反射光13)について選択計測を行うようになっている。
抽出部32は、投射スクリーン17に投射された光点が複数(図6に示す例では光点50,51a,51b,51cの4つ)ある場合には、撮像部18によって撮像された画像に基づいて、これらの複数の光点50,51a,51b,51cから測定対象の投射光点50を抽出するようになっており、PSDを用いた手法では不可能な複数の輝点(光点50,51a,51b,51c)から測定対象の投射光点50を検出することができ、これらの複数の光点50,51a,51b,51cについて、それぞれの輝点中心(重心)位置、サイズ、輝度等を求めることができ、これらの情報から主光線の輝点(投射光点50)を抽出することができる。
図7に示す測定装置においては、測定対象の投射光点50が、投射スクリーン17上において、MEMSミラー12における第1トーションバー25,25の回動に伴って、ラインgに沿って移動するようになっており、更に、カバーガラス35の表面35aや裏面35bからの反射によって生じた不要光点51も投射光点50に接近してラインg上に表示され、これにより測定に支障が出る場合がある。又、この場合において、第1トーションバー25,25を回動させて投射光点50をラインgに沿って移動させると、投射光点50と不要光点51とが投射スクリーン17において重なって表示される状態が発生し、この状態では投射光点50と不要光点51とを判別することは困難である。
図10は本発明の一実施形態としての測定装置を用いてミラー面の偏向角度が高速に振動する場合に撮像部により撮像された画像の例を示す図、図11は図10に示す場合において撮像部のシャッタスピードを長く設定した状態で撮像された画像の例を示す図、図12は本発明の一実施形態としての測定装置を用いて2軸のトーションバーを同時に駆動させた場合に撮像部により撮像された画像の例を示す図、図13は図12に示す場合において撮像部のシャッタスピードを長く設定した状態で撮像された画像の例を示す図である。
先ず、ミラー面の偏向角度が変更される前後の画像に基づいて移動量を測定する手法を説明する。
上述の如きミラー面11の偏向角度の変更の前後での投射光点50の各座標値に基づいて移動量を算出する手法では、ミラー面11の偏向角度が高速に振動(偏向)するMEMSミラー12の偏向特性を測定する場合には、図10に示すように、連続的に撮像することによって光点が断続的に撮像されるので(図10の例では投射光点50a,50b,50cの3つ)、投射光点50の正確な移動量を得るためには、振動周波数に同期させ、適度に遅延させて撮像する必要がある。しかしながら、振動周波数に同期させるための同期回路の準備や、遅延させて撮像するための調整が必要となり測定作業が煩雑となる。
そこで、撮像部18は、制御部31の制御によってMEMSミラー12におけるミラー面11の偏向角度が高速に振動(偏向)することに伴って反射光13が高速に移動する場合には、シャッタスピード(映像素子に受光させる時間;撮像蓄積時間)を長くして撮像することにより、投射光点50の軌跡52(図11参照)を撮像する。なお、映像素子に受光させる時間は、ミラー面11の振動周期より十分長い時間となっている。
次に、本発明の一実施形態に係る測定装置を用いて、トーションバー25,25,26,26をそれぞれ同時に(2軸方向で)駆動させてMEMSミラー12の偏向特性を測定する手法を説明する。
すなわち、トーションバー25,25,26,26を同時に駆動させて、図12に示すように、撮像部18が、制御部31によってミラー面11の偏向角度が変更される前の投射光点50aを第1画像として撮像した後、制御部31によってミラー面11の偏向角度が変更された後の投射光点50bを第2画像として撮像し、測定部33が、上述したミラー面11の偏向角度の変更の前後での投射光点50の移動量を算出する手法を用いて、第1画像の投射光点50aの座標値と第2画像の投射光点50bの座標値とに基づいて、各投射光点50a,50b間におけるt方向の長さL3とs方向の長さL4とを測定することにより、ミラー面11の偏向量(最大偏向角度等)を求める。
さらに、トーションバー25,25,26,26を同時に駆動させるとともに、上述したシャッタスピードを長くして光点の移動量を測定する手法を用いることにより、図13に示すように、撮像部18が、制御部31によってミラー面11の偏向角度が変更されている間の投射光点50の軌跡(リサージュ図形)53を撮像してもよい。
このように、本発明の一実施形態としての測定装置10によれば、レーザ光28がミラー面11で反射することにより形成された反射光13が投射スクリーン17の投射面17aに投射され、この反射光13が投射された投射面17aを撮像部18で撮像することにより、撮像された投射面17aの画像に基づいて2次元的にMEMSミラー12の偏向特性(最大偏向角度,所定の電圧を入力した場合の偏向角度,入力電圧を所定の振動周波数により変化させた場合の偏向速度および共振点等)を測定することができる。又、撮像された投射面17aを視認することによってMEMSミラー12の偏向特性を容易に測定することができ、更に、撮像された投射面17aの画像を画像処理部20や処理端末21等によって画像処理を施すことによって高精度に測定することができる。更に、反射光13が投射光点50として投射された投射面17aを撮像するだけでMEMSミラー12の偏向特性を測定することができるので、測定機器の配置等の煩雑な条件設定を行なうことなく短時間で測定することができる。従って、MEMSミラー12の偏向特性を短時間で容易かつ高精度に測定することができるのである。
さらにまた、従来のPSDを用いた方法に比べて容易に1桁以上高精度で高機能な測定系が低コスト(同機能比較でPSD方式の数分の1のコストダウンが可能)で構築できる。
さらにまた、投射スクリーン17としてミラー面11からの反射光13の一部を透過させる拡散板を用い、撮像部18により投射スクリーン17の裏面17b側から投射スクリーン17の裏面17bを撮像することにより、測定用に細く絞った状態で測定用光源14から出力されるレーザ光(高エネルギー密度光)28が投射スクリーン17で結像し、撮像部18には直接入射しないので、撮像部18がレーザ光28によって損傷することがない。
さらに、ミラー面11の偏向角度が変更される前の投射光点50aを第1画像として撮像した後、ミラー面11の偏向角度が変更された後の投射光点50bを第2画像として撮像し、第1画像の投射光点50aの座標値と第2画像の投射光点50bの座標値とに基づいて、各投射光点50a,50b間の長さL1を測定することにより、投射光点50の移動量を求めることにより、MEMSミラー12の反射光13の動きを2次元的に計測することができ、ミラー面11の偏向動作に伴ったMEMSミラー12の偏向特性を測定することができる。
なお、撮像部18において、シャッタスピードを長くして投射面17aを撮像することにより、軌跡52を容易に撮像することができる。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
例えば、上記実施形態では、駆動回路27を内部にそなえたMEMSミラー12に適用しているが、それに限定されるものではなく、駆動回路27を外部にそなえたMEMSミラー12に適用してもよい。又、MEMSミラー12以外のミラーシステムに適用してもよく、例えば、モータの軸にミラー面が取り付けられ、電磁力を利用してモータを駆動させることによりモータの軸に取り付けられたミラー面の偏向角度を制御するガルバノミラーに適用してもよい。
さらに、上記実施形態では、反射光13が反射光13の投射面17aに対して90°以外の入射角度で入射するように構成されているが、それに限定されるものではなく、図14に示す測定装置10Aのように、反射光13が反射光13の投射面17aに対して90°の入射角度で入射するように構成してもよい。この場合、反射光13が投射スクリーン17で反射し、この反射光13がミラー面11に戻って測定が不安定になることを考慮する必要がある。
〔3〕付記
(付記1) ミラー面の傾きが変更可能に構成されたミラーシステムの特性を測定する測定装置であって、
該ミラー面に測定光を照射する測定用光源と、
該測定用光源から照射された該測定光が該ミラー面で反射することにより形成された反射光が投射光点として投射される投射部と、
該反射光が該投射光点として投射された該投射部を撮像する撮像部とをそなえたことを特徴とする、測定装置。
(付記3) 該ミラー面の傾きを制御する制御部をそなえ、
該測定部が、該制御部によって制御された該ミラー面で反射することにより形成された該反射光に基づいて該ミラーシステムの特性を測定することを特徴とする、付記2に記載の測定装置。
(付記5) 該撮像部が、該投射部における該反射光の投射面の反対側に配置され、該投射面の裏面を撮像することを特徴とする、付記1〜付記3のいずれか1項に記載の測定装置。
(付記7) 該投射部は、該反射光が該反射光の投射面に対して90°以外の入射角度で入射するように構成されることを特徴とする、付記1〜付記6のいずれか1項に記載の測定装置。
該ミラー面に測定光を照射する照射ステップと、
該照射ステップにおいて照射された該測定光が該ミラー面で反射することにより形成された反射光が投射光点として投射部の投射面に投射される投射ステップと、
該投射ステップにおいて該反射光が該投射光点として投射された該投射面を撮像する撮像ステップとをそなえたことを特徴とする、測定方法。
(付記10) 該ミラー面の傾きを制御する制御ステップをそなえ、
該測定ステップにおいて、該制御ステップにおいて制御された該ミラー面で反射することにより形成された反射光に基づいて該ミラーシステムの特性を測定することを特徴とする、付記9に記載の測定方法。
(付記12) 該撮像ステップにおいて、該投射部における該反射光の反対側から該投射面の裏面を撮像することを特徴とする、付記8〜付記10のいずれか1項に記載の測定方法。
(付記14) 該投射ステップにおいて、該反射光が該反射光の投射面に対して90°以外の入射角度で入射されることを特徴とする、付記8〜付記13のいずれか1項に記載の測定方法。
該ミラー面に測定光を照射する測定用光源と、
該測定用光源から照射された該測定光が該ミラー面で反射することにより形成された反射光が投射光点として投射される投射部と、
該反射光が該投射光点として投射された該投射部を撮像する撮像部と、
該ミラー面の傾きを制御する制御部と、
該撮像部によって撮像された該投射部の画像に基づいて、該制御部によって制御された該ミラー面の傾きの変更に伴って移動する該投射光点の移動量を測定する測定部とをそなえたことを特徴とする、測定装置。
該測定部が、該撮像部によって撮像された該第1画像および該第2画像に基づいて、該投射光点の移動量を測定することを特徴とする、付記15に記載の測定装置。
該測定部が、該撮像部によって撮像された該軌跡に基づいて、該投射光点の移動量を測定することを特徴とする、付記15に記載の測定装置。
(付記18) 該撮像部によって撮像された画像に基づいて、該投射部に投射された複数の光点から測定対象の該投射光点を抽出する抽出部をそなえることを特徴とする、付記15〜付記17のいずれか1項に記載の測定装置。
(付記20) 該抽出部が、該光点の大きさに基づいて測定対象の投射光点を抽出することを特徴とする、付記18または付記19に記載の測定装置。
(付記21) 該抽出部が、該光点の配列位置に基づいて測定対象の該投射光点を抽出することを特徴とする、付記18〜付記20のいずれか1項に記載の測定装置。
(付記23) 該ミラーシステムが、複数の回転軸をそなえ、該ミラー面がこれらの複数の回転軸まわりにそれぞれ回動可能に構成されたものであって、
該制御部は、該投射部に投射された複数の該光点が該投射部において同一ライン上に並んで表示された場合に、該ミラーシステムにおける一の回転軸を、測定対象の該投射光点と測定対象以外の光点とが異なるライン上に表示されるミラー面の偏向角度となるように回動させた状態で、該ミラーシステムにおける他の回転軸を回動させることによってミラー面の偏向角度を制御することを特徴とする、付記18〜付記22のいずれか1項に記載の測定装置。
該ミラー面に測定光を照射する照射ステップと、
該照射ステップにおいて照射された該測定光が該ミラー面で反射することにより形成された反射光が投射光点として投射部に投射される投射ステップと、
該投射ステップにおいて該反射光が該投射光点として投射された該投射部を撮像する撮像ステップと、
該ミラー面の傾きを制御する制御ステップと、
該撮像ステップにおいて撮像された該投射部の画像に基づいて、該制御ステップにおいて制御された該ミラー面の傾きの変更に伴って移動する該投射光点の移動量を測定する測定ステップとをそなえたことを特徴とする、測定方法。
該測定ステップにおいて、該撮像ステップにおいて撮像された該第1画像および該第2画像に基づいて、該投射光点の移動量を測定することを特徴とする、付記24に記載の測定方法。
該測定ステップにおいて、該撮像ステップにおいて撮像された該軌跡に基づいて、該投射光点の移動量を測定することを特徴とする、付記24に記載の測定方法。
(付記27) 該撮像ステップにおいて撮像された画像に基づいて、該投射ステップにおいて該投射部に投射された複数の光点から測定対象の該投射光点を抽出する抽出ステップをそなえることを特徴とする、付記24〜付記26のいずれか1項に記載の測定方法。
(付記29) 該抽出ステップにおいて、該光点の大きさに基づいて測定対象の該投射光点を抽出することを特徴とする、付記27または付記28に記載の測定方法。
(付記30) 該抽出ステップにおいて、該光点の配列位置に基づいて測定対象の該投射光点を抽出することを特徴とする、付記27〜付記29のいずれか1項に記載の測定方法。
(付記32) 該ミラーシステムが、複数の回転軸をそなえ、該ミラー面がこれらの複数の回転軸まわりにそれぞれ回動可能に構成されたものであって、
該制御ステップにおいて、該投射ステップによって投射された複数の該光点が該投射面において同一ライン上に並んで表示された場合に、該ミラーシステムにおける一の回転軸を、測定対象の該投射光点と測定対象以外の光点とが異なるライン上に表示されるミラー面の偏向角度となるように回動させた状態で、該ミラーシステムにおける他の回転軸を回動させることによってミラー面の偏向角度を制御することを特徴とする、付記27〜付記31のいずれか1項に記載の測定方法。
該ミラーシステムを製造する製造ステップと、
該製造ステップにおいて製造された該ミラーシステムを検査する検査ステップとをそなえ、
該検査ステップが、
該ミラー面に測定光を照射する照射ステップと、
該照射ステップにおいて照射された該測定光が該ミラー面で反射することにより形成された反射光が投射光点として投射部の投射面に投射される投射ステップと、
該投射ステップにおいて該反射光が該投射光点として投射された該投射面を撮像する撮像ステップと、
該撮像ステップにおいて撮像された該投射部の画像に基づいて該ミラーシステムの特性を測定する測定ステップとをそなえたことを特徴とする、ミラーシステムの製造方法。
該ミラーシステムを製造する製造ステップと、
該製造ステップにおいて製造された該ミラーシステムを検査する検査ステップとをそなえ、
該検査ステップが、
該ミラー面に測定光を照射する照射ステップと、
該照射ステップにおいて照射された該測定光が該ミラー面で反射することにより形成された反射光が投射光点として投射部に投射される投射ステップと、
該投射ステップにおいて該反射光が該投射光点として投射された該投射部を撮像する撮像ステップと、
該ミラー面の傾きを制御する制御ステップと、
該撮像ステップにおいて撮像された該投射部の画像に基づいて、該制御ステップにおいて制御された該ミラー面の傾きの変更に伴って移動する該投射光点の移動量を測定する測定ステップとをそなえたことを特徴とする、ミラーシステムの製造方法。
11,71 ミラー面
12,70 MEMSミラー(ミラーシステム)
13,83 反射光
14,82 測定用光源
15 測定光制御部
16 ステージ
17 投射スクリーン(投射部)
17a 投射面
17b 裏面
18 撮像部
19 撮像制御部
20 画像処理部
21 処理端末
22 駆動波形発生部
23,72 内側フレーム
24,73 外側フレーム
25,74 第1トーションバー(回転軸)
26,75 第2トーションバー(回転軸)
27 駆動回路
28,81 レーザ光(測定光)
29 画像取得部
30 撮像レンズ
31 制御部
32 抽出部
33 測定部
35,85 カバーガラス
35a,85a カバーガラスの表面
35b,85b カバーガラスの裏面
34,34a,34b,34c,86,86a,86b,86c 不要光
50,50a,50b,50c 投射光点(光点)
51,51a,51b,51c 不要光点(光点)
52,53 軌跡
84 PSD素子
L1,L2,L3,L4,L5,L6,L7 長さ(移動量)
Claims (6)
- ミラー面の傾きが変更可能に構成されたミラーシステムの特性を測定する測定装置であって、
該ミラー面に測定光を照射する測定用光源と、
該測定用光源から照射された該測定光が該ミラー面で反射することにより形成された反射光が投射光点として投射される投射部と、
該反射光が該投射光点として投射された該投射部を撮像する撮像部と、
該ミラー面の傾きを制御する制御部と、
該撮像部によって撮像された該投射部の画像に基づいて、該制御部によって制御された該ミラー面の傾きの変更に伴って移動する該投射光点の移動量を測定する測定部と、
該撮像部によって撮像された画像に基づいて、該投射部に投射された複数の光点から測定対象の該投射光点を抽出する抽出部とをそなえ、
該ミラーシステムが、複数の回転軸をそなえ、該ミラー面がこれらの複数の回転軸まわりにそれぞれ回動可能に構成されたものであって、
該制御部は、該投射部に投射された複数の該光点が該投射部において同一ライン上に並んで表示された場合に、該ミラーシステムにおける一の回転軸を、測定対象の該投射光点と測定対象以外の光点とが異なるライン上に表示されるミラー面の偏向角度となるように回動させた状態で、該ミラーシステムにおける他の回転軸を回動させることによってミラー面の偏向角度を制御することを特徴とする、測定装置。 - 該撮像部が、該制御部によって該ミラー面の傾きが変更されている間の該投射光点の軌跡を撮像し、
該測定部が、該撮像部によって撮像された該軌跡に基づいて、該投射光点の移動量を測定することを特徴とする、請求項1に記載の測定装置。 - 該抽出部が、該光点の強度に基づいて測定対象の該投射光点を抽出することを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載の測定装置。
- ミラー面の傾きが変更可能に構成されたミラーシステムの特性を測定する測定方法であって、
該ミラー面に測定光を照射する照射ステップと、
該照射ステップにおいて照射された該測定光が該ミラー面で反射することにより形成された反射光が投射光点として投射部に投射される投射ステップと、
該投射ステップにおいて該反射光が該投射光点として投射された該投射部を撮像する撮像ステップと、
該ミラー面の傾きを制御する制御ステップと、
該撮像ステップにおいて撮像された該投射部の画像に基づいて、該制御ステップにおいて制御された該ミラー面の傾きの変更に伴って移動する該投射光点の移動量を測定する測定ステップと、
該撮像ステップにおいて撮像された画像に基づいて、該投射ステップにおいて該投射部に投射された複数の光点から測定対象の該投射光点を抽出する抽出ステップとをそなえ、
該ミラーシステムが、複数の回転軸をそなえ、該ミラー面がこれらの複数の回転軸まわりにそれぞれ回動可能に構成されたものであって、
該制御ステップにおいて、該投射ステップによって投射された複数の該光点が該投射面において同一ライン上に並んで表示された場合に、該ミラーシステムにおける一の回転軸を、測定対象の該投射光点と測定対象以外の光点とが異なるライン上に表示されるミラー面の偏向角度となるように回動させた状態で、該ミラーシステムにおける他の回転軸を回動させることによってミラー面の偏向角度を制御することを特徴とする、測定方法。 - 該撮像ステップにおいて、該制御ステップにおいて該ミラー面の傾きが変更されている間の該投射光点の軌跡を撮像し、
該測定ステップにおいて、該撮像ステップにおいて撮像された該軌跡に基づいて、該投射光点の移動量を測定することを特徴とする、請求項4に記載の測定方法。 - 該抽出ステップにおいて、該光点の強度に基づいて測定対象の該投射光点を抽出することを特徴とする、請求項4又は請求項5に記載の測定方法。
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