JP4853839B2 - カーボンナノチューブ集合体の製造方法、カーボンナノチューブ集合体、触媒粒子分散膜、電子放出素子、及び、電界放出型ディスプレイ - Google Patents
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Description
所定の粒径を有する金属触媒粒子が、無機化合物粒子である障害粒子中に分散されている触媒粒子分散膜を備える触媒粒子分散膜形成基板を準備する工程と、
前記金属触媒粒子を基点として、有機化合物蒸気の熱分解によってカーボンナノチューブを成長させる熱CVD工程と、
を含む方法である。
(i)基板上に直接成長したカーボンナノチューブの集合体であって、該カーボンナノチューブの成長密度が109〜1011本/cm2の範囲であり、該集合体に含まれるカーボンナノチューブのうち2層カーボンナノチューブの占める割合が50%以上であるカーボンナノチューブ集合体。
(ii)基板上に直接成長したカーボンナノチューブの集合体であって、該カーボンナノチューブの成長密度が109〜1011本/cm2の範囲であり、該集合体に含まれるカーボンナノチューブのうち3層カーボンナノチューブの占める割合が50%以上であるカーボンナノチューブ集合体。
(iii)基板上に直接成長したカーボンナノチューブの集合体であって、該カーボンナノチューブの成長密度が109〜1011本/cm2の範囲であり、該集合体に含まれるカーボンナノチューブのうち4層カーボンナノチューブの占める割合が50%以上であるカーボンナノチューブ集合体。
(iv)基板上に直接成長したカーボンナノチューブの集合体であって、該カーボンナノチューブの成長密度が109〜1011本/cm2の範囲であり、該集合体に含まれるカーボンナノチューブのうち5層カーボンナノチューブの占める割合が50%以上であるカーボンナノチューブ集合体。
先ず、基板を用意する。基板の材質としては、石英ガラス、シリコン単結晶、各種セラミックや金属を用いることができる。基板の大きさ、厚さは任意であるが、基板の熱容量が大きくなると還元工程以降で触媒粒子の急速加熱が技術的に困難になりやすいため、基板の厚さは5mm程度以下とするのが良い。
本実施形態においては、前記金属触媒粒子が前記障害粒子中に分散されている触媒粒子分散膜を備える触媒粒子分散膜形成基板は、後述する還元工程、CVD工程へと供される。図2は、本発明に係るカーボンナノチューブ集合体の製造方法において、還元工程、CVD工程を実現することのできる装置の一例である。反応炉21の中心には、真空排気およびガス置換が可能な炉心管24が配置される。炉心管24の外側には、波長1.0μm〜1.7μmの範囲にエネルギー分光分布のピークを有する輻射ヒーター22が備えられており、炉心管24の内部に配置された基板ホルダー25上の基板26を均一かつ急速に加熱することができる。基板25の温度は温度計28により計測され、予めプログラムされた所定の温度となるよう、制御装置27によりヒーター22への供給電力が制御される。
基板上に形成された金属触媒粒子は表面が酸化されていることが多く、そのままではカーボンナノチューブ集合体を均一に成長させることが困難である。そのため、このような場合は、カーボンナノチューブ成長前に金属触媒粒子表面を還元処理する必要がある。
本実施形態においては、還元工程によって還元された金属触媒粒子を基点として、有機化合物蒸気の熱分解によってカーボンナノチューブを成長させる。なお、還元工程とCVD工程とは、同一装置で連続して行うことが望ましい。還元された触媒粒子を大気等の酸化性雰囲気にさらすと、触媒粒子が再び酸化して触媒活性が低下し、カーボンナノチューブを成長させにくくなるためである。
以下の実施例において詳述するように、以上の工程により製造されたカーボンナノチューブ集合体を調べた結果、次のことが明らかになった。すなわち、所望のグラフェンシート数を高収率で得るためには、CVD工程直前の基板上の金属触媒粒子の粒径を単層カーボンナノチューブの場合には8nm以下、2層カーボンナノチューブの場合には8〜11nmの範囲、3層カーボンナノチューブの場合には11〜15nmの範囲、4層カーボンナノチューブの場合には15nm〜18nmの範囲、5層カーボンナノチューブの場合には18nm〜21nmとすればよい。
基板上の金属触媒粒子を基点としてカーボンナノチューブを成長させる場合には、カーボンナノチューブのグラフェンシート数は、成長開始時の金属触媒粒子の粒径によって決まることを明らかにした。そこでまず、触媒粒径と、成長したカーボンナノチューブのグラフェンシート数の関係について詳細に調べた結果について説明する。
I.予備の石英ガラス基板に60分間のスパッタ成膜を行った。
II.60分間の成膜で得られた厚い連続膜の膜厚を段差測定機にて正確に計測した(成膜条件及びターゲット種類によって異なるが、150〜200nm範囲内の膜厚であった)。
III.堆積速度(nm/s)=膜厚(nm)/3600(s)の式で堆積速度を算出した。
IV.カーボンナノチューブを合成するために用意した石英ガラス基板に対して、所望のスパッタ膜厚(nm)=成膜時間(s)×堆積速度(nm/s)の式で算出された成膜時間(数10秒間)だけスパッタ成膜した。
同時スパッタ法により様々な金属触媒粒子密度を有する触媒粒子分散膜を石英ガラス基板上に形成し、還元工程及びCVD工程を経て、2層カーボンナノチューブの収率が高くかつ成長密度が制御されたカーボンナノチューブ集合体を製造した実施例について説明する。
実施例1で製造された、2層カーボンナノチューブ割合が50%以上でかつ様々な成長密度に制御されたカーボンナノチューブ集合体に対して、光触媒粒子を担持させた実施例について説明する。
可視光応答性のあるTiO2−xNx粉末(一次粒子径5〜10nm)をプロパノール溶媒中に10wt%の割合で分散させた。得られた分散液100mLをビーカーに注いだ。この分散液の入ったビーカー中に、実施例1で作製した図6に記載の5種類のカーボンナノチューブ集合体を浸漬して1時間放置した。その後、カーボンナノチューブ集合体を取り出して100℃で1時間乾燥し、カーボンナノチューブ集合体に光触媒TiO2−xNx粒子を担持した。これを光触媒素子基板と呼ぶ。本実施例では、光触媒粒子として酸化チタンの酸素原子がアニオンである窒素原子で一部置換されたTiO2−xNxを用いたが、光触媒機能を発現する粒子であればよい。
メチレンブルーを純水に溶かして濃度1ppmのメチレンブルー水溶液を調製し、試験液とした。試験液の初期透過率は、波長644nmにおいて60%だった。
カーボンナノチューブ集合体にTiO2−xNx粒子を担持させた光触媒素子基板について、前述の光触媒能の評価方法に従い評価を行った。その結果を図7に示す。図7において、横軸は基板上のカーボンナノチューブ成長密度(図6の縦軸と同じもの)で、縦軸は試験液の透過率である。図中の□印は、暗室にてメチレンブルーを光触媒素子基板に吸着させた後の透過率を表し、○印は、蛍光灯の光を照射して光触媒反応を起した後の透過率を表す。すなわち、○印の透過率と□印の透過率の差分が、光触媒反応によってメチレンブルーが分解されたことによる透過率上昇分、すなわち正味の光触媒能である。
カーボンナノチューブ集合体を成長させていない無垢の石英ガラス基板を用いて、実施例2と同様の方法で光触媒粒子を析出させて、光触媒素子基板を作製した。この光触媒素子基板を用いて前述の方法で光触媒能を計測したところ、透過率は78%であり、カーボンナノチューブ集合体を成長させた基板よりも、光触媒能力が劣っていることが確認できた。カーボンナノチューブ集合体を用いていないので、TiO2−xNx粒子を小さい粒径のまま担持できておらず、その結果として有効表面積が小さいのである。
実施例3は、本発明のカーボンナノチューブ集合体(炭素材料)を電子源として用いた電界放出型ディスプレイ装置(電子放出素子)に関するものである。図9は該ディスプレイの概略断面図であり、51はエミッタ電極、52は絶縁体、53はゲート電極、54は電子源、55は蛍光体、56は直流電源である。
Claims (19)
- 基板上におけるカーボンナノチューブの成長密度を制御するカーボンナノチューブ集合体の製造方法であって、
所定の粒径を有する金属触媒粒子が、無機化合物粒子である障害粒子中に分散されている触媒粒子分散膜を備える触媒粒子分散膜形成基板を準備する工程と、
前記金属触媒粒子を基点として、有機化合物蒸気の熱分解によってカーボンナノチューブを成長させる熱CVD工程と、
を含む、カーボンナノチューブ集合体の製造方法。 - 前記触媒粒子分散膜形成基板を準備する工程が、基板上に金属触媒粒子と障害粒子とを析出させて前記触媒粒子分散膜を形成する触媒析出工程である、請求項1に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。
- 前記触媒粒子分散膜中の金属触媒粒子を還元雰囲気中で還元処理する還元工程を更に含む、請求項1に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。
- 前記障害粒子は無機化合物粒子であり、
前記触媒粒子分散膜形成基板を準備する工程が、基板上に金属触媒粒子と無機化合物粒子とを析出させて前記触媒粒子分散膜を形成する触媒析出工程であり、
前記触媒粒子分散膜中の金属触媒粒子を還元雰囲気中で還元処理する還元工程を更に含む、
請求項1に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。 - 前記触媒粒子分散膜は、触媒金属と無機化合物とをターゲットとした同時スパッタ法により形成されたものである、請求項1に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。
- 前記金属触媒粒子は、Fe、Co、Niからなる群から選択される少なくとも1種の主触媒粒子と、融点が1500℃以上の高融点金属からなる群から選択される少なくとも1種の助触媒粒子との合金あるいは混合物からなる、請求項1に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。
- 前記無機化合物粒子は、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化チタン、酸化珪素からなる群から選択される少なくとも1種を含む酸化物からなる、請求項1に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。
- 前記基板上に形成された触媒粒子分散膜中の金属触媒粒子の粒径が8nm以下であり、得られるカーボンナノチューブが単層カーボンナノチューブである、請求項1に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。
- 前記基板上に形成された触媒粒子分散膜中の金属触媒粒子の粒径が8nm〜11nmであり、得られるカーボンナノチューブが2層カーボンナノチューブである、請求項1に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。
- 前記基板上に形成された触媒粒子分散膜中の金属触媒粒子の粒径が11nm〜15nmであり、得られるカーボンナノチューブが3層カーボンナノチューブである、請求項1に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。
- 前記基板上に形成された触媒粒子分散膜中の金属触媒粒子の粒径が15nm〜18nmであり、得られるカーボンナノチューブが4層カーボンナノチューブである、請求項1に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。
- 前記基板上に形成された触媒粒子分散膜中の金属触媒粒子の粒径が18nm〜21nmであり、得られるカーボンナノチューブが5層カーボンナノチューブである、請求項1に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。
- 前記触媒粒子分散膜中の金属触媒粒子と障害粒子との配合比を制御することにより前記カーボンナノチューブの成長密度を制御する、請求項1に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。
- 前記カーボンナノチューブの成長密度を109〜1011本/cm2の範囲で制御する、請求項1に記載のカーボンナノチューブ集合体の製造方法。
- 熱CVD法によるカーボンナノチューブ集合体の製造に用いられる触媒粒子分散膜であって、
所定の粒径を有する金属触媒粒子が、無機化合物粒子である障害粒子中に分散されている触媒粒子分散膜。 - 前記触媒粒子分散膜は、触媒金属と無機化合物とをターゲットとした同時スパッタ法により形成されたものである、請求項15に記載の触媒粒子分散膜。
- 前記金属触媒粒子は、Fe、Co、Niからなる群から選択される少なくとも1種の主触媒粒子と、融点が1500℃以上の高融点金属からなる群から選択される少なくとも1種の助触媒粒子との合金あるいは混合物からなる、請求項15に記載の触媒粒子分散膜。
- 前記無機化合物粒子は、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化チタン、酸化珪素からなる群から選択される少なくとも1種を含む酸化物からなる、請求項15に記載の触媒粒子分散膜。
- 前記触媒粒子分散膜中の金属触媒粒子と障害粒子との配合比が、所望のカーボンナノチューブの成長密度に応じて制御されている、請求項15に記載の触媒粒子分散膜。
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