JP4853198B2 - Iii族窒化物系化合物半導体発光素子 - Google Patents
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また、iGaN層に電流経路を形成するうえで好ましいピットが得られる。さらに、この上に積層されるnGaN層のSiがピット周囲に集中することにより、電流経路の形成が促進されてさらなる静電耐圧特性の向上を図ることができる。
また、iGaN層に電流経路を形成するうえで好ましいピットが得られる。さらに、この上に積層されるnGaN層のSiがピット周囲に集中することにより、電流経路の形成が促進されてさらなる静電耐圧特性の向上を図ることができる。
図1は、本発明の実施の形態に係るIII族窒化物系化合物半導体発光素子(以下「発光素子」という。)の断面図である。
図1に示すように、この発光素子1は、フェイスアップ型であり、サファイア基板101と、AlNバッファ層102と、nコンタクト層103と、第1のnESD(Electro Static Discharge)層としてのiGaN層104と、第2のnESD層としてのnGaN層105と、n超格子層106と、発光層107と、p超格子層108と、pGaN層109と、ITO(Indium Tin Oxide)110と、パッシベーション層111と、V層112AおよびAl層112Bからなるn側電極112とを有する。
AlNバッファ層102は、MOCVD法によりサファイア基板101上に400℃の成長温度で膜厚150Åで形成されている。
また、膜厚300nÅのGaN層105にドープされるSiは3×1018/cm3としてもよい。この場合、単位体積あたりのSi原子の量と膜厚との積により定められるSi原子の特性値は0.9×1021(atoms・Å/cm3)である。
すなわち、n側のIII族窒化物系化合物半導体層を形成する工程は、800〜900℃の温度範囲でiGaN層104をMOCVD法により結晶成長する工程と、1cm3あたりのSi原子の量と膜厚(Å)の積により定められる特性値が0.9×1021〜3.6×1021(atoms・Å/cm3)のnGaN層105をMOCVD法により結晶成長する工程と、を含んでいる。
また、nGaN層105におけるSi原子の特性値を1.5×1021〜3.6×1021(atoms・Å/cm3)とすることで、図2(c)に示すようにESD生存率が88%以上となることが確認された。尚、図2(c)では、Si原子の特性値が1.5×1021〜3.0×1021(atoms・Å/cm3)のときに、ESD生存率が73%以上となることが明らかとなっている。
さらに、単位体積あたりのSi原子の量と膜厚との積により定められるSi原子の特性値が3.6×1021(atoms・Å/cm3)を超えると、ESD生存率は悪化しないものの、発光光度が低下することも確認された。
上記した本実施の形態によると、成長面にSiの集中を促すピットが形成されたiGaN層104と、これに積層されるSi原子の特性値を0.9×1021〜3.6×1021(atoms・Å/cm3)としたnGaN層105とでnESD層を形成したので、素子の垂直方向に対する電流経路を形成することができ、そのことによって静電耐圧特性の向上を図ることができる。また、素子の静電耐圧特性向上により、サブマウント等の保護部材を設けなくとも良好な信頼性を有するので、発光素子を用いたデバイスのコストダウンを図ることも可能になる。
Claims (7)
- サファイア基板上に設けられるバッファ層上に、n側のIII族窒化物系化合物半導体層、発光する層、およびp側のIII族窒化物系化合物半導体層を順次設けてなるIII族窒化物系化合物半導体発光素子において、
前記n側III族窒化物系化合物半導体層は、前記バッファ層と前記発光する層との間に、膜厚が1500〜4000ÅでRMS(Root Mean Square)3〜12(nm)の粗さを有するiGaN層と、1cm3あたりのSi原子の量と膜厚(Å)の積により定められる特性値が0.9×1021〜3.6×1021(atoms・Å/cm3)のnGaN層と、を含むことを特徴とするIII族窒化物系化合物半導体発光素子。 - サファイア基板上に設けられるバッファ層上に、n側のIII族窒化物系化合物半導体層、発光する層、およびp側のIII族窒化物系化合物半導体層を順次設けてなるIII族窒化物系化合物半導体発光素子において、
前記n側のIII族窒化物系化合物半導体層は、前記バッファ層と前記発光する層との間に、MOCVD法により800〜900℃の温度範囲で結晶成長され膜厚が1500〜4000ÅのiGaN層と、1cm3あたりのSi原子の量と膜厚(Å)の積により定められる特性値が0.9×1021〜3.6×1021(atoms・Å/cm3)のnGaN層と、を含むことを特徴とするIII族窒化物系化合物半導体発光素子。 - 前記iGaN層は、RMS(Root Mean Square)が5〜12(nm)であることを特徴とする請求項1または2に記載のIII族窒化物系化合物半導体発光素子。
- 前記nGaN層は、前記特性値が1.5×1021〜3.6×1021(atoms・Å/cm3)であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のIII族窒化物系化合物半導体発光素子。
- 前記nGaN層は、膜厚が250〜500Åであることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のIII族窒化物系化合物半導体発光素子。
- 前記III族窒化物系化合物半導体発光素子は、フェイスアップ型の発光素子であることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載のIII族窒化物系化合物半導体発光素子。
- サファイア基板上に設けられるバッファ層上に、n側のIII族窒化物系化合物半導体層、発光する層、およびp側のIII族窒化物系化合物半導体層を順次設けてなるIII族窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法であって、
前記n側のIII族窒化物系化合物半導体層を形成する工程は、
800〜900℃の温度範囲でiGaN層をMOCVD法により結晶成長する工程と、
1cm3あたりのSi原子の量と膜厚(Å)の積により定められる特性値が0.9×1021〜3.6×1021(atoms・Å/cm3)のnGaN層をMOCVD法により結晶成長する工程と、を含むことを特徴とするIII族窒化物系化合物半導体発光素子の製造方法。
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