JP4850393B2 - 表示装置の作製方法 - Google Patents
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- 複数のトランジスタ上に層間絶縁膜を形成し、
前記層間絶縁膜上に前記複数のトランジスタのそれぞれに電気的に接続するアルミニウム又は銅を有する複数の第1の電極を形成し、
前記複数の第1の電極を覆って前記層間絶縁膜上に酸化珪素もしくは珪素を含むインジウム錫酸化物、酸化亜鉛、またはガリウムを含む酸化亜鉛でなる第1の透明導電膜を成膜し、
前記第1の透明導電膜上に、インジウム錫酸化物または酸化錫でなる第2の透明導電膜を成膜し、
弱酸性溶液を用いて、前記第1の透明導電膜及び前記第2の透明導電膜をエッチングして前記層間絶縁膜上のすべての前記第1の電極のそれぞれの上面及び側面を完全に覆う複数の第2の電極を形成することを特徴とする表示装置の作製方法。 - 複数のトランジスタ上に層間絶縁膜を形成し、
前記層間絶縁膜上に前記複数のトランジスタのそれぞれに電気的に接続するアルミニウム又は銅を有する複数の第1の電極を形成し、
前記複数の第1の電極を覆って前記層間絶縁膜上に酸化珪素もしくは珪素を含むインジウム錫酸化物、酸化亜鉛、またはガリウムを含む酸化亜鉛でなる非晶質の第1の透明導電膜を成膜し、
前記第1の透明導電膜上に、インジウム錫酸化物または酸化錫でなる第2の透明導電膜を成膜し、
弱酸性溶液を用いて、前記第1の透明導電膜及び前記第2の透明導電膜をエッチングして前記層間絶縁膜上のすべての前記第1の電極のそれぞれの上面及び側面を完全に覆う複数の第2の電極を形成し、
250℃以下の熱処理により前記第1の透明導電膜を非晶質のままとし、かつ、前記第2の透明導電膜を結晶化することを特徴とする表示装置の作製方法。 - 請求項2において、結晶化した前記第2の透明導電膜に強酸性溶液を用いて表面処理を行うことを特徴とする表示装置の作製方法。
- 請求項2において、結晶化した前記第2の透明導電膜に酸素プラズマまたはアルカリ系溶液を用いて表面処理を行うことを特徴とする表示装置の作製方法。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか一項において、前記第2の透明導電膜を成膜後、前記第2の透明導電膜をエッチングする前に、前記第2の透明導電膜の表面を研磨することを特徴とする表示装置の作製方法。
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