JP4835968B2 - 両面研磨機 - Google Patents
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Description
14 保持板
16 研磨板
22 研磨間隙
36 冷却装置
40,42 センサ
48 温度測定装置
54 温度制御通路
60 貯蔵室
64 測定装置
76,80 コントローラ
Claims (7)
- 研磨板及び保持板をそれぞれ具備してなる上側定盤と下側定盤が同軸廻りに相対的に回転駆動されるとともに、前記各定盤の間に平坦な被加工物の両面を加工するための研磨間隙が設けられてなる両面研磨機において、
少なくとも前記上側定盤の前記保持板内に設けられ、温度流体を通す流体通路と、前記研磨板の温度を測定する温度測定装置と、該温度測定装置によって測定された温度に応じて前記流体通路に接続される前記温度流体の供給源の温度を制御することにより前記保持板の温度を変化させる制御手段と、前記各定盤に組み合わされ前記研磨間隙の半径方向に離間した少なくとも2点において前記研磨間隙の間隙幅を測定する間隔測定装置と、を備え、
前記供給源は、温度制御流体の貯蔵室を有するとともに、該貯蔵室の体積が前記流体通路の体積と略同じであって、前記貯蔵室が加熱および冷却装置を備えたことを特徴とする両面研磨機。 - 前記上側研磨板の半径方向内側に少なくとも第1のセンサが配置され、半径方向外側に少なくとも第2のセンサが配置されたことを特徴とする請求項1に記載の両面研磨機。
- 前記間隔測定装置が、渦電流センサであることを特徴とする請求項1記載の両面研磨機。
- 前記上側定盤が軸によって駆動され、前記各センサが、前記軸内の経路及び集電リング機構を通じて前記間隔測定装置へ接続されたことを特徴とする請求項2または3に記載の両面研磨機器。
- 前記上側定盤が軸によって駆動され、温度流体の前記供給源が、回転継手および前記軸内に該軸方向に沿って設けられた通路を介して前記保持板内の温度制御通路に接続されたことを特徴とする請求項2または3に記載の両面研磨機。
- 第1のコントローラが、前記間隙幅の適切値Δμsollと実際の測定値Δμistの差から適切な温度値Tsollを決定し、第2のコントローラが、測定した研磨板の実際の温度と研磨板の適切な温度値Tsollから制御手段のための制御値を算出することを特徴とする請求項1記載の両面研磨機。
- 前記研磨板内に冷却経路を具備してなる前記定盤に、別個独立の冷却回路が組み合わされたことを特徴とする請求項1記載の両面研磨機。
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