JP4835294B2 - レーザ発振装置 - Google Patents

Description

本発明は、ファイバレーザ用光ファイバに半導体レーザを励起光として入射して出力レーザ光を得るレーザ発振装置に関し、特に当該レーザ発振装置の冷却構造に関する。

近年、加工装置等の分野において、小型で高出力のレーザ発振装置が望まれている。
例えば、特許文献１に記載された従来技術では、レーザ活性物質を有するファイバレーザ用光ファイバから発生する熱に対して、ファイバレーザ用光ファイバを流動性媒質（マッチングオイル）を充填した容器内に封入し、当該容器内で流動性媒質を流動させて冷却するレーザ光発生装置が提案されている。なお、励起光は、前記容器の内部から外に引き出された励起光用光ファイバから入射される。
また、特許文献２に記載された従来技術では、ファイバレーザ用光ファイバと励起光導光体を略円筒状の支持体に、ファイバレーザ用光ファイバと励起光導光体を巻回させて、両者から発生する熱を放熱している。
特開２０００−２６９５７１号公報 特開２００１−１５６３６３号公報

特許文献１に記載された従来技術では、前記容器内に流動性媒質とファイバレーザ用光ファイバを封入することで冷却しているが、封入構造が複雑であるとともに、コスト高である。
また、特許文献１及び２に記載された従来技術は、ファイバレーザ用光ファイバの冷却方法についての記載はあるが、どちらの従来技術も励起レーザ光を発生する半導体レーザアレイの冷却方法についての開示がされていない。半導体レーザアレイは、例えば数センチ角のＩＣチップ状であり、流動性媒質に浸けて冷却するのは好ましくなく、支持体に巻回することもできない。従って、特許文献１または２に記載の従来技術では、どちらもファイバレーザ用光ファイバの冷却方法とは異なる方法で半導体レーザアレイを冷却しなければならず、少なくとも２種類の冷却装置が必要であり、保守性が悪いとともに、装置が大型化してコスト高である。
本発明は、このような点に鑑みて創案されたものであり、半導体レーザアレイとファイバレーザ用光ファイバとを、よりシンプルな共通の冷却装置で冷却することで、保守性を向上させるとともに装置を小型化してコストを低減することができるレーザ発振装置を提供することを課題とする。

上記課題を解決するための手段として、本発明の第１発明は、請求項１に記載されたとおりのレーザ発振装置である。
請求項１に記載のレーザ発振装置は、複数の発光部から励起レーザ光を出射する半導体レーザアレイと、レーザ活性物質を有するとともに前記励起レーザ光が入射されると入射された励起レーザ光にて励起された出力レーザ光を発生するファイバレーザ用光ファイバと、前記励起レーザ光を集光して前記ファイバレーザ用光ファイバに入射する励起レーザ集光装置と、発生した出力レーザ光を伝搬する伝搬用光ファイバと、前記ファイバレーザ用光ファイバから出射された出力レーザ光を集光して前記伝搬用光ファイバに入射する出力レーザ集光装置と、を備えたレーザ発振装置である。
冷却機構として、前記半導体レーザアレイを固定するとともに固定された半導体レーザアレイから発生する熱を放熱する半導体レーザ放熱部材と、前記ファイバレーザ用光ファイバを固定するとともに固定されたファイバレーザ用光ファイバから発生する熱を放熱するファイバレーザ放熱部材と、前記半導体レーザ放熱部材と前記ファイバレーザ放熱部材に冷却風を送風する冷却ファンと、前記冷却ファンから送風される冷却風を導風するガイド部材と、を備える。
そして、前記冷却ファンから送風される冷却風を前記半導体レーザ放熱部材に当て、前記半導体レーザ放熱部材に当たった後の冷却風の少なくとも一部を、前記ガイド部材を介して前記ファイバレーザ放熱部材に導風する構造を有し、前記冷却ファンにて前記半導体レーザアレイと前記ファイバレーザ用光ファイバとを冷却する。
更に、前記半導体レーザアレイと、前記ファイバレーザ用光ファイバと、前記励起レーザ集光装置と、前記伝搬用光ファイバと、前記出力レーザ集光装置と、前記半導体レーザ放熱部材と、前記ファイバレーザ放熱部材と、前記冷却ファンと、前記ガイド部材と、を収容する略箱状の筐体を備える。
前記半導体レーザ放熱部材には、複数の放熱板が形成された半導体レーザ放熱フィンが設けられており、前記ファイバレーザ放熱部材には、複数の放熱板が形成されたファイバレーザ放熱フィンが設けられており、前記筐体の一方の側面には吸気口が設けられており、前記一方の側面と対向する側面には排気口が設けられている。
そして、前記吸気口に前記冷却ファンを隣接させて配置し、当該冷却ファンから前記排気口の方向に冷却風を送風し、前記冷却ファンと前記半導体レーザ放熱フィンとが対向するように、前記冷却ファンに隣接させて前記半導体レーザ放熱フィンを配置し、前記半導体レーザ放熱フィンに隣接させて前記ガイド部材を設け、前記冷却ファンから送風されて前記半導体レーザ放熱フィンに当たった後の冷却風の少なくとも一部を前記ガイド部材に導風し、前記ガイド部材に対して前記排気口側に前記ファイバレーザ放熱部材を隣接させて配置し、前記ガイド部材から前記排気口に流れる冷却風の通路内に、前記ファイバレーザ放熱フィンを前記冷却風の流れる方向に対して略平行になるように配置する。
また、前記冷却ファンから送風されて前記半導体レーザ放熱フィンに当たった後の冷却風が上下に分かれて流れるように、前記半導体レーザ放熱フィンを配置し、前記半導体レーザ放熱フィンの下方に前記ガイド部材を配置して、前記冷却ファンから送風されて前記半導体レーザ放熱フィンに当たった後の冷却風の少なくとも一部を前記ガイド部材に導風する。
そして、前記半導体レーザ放熱フィンの上方に相当する前記筐体の面に第２排気口を設け、前記冷却ファンから送風されて前記半導体レーザ放熱フィンに当たった後の冷却風の残りを前記第２排気口から排気する構造を有する。

請求項１に記載のレーザ発振装置を用いれば、半導体レーザアレイとファイバレーザ用光ファイバとの双方を共通の冷却ファンにて冷却することができるので装置をより小型化することができる。
また、冷却ファンと放熱部材とを用いたシンプルな冷却装置とすることで、保守性をより向上させることができる。

また、請求項１に記載のレーザ発振装置によれば、筐体の一方の側面に設けた吸気口から、対向する側面に設けた排気口に向かう冷却風の通路に、半導体レーザ放熱部材（半導体レーザ放熱フィン）、ガイド部材、ファイバレーザ放熱部材（ファイバレーザ放熱フィン）を適切に配置することができるので、より効率的に半導体レーザアレイとファイバレーザ用光ファイバとを冷却することができる。

また、請求項１に記載のレーザ発振装置によれば、冷却ファンから送風されて半導体レーザ放熱フィンに当てた冷却風を、ファイバレーザ放熱フィンに導風する冷却風と、そのまま第２排気口から排気する冷却風とに分割する。
第２排気口からは、半導体レーザ放熱フィンに当たって加熱された冷却風の一部を、半導体レーザ放熱フィンの上方から排気することができるので、熱のこもりを低減することが可能であり、半導体レーザアレイをより適切に冷却することができる。

以下に本発明を実施するための最良の形態を図面を用いて説明する。
図１は、本発明のレーザ発振装置１０の一実施の形態における概略外観図を示しており、図１における各図は、左上から右に向かってそれぞれ背面図、平面図、正面図を示しており、下方の図は側面図を示している。

●［レーザ発振装置１０の外観と構造（図１〜図３）］
図１に示すように、本発明のレーザ発振装置１０は、略箱状の筐体（ケース）に収容されており、脚部１０Ｓにて水平面に載置される。
筐体の背面１０Ｂ（一方の側面に相当）には冷却用の空気を取り込む吸気口１０Ｎが設けられており、筐体の正面１０Ｆ（一方の側面と対向する側面に相当）には冷却風を排出する排気口１０Ｅが設けられている。また、正面１０Ｆには、出力レーザ光の状態等を設定するための各種の操作スイッチや、動作状態等を表示する表示パネルや、出力レーザ光を取り出すコネクタ等が配置された正面パネル１０Ｇが設けられている。
また、筐体の上面１０Ｕには、第２排気口１０Ｃが設けられている。

次に、図２を用いて、出力レーザ光を取り出す装置（筐体内に収容されている）の構成を説明する。
本実施の形態にて説明するレーザ発振装置１０は、半導体レーザアレイ３１から出射されるレーザ光（以下、励起レーザ光と記載する）を励起光として用い、励起レーザ光をファイバレーザ用光ファイバ７０に入射し、ファイバレーザ用光ファイバ７０内で励起されたレーザ光（以下、出力レーザ光と記載する）を取り出す装置を用いている。
半導体レーザアレイ３１は、（一列に配置された）複数の発光部を有しており、各発光部から励起レーザ光が出力される。本実施の形態にて説明するレーザ発振装置１０では、出力レーザ光を高出力化するために、複数の半導体レーザアレイ３１を用いている。

各半導体レーザアレイ３１から出射される励起レーザ光は、励起レーザ集光装置６０にて集光されてファイバレーザ用光ファイバ７０の一方の端面（入射面）に入射される。
図２に示す例では、励起レーザ集光装置６０は、半導体レーザアレイ３１の複数の発光部から出射される励起レーザ光の光束を更に束ねる等して集光する集光ユニット６１（詳細な説明は省略する）、集光ユニット６１から出射される励起レーザ光Ｌｉｎをほぼ平行光に変換する第１レンズ６２、平行光に変換された励起レーザ光Ｌｉｎをファイバレーザ用光ファイバ７０の入射面に集光する第２レンズ６４とで構成される。なお、ダイクロイックミラー６３は、励起レーザ光Ｌｉｎの波長の光を透過させて、出力レーザ光Ｌｏｕｔの波長の光を反射するものである。
そして、ファイバレーザ用光ファイバ７０から出射される出力レーザ光Ｌｏｕｔは、出力レーザ集光装置８０にて集光されて伝搬用光ファイバ９０の一方の端面（入射面）に入射される。
ファイバレーザ用光ファイバ７０は、レーザ活性物質を含むコア７２を有し、コア７２の周囲をクラッド部材７３で覆った光ファイバであり、入射された励起レーザ光を内部に閉じ込め、励起レーザ光がコア７２に当たるとコア７２の内部に出力レーザ光が励起され、出力レーザ光はコア７２内で伝搬される。また、ファイバレーザ用光ファイバ７０には、励起レーザ光が入射される端面とは反対側の端面に、励起レーザ光及び出力レーザ光を反射するＦＢＧ（ファイバブラッググレーティング）７１が設けられており、励起レーザ光の入射面側から出力レーザ光を取り出す構成としている。

ファイバレーザ用光ファイバ７０のコア７２内で励起されて発生した出力レーザ光Ｌｏｕｔは、励起レーザ光Ｌｉｎの入射面から出力され、第２レンズ６４にてほぼ平行光に変換され、ダイクロイックミラー６３にて進行方向を変えられる。ダイクロイックミラー６３は、励起レーザ光Ｌｉｎの波長の光を透過させて、出力レーザ光Ｌｏｕｔの波長の光を反射するものである。そして、進行方向を変えられた出力レーザ光Ｌｏｕｔは、第３レンズ８１にて集光されて伝搬用光ファイバ９０の入射面に入射される。伝搬用光ファイバ９０の出射面は、例えば正面パネル１０Ｇに設けられた出力レーザ光を取り出すコネクタ等に接続される。
図２に示す例では、出力レーザ集光装置８０は、第２レンズ６４、ダイクロイックミラー６３、第３レンズ８１とで構成される。
ここで、半導体レーザアレイ３１、及びファイバレーザ用光ファイバ７０は、レーザ光を発生させるために発熱量が大きく、適切に冷却を行わなければ、劣化の進行や、各種の部品の熱膨張率の違いによる位置の誤差の増大に伴う出力レーザ光の出力低下等が発生する可能性がある。
本実施の形態にて説明するレーザ発振装置１０は、図２にて説明した出力レーザ光を取り出す装置に、冷却機構を組み合わせて筐体内に収容している。この収容状態は、図４に示すとおりであり、各部品の概略外観等は図３に示すとおりである。
本実施の形態では、シンプルな冷却機構とすることで装置の小型化と保守性の向上を図るために、空冷の冷却機構を採用している。

図３に示すように、半導体レーザ放熱部材３０は、半導体レーザアレイ３１が固定されるベース放熱板３２と、放熱を助長する複数の放熱板で形成された半導体レーザ放熱フィン３３とで構成されている。なお、材質は熱伝導率が比較的高い銅やアルミ等であり、ベース放熱板３２と半導体レーザ放熱フィン３３との接触部には熱伝導性を有するシリコングリス等を用いてもよい。
ファイバレーザ放熱部材５０は、ファイバレーザ用光ファイバ７０が固定されるベース放熱板５１と、放熱を助長する複数の放熱板で形成されたファイバレーザ放熱フィン５２とで構成されている。なお、材質は熱伝導率が比較的高い銅やアルミ等であり、ベース放熱板５１とファイバレーザ放熱フィン５２との接触部には熱伝導性を有するシリコングリス等を用いてもよい。
また、ベース放熱板５１には、半導体レーザ放熱部材３０、励起レーザ集光装置６０（この場合、集光ユニット６１、第１レンズ６２、第２レンズ６４）、ファイバレーザ用光ファイバ７０、出力レーザ集光装置８０（この場合、第２レンズ６４、ダイクロイックミラー６３、第３レンズ８１）、伝搬用光ファイバ９０等が位置決めされて固定される。

更に、半導体レーザ放熱部材３０とファイバレーザ放熱部材５０に冷却風を送風する冷却ファン２０と、冷却風を導風するガイド部材４０（４１、４２）を備える。ガイド部材４０（４１、４２）は、冷却風の流れを促すための、漏斗状に設けられたダクトである。
以上の構成により、冷却ファン２０から送風される冷却風を、まず半導体レーザ放熱部材３０に当て、半導体レーザ放熱部材３０に当たった後の冷却風の少なくとも一部をガイド部材４０（４１、４２）に導風して絞り、ガイド部材４０（４１、４２）に導風して絞った冷却風をファイバレーザ放熱部材５０に導風する構造としている。これにより、冷却ファン２０にて半導体レーザアレイ３１とファイバレーザ用光ファイバ７０との双方の冷却を行うことができる。
なお、図３の一点鎖線の円に示すように、半導体レーザアレイ３１の任意の面（励起レーザ光を出射する面とベース放熱板３２に固定される面を除く）に、放熱を促進する放熱板３４を更に設けてもよい。

●［レーザ発振装置１０における各部品の配置と冷却風の通路（図４、図５）］
次に、内部透視図を示す図４を用いてレーザ発振装置１０の内部構造、特に各部品の配置と冷却風の通路について説明する。
図４は、図１における各図において、内部構造を透視した図を示しており、筐体内に配置された各構成要素（部品）を記載している（なお、一部の部品は図示省略している）。
また、図５は、図４に示す透視図に冷却風の流れる方向を矢印で示したものであり、冷却風の流れる通路を示している。
図４の例に示すように、本実施の形態に示すレーザ発振装置１０は、略箱状の筐体内に、複数の半導体レーザアレイ３１と、ファイバレーザ用光ファイバ７０と、励起レーザ集光装置６０と、伝搬用光ファイバ９０と、出力レーザ集光装置８０と、半導体レーザ放熱部材３０と、ファイバレーザ放熱部材５０と、冷却ファン２０と、ガイド部材４０（４１、４２）と、を収容している。

冷却ファン２０を吸気口１０Ｎに隣接させて配置し、当該冷却ファン２０から排気口１０Ｅの方向に冷却風を送風する。
そして、半導体レーザ放熱部材３０を、半導体レーザ放熱フィン３３と冷却ファン２０とが対向するように、冷却ファン２０に隣接させて配置する。
ガイド部材４０（４１、４２）を、冷却ファン２０から送風されて半導レーザ放熱フィン３３に当たった後の冷却風の少なくとも一部が導風されるように、半導体レーザ放熱フィン３３に隣接させて配置する。
そして、ガイド部材４０（４１、４２）に対して排気口１０Ｅ側にファイバレーザ放熱部材５０を隣接させて配置し、ガイド部材４０（４１、４２）から排気口１０Ｅに流れる冷却風の通路内に、冷却風の流れる方向に対して略平行になるように、ファイバレーザ放熱フィン５２が位置するように、ファイバレーザ放熱部材５０を配置する。
ガイド部材４０（４１、４２）には、半導体レーザ放熱フィン３３の側を示す上方から冷却風が導風され、導風された冷却風を絞ってファイバレーザ放熱フィン５２の側を示す側方から排気口１０Ｅに向けて吐き出す。
この構成により、半導体レーザアレイ３１とファイバレーザ用光ファイバ７０との双方を、共通の冷却ファン２０を用いて適切に冷却することができる。

更に、冷却ファン２０から送風されて半導体レーザ放熱フィン３３に当たった後の冷却風が上下に分かれて流れるように、半導体レーザ放熱フィン３３の長手方向が鉛直方向を向くように、半導体レーザ放熱フィン３３を配置する（図３を参照）。
そして、半導体レーザ放熱フィン３３の下方（直下）にガイド部材４０（４１、４２）を配置し、冷却ファン２０から送風されて半導体レーザ放熱フィン３３に当たった後の冷却風の少なくとも一部（この場合、上下に分かれた冷却風の下に分かれた冷却風）をガイド部材４０（４１、４２）に導風する。
そして、半導体レーザ放熱フィン３３の上方に相当する筐体の面に第２排気口１０Ｃを設け、冷却ファン２０から送風されて半導体レーザ放熱フィン３３に当たった後の冷却風の残り（この場合、上下に分かれた冷却風の上に分かれた冷却風）を第２排気口から排気する構造を有する。
この構造により、半導体レーザ放熱フィン３３に当たって上方に分かれた冷却風を筐体内に滞らせることなく排気することができるので、より効率よく冷却を行うことができる。

以上に説明した本実施の形態におけるレーザ発振装置１０は、空冷の冷却機構を備えるため、冷却用媒質の封印等の複雑な構造をなくすことができ、保守性をより向上させることができる。更に、半導体レーザアレイ３１とファイバレーザ用光ファイバ７０とを、共通の冷却ファン２０で冷却することができるので、よりシンプルな構成で冷却機構を実現することが可能であり、保守性を向上させ、装置をより小型化することができ、より低コストで実現することができる。
以上の例では、冷却ファン２０と半導体レーザ放熱フィン３３とを対向させて、半導体レーザ放熱フィン３３に当たった後の冷却風が上下に分かれるように構成したが、冷却ファン２０と半導体レーザ放熱フィン３３（ベース放熱板３２）とを相対的に傾斜を持たせて対向させて、半導体レーザ放熱フィン３３に当たった後の冷却風がほぼ全て下に向かって流れるように（冷却風のほぼ全てをガイド部材４０（４１、４２）に導風するように）構成することもできる。この場合、第２排気口１０Ｃは吸気口（第２吸気口）の役割を果たす。

本発明のレーザ発振装置１０は、本実施の形態で説明した外観、構成、各部品の配置等に限定されず、本発明の要旨を変更しない範囲で種々の変更、追加、削除が可能である。
また、半導体レーザアレイ３１の数は、いくつであってもよい。
また、励起レーザ集光装置６０、出力レーザ集光装置８０は、本実施の形態にて説明したものに限定されず、種々の集光方法を用いたものを使用することができる。
また、半導体レーザ放熱部材３０におけるベース放熱板３２と半導体レーザ放熱フィン３３、及びファイバレーザ放熱部材５０におけるベース放熱板５１とファイバレーザ放熱フィン５２の材質は、比較的熱伝導率が高い銅やアルミ等を用いたが、充分な放熱性があれば他の材質であってもよい。
また、図３〜図５の例に示すように、本実施の形態では、ファイバレーザ用光ファイバ７０を渦巻き状にしてベース放熱板５１に固定したが、例えば、アルミ製のドラムにファイバレーザ用光ファイバ７０をらせん状に巻きつけ、当該ドラムの底面をベース放熱板５１に固定するようにしてもよい。

本発明のレーザ発振装置１０の一実施の形態を説明する概略外観図である。 出力レーザ光を取り出す装置の構成例を説明する図である。 レーザ発振装置１０において、各部品の外観等を示す分解斜視図である。 レーザ発振装置１０における透視図の例を説明する図である。 レーザ発振装置１０における冷却風の通路を説明する図である。

１０ レーザ発振装置
１０Ｅ 排気口
１０Ｃ 第２排気口
１０Ｇ 正面パネル
１０Ｎ 吸気口
１０Ｓ 脚部
２０ 冷却ファン
３０ 半導体レーザ放熱部材
３１ 半導体レーザアレイ
３２ ベース放熱板
３３ 半導体レーザ放熱フィン
４０、４１、４２ ガイド部材
５０ ファイバレーザ放熱部材
５１ ベース放熱板
５２ ファイバレーザ放熱フィン
６０ 励起レーザ集光装置
７０ ファイバレーザ用光ファイバ
８０ 出力レーザ集光装置
９０ 伝搬用光ファイバ

Claims (1)

1. 複数の発光部から励起レーザ光を出射する半導体レーザアレイと、
   レーザ活性物質を有するとともに前記励起レーザ光が入射されると入射された励起レーザ光にて励起された出力レーザ光を発生するファイバレーザ用光ファイバと、
   前記励起レーザ光を集光して前記ファイバレーザ用光ファイバに入射する励起レーザ集光装置と、
   発生した出力レーザ光を伝搬する伝搬用光ファイバと、
   前記ファイバレーザ用光ファイバから出射された出力レーザ光を集光して前記伝搬用光ファイバに入射する出力レーザ集光装置と、を備えたレーザ発振装置であって、
   前記半導体レーザアレイを固定するとともに固定された半導体レーザアレイから発生する熱を放熱する半導体レーザ放熱部材と、
   前記ファイバレーザ用光ファイバを固定するとともに固定されたファイバレーザ用光ファイバから発生する熱を放熱するファイバレーザ放熱部材と、
   前記半導体レーザ放熱部材と前記ファイバレーザ放熱部材に冷却風を送風する冷却ファンと、
   前記冷却ファンから送風される冷却風を導風するガイド部材と、を備え、
   前記冷却ファンから送風される冷却風を前記半導体レーザ放熱部材に当て、前記半導体レーザ放熱部材に当たった後の冷却風の少なくとも一部を、前記ガイド部材を介して前記ファイバレーザ放熱部材に導風する構造を有し、前記冷却ファンにて前記半導体レーザアレイと前記ファイバレーザ用光ファイバとを冷却し、
   更に、前記半導体レーザアレイと、前記ファイバレーザ用光ファイバと、前記励起レーザ集光装置と、前記伝搬用光ファイバと、前記出力レーザ集光装置と、前記半導体レーザ放熱部材と、前記ファイバレーザ放熱部材と、前記冷却ファンと、前記ガイド部材と、を収容する略箱状の筐体を備え、
   前記半導体レーザ放熱部材には、複数の放熱板が形成された半導体レーザ放熱フィンが設けられており、
   前記ファイバレーザ放熱部材には、複数の放熱板が形成されたファイバレーザ放熱フィンが設けられており、
   前記筐体の一方の側面には吸気口が設けられており、前記一方の側面と対向する側面には排気口が設けられており、
   前記吸気口に前記冷却ファンを隣接させて配置し、当該冷却ファンから前記排気口の方向に冷却風を送風し、
   前記冷却ファンと前記半導体レーザ放熱フィンとが対向するように、前記冷却ファンに隣接させて前記半導体レーザ放熱フィンを配置し、
   前記半導体レーザ放熱フィンに隣接させて前記ガイド部材を設け、前記冷却ファンから送風されて前記半導体レーザ放熱フィンに当たった後の冷却風の少なくとも一部を前記ガイド部材に導風し、
   前記ガイド部材に対して前記排気口側に前記ファイバレーザ放熱部材を隣接させて配置し、前記ガイド部材から前記排気口に流れる冷却風の通路内に、前記ファイバレーザ放熱フィンを前記冷却風の流れる方向に対して略平行になるように配置し、
   前記冷却ファンから送風されて前記半導体レーザ放熱フィンに当たった後の冷却風が上下に分かれて流れるように、前記半導体レーザ放熱フィンを配置し、
   前記半導体レーザ放熱フィンの下方に前記ガイド部材を配置して、前記冷却ファンから送風されて前記半導体レーザ放熱フィンに当たった後の冷却風の少なくとも一部を前記ガイド部材に導風し、
   前記半導体レーザ放熱フィンの上方に相当する前記筐体の面に第２排気口を設け、前記冷却ファンから送風されて前記半導体レーザ放熱フィンに当たった後の冷却風の残りを前記第２排気口から排気する構造を有する、
   ことを特徴とするレーザ発振装置。