JP4834993B2

JP4834993B2 - 排水の処理装置及び処理方法

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Publication number: JP4834993B2
Application number: JP2004376521A
Authority: JP
Inventors: 智弘清川; 倫明田中
Original assignee: Kurita Water Industries Ltd
Current assignee: Kurita Water Industries Ltd
Priority date: 2004-12-27
Filing date: 2004-12-27
Publication date: 2011-12-14
Anticipated expiration: 2024-12-27
Also published as: JP2006181445A

Description

本発明は、有機窒素化合物及び／又はアンモニア態窒素を含有する排水の処理装置に関し、更に詳しくは、有機窒素化合物及び／又はアンモニア態窒素に加えて無機イオンを含有した排水の処理を行う処理装置に関するものである。

電子産業分野における半導体製造工程や液晶製造工程では、モノエタノールアミン（ＭＥＡ）やテトラメチルアンモニウムヒドロオキサイド（ＴＭＡＨ）などのアミンやアンモニウムが多く使用されるため、これらの有機窒素化合物及び／又はアンモニア態窒素が含まれた排水が排出されている。

上記のＭＥＡやＴＭＡＨ等の有機窒素化合物は、活性汚泥と混合して曝気処理する好気性微生物処理により分解され、窒素分を硝酸や亜硝酸の形に酸化することができる。そして、このような硝酸等の窒素酸化物を含有した排水から硝酸性窒素や亜硝酸性窒素を除去するため、逆浸透膜を用いた分離手段によって透過水と濃縮水とに分離し、その後、分離された濃縮水を生物処理装置によって生物学的に脱窒処理する方法が従来より行われている（例えば、特許文献１参照）。
特開２０００−７０９８６号公報

しかしながら、上述した方法では、排水が有機窒素化合物に起因した硝酸性窒素、亜硝酸性窒素に加えてカルシウムイオン、アルミニウムイオン、鉄イオン等の２価や３価の無機イオンを含有している場合には、逆浸透膜によって透過水と濃縮水とに分離する（以下、「逆浸透膜によって透過水と濃縮水とに分離すること」を「膜分離」ということがある。）を際に、無機イオンのスケールが逆浸透膜の膜面に析出して沈着する。このため、逆浸透膜を透過する透過水量の現象が徐々に進み、膜分離が困難となる問題があった。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、排水が無機イオンを含有していても、逆浸透膜の膜面にスケールが付着することがない排水の処理装置を提供することにある。

上記課題を解決するための本発明の排水の処理装置は、電子産業分野の製造工程から排出される排水であって、モノエタノールアミン又はテトラメチルアンモニウムヒドロオキサイド等の有機窒素化合物を含有すると共に、カルシウムイオン、アルミニウムイオン又は鉄イオン等の２価又は３価の無機イオンを含有する排水を軟化する軟化手段と、該軟化手段からの流出液を逆浸透膜により透過水と濃縮水とに分離する逆浸透膜分離手段と、前記濃縮水を生物学的に脱窒処理して脱窒処理水を得る脱窒手段と、前記軟化手段に逆洗水を導入して排出される、前記無機イオンを含む再生排水の一部又は全量を前記脱窒手段へ送給する再生排水送給手段と、を備えることを特徴とする。

軟化手段は、排水中の無機イオンをナトリウムイオン等にイオン交換して軟化する。このため、軟化手段からの流出液を逆浸透膜分離手段によって透過水と濃縮水とに分離する際に無機イオンのスケールが逆浸透膜の膜面に析出することがなく、スケールの付着を防止することができる。従って、逆浸透膜による透過水と濃縮水との分離（膜分離）を円滑に行うことができ、分離された濃縮水を脱窒手段に供給することにより生物学的に脱窒処理した後、放流することができる。

上記課題を解決するための本発明の排水の処理装置は、電子産業分野の製造工程から排出される排水であって、モノエタノールアミン又はテトラメチルアンモニウムヒドロオキサイド等の有機窒素化合物を含有すると共に、カルシウムイオン、アルミニウムイオン又は鉄イオン等の２価又は３価の無機イオンを含有する排水の供給手段と、該供給手段からの前記排水を受け入れ、曝気処理により有機窒素化合物を微生物分解すると共に硝化を行う曝気槽と、該曝気槽内の混合液を固液分離する固液分離手段と、該固液分離手段で分離された分離水を軟化する軟化手段と、該軟化手段からの流出液を逆浸透膜により透過水と濃縮水とに分離する逆浸透膜分離手段と、前記濃縮水を生物学的に脱窒処理して脱窒処理水を得る脱窒手段と、前記軟化手段に逆洗水を導入して排出される、前記無機イオンを含む再生排水の一部又は全量を前記脱窒手段へ送給する再生排水送給手段と、を備えることを特徴とする。

曝気槽では、ＭＥＡやＴＭＡＨ等の有機窒素化合物を微生物分解して硝酸性窒素や亜硝酸性窒素に分解し、固液分離手段では固液分離を行う。固液分離された分離水は、硝酸性窒素、亜硝酸性窒素に加えて無機イオンを含有しているが、その後の処理を行う軟化手段では、無機イオンをナトリウムイオン等にイオン交換して軟化するため、そこからの流出液を逆浸透膜によって透過水と濃縮水とに分離しても、無機イオンのスケールが膜面に析出することがなく、スケールの付着を防止することができる。従って、逆浸透膜による透過水と濃縮水との分離（膜分離）を円滑に行うことができ、分離された濃縮水を脱窒手段に供給することにより生物学的に脱窒処理し、この脱窒処理水を放流することができる。

本発明の排水の処理装置において、前記脱窒処理水を前記曝気槽に送給する送給手段を有することが好ましい。この発明では、脱窒処理水を曝気槽でのｐＨ調整剤を補助する手段として用いることができる。

本発明の排水の処理装置においては、前記曝気槽は、微生物を担持する担体が充填されているものであることが好ましく、また、前記脱窒手段は、脱窒細菌が汚泥粒を形成している脱窒槽であることが好ましい。
また、本発明の排水の処理方法は、電子産業分野の製造工程から排出される排水であって、モノエタノールアミン又はテトラメチルアンモニウムヒドロオキサイド等の有機窒素化合物を含有すると共に、カルシウムイオン、アルミニウムイオン又は鉄イオン等の２価又は３価の無機イオンを含有する排水を軟化する軟化工程と、該軟化工程からの流出液を逆浸透膜により透過水と濃縮水とに分離する逆浸透膜分離工程と、前記濃縮水を生物学的に脱窒処理して脱窒処理水を得る脱窒工程と、前記軟化工程に逆洗水を導入して排出される、前記無機イオンを含む再生排水の一部又は全量を前記脱窒工程へ送給する再生排水送給工程と、を備えることを特徴とする。

以上説明したように、本発明の排水の処理装置によれば、軟化手段がカルシウムイオン、アルミニウムイオン、鉄イオン等の無機イオンをナトリウムイオン等にイオン交換して軟化するため、軟化手段からの流出液を逆浸透膜によって透過水と濃縮水とに分離しても、無機イオンのスケールが膜面に析出することがなく、スケールの付着を防止することができる。このため、逆浸透膜による透過水と濃縮水との分離（膜分離）を円滑に行うことができる。

以下、本発明の排水の処理装置について、図面を参照しつつ詳しく説明する。

図１は、本発明における第１の排水の処理装置を示すブロック図である。図１に示す処理装置１は、軟化手段２と、逆浸透膜分離手段３と、脱窒手段としての脱窒槽４と、を備えることに特徴がある。

軟化手段２には、供給手段５から排水が供給される。排水は、ＭＥＡやＴＭＡＨ等の有機性窒素化合物に起因した硝酸性窒素や亜硝酸性窒素を含有すると共に、カルシウムイオン、アルミニウムイオン、鉄イオン等の２価及び／又は３価の無機イオンを含有している。軟化手段２は、排水中の無機イオンをイオン交換により軟化するものであり、その反応塔には、陽イオン交換樹脂が充填されている。従って、軟化手段２の上部から排水を導入して反応塔を通過させることにより、排水は、含有している無機イオンがナトリウムイオンにイオン交換された後、軟化手段２の下部から流出され、この流出液が逆浸透膜分離手段３に導入される。

ここで、軟化手段２においては、無機イオンを逆浸透膜分離工程での濃縮倍率に応じて飽和濃度の１／１００００〜１／１の濃度、より好ましくは１／１００００〜９／１０の濃度となるように除去されるものである。

逆浸透膜分離手段３では、イオン交換された排水を逆浸透膜により透過水６と濃縮水７とに分離する。そして、透過水６は回収水として再利用され、濃縮水７は脱窒槽４に導入される。濃縮水７はメタノール等の有機物と共に脱窒槽４に導入され、導入された濃縮水７は生物学的な脱窒処理が行われて脱窒処理水８となり、必要に応じて曝気され沈殿処理された後、放流される。

脱窒槽４における生物学的な脱窒処理としては、浮遊活性汚泥法あるいは上向流式汚泥床（ＵＳＢ）法を用いることができる。ＵＳＢ法は、脱窒細菌によって形成した汚泥粒を用いて脱窒処理を行う方法である。すなわち、担体や炭酸カルシウム等を核として直径１〜数ｍｍのグラニュールを形成して脱窒処理を行うものであり、逆浸透膜分離手段３からの濃縮水７を脱窒槽４の下部から導入して濃縮水７をグラニュールと接触させることにより、濃縮水７中の硝酸性窒素や亜硝酸性窒素を分解し、この脱窒処理水８を脱窒槽４の上部から取り出すようになっている。このＵＳＢ法は、浮遊活性汚泥に比べて設置面積が小さく、高負荷化が可能であるという利点を有している。

以上の処理装置１によれば、排水が無機イオンを含有していても、軟化手段２を通過することによりイオン交換により無機イオンが除去される。このため、その後の逆浸透膜分離手段３での透過水と濃縮水との分離（膜分離）の際に、これらの無機イオンがスケールとなって逆浸透膜の膜面に析出して付着することがなくなる。従って、逆浸透膜による透過水と濃縮水との分離（膜分離）を円滑に行うことができるため、排水の処理を迅速且つ効率良く行うことができる。

図２は、本発明における第２の排水の処理装置１１を示すブロック図である。図２に示す処理装置１１は、図１の構造に加えて、再生排水供給手段９を備えている。再生排水供給手段９は、一端が軟化手段２の上部に接続され、他端が脱窒槽４に接続されている。また、再生排水供給手段９は、再生排水を貯留する再生排水貯留槽１０を備えている。

図２の処理装置１１は、軟化手段２、逆浸透膜分離手段３及び脱窒槽４を備えることにより図１の処理装置１と同様に作用することができる。これに加えて、図２の処理装置１１では、再生排水供給手段９を備えることにより、軟化手段２における反応塔の下部から塩化ナトリウム水溶液等の逆洗水１２を導入し、反応塔内の陽イオン交換樹脂に捕捉されている無機イオンを陽イオン交換樹脂から分離することができる。分離した無機イオンを含む水は、再生排水となり、再生排水貯留槽１０に貯留される。貯留した再生水は、その一部又は全部が逆浸透膜分離手段３からの濃縮水７と共に脱窒槽４に供給される。

一般的に、脱窒槽４における生物学的脱窒処理では、少量の無機イオンが必要である。特に、ＵＳＢ法では、発生する窒素ガスの付着や内包によるグラニュールの浮上・流出が問題となるため、高い沈降性を有したグラニュールの形成が窒素処理負荷を維持するために重要となる。このためには、グラニュールや汚泥に無機イオンを取り込ませて比重を大きくすることが有効である。

一方、軟化手段２では、塩化ナトリウム水溶液を使用しているため、その再生排水には、カルシウムイオンやマグネシウムイオン、鉄イオン等の無機イオンが高濃度に含有されている。再生排水供給手段９は、このような無機イオンを高濃度に含有した再生排水を脱窒槽４に供給するため、脱窒槽４内のグラニュールや汚泥の比重を大きくすることができる。これにより、脱窒槽４での脱窒処理を高効率で行うことが可能となる。

図３は、本発明における第３の排水の処理装置２１を示すブロック図である。図３に示す処理装置２１では、図１及び図２と同様に、軟化手段２、逆浸透膜分離手段３及び脱窒槽４を備えている。これに加えて、処理装置２１は、カルシウム化合物（ＣａＣｌ_２）等の無機イオンを脱窒槽４に供給することが可能な構造となっている。無機イオンは、逆浸透膜分離手段３からの濃縮水７に混入されることにより脱窒槽４に導入される。これにより、図２の処理装置１１と同様に、脱窒槽４内のグラニュールや汚泥の比重を大きくすることができ、脱窒槽４での脱窒処理を高効率で行うことが可能となる。

図４は、本発明における第４の排水の処理装置３１を示すブロック図である。図４に示す処理装置３１は、曝気槽３２と、沈殿槽からなる固液分離手段３３と、軟化手段２と、濾過器３４と、逆浸透膜分離手段３と、脱窒槽４とを備えている。曝気槽３２は、散気手段３５から内部に空気が曝気される。供給手段５は、この曝気槽３２に排水を供給する。排水は、ＭＥＡ、ＴＭＡＨ等の有機窒素化合物及び／又はアンモニア態窒素と上述した無機イオンとを含有した状態で曝気槽３２に導入される。

曝気槽３２では、散気手段３５から曝気された空気により排水を曝気処理する。この曝気処理では、微生物により有機窒素化合物が酸化分解されると共に、窒素成分が硝化されて硝酸性窒素あるいは亜硝酸性窒素となる。固液分離手段３３は、曝気槽３２で曝気処理された処理液を固液分離する。固液分離手段３３と曝気槽３２との間には、汚泥返送ライン３６が設けられており、固液分離手段３３で分離された分離汚泥は、汚泥返送ライン３６を介して曝気槽３２に返送される。一方、分離された上澄み水は、軟化手段２に供給される。

軟化手段２では、固液分離手段３３からの上澄み水が上部から導入され、反応塔を通過する間にイオン交換される。これにより、上澄み水中に含有されている無機イオンがナトリウムイオンにイオン交換され、上澄み水が軟化する。

イオン交換された上澄み水は、濾過器３４を通過することにより微細な固形分が除去される。濾過器３４としては、砂濾過、精密濾過、限外濾過、その他の手段を用いることができる。

濾過器３４を通過した後は、逆浸透膜分離手段３に供給されて透過水６と濃縮水７とに分離される。透過水６は回収水として再利用され、濃縮水７はメタノール等の有機物が添加されて脱窒槽４に導入され、脱窒槽４内で生物学に脱窒処理される。脱窒処理された脱窒処理水８は、必要に応じて再曝気されて沈殿処理された後、放流される。

この処理装置３１においては、脱窒槽４からの脱窒処理水の一部を曝気槽３２に給送する給送手段３７が設けられている。このように、給送手段３７によって曝気槽３２に給送される脱窒処理水８は、ｐＨ調整剤として作用し、供給手段５からの排水のｐＨ調整を円滑に行うことができる。

この第４の処理装置３１においては、排水が有機窒素化合物及び／又はアンモニア態窒素と無機イオンとを含有していても、曝気槽３２によって有機窒素化合物が酸化分解及び硝化されて硝酸性窒素や亜硝酸性窒素となるため、脱窒槽４が脱窒を有効に行うことができる。また、固液分離手段３３からの上澄み水をイオン交換する軟化手段２を設けているため、無機イオンを除去することができ、逆浸透膜分離手段３における逆浸透膜の膜面に無機イオンがスケールとなって付着することがなくなる。これにより、逆浸透膜による透過水６と濃縮水７との分離（膜分離）を効率良く行うことができる。

なお、図示を省略するが、図２と同様に、軟化手段２の陽イオン交換樹脂に捕捉された無機イオンを分離して再生排水とし、この再生排水の一部又は全部を脱窒槽４に供給するようにしても良い。これにより、脱窒槽４内のグラニュールや汚泥の比重を大きくすることができ、脱窒槽４での脱窒処理を高効率で行うことができる。

図５は、本発明の排水の第５の処理装置４１を示すブロック図である。図５に示す処理装置４１では、図４の処理装置３１に対し硝化菌を保持した担体４２を用いるものであり、この担体４２は曝気槽３２に導入される。硝化菌を保持する担体４２としては、発泡樹脂等の比表面積が大きいものが用いられる。このように硝化菌を保持した担体４２を曝気槽３２に適用することにより、曝気槽３２における硝化をさらに効率良く行うことが可能となる。

図５の処理装置４１では、これに加えて凝集反応槽４３及び凝集沈殿槽４４を用いている。凝集反応槽４３は、曝気槽３２で担体４２から剥離する汚泥や増殖した浮遊菌体等の固形物に凝集剤を加えて凝集させるものであり、凝集後のフロックは、凝集沈殿槽４４に供給され、凝集沈殿槽４４で固液分離される。このように、凝集反応槽４３及び凝集沈殿槽４４を用いることにより、固液分離を確実且つ迅速に行うことが可能となる。

図６は、本発明の第６の排水の処理装置５１を示すブロック図である。図６に示す処理装置５１は、図４における処理装置３１の曝気槽３２に代えて浸漬膜式曝気槽５２を用いるものである。浸漬膜式曝気槽５２は、浸漬膜５３を用いるものであり、この浸漬膜５３が曝気槽５２内の排水に浸漬された状態となっており、曝気槽５２内で微生物分解及び硝化されることにより生成した処理水は、浸漬膜５３によって濾過された後、軟化手段２に供給される。従って、この処理装置５１では、図４の処理装置３１における固液分離手段３３が不要となり、設置面積を小さくすることができる。

この場合、曝気槽５２内は散気手段３５によって曝気状態となっており、ここに浸漬膜５３を配置することにより、下部からの曝気により膜表面の堆積物を除去することができる。従って、長期間にわたって浸漬膜５３が安定して作用することができる。浸漬膜５３としては、限外濾過膜、精密濾過膜等を使用することができ、その材質としては、ポリオレフィン、酢酸セルロース、セラミック等を選択することができる。このような浸漬膜５３は、洗浄することにより繰り返し使用が可能であり、経済的なものとすることができる。

実施例及び比較例により本発明を具体的に説明する。以下の実施例及び比較例では、Ｃａイオン濃度４５ｍｇ／Ｌ、ＮＯ_３−Ｎ濃度８０ｍｇ／Ｌの排水を原水として、２００Ｌ／ｄの流量で通水して窒素除去処理を実施した。なお、対象排水での運転は、各工程の装置を立ち上げてから、処理能力が定常状態となった時点で開始した。各処理工程の運転条件は以下の通りである。

（１）軟化処理工程：弱酸性陽イオン交換樹脂（バイエル社製、商品名「ＬｅｗａｔｉｔＣＮＰ８０」）、ＳＶ７０ｈｒ^―１
（２）膜分離工程：逆浸透膜（ＲＯ膜）（日東電工社製、商品名「ＮＴＲ７５９ＨＲ−Ｓ２」）
（３）脱窒工程：ＵＳＢ法（上向流汚泥床法：Upflow Sludge Balnket 法、脱窒槽容積３．５Ｌ、ｐＨ７．５、温度３５℃、メタノール２４０ｍｇ／Ｌを添加

（比較例）
図７に示すフローにより排水の処理を行った。すなわち、軟化処理工程を経ない原水を逆浸透膜で透過水６と濃縮水７とに分離し、分離した濃縮水７を脱窒槽４で脱窒処理した。運転を開始した後、逆浸透膜にスケールが徐々に付着し、表１に示すように、逆浸透膜で分離される透過水量（以下、フラックスという）が、運転開始時と比較して１日目には２６％低下し、３日目には４２％低下した。

（実施例１）
図１に示すフローにより排水の処理を行った。すなわち、排水を軟化手段２でイオン交換処理した後、逆浸透膜分離手段３に通液して透過水６と濃縮水７とに分離し、その後、その濃縮水７を脱窒槽４に導入して脱窒処理を行った。結果を表２に示す。

表２に示すように、この実施例１では、運転開始から１日目のフラックス低下率は、運転開始時と比較して２．１％しか低下しておらず、１５日目と３０日目においても、それぞれ３．１％、４．３％しか低下しておらずに５％以下が維持され、逆浸透膜による透過水と濃縮水との分離を継続して行うことが確認できた。また、脱窒工程では、運転開始時から徐々に処理水中の硝酸性窒素濃度の増加が見られたが、運転開始から３０日目の硝酸性窒素は８６．５％であり、除去率として８５％を維持できていた。なお、硝酸性窒素の除去率とは、脱窒工程に流入する流入水から硝酸性窒素（ＮＯ_３−Ｎ）を除去した割合を示すものである。

（実施例２）
図２に示すフローにより排水の処理を行った。すなわち、排水を軟化手段２でイオン交換処理した後、逆浸透膜分離手段３に通液して透過水６と濃縮７水とに分離し、その後、その濃縮水７を脱窒槽４に導入して脱窒処理を行った。脱窒処理に際しては、再生排水給送手段９から再生排水を濃縮水７に混合して脱窒槽４に導入した。この再生剤には塩化ナトリウム（ＮａＣｌ）を使用した。結果を表３に示す。

表３に示すように、この実施例２では、運転開始から３０日目でも、フラックスの低下率に顕著な増加がみられず５％以下が維持され、また、硝酸性窒素の除去率にも顕著な変動がみられず総じて約９５％であった。したがって、逆浸透膜分離処理及び脱窒処理とも運転開始時と同じ処理能と処理水質を維持できていた。

（実施例３）
図３に示すフローにより排水の処理を行った。すなわち、排水を軟化手段２でイオン交換処理した後、逆浸透膜分離手段３に通液して透過水６と濃縮水７とに分離し、その後、その濃縮水７を脱窒槽４に導入すると共にカルシウム化合物を脱窒槽４に添加して脱窒処理を行った。カルシウム化合物としては、塩化カルシウムを使用した。結果を表４に示す。

表４に示すように、この実施例３では、運転開始から３０日目でも、フラックスの低下率に顕著な増加がみられず５％以下が維持され、また、硝酸性窒素の除去率にも顕著な変動がみられず総じて約９５％であった。したがって、逆浸透膜分離処理及び脱窒処理とも運転開始時と同じ処理能と処理水質を維持できていた。

図８は、実施例１〜３でのグラニュールの沈降速度の推移を示したグラフである。カルシウムイオンが脱窒槽４へ導入する水に含まれなかった実施例１では、運転開始時には５０ｍ／ｈｒであったグラニュールの沈降速度が、運転開始後３０日目には４０ｍ／ｈｒに低下していた。一方、カルシウムイオンを添加した実施例２及び実施例３では、運転開始後３０日目でもグラニュールの沈降速度を５０ｍ／ｈｒに維持できていた。

以上の結果から、軟化処理工程を導入することによって逆浸透膜分離処理と脱窒処理を安定して実施できることがわかる。また、脱窒槽に無機イオンとしてカルシウムイオンを添加することで、脱窒処理をより高負荷で安定して行うことができた。

本発明の第１の排水の処理装置を示すブロック図である。本発明の第２の排水の処理装置を示すブロック図である。本発明の第３の排水の処理装置を示すブロック図である。本発明の第４の排水の処理装置を示すブロック図である。本発明の第５の排水の処理装置を示すブロック図である。本発明の第６の排水の処理装置を示すブロック図である。比較例のブロック図である。実施例１〜３のグラニュールの沈降速度を示す特性図である。

符号の説明

１、１１、２１、３１、４１、５１処理装置
２軟化手段
３逆浸透膜分離手段
４脱窒槽
５供給手段
６透過水
７濃縮水
８脱窒処理水
９再生排水給送手段
１０再生排水貯留槽
１２逆洗水
３２曝気槽
３３固液分離手段
３４濾過器
３５散気手段
３６汚泥返送ライン
３７脱窒処理水の給送手段
４２担体
４３凝集反応槽
４４凝集沈殿槽
５２浸漬膜式曝気槽
５３浸漬膜

Claims

電子産業分野の製造工程から排出される排水であって、モノエタノールアミン又はテトラメチルアンモニウムヒドロオキサイドの有機窒素化合物が酸化分解及び硝化された硝酸性窒素又は亜硝酸性窒素を含有すると共に、カルシウムイオン、アルミニウムイオン又は鉄イオンの２価又は３価の無機イオンを含有する排水を軟化する軟化手段と、
該軟化手段からの流出液を逆浸透膜により透過水と濃縮水とに分離する逆浸透膜分離手段と、
前記濃縮水を生物学的に脱窒処理して脱窒処理水を得る脱窒手段と、
前記軟化手段に逆洗水を導入して排出される、前記無機イオンを含む再生排水の一部又は全量を前記脱窒手段へ送給する再生排水送給手段と、
を備えることを特徴とする排水の処理装置。
電子産業分野の製造工程から排出される排水であって、モノエタノールアミン又はテトラメチルアンモニウムヒドロオキサイドの有機窒素化合物を含有すると共に、カルシウムイオン、アルミニウムイオン又は鉄イオンの２価又は３価の無機イオンを含有する排水の供給手段と、
該供給手段からの前記排水を受け入れ、曝気処理により有機窒素化合物を微生物分解すると共に硝化を行う曝気槽と、
該曝気槽内の混合液を固液分離する固液分離手段と、
該固液分離手段で分離された分離水を軟化する軟化手段と、
該軟化手段からの流出液を逆浸透膜により透過水と濃縮水とに分離する逆浸透膜分離手段と、
前記濃縮水を生物学的に脱窒処理して脱窒処理水を得る脱窒手段と、
前記軟化手段に逆洗水を導入して排出される、前記無機イオンを含む再生排水の一部又は全量を前記脱窒手段へ送給する再生排水送給手段と、
を備えることを特徴とする排水の処理装置。
前記脱窒処理水を前記曝気槽に送給する送給手段を有することを特徴とする請求項２に記載の排水の処理装置。
前記曝気槽は、微生物を担持する担体が充填されているものであることを特徴とする請求項２又は３に記載の排水の処理装置。
前記脱窒手段は、脱窒細菌が汚泥粒を形成している脱窒槽であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の排水の処理装置。
電子産業分野の製造工程から排出される排水であって、モノエタノールアミン又はテトラメチルアンモニウムヒドロオキサイドの有機窒素化合物が酸化分解及び硝化された硝酸性窒素又は亜硝酸性窒素を含有すると共に、カルシウムイオン、アルミニウムイオン又は鉄イオンの２価又は３価の無機イオンを含有する排水を軟化する軟化工程と、
該軟化工程からの流出液を逆浸透膜により透過水と濃縮水とに分離する逆浸透膜分離工程と、
前記濃縮水を生物学的に脱窒処理して脱窒処理水を得る脱窒工程と、
前記軟化工程に逆洗水を導入して排出される、前記無機イオンを含む再生排水の一部又は全量を前記脱窒工程へ送給する再生排水送給工程と、
を備えることを特徴とする排水の処理方法。