JP4830555B2 - 半導体レーザ装置およびその製造方法 - Google Patents
半導体レーザ装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4830555B2 JP4830555B2 JP2006070789A JP2006070789A JP4830555B2 JP 4830555 B2 JP4830555 B2 JP 4830555B2 JP 2006070789 A JP2006070789 A JP 2006070789A JP 2006070789 A JP2006070789 A JP 2006070789A JP 4830555 B2 JP4830555 B2 JP 4830555B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- substrate
- etching
- cladding layer
- semiconductor laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Semiconductor Lasers (AREA)
Description
また、本発明による他の半導体レーザ装置は、基板と、前記基板の第1領域上に設けられた第1導電型の第1のクラッド層と、前記基板の前記第1領域に隣接する第2領域上に設けられた前記第1導電型の電極と、前記第1のクラッド層の第1領域上に設けられた活性層と、前記活性層上に設けられ、電流狭窄部を構成する第2導電型の第2のクラッド層と、を備え、平面視で前記第1のクラッド層の前記第1領域と前記基板の前記第2領域との間に位置する、前記第1のクラッド層の第2領域は、その上面の高さが前記活性層の下面の高さ以下であり且つ前記基板の前記第2領域の上面の高さよりも高い転位伝播防止領域であり、前記電流狭窄部と前記転位伝播防止領域とは、平面視で、互いに離間しており、前記電流狭窄部は、前記第1のクラッド層の前記第1および第2領域の境界に沿って延在する突条形状をしており、前記転位伝播防止領域は、平面視で、閉じた直線または曲線で構成された形状をしていることを特徴とする。
また、本発明による他の半導体レーザ装置の製造方法は、基板上に第1導電型の第1のクラッド層を形成する第1クラッド層形成工程と、前記第1のクラッド層上に活性層を形成する活性層形成工程と、前記活性層上に電流狭窄部を構成する第2導電型の第2のクラッド層を形成する第2クラッド層形成工程と、前記第2クラッド層形成工程よりも後に、前記活性層の一部を前記第1のクラッド層が露出するまでエッチングする第1エッチング工程と、前記第1エッチング工程において露出した前記第1のクラッド層の露出領域のうち、前記第1エッチング工程においてエッチングされずに残った前記活性層に平面視で隣接する隣接領域を残して、前記露出領域を前記基板が露出するまでエッチングすることにより、前記隣接領域に転位伝播防止領域を形成する第2エッチング工程と、前記第2エッチング工程において露出した前記基板の領域上に前記第1導電型の電極を形成する電極形成工程と、を含み、前記第2クラッド層形成工程においては、前記第2エッチング工程において形成される前記転位伝播防止領域と平面視で離間する領域に、前記電流狭窄部を形成し、前記電流狭窄部は、前記第1のエッチング工程においてエッチングされずに残った前記活性層と前記隣接領域との境界に沿って延在する突条形状をしており、前記転位伝播防止領域は、平面視で、閉じた直線または曲線で構成された形状をしていることを特徴とする。
図1は、本発明による半導体レーザ装置の第1実施形態を示す断面図である。また、図2は、図1の半導体レーザ装置を示す平面図である。本実施形態においては、リッジストライプ型の半導体レーザ装置を例示する。
(a)基板1上にクラッド層2を形成する第1クラッド層形成工程
(b)クラッド層2上に活性層3を形成する活性層形成工程
(c)活性層3上に電流狭窄部を構成するクラッド層5を形成する第2クラッド層形成工程
(d)工程(c)よりも後に、活性層3の一部をクラッド層2が露出するまでエッチングする第1エッチング工程
(e)工程(d)において露出したクラッド層2の露出領域のうち、工程(d)においてエッチングされずに残った活性層3に平面視で隣接する隣接領域を残して、上記露出領域を基板1が露出するまでエッチングすることにより、上記隣接領域に転位伝播防止領域を形成する第2エッチング工程
(f)工程(e)において露出した基板1の領域上に電極8を形成する電極形成工程
L1>(H1/tanθ1)
L1>(H1/tan60°)
を満たすことにより、大きな効果が得られる。例えば、n型AlGaNクラッド層2の厚さが約3μmであった場合、エッチング深さはトレランスを含めて約4μmとすると、L1は約2.3μm以上であることが好ましい。また、このような転位の大部分(95%以上)は、基板面からの角度θ1が約20°以上の方向の伝播経路を辿ることが見出された。よって、このような転位の殆どが活性層に至るのを避けるためには、L1が
L1>(H1/tan20°)
を満たすことが望ましい。例えば、n型AlGaNクラッド層2の厚さが3μmであった場合、L1の大きさは11μm以上であることが好ましく、エッチング端面からのダメージの影響を 略除去することが可能となる。ただし、例外的に結晶内部の欠陥などの構造により20°以下の角度で伝播する転位も存在しないとは言えず、L1の長さは長ければ長いほど効果的であると言える。しかし、これを長くし過ぎると、隣接する素子との間隔を広げなければならなくなり、素子当たりの面積が増大しウエハ当たりの素子数が減少するため、生産性に問題がある。また、場合によっては、n側クラッド層を水平に流れる抵抗成分の増加が懸念されるため、適当な値に設定することが必要である。2回目のエッチング深さについては、状況に応じて適当な深さを採用することができる。本実施形態ではn型GaN層の一部をn型電極形成面としたが、特に限定されず、n型AlGaNクラッド層の一部でも良く、またn型GaNコンタクト層を設けてここをn型電極形成面としても良い。エッチング深さはそれぞれの状況に応じて変えても構わないが、なるべく小さい方がL1の長さを長く取る必要がなくなり、効率的である。
図10は、本発明による半導体レーザ装置の第2実施形態を示す平面図である。本実施形態では、図3〜図7で説明したものと同様の製法を採用するものであるが、2回のドライエッチングによって形成される、エッチング領域の平面形状が、素子内で閉じた形状である点が異なっている。すなわち、転位伝播防止領域が、平面視で、閉じた直線または曲線で構成された形状をしている。
2 クラッド層
3 活性層
5 クラッド層
6 コンタクト層
7 電極
8 電極
12 絶縁膜
Claims (12)
- 基板と、
前記基板の第1領域上に設けられた第1導電型の第1のクラッド層と、
前記基板の前記第1領域に隣接する第2領域上に設けられた前記第1導電型の電極と、
前記第1のクラッド層の第1領域上に設けられた活性層と、
前記活性層上に設けられ、電流狭窄部を構成する第2導電型の第2のクラッド層と、を備え、
平面視で前記第1のクラッド層の前記第1領域と前記基板の前記第2領域との間に位置する、前記第1のクラッド層の第2領域は、その上面の高さが前記活性層の下面の高さ以下であり且つ前記基板の前記第2領域の上面の高さよりも高い転位伝播防止領域であり、
前記電流狭窄部と前記転位伝播防止領域とは、平面視で、互いに離間しており、
前記第1のクラッド層の前記第1領域と前記基板の前記第2領域との間の平面視での間隔をL1、前記転位伝播防止領域の上面の高さと前記基板の前記第2領域の上面の高さとの差をH1としたとき、L1>(H1/tan60°)が満たされていることを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1に記載の半導体レーザ装置において、
前記電流狭窄部は、前記第1のクラッド層の前記第1および第2領域の境界に沿って延在する突条形状をしている半導体レーザ装置。 - 請求項2に記載の半導体レーザ装置において、
前記転位伝播防止領域は、前記電流狭窄部に沿って延在しており、
前記転位伝播防止領域と前記電流狭窄部とは、延在方向についての長さが互いに略等しい半導体レーザ装置。 - 請求項2に記載の半導体レーザ装置において、
前記転位伝播防止領域は、平面視で、閉じた直線または曲線で構成された形状をしている半導体レーザ装置。 - 請求項1乃至4いずれかに記載の半導体レーザ装置において、
L1>(H1/tan20°)が満たされている半導体レーザ装置。 - 基板と、
前記基板の第1領域上に設けられた第1導電型の第1のクラッド層と、
前記基板の前記第1領域に隣接する第2領域上に設けられた前記第1導電型の電極と、
前記第1のクラッド層の第1領域上に設けられた活性層と、
前記活性層上に設けられ、電流狭窄部を構成する第2導電型の第2のクラッド層と、を備え、
平面視で前記第1のクラッド層の前記第1領域と前記基板の前記第2領域との間に位置する、前記第1のクラッド層の第2領域は、その上面の高さが前記活性層の下面の高さ以下であり且つ前記基板の前記第2領域の上面の高さよりも高い転位伝播防止領域であり、
前記電流狭窄部と前記転位伝播防止領域とは、平面視で、互いに離間しており、
前記電流狭窄部は、前記第1のクラッド層の前記第1および第2領域の境界に沿って延在する突条形状をしており、
前記転位伝播防止領域は、平面視で、閉じた直線または曲線で構成された形状をしていることを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1乃至6いずれかに記載の半導体レーザ装置において、
前記電流狭窄部と前記転位伝播防止領域とは、平面視で、互いに5μm以上離間している半導体レーザ装置。 - 請求項1乃至7いずれかに記載の半導体レーザ装置において、
前記基板はGaN基板であり、
前記活性層はInGaN層を含んでいる半導体レーザ装置。 - 請求項1乃至8いずれかに記載の半導体レーザ装置において、
前記第1導電型はn型であり、前記第2導電型はp型である半導体レーザ装置。 - 基板上に第1導電型の第1のクラッド層を形成する第1クラッド層形成工程と、
前記第1のクラッド層上に活性層を形成する活性層形成工程と、
前記活性層上に電流狭窄部を構成する第2導電型の第2のクラッド層を形成する第2クラッド層形成工程と、
前記第2クラッド層形成工程よりも後に、前記活性層の一部を前記第1のクラッド層が露出するまでエッチングする第1エッチング工程と、
前記第1エッチング工程において露出した前記第1のクラッド層の露出領域のうち、前記第1エッチング工程においてエッチングされずに残った前記活性層に平面視で隣接する隣接領域を残して、前記露出領域を前記基板が露出するまでエッチングすることにより、前記隣接領域に転位伝播防止領域を形成する第2エッチング工程と、
前記第2エッチング工程において露出した前記基板の領域上に前記第1導電型の電極を形成する電極形成工程と、を含み、
前記第2クラッド層形成工程においては、前記第2エッチング工程において形成される前記転位伝播防止領域と平面視で離間する領域に、前記電流狭窄部を形成し、
前記第1エッチング工程においてエッチングされずに残った前記活性層と前記第2エッチング工程において露出した前記基板の前記領域との間の平面視での間隔をL1、前記転位伝播防止領域の上面の高さと前記第2エッチング工程において露出した前記基板の前記領域の上面の高さとの差をH1としたとき、L1>(H1/tan60°)が満たされていることを特徴とする半導体レーザ装置の製造方法。 - 基板上に第1導電型の第1のクラッド層を形成する第1クラッド層形成工程と、
前記第1のクラッド層上に活性層を形成する活性層形成工程と、
前記活性層上に電流狭窄部を構成する第2導電型の第2のクラッド層を形成する第2クラッド層形成工程と、
前記第2クラッド層形成工程よりも後に、前記活性層の一部を前記第1のクラッド層が露出するまでエッチングする第1エッチング工程と、
前記第1エッチング工程において露出した前記第1のクラッド層の露出領域のうち、前記第1エッチング工程においてエッチングされずに残った前記活性層に平面視で隣接する隣接領域を残して、前記露出領域を前記基板が露出するまでエッチングすることにより、前記隣接領域に転位伝播防止領域を形成する第2エッチング工程と、
前記第2エッチング工程において露出した前記基板の領域上に前記第1導電型の電極を形成する電極形成工程と、を含み、
前記第2クラッド層形成工程においては、前記第2エッチング工程において形成される前記転位伝播防止領域と平面視で離間する領域に、前記電流狭窄部を形成し、
前記電流狭窄部は、前記第1エッチング工程においてエッチングされずに残った前記活性層と前記隣接領域との境界に沿って延在する突条形状をしており、
前記転位伝播防止領域は、平面視で、閉じた直線または曲線で構成された形状をしていることを特徴とする半導体レーザ装置の製造方法。 - 請求項10または11に記載の半導体レーザ装置の製造方法において、
前記第1および第2エッチング工程の一方または双方において、エッチング終点検出モニタを用いてエッチング深さを制御する半導体レーザ装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006070789A JP4830555B2 (ja) | 2006-03-15 | 2006-03-15 | 半導体レーザ装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006070789A JP4830555B2 (ja) | 2006-03-15 | 2006-03-15 | 半導体レーザ装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007250736A JP2007250736A (ja) | 2007-09-27 |
JP4830555B2 true JP4830555B2 (ja) | 2011-12-07 |
Family
ID=38594723
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006070789A Active JP4830555B2 (ja) | 2006-03-15 | 2006-03-15 | 半導体レーザ装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4830555B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5247417B2 (ja) * | 2008-12-25 | 2013-07-24 | 京セラ株式会社 | 発光素子およびそれを具備する発光素子アレイ |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06152072A (ja) * | 1992-11-16 | 1994-05-31 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 半導体レーザ |
JP2605640B2 (ja) * | 1994-10-26 | 1997-04-30 | 日本電気株式会社 | 半導体光素子及びその製造方法 |
JP2001189531A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-07-10 | Ricoh Co Ltd | 半導体基板および半導体発光素子およびその作製方法 |
US6574256B1 (en) * | 2000-01-18 | 2003-06-03 | Xerox Corporation | Distributed feedback laser fabricated by lateral overgrowth of an active region |
-
2006
- 2006-03-15 JP JP2006070789A patent/JP4830555B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007250736A (ja) | 2007-09-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4830315B2 (ja) | 半導体レーザ素子 | |
JP4272239B2 (ja) | 半導体光素子の製造方法 | |
JP2007036298A (ja) | 半導体発光素子 | |
JP2009200478A (ja) | 半導体レーザ素子およびその製造方法 | |
JP2008124438A (ja) | 半導体光素子の製造方法 | |
JP2007235107A (ja) | 半導体発光素子 | |
JP2008311434A (ja) | 半導体光素子の製造方法 | |
US20100202480A1 (en) | Semiconductor light-emitting element and method for manufacturing the same | |
JP2006135221A (ja) | 半導体発光素子 | |
JP2006228892A (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
US7611916B2 (en) | Method of manufacturing semiconductor optical element | |
JP5347236B2 (ja) | 半導体光素子の製造方法 | |
JPWO2012172995A1 (ja) | 光デバイス、光デバイスの製造方法、およびレーザモジュール | |
JP2010123869A (ja) | 窒化物半導体レーザ素子 | |
JP4959644B2 (ja) | 半導体レーザ素子、半導体ウェハおよび半導体レーザ素子の製造方法 | |
JP4830555B2 (ja) | 半導体レーザ装置およびその製造方法 | |
JP2006093682A (ja) | 半導体レーザおよびその製造方法 | |
JP2010129763A (ja) | 半導体レーザおよびその製造方法 | |
US20120032215A1 (en) | Semiconductor light emitting device | |
JP4890509B2 (ja) | 半導体発光素子の製造方法 | |
JP5150666B2 (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP2006108225A (ja) | 半導体レーザ | |
JP2010287738A (ja) | 半導体発光素子 | |
JP4114518B2 (ja) | 窒化物半導体レーザ素子 | |
JP5610032B2 (ja) | 半導体レーザの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090212 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110324 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110329 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110523 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110823 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110905 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4830555 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140930 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |