JP4826951B2 - Icテスタ校正方法 - Google Patents
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(1)システム起動後一定時間(例えば30分)が経過したこと
(2)前回校正からの一定時間(推奨24時間)が経過したこと
(3)前回校正から所定の温度変化(推奨±3℃)があったこと
ステップS38にて所定の条件が成立した場合、制御部20Aは、高精度診断ステップS40を行う。図3(b)は、図2の高精度診断ステップS40での診断方法の一例を示す図である。本ステップS40では、ICテスタモジュール12Aの個々のピンが、下限判定値DLから上限判定値DUまでの、規格幅WSより狭い範囲を有する判定幅WDに属する出力値を出力するか否かによって、ICテスタモジュール12Aがその規格精度を有するか否かをピン毎に診断する。判定幅WDも、規格幅WSと同様に、その中央に、最も理想的な規格値Sを含む。
図2のステップS38にて所定の条件が成立した場合に制御部20Aが行う高精度診断ステップS40は、次のような方法で行ってもよい。図4は、図2の高精度診断ステップS40での診断方法の他の例を示す図である。この診断にて使用する判定幅WDは、図3(b)に示したものと同様でよい。制御部20Aは、自動校正ステップS42において、まず、図3(b)にて説明したのと同様に、出力値が判定幅WDから逸脱し、診断フェイルとなった項目/ピンを自動校正する。
12A、12B、12C ICテスタモジュール
14 テスタコントローラ
16 バス
20A、20B、20C 制御部
22A、22B、22C メモリ
Claims (5)
- 複数のピンを有するICテスタの個々のピンが、規格下限値から規格上限値までの範囲を有する規格幅に属する出力値を出力するか否かによって、ICテスタがその規格精度を有するか否かをピン毎に診断する精度診断工程と、
前記ICテスタの稼動中に所定の条件が成立した場合に稼働を中止して実行する高精度診断工程であって、前記ICテスタの個々のピンが、下限判定値から上限判定値までの、前記規格幅より狭い範囲を有する判定幅に属する出力値を出力するか否かによって、前記ICテスタがその規格精度を有するか否かをピン毎に診断する高精度診断工程と、
該高精度診断工程にて規格精度を有しないと診断したピンについてのみ校正を行う校正工程とを含み、
前記校正工程の後に再び前記ICテスタの稼働を開始することを特徴とする、ICテスタ校正方法。 - 前記校正工程では、前記高精度診断工程で得られた最新および過去の1回以上の出力値に基づき、次回の高精度診断工程での出力値が前記判定幅に属さなくなることが予想されるピンについても校正を行うことを特徴とする、請求項1に記載のICテスタ校正方法。
- 前記所定の条件は、前記ICテスタ起動から一定時間が経過したことであることを特徴とする、請求項1または2に記載のICテスタ校正方法。
- 前記所定の条件は、前回の校正工程から一定時間が経過したことであることを特徴とする、請求項1または2に記載のICテスタ校正方法。
- 前記所定の条件は、前回の校正工程から所定の温度変化があったことであることを特徴とする、請求項1または2に記載のICテスタ校正方法。
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