JPH1078464A - 電子機器の故障予測方法及び装置 - Google Patents
電子機器の故障予測方法及び装置Info
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- JPH1078464A JPH1078464A JP23241396A JP23241396A JPH1078464A JP H1078464 A JPH1078464 A JP H1078464A JP 23241396 A JP23241396 A JP 23241396A JP 23241396 A JP23241396 A JP 23241396A JP H1078464 A JPH1078464 A JP H1078464A
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- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】キャリブレーション対象物を備える電子機器の
キャリブレーション対象物の劣化による故障を予測する
電子機器の故障予測方法（例えば、ＩＣテスタの故障予
測方法）に関し、キャリブレーション対象物の劣化によ
る故障を予測し、電子機器の修理に必要な部品・人員を
前もって確保できるようにし、電子機器の修理に必要な
電子機器の停止時間を必要最小限とする。 【解決手段】ＩＣテスタの各チャネルＣＨ１、ＣＨ２・
・・ＣＨ２５６のドライバ２−１、２−２・・・２−２
５６について履歴ファイル７Ｂに格納されている差分値
を統計処理し、差分値の経時的変化が正方向又は負方向
のいずれか一方に進行しており、かつ、最新差分値が警
告範囲内にある場合には警告を発生する。
キャリブレーション対象物の劣化による故障を予測する
電子機器の故障予測方法（例えば、ＩＣテスタの故障予
測方法）に関し、キャリブレーション対象物の劣化によ
る故障を予測し、電子機器の修理に必要な部品・人員を
前もって確保できるようにし、電子機器の修理に必要な
電子機器の停止時間を必要最小限とする。 【解決手段】ＩＣテスタの各チャネルＣＨ１、ＣＨ２・
・・ＣＨ２５６のドライバ２−１、２−２・・・２−２
５６について履歴ファイル７Ｂに格納されている差分値
を統計処理し、差分値の経時的変化が正方向又は負方向
のいずれか一方に進行しており、かつ、最新差分値が警
告範囲内にある場合には警告を発生する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、キャリブレーショ
ン（較正）対象物を備えてなる電子機器のキャリブレー
ション対象物の劣化による故障を予測する電子機器の故
障予測方法及び装置に関する。
ン（較正）対象物を備えてなる電子機器のキャリブレー
ション対象物の劣化による故障を予測する電子機器の故
障予測方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、ＩＣ（集積回路）の試験を行う
場合に使用されるＩＣテスタは、各種の製品を試験でき
るようにするために、試験対象ＩＣに与える電圧、電
流、信号タイミング等、多くの物理量をプログラムによ
り変更できるようにハードウエアが構成されている。
場合に使用されるＩＣテスタは、各種の製品を試験でき
るようにするために、試験対象ＩＣに与える電圧、電
流、信号タイミング等、多くの物理量をプログラムによ
り変更できるようにハードウエアが構成されている。
【０００３】そして、また、ＩＣテスタにおいては、試
験対象ＩＣに与える物理量の精度を確保するために、定
期的（例えば、稼働開始前）又は一定の温度変化が生じ
た場合（例えば、±２°以上の温度変化が生じた場合）
等に、試験対象ＩＣに与える物理量のキャリブレーショ
ンが実行されると共に、ＩＣテスタとしての基本機能が
正しく動作しているか否かの自己試験が実行され、故障
（機能不全）が発見されると、その時点で、警告が発せ
られるように構成されている。
験対象ＩＣに与える物理量の精度を確保するために、定
期的（例えば、稼働開始前）又は一定の温度変化が生じ
た場合（例えば、±２°以上の温度変化が生じた場合）
等に、試験対象ＩＣに与える物理量のキャリブレーショ
ンが実行されると共に、ＩＣテスタとしての基本機能が
正しく動作しているか否かの自己試験が実行され、故障
（機能不全）が発見されると、その時点で、警告が発せ
られるように構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような自己試験に
より故障が発見された場合には、ＩＣテスタの稼働を停
止して不良部品の交換を行うことになるが、この場合、
ＩＣテスタの停止後に不良部品を特定して必要部品を手
配することになるので、ＩＣテスタの停止時間が長くな
り、ＩＣテスタの稼働率が低下してしまうという問題点
があった。
より故障が発見された場合には、ＩＣテスタの稼働を停
止して不良部品の交換を行うことになるが、この場合、
ＩＣテスタの停止後に不良部品を特定して必要部品を手
配することになるので、ＩＣテスタの停止時間が長くな
り、ＩＣテスタの稼働率が低下してしまうという問題点
があった。
【０００５】また、このような自己試験は人間が必要に
応じて起動しており、ＩＣテスタの通常稼働時に故障が
発生した場合には、警告が発せられることはないので、
この場合には、故障のまま、試験対象ＩＣの試験が続行
されてしまうという問題点があった。
応じて起動しており、ＩＣテスタの通常稼働時に故障が
発生した場合には、警告が発せられることはないので、
この場合には、故障のまま、試験対象ＩＣの試験が続行
されてしまうという問題点があった。
【０００６】本発明は、かかる点に鑑み、キャリブレー
ション対象物の劣化による故障を予測し、キャリブレー
ション対象物を備える電子機器の修理に必要な部品・人
員を前もって確保することができるようにし、電子機器
の修理に必要な電子機器の停止時間を必要最小限とする
ことができるようにした電子機器の故障予測方法及び装
置を提供することを目的とする。
ション対象物の劣化による故障を予測し、キャリブレー
ション対象物を備える電子機器の修理に必要な部品・人
員を前もって確保することができるようにし、電子機器
の修理に必要な電子機器の停止時間を必要最小限とする
ことができるようにした電子機器の故障予測方法及び装
置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明中、第１の発明
（請求項１記載の電子機器の故障予測方法）は、キャリ
ブレーションの対象とされている物理量の測定値と基準
値との差分値を取得することにより、キャリブレーショ
ンの対象とされている物理量のキャリブレーションが実
行されるキャリブレーション対象物を備えてなる電子機
器のキャリブレーション対象物の劣化による故障を予測
する電子機器の故障予測方法であって、差分値の経時変
化が正方向又は負方向のいずれか一方に進行しており、
かつ、最新差分値がキャリブレーション可能な範囲内の
所定値以上の範囲にあるか否かを判定する工程と、差分
値の経時変化が正方向又は負方向のいずれか一方に進行
しており、かつ、最新差分値がキャリブレーション可能
な範囲内の所定値以上の範囲にある場合には、キャリブ
レーション対象物の劣化による故障を予測して警告を発
生する工程とを含むというものである。
（請求項１記載の電子機器の故障予測方法）は、キャリ
ブレーションの対象とされている物理量の測定値と基準
値との差分値を取得することにより、キャリブレーショ
ンの対象とされている物理量のキャリブレーションが実
行されるキャリブレーション対象物を備えてなる電子機
器のキャリブレーション対象物の劣化による故障を予測
する電子機器の故障予測方法であって、差分値の経時変
化が正方向又は負方向のいずれか一方に進行しており、
かつ、最新差分値がキャリブレーション可能な範囲内の
所定値以上の範囲にあるか否かを判定する工程と、差分
値の経時変化が正方向又は負方向のいずれか一方に進行
しており、かつ、最新差分値がキャリブレーション可能
な範囲内の所定値以上の範囲にある場合には、キャリブ
レーション対象物の劣化による故障を予測して警告を発
生する工程とを含むというものである。
【０００８】この第１の発明によれば、差分値の経時変
化が正方向又は負方向のいずれか一方に進行しており、
かつ、最新差分値がキャリブレーション可能な範囲内の
所定値以上の範囲にある場合には、キャリブレーション
対象物の劣化による故障を予測して警告が発生されるの
で、電子機器の修理に必要な部品・人員を前もって確保
することができる。
化が正方向又は負方向のいずれか一方に進行しており、
かつ、最新差分値がキャリブレーション可能な範囲内の
所定値以上の範囲にある場合には、キャリブレーション
対象物の劣化による故障を予測して警告が発生されるの
で、電子機器の修理に必要な部品・人員を前もって確保
することができる。
【０００９】本発明中、第２の発明（請求項２記載の電
子機器の故障予測装置）は、キャリブレーションの対象
とされている物理量の測定値と基準値との差分値を取得
することにより、キャリブレーションの対象とされてい
る物理量のキャリブレーションが実行されるキャリブレ
ーション対象物を備えてなる電子機器のキャリブレーシ
ョン対象物の劣化による故障を予測する電子機器の故障
予測装置であって、差分値の経時変化が正方向又は負方
向のいずれか一方に進行しており、かつ、最新差分値が
キャリブレーション可能な範囲内の所定値以上の範囲に
あるか否かを判定する判定部と、差分値の経時変化が正
方向又は負方向のいずれか一方に進行しており、かつ、
最新差分値がキャリブレーション可能な範囲内の所定値
以上の範囲にある場合には、キャリブレーション対象物
の劣化による故障を予測して警告を発生する警告発生部
とを備えるというものである。
子機器の故障予測装置）は、キャリブレーションの対象
とされている物理量の測定値と基準値との差分値を取得
することにより、キャリブレーションの対象とされてい
る物理量のキャリブレーションが実行されるキャリブレ
ーション対象物を備えてなる電子機器のキャリブレーシ
ョン対象物の劣化による故障を予測する電子機器の故障
予測装置であって、差分値の経時変化が正方向又は負方
向のいずれか一方に進行しており、かつ、最新差分値が
キャリブレーション可能な範囲内の所定値以上の範囲に
あるか否かを判定する判定部と、差分値の経時変化が正
方向又は負方向のいずれか一方に進行しており、かつ、
最新差分値がキャリブレーション可能な範囲内の所定値
以上の範囲にある場合には、キャリブレーション対象物
の劣化による故障を予測して警告を発生する警告発生部
とを備えるというものである。
【００１０】この第２の発明によれば、差分値の経時変
化が正方向又は負方向のいずれか一方に進行しており、
かつ、最新差分値がキャリブレーション可能な範囲内の
所定値以上の範囲にある場合には、キャリブレーション
対象物の劣化による故障を予測して警告発生部から警告
が発生されるので、電子機器の修理に必要な部品・人員
を前もって確保することができる。
化が正方向又は負方向のいずれか一方に進行しており、
かつ、最新差分値がキャリブレーション可能な範囲内の
所定値以上の範囲にある場合には、キャリブレーション
対象物の劣化による故障を予測して警告発生部から警告
が発生されるので、電子機器の修理に必要な部品・人員
を前もって確保することができる。
【００１１】本発明中、第３の発明（請求項３記載の電
子機器の故障予測装置）は、第２の発明において、判定
部は、差分値の経時変化を記憶する第１の記憶部と、キ
ャリブレーション可能な範囲及びキャリブレーション可
能な範囲内の所定値以上の範囲を記憶する第２の記憶部
と、第１の記憶部に記録されているデータを処理し、最
新差分値を取得したキャリブレーション対象物の差分値
の経時変化が正方向又は負方向のいずれか一方に進行し
ており、かつ、最新差分値がキャリブレーション可能な
範囲内の所定値以上の範囲にあるか否かを判定するデー
タ処理部とを備えるというものである。
子機器の故障予測装置）は、第２の発明において、判定
部は、差分値の経時変化を記憶する第１の記憶部と、キ
ャリブレーション可能な範囲及びキャリブレーション可
能な範囲内の所定値以上の範囲を記憶する第２の記憶部
と、第１の記憶部に記録されているデータを処理し、最
新差分値を取得したキャリブレーション対象物の差分値
の経時変化が正方向又は負方向のいずれか一方に進行し
ており、かつ、最新差分値がキャリブレーション可能な
範囲内の所定値以上の範囲にあるか否かを判定するデー
タ処理部とを備えるというものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図１〜図３を参照して、本
発明による電子機器の故障予測方法及び装置の実施の一
形態について、本発明による電子機器の故障予測方法及
び装置をＩＣテスタの故障予測方法及び装置に適用した
場合を例にして説明する。
発明による電子機器の故障予測方法及び装置の実施の一
形態について、本発明による電子機器の故障予測方法及
び装置をＩＣテスタの故障予測方法及び装置に適用した
場合を例にして説明する。
【００１３】図１は本発明による電子機器の故障予測装
置の実施の一形態を示すブロック回路図であり、本発明
による電子機器の故障予測方法の実施の一形態が実施さ
れるものである。
置の実施の一形態を示すブロック回路図であり、本発明
による電子機器の故障予測方法の実施の一形態が実施さ
れるものである。
【００１４】図１中、１は試験対象ＩＣに対する信号供
給のタイミングのキャリブレーション、いわゆるタイミ
ングキャリブレーションの対象とされているドライバ部
であり、２−１、２−２、・・・、２−２５６はそれぞ
れチャネルＣＨ１、ＣＨ２、・・・、ＣＨ２５６のドラ
イバである。
給のタイミングのキャリブレーション、いわゆるタイミ
ングキャリブレーションの対象とされているドライバ部
であり、２−１、２−２、・・・、２−２５６はそれぞ
れチャネルＣＨ１、ＣＨ２、・・・、ＣＨ２５６のドラ
イバである。
【００１５】また、３はタイミングキャリブレーション
の対象とされているチャネルＣＨ１、ＣＨ２、・・・、
ＣＨ２５６のドライバ２−１、２−２、・・・、２−２
５６の番号が記述されているコンフィギュレーションフ
ァイルであり、この例では、チャネルＣＨ１、ＣＨ２、
・・・、ＣＨ２５６の順にタイミングキャリブレーショ
ンを実行するように記述されている。
の対象とされているチャネルＣＨ１、ＣＨ２、・・・、
ＣＨ２５６のドライバ２−１、２−２、・・・、２−２
５６の番号が記述されているコンフィギュレーションフ
ァイルであり、この例では、チャネルＣＨ１、ＣＨ２、
・・・、ＣＨ２５６の順にタイミングキャリブレーショ
ンを実行するように記述されている。
【００１６】また、４はコンフィギュレーションファイ
ル３に記述されているドライバ２−１、２−２、・・
・、２−２５６のタイミングキャリブレーションに必要
な物理量を記述しておく測定プロシジャファイルであ
り、この例では、タイミングキャリブレーションを行う
タイミング原点と、ドライバ２−１、２−２、・・・、
２−２５６に設定すべき試験対象ＩＣに対する信号供給
のタイミング、いわゆる、キャリブレーション実行値が
記述されている。
ル３に記述されているドライバ２−１、２−２、・・
・、２−２５６のタイミングキャリブレーションに必要
な物理量を記述しておく測定プロシジャファイルであ
り、この例では、タイミングキャリブレーションを行う
タイミング原点と、ドライバ２−１、２−２、・・・、
２−２５６に設定すべき試験対象ＩＣに対する信号供給
のタイミング、いわゆる、キャリブレーション実行値が
記述されている。
【００１７】また、５はキャリブレーションを実行する
キャリブレータであり、５Ａは測定プロシジャファイル
４に記述されているキャリブレーション実行値の設定を
行い、ドライバ２−１、２−２、・・・、２−２５６に
対して測定プロシジャファイル４に記述されているキャ
リブレーション実行値に基づく信号を供給する実行部、
５Ｂは実行部５Ａから供給される信号の出力タイミング
を測定する測定部である。
キャリブレータであり、５Ａは測定プロシジャファイル
４に記述されているキャリブレーション実行値の設定を
行い、ドライバ２−１、２−２、・・・、２−２５６に
対して測定プロシジャファイル４に記述されているキャ
リブレーション実行値に基づく信号を供給する実行部、
５Ｂは実行部５Ａから供給される信号の出力タイミング
を測定する測定部である。
【００１８】また、６は、各ドライバ２−１、２−２、
・・・、２−２５６について、図２に示すように、測定
プロシジャファイル４に記述されているタイミング原点
と、キャリブレータ５の測定部５Ｂにより測定された出
力タイミングとの差分値を取得する差分値取得部であ
る。なお、図２において、Ｘ１はタイミング原点を示す
ための波形、Ｘ２はドライバ部１のドライバの出力信号
例を示す波形である。
・・・、２−２５６について、図２に示すように、測定
プロシジャファイル４に記述されているタイミング原点
と、キャリブレータ５の測定部５Ｂにより測定された出
力タイミングとの差分値を取得する差分値取得部であ
る。なお、図２において、Ｘ１はタイミング原点を示す
ための波形、Ｘ２はドライバ部１のドライバの出力信号
例を示す波形である。
【００１９】また、７は差分値取得部６から出力される
差分値を記憶するデータファイルであり、７Ａはドライ
バ２−１、２−２、・・・、２−２５６についての最新
の差分値を記憶する最新差分値ファイル、７Ｂは差分値
の経時変化（履歴）を記憶する履歴ファイルである。
差分値を記憶するデータファイルであり、７Ａはドライ
バ２−１、２−２、・・・、２−２５６についての最新
の差分値を記憶する最新差分値ファイル、７Ｂは差分値
の経時変化（履歴）を記憶する履歴ファイルである。
【００２０】また、８は最新差分値を取得したドライバ
についてキャリブレーションを実行するか否かの判定基
準となるキャリブレーション可能範囲、及び、最新差分
値を取得したドライバについて故障を予測して警告を発
生するか否かの判定基準となる警告範囲が記述された判
定基準記述ファイルであり、この例では、キャリブレー
ション可能範囲として、−２０ｎｓ〜＋２０ｎｓが記述
されており、警告範囲として、−１０ｎｓ〜−２０ｎ
ｓ、＋１０ｎｓ〜＋２０ｎｓが記述されている。
についてキャリブレーションを実行するか否かの判定基
準となるキャリブレーション可能範囲、及び、最新差分
値を取得したドライバについて故障を予測して警告を発
生するか否かの判定基準となる警告範囲が記述された判
定基準記述ファイルであり、この例では、キャリブレー
ション可能範囲として、−２０ｎｓ〜＋２０ｎｓが記述
されており、警告範囲として、−１０ｎｓ〜−２０ｎ
ｓ、＋１０ｎｓ〜＋２０ｎｓが記述されている。
【００２１】また、９は判定基準記述ファイル８に記述
されたキャリブレーション可能範囲を参照して、最新差
分値を取得したドライバについてキャリブレーションを
実行するか否かの判定を行うキャリブレーション実行判
定部である。
されたキャリブレーション可能範囲を参照して、最新差
分値を取得したドライバについてキャリブレーションを
実行するか否かの判定を行うキャリブレーション実行判
定部である。
【００２２】このキャリブレーション実行判定部９は、
最新差分値ファイル７Ａに格納された最新差分値が判定
基準記述ファイル８に記述されたキャリブレーション可
能範囲内にある場合、即ち、最新差分値が−２０ｎｓ〜
＋２０ｎｓにある場合には、キャリブレーションを実行
する旨の判定を行い、最新差分値ファイル７Ａに格納さ
れた最新差分値が判定基準記述ファイル８に記述された
キャリブレーション可能範囲を越える場合、即ち、最新
差分値が−２０ｎｓ又は＋２０ｎｓを越える場合には、
キャリブレーションが不可能であることを示すエラー信
号を発生するように構成されている。
最新差分値ファイル７Ａに格納された最新差分値が判定
基準記述ファイル８に記述されたキャリブレーション可
能範囲内にある場合、即ち、最新差分値が−２０ｎｓ〜
＋２０ｎｓにある場合には、キャリブレーションを実行
する旨の判定を行い、最新差分値ファイル７Ａに格納さ
れた最新差分値が判定基準記述ファイル８に記述された
キャリブレーション可能範囲を越える場合、即ち、最新
差分値が−２０ｎｓ又は＋２０ｎｓを越える場合には、
キャリブレーションが不可能であることを示すエラー信
号を発生するように構成されている。
【００２３】また、１０は各ドライバ２−１、２−２、
・・・、２−２５６について履歴ファイル７Ｂに格納さ
れている差分値を統計処理し、差分値の経時変化が正方
向又は負方向のいずれか一方に進行しており、かつ、最
新差分値が判定基準記述ファイル８に記述された警告範
囲内、即ち、最新差分値が−１０ｎｓ〜−２０ｎｓ又は
＋１０ｎｓ〜＋２０ｎｓにあるか否かを判定する統計処
理プロセッサである。
・・・、２−２５６について履歴ファイル７Ｂに格納さ
れている差分値を統計処理し、差分値の経時変化が正方
向又は負方向のいずれか一方に進行しており、かつ、最
新差分値が判定基準記述ファイル８に記述された警告範
囲内、即ち、最新差分値が−１０ｎｓ〜−２０ｎｓ又は
＋１０ｎｓ〜＋２０ｎｓにあるか否かを判定する統計処
理プロセッサである。
【００２４】具体的には、この統計処理プロセッサ１０
は、履歴ファイル７Ｂに格納されている差分値をチャネ
ル毎に、図３Ａに示すように、横軸を時間、縦軸を差分
値とし、差分値の変化を折れ線Ｘ３で示す統計データに
展開した後、図３Ｂに示すように、図３Ａに示す統計デ
ータを微分してなる微分値データを得ることにより、差
分値の経時変化が正方向又は負方向のいずれか一方に進
行しているか否かを判定するように構成されている。
は、履歴ファイル７Ｂに格納されている差分値をチャネ
ル毎に、図３Ａに示すように、横軸を時間、縦軸を差分
値とし、差分値の変化を折れ線Ｘ３で示す統計データに
展開した後、図３Ｂに示すように、図３Ａに示す統計デ
ータを微分してなる微分値データを得ることにより、差
分値の経時変化が正方向又は負方向のいずれか一方に進
行しているか否かを判定するように構成されている。
【００２５】また、この統計処理プロセッサ１０は、差
分値の経時変化が正方向又は負方向のいずれか一方に進
行しており、かつ、最新差分値が判定基準記述ファイル
８に記述された警告範囲内にあるドライバが劣化傾向に
ある場合には、故障が予測できるものとして故障の予測
を示す警告を発生すべき旨の警告発生指示信号を出力す
るようにも構成されている。
分値の経時変化が正方向又は負方向のいずれか一方に進
行しており、かつ、最新差分値が判定基準記述ファイル
８に記述された警告範囲内にあるドライバが劣化傾向に
ある場合には、故障が予測できるものとして故障の予測
を示す警告を発生すべき旨の警告発生指示信号を出力す
るようにも構成されている。
【００２６】なお、差分値の経時変化が正方向又は負方
向のいずれか一方に進行することなく正負方向にランダ
ムに変化しているか、あるいは、最新差分値が判定基準
記述ファイル８に記述された警告範囲内にないドライバ
は、劣化傾向になく、差分値の経時変化は、例えば、温
度変化によるもの等と判断され、この場合には、警告発
生指示信号が出力されることはない。
向のいずれか一方に進行することなく正負方向にランダ
ムに変化しているか、あるいは、最新差分値が判定基準
記述ファイル８に記述された警告範囲内にないドライバ
は、劣化傾向になく、差分値の経時変化は、例えば、温
度変化によるもの等と判断され、この場合には、警告発
生指示信号が出力されることはない。
【００２７】また、１１は統計処理プロセッサ１０が警
告発生指示信号を出力した場合には警告を発生する警告
発生部であり、警告は、例えば、ディスプレイに表示す
ることにより行われる。
告発生指示信号を出力した場合には警告を発生する警告
発生部であり、警告は、例えば、ディスプレイに表示す
ることにより行われる。
【００２８】このように構成された本発明による電子機
器の故障予測装置の実施の一形態においては、キャリブ
レータ５において、コンフィギュレーションファイル３
に記述されたタイミングキャリブレーションの対象物で
あるドライバ２−１、２−２、・・・、２−２５６につ
いて、測定プロシジャファイル４に記述されたキャリブ
レーション実行値に基づいて、ドライバ２−１、２−
２、・・・、２−２５６の出力タイミングが測定され
る。
器の故障予測装置の実施の一形態においては、キャリブ
レータ５において、コンフィギュレーションファイル３
に記述されたタイミングキャリブレーションの対象物で
あるドライバ２−１、２−２、・・・、２−２５６につ
いて、測定プロシジャファイル４に記述されたキャリブ
レーション実行値に基づいて、ドライバ２−１、２−
２、・・・、２−２５６の出力タイミングが測定され
る。
【００２９】そして、差分値取得部６において、ドライ
バ２−１、２−２、・・・、２−２５６について、測定
プロシジャファイル４に記述されているタイミング原点
と、キャリブレータ５の測定部５Ｂにより測定された出
力タイミングとの差分値が取得される。
バ２−１、２−２、・・・、２−２５６について、測定
プロシジャファイル４に記述されているタイミング原点
と、キャリブレータ５の測定部５Ｂにより測定された出
力タイミングとの差分値が取得される。
【００３０】ここに、差分値取得部６で取得された差分
値は、データファイル７に伝送されるが、データファイ
ル７においては、最新差分値は、最新差分値ファイル７
Ａに記録され、差分値の経時変化は、累積時間と共に履
歴ファイル７Ｂに記録されることになる。
値は、データファイル７に伝送されるが、データファイ
ル７においては、最新差分値は、最新差分値ファイル７
Ａに記録され、差分値の経時変化は、累積時間と共に履
歴ファイル７Ｂに記録されることになる。
【００３１】そして、キャリブレーション実行判定部９
においては、最新差分値ファイル７Ａに格納された最新
差分値が判定基準記述ファイル８に記述されたキャリブ
レーション可能範囲内にあるドライバ、即ち、最新差分
値が±２０ｎｓの範囲内にあるドライバについては、キ
ャリブレーションを実行する旨の判定が行われ、この場
合には、差分値をなくすようなキャリブレーションが行
われる。
においては、最新差分値ファイル７Ａに格納された最新
差分値が判定基準記述ファイル８に記述されたキャリブ
レーション可能範囲内にあるドライバ、即ち、最新差分
値が±２０ｎｓの範囲内にあるドライバについては、キ
ャリブレーションを実行する旨の判定が行われ、この場
合には、差分値をなくすようなキャリブレーションが行
われる。
【００３２】これに対して、最新差分値ファイル７Ａに
格納された最新差分値が判定基準記述ファイル８に記述
されたキャリブレーション可能範囲を越えるドライバ、
即ち、最新差分値が±２０ｎｓを越えるドライバについ
ては、キャリブレーションが不可能であることを示すエ
ラー信号が発生される。
格納された最新差分値が判定基準記述ファイル８に記述
されたキャリブレーション可能範囲を越えるドライバ、
即ち、最新差分値が±２０ｎｓを越えるドライバについ
ては、キャリブレーションが不可能であることを示すエ
ラー信号が発生される。
【００３３】他方、統計処理プロセッサ１０において
は、ドライバ２−１、２−２、・・・、２−２５６につ
いて、差分値の経時変化が正方向又は負方向のいずれか
一方に進行しており、かつ、最新差分値が警告範囲内、
即ち、最新差分値が−１０ｎｓ〜−２０ｎｓ又は＋１０
ｎｓ〜＋２０ｎｓにあるか否かが判定される。
は、ドライバ２−１、２−２、・・・、２−２５６につ
いて、差分値の経時変化が正方向又は負方向のいずれか
一方に進行しており、かつ、最新差分値が警告範囲内、
即ち、最新差分値が−１０ｎｓ〜−２０ｎｓ又は＋１０
ｎｓ〜＋２０ｎｓにあるか否かが判定される。
【００３４】ここに、差分値の経時変化が正方向又は負
方向のいずれか一方に進行しており、かつ、最新差分値
が判定基準記述ファイル８に記述された警告範囲内にあ
るドライバは劣化傾向にあるものとして、警告発生指示
信号が出力され、警告発生部１１は警告を発生すること
になる。
方向のいずれか一方に進行しており、かつ、最新差分値
が判定基準記述ファイル８に記述された警告範囲内にあ
るドライバは劣化傾向にあるものとして、警告発生指示
信号が出力され、警告発生部１１は警告を発生すること
になる。
【００３５】したがって、本発明による電子機器の故障
予測方法及び装置の実施の一形態によれば、ＩＣテスタ
のオペレータは、警告が発生された時点で、ＩＣテスタ
の修理に必要な部品・人員を前もって確保することがで
きるので、ＩＣテスタの修理に必要なＩＣテスタの停止
時間を必要最小限とすることができる。
予測方法及び装置の実施の一形態によれば、ＩＣテスタ
のオペレータは、警告が発生された時点で、ＩＣテスタ
の修理に必要な部品・人員を前もって確保することがで
きるので、ＩＣテスタの修理に必要なＩＣテスタの停止
時間を必要最小限とすることができる。
【００３６】なお、本発明による電子機器の故障予測方
法及び装置の実施の一形態においては、キャリブレーシ
ョン対象物をドライバ２−１、２−２、・・・、２−２
５６とし、キャリブレーションの対象とする物理量を信
号の供給タイミングとした場合を例にして説明したが、
本発明は、定電圧源、定電流源をキャリブレーション対
象物とし、電圧、電流をキャリブレーションの対象とす
る物理量とする場合等についても適用することができ
る。
法及び装置の実施の一形態においては、キャリブレーシ
ョン対象物をドライバ２−１、２−２、・・・、２−２
５６とし、キャリブレーションの対象とする物理量を信
号の供給タイミングとした場合を例にして説明したが、
本発明は、定電圧源、定電流源をキャリブレーション対
象物とし、電圧、電流をキャリブレーションの対象とす
る物理量とする場合等についても適用することができ
る。
【００３７】また、本発明による電子機器の故障予測方
法及び装置の実施の一形態においては、本発明による電
子機器の故障予測方法及び装置をＩＣテスタの故障予測
方法及び装置に適用した場合を例にして説明したが、本
発明は、キャリブレーション対象物を備えてなる電子機
器の故障予測方法及び装置に広く適用することができ
る。
法及び装置の実施の一形態においては、本発明による電
子機器の故障予測方法及び装置をＩＣテスタの故障予測
方法及び装置に適用した場合を例にして説明したが、本
発明は、キャリブレーション対象物を備えてなる電子機
器の故障予測方法及び装置に広く適用することができ
る。
【００３８】
【発明の効果】以上のように、本発明による電子機器の
故障予測方法及び装置によれば、キャリブレーション対
象物の劣化による故障を予測し、電子機器の修理に必要
な部品・人員を前もって確保することができるので、電
子機器の修理に必要な電子機器の停止時間を必要最小限
とすることができる。
故障予測方法及び装置によれば、キャリブレーション対
象物の劣化による故障を予測し、電子機器の修理に必要
な部品・人員を前もって確保することができるので、電
子機器の修理に必要な電子機器の停止時間を必要最小限
とすることができる。
【図１】本発明による電子機器の故障予測装置の実施の
一形態を示すブロック回路図である。
一形態を示すブロック回路図である。
【図２】本発明による電子機器の故障予測装置の実施の
一形態が備える差分値取得部の動作を説明するためのタ
イムチャートである。
一形態が備える差分値取得部の動作を説明するためのタ
イムチャートである。
【図３】本発明による電子機器の故障予測装置の実施の
一形態が備える統計処理プロセッサの動作を説明するた
めのタイムチャートである。
一形態が備える統計処理プロセッサの動作を説明するた
めのタイムチャートである。
１ ドライバ部 ２−１、２−２、２−２５６ ドライバ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０５Ｂ 23/02 ３０２ 0360−3Ｈ Ｇ０５Ｂ 23/02 ３０２Ｐ Ｇ０１Ｒ 31/28 Ｈ
Claims (3)
- 【請求項１】キャリブレーションの対象とされている物
理量の測定値と基準値との差分値を取得することによ
り、前記キャリブレーションの対象とされている物理量
のキャリブレーションが実行されるキャリブレーション
対象物を備えてなる電子機器の前記キャリブレーション
対象物の劣化による故障を予測する電子機器の故障予測
方法であって、 前記差分値の経時変化が正方向又は負方向のいずれか一
方に進行しており、かつ、最新差分値がキャリブレーシ
ョン可能な範囲内の所定値以上の範囲にあるか否かを判
定する工程と、前記差分値の経時変化が正方向又は負方
向のいずれか一方に進行しており、かつ、前記最新差分
値が前記キャリブレーション可能な範囲内の所定値以上
の範囲にある場合には、前記キャリブレーション対象物
の劣化による故障を予測して警告を発生する工程とを含
むことを特徴とする電子機器の故障予測方法。 - 【請求項２】キャリブレーションの対象とされている物
理量の測定値と基準値との差分値を取得することによ
り、前記キャリブレーションの対象とされている物理量
のキャリブレーションが実行されるキャリブレーション
対象物を備えてなる電子機器の前記キャリブレーション
対象物の劣化による故障を予測する電子機器の故障予測
装置であって、 前記差分値の経時変化が正方向又は負方向のいずれか一
方に進行しており、かつ、最新差分値がキャリブレーシ
ョン可能な範囲内の所定値以上の範囲にあるか否かを判
定する判定部と、前記差分値の経時変化が正方向又は負
方向のいずれか一方に進行しており、かつ、前記最新差
分値が前記キャリブレーション可能な範囲内の所定値以
上の範囲にある場合には、前記キャリブレーション対象
物の劣化による故障を予測して警告を発生する警告発生
部とを備えていることを特徴とする電子機器の故障予測
装置。 - 【請求項３】前記判定部は、前記差分値の経時変化を記
憶する第１の記憶部と、前記キャリブレーション可能な
範囲及び前記キャリブレーション可能な範囲内の所定値
以上の範囲を記憶する第２の記憶部と、前記第１の記憶
部に記録されているデータを処理し、前記最新差分値を
取得したキャリブレーション対象物の差分値の経時変化
が正方向又は負方向のいずれか一方に進行しており、か
つ、前記最新差分値が前記キャリブレーション可能な範
囲内の所定値以上の範囲にあるか否かを判定するデータ
処理部とを備えて構成されていることを特徴とする請求
項２記載の電子機器の故障予測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23241396A JPH1078464A (ja) | 1996-09-03 | 1996-09-03 | 電子機器の故障予測方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23241396A JPH1078464A (ja) | 1996-09-03 | 1996-09-03 | 電子機器の故障予測方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1078464A true JPH1078464A (ja) | 1998-03-24 |
Family
ID=16938869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23241396A Withdrawn JPH1078464A (ja) | 1996-09-03 | 1996-09-03 | 電子機器の故障予測方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1078464A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001215150A (ja) * | 1999-12-02 | 2001-08-10 | Luk Lamellen & Kupplungsbau Gmbh | 可変的なパラメータの振動を識別するための方法 |
| US9172861B2 (en) | 2011-10-03 | 2015-10-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Image pickup information output apparatus and lens apparatus equipped with same |
| WO2018159190A1 (ja) * | 2017-03-02 | 2018-09-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査システム、および検査システムの故障解析・予知方法 |
| CN108594671A (zh) * | 2018-03-15 | 2018-09-28 | 佛山市嘉之润电业有限公司 | 一种铆钉机控制方法 |
-
1996
- 1996-09-03 JP JP23241396A patent/JPH1078464A/ja not_active Withdrawn
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001215150A (ja) * | 1999-12-02 | 2001-08-10 | Luk Lamellen & Kupplungsbau Gmbh | 可変的なパラメータの振動を識別するための方法 |
| JP4518449B2 (ja) * | 1999-12-02 | 2010-08-04 | ルーク ラメレン ウント クツプルングスバウ ベタイリグングス コマンディートゲゼルシャフト | 可変的なパラメータの振動を識別するための方法 |
| US9172861B2 (en) | 2011-10-03 | 2015-10-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Image pickup information output apparatus and lens apparatus equipped with same |
| US9817207B2 (en) | 2011-10-03 | 2017-11-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Image pickup information output apparatus and lens apparatus equipped with same |
| US11187747B2 (en) | 2017-03-02 | 2021-11-30 | Tokyo Electron Limited | Inspection system and malfunction analysis/prediction method for inspection system |
| JP2018147959A (ja) * | 2017-03-02 | 2018-09-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査システム、ならびに検査システムの故障解析・予知方法 |
| KR20190117775A (ko) * | 2017-03-02 | 2019-10-16 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 검사 시스템, 및 검사 시스템의 고장 해석 및 예지 방법 |
| CN110383443A (zh) * | 2017-03-02 | 2019-10-25 | 东京毅力科创株式会社 | 检查系统以及检查系统的故障分析和预知方法 |
| WO2018159190A1 (ja) * | 2017-03-02 | 2018-09-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査システム、および検査システムの故障解析・予知方法 |
| JP2021184486A (ja) * | 2017-03-02 | 2021-12-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査システム、ならびに検査システムの故障解析・予知方法 |
| TWI757437B (zh) * | 2017-03-02 | 2022-03-11 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 檢查系統、以及檢查系統之故障解析及預測方法 |
| CN110383443B (zh) * | 2017-03-02 | 2023-06-13 | 东京毅力科创株式会社 | 检查系统以及检查系统的故障分析和预知方法 |
| CN108594671A (zh) * | 2018-03-15 | 2018-09-28 | 佛山市嘉之润电业有限公司 | 一种铆钉机控制方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20031104 |