JP4826195B2 - RFID tag - Google Patents

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Description

本発明は、電磁誘導方式で交信するRFIDタグ(無線ICタグ、ICカード、非接触式データキャリアなどともいう)に関し、特に、小型化に資するRFIDタグに関する。   The present invention relates to an RFID tag (also referred to as a wireless IC tag, an IC card, a non-contact data carrier, etc.) that communicates by an electromagnetic induction method, and particularly relates to an RFID tag that contributes to miniaturization.

電磁誘導方式で交信するRFIDタグは、主にカード型のものが社会で広く使われている。近年は、カード型よりも遥かに小さいサイズのRFIDタグが開発されるようになり、さらなる小型化が期待されている。   RFID tags that communicate using the electromagnetic induction method are mainly used in society mainly in the card type. In recent years, RFID tags having a size much smaller than the card type have been developed, and further miniaturization is expected.

一方、電磁誘導方式で交信するRFIDタグには、所定の周波数(例えば13.56MHzや135KHz)で共振する共振回路を構成するアンテナコイルが必要とされるが、このアンテナコイルは、絶縁基材の一方の面に単層構造で形成されるのが一般的である。また、カード型のRFIDタグでは、カードの外周に沿うようにしてほぼ長方形(矩形)に形成されるのが一般的である。そして、13.56MHzのカード型の場合、カードが十分に大きいことから、単層構造でも、所定のインダクタンス値を確保するためのアンテナコイルの巻回数は3〜4回程度で十分とされている。   On the other hand, an RFID tag that communicates using an electromagnetic induction method requires an antenna coil that forms a resonance circuit that resonates at a predetermined frequency (for example, 13.56 MHz or 135 KHz). In general, it is formed in a single layer structure on one surface. In general, the card-type RFID tag is formed in a substantially rectangular shape (rectangular shape) along the outer periphery of the card. In the case of a card type of 13.56 MHz, since the card is sufficiently large, even with a single layer structure, the number of turns of the antenna coil for securing a predetermined inductance value is sufficient to be about 3 to 4 times. .

しかし、このような従来一般的な単層構造のアンテナコイルのまま、小型化すると、アンテナコイルの内周面積を確保しながら十分な巻回数を確保することができなくなって、所定のインダクタンス値を確保できなくなるという問題がある。   However, if the antenna coil having such a conventional single-layer structure is miniaturized, a sufficient number of turns cannot be secured while securing the inner peripheral area of the antenna coil, and a predetermined inductance value is set. There is a problem that it cannot be secured.

そこで、複数層構造のアンテナコイルが提案されている。例えば、特許文献1には、渦巻状に導電性パターンが形成された複数枚の樹脂シートが、各アンテナパターンの渦巻きが同じ向きになるように重畳積層され、電気的に接続された、3層構造のアンテナコイルが開示されている。   Therefore, an antenna coil having a multi-layer structure has been proposed. For example, in Patent Document 1, a plurality of resin sheets having conductive patterns formed in a spiral shape are stacked and electrically connected so that the spirals of the antenna patterns are in the same direction and electrically connected. An antenna coil of structure is disclosed.

この特許文献1に開示されたアンテナコイルの渦巻き形状は、ICチップの搭載領域を渦巻きの外側に残した他は、従来どおり矩形の基板の外周にほぼ沿った形の矩形であり、ICチップに接続されるべきアンテナコイルの両端は、長方形である渦巻きの外側に配置されている。
特開2004−240529号公報
The spiral shape of the antenna coil disclosed in Patent Document 1 is a rectangular shape that is substantially along the outer periphery of a rectangular substrate as in the prior art, except that the mounting area of the IC chip is left outside the spiral. Both ends of the antenna coil to be connected are arranged outside the spiral that is rectangular.
JP 2004-240529 A

このように、アンテナパターンをカード型のアンテナコイルで一般的な矩形状にしたまま、この外側にICチップを配置した場合には、ICチップ配置の為に余分に基板の面積が必要になり、RFIDタグを小型化するのが困難であるという問題がある。また、ICチップを渦巻きの内側に配置した場合であっても、渦巻きが矩形のままだと、渦巻きの外側に配置すべきスルーホール形成の為に余分に基板の面積が必要になり、RFIDタグを小型化するのが困難であるという問題がある。   In this way, when an IC chip is arranged outside the antenna pattern while keeping the antenna pattern in a general rectangular shape with a card-type antenna coil, an extra board area is required for the IC chip arrangement, There is a problem that it is difficult to reduce the size of the RFID tag. Further, even when the IC chip is arranged inside the spiral, if the spiral remains rectangular, an extra board area is required to form a through hole to be placed outside the spiral, and the RFID tag There is a problem that it is difficult to reduce the size.

また、磁束を受ける効率の向上を意図してアンテナパターンの渦巻きを円形にすると、RFIDタグの基板の大きさの割にアンテナの面積を確保できず、インダクタンス値を低下させずにRFIDタグを小型化するのが困難であるという問題がある。   Also, if the spiral of the antenna pattern is made circular in order to improve the efficiency of receiving magnetic flux, the area of the antenna cannot be secured for the size of the RFID tag substrate, and the RFID tag can be reduced in size without reducing the inductance value. There is a problem that it is difficult to make it.

本発明はこのような課題を解決するためになされたもので、必要なインダクタンス値を確保しながらRFIDタグを小型化することができる多層構造のアンテナコイルを具備したRFIDタグを提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide an RFID tag including a multi-layered antenna coil capable of downsizing the RFID tag while ensuring a necessary inductance value. And

上記目的を達成するために、本発明に係るRFIDタグは、矩形の絶縁基板の少なくとも一方の面に四隅を残して渦巻状のアンテナパターンを形成し前記アンテナパターンの渦巻き内及び前記絶縁基板の四隅の一つに、それぞれ前記アンテナパターンの内側端又は外側端に接続された接続端子を形成してなる単位アンテナ基板を、絶縁層を介して複数層積層しこれらの各接続端子を層間接続導体を介して接続して、各アンテナパターンが直列接続されて最上層の単位アンテナ基板に両端子を有するアンテナコイルを構成するとともに、この積層された単位アンテナ基板の最上層のアンテナパターンの渦巻き内にICチップを搭載して、前記アンテナコイルの両端を電気的に前記ICチップに接続してなり、かつ前記アンテナパターンの渦巻きで一方の面から透視したとき主たるコイル部分が、前記絶縁層を介して互いに対向することを特徴としている。 In order to achieve the above object, an RFID tag according to the present invention forms a spiral antenna pattern leaving four corners on at least one surface of a rectangular insulating substrate, and forms a spiral antenna pattern within the antenna pattern spiral and the four corners of the insulating substrate. One of them is a unit antenna substrate formed by forming a connection terminal connected to the inner end or the outer end of the antenna pattern, and a plurality of layers are laminated via an insulating layer. The antenna patterns are connected in series to form an antenna coil having both terminals on the uppermost unit antenna substrate, and an IC is placed in the spiral of the uppermost antenna pattern of the stacked unit antenna substrate. equipped with a chip, the ends of the antenna coil Ri name connected electrically to the IC chip, and the antenna pattern spiral The main coil portions when viewed from one side, is characterized in face to Rukoto each other via the insulating layer.

絶縁基板の平面形状は、多数毎取りの加工が容易になるという点では矩形であれば足りるが、本発明においては略正方形であることが好ましい。基板平面を略正方形とすることで、各辺の長さを短くしつつ基板の面積を大きくすることができ、インダクタンス値を大きくすることができる。   The planar shape of the insulating substrate may be a rectangular shape in terms of facilitating the processing of a large number of pieces, but is preferably a substantially square shape in the present invention. By making the substrate plane substantially square, the area of the substrate can be increased while shortening the length of each side, and the inductance value can be increased.

層間接続導体としては、全層を貫通する貫通スルーホールを用いることが好ましい。そうすることで簡便に製造することができる。   As the interlayer connection conductor, it is preferable to use a through-hole penetrating all layers. By doing so, it can be simply manufactured.

本発明によれば、必要なインダクタンス値を確保しながらRFIDタグを小型化することができる多層構造のアンテナコイルを具備したRFIDタグを提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide an RFID tag including a multi-layered antenna coil that can reduce the size of the RFID tag while ensuring a necessary inductance value.

以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。以下、原則として、同じものには同じ符号を付し、説明を省略する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Hereinafter, in principle, the same components are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

[第1の実施形態]
図1は、本発明の第1の実施形態のRFIDタグ100を表(おもて)面(ICチップ搭載面)側から見た平面図であり、図2は、このRFIDタグを裏面側から見た平面図である。
[First Embodiment]
FIG. 1 is a plan view of the RFID tag 100 according to the first embodiment of the present invention as seen from the front (front) surface (IC chip mounting surface) side, and FIG. 2 shows the RFID tag from the back surface side. FIG.

図1及び図2に示すように、このRFIDタグ100の基板の平面形状は、略正方形とされている。この基板の大きさは、カード型のRFIDタグ(ICカード)として標準的な大きさである54mm×85.6mmに比べると、はるかに小さいものとされており、例えば、5mm×5mm程度である。搭載されるICチップは、例えば、平面形状が0.5mm〜1mm程度の矩形であり、厚さは約150μmである。したがって、本実施形態のRFIDタグ100は、搭載されるICチップの大きさに対して、それほど大きくないものとされている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the planar shape of the substrate of the RFID tag 100 is substantially square. The size of the substrate is much smaller than 54 mm × 85.6 mm, which is a standard size for a card-type RFID tag (IC card), for example, about 5 mm × 5 mm. . The mounted IC chip is, for example, a rectangle having a planar shape of about 0.5 mm to 1 mm and a thickness of about 150 μm. Therefore, the RFID tag 100 of the present embodiment is not so large with respect to the size of the IC chip to be mounted.

基板の平面形状は、必ずしも正方形でなくてもよいが、多数枚取りの製造を容易とするため、矩形とされている。図1のように基板平面を略正方形とすることで、小型化しながらアンテナコイルの内側面積を確保することが容易となり、コイルのインダクタンス値を向上させることが容易となる。   The planar shape of the substrate does not necessarily have to be a square, but is rectangular in order to facilitate the production of a large number of pieces. By making the substrate plane substantially square as shown in FIG. 1, it is easy to secure the inner area of the antenna coil while reducing the size, and it is easy to improve the inductance value of the coil.

図1に示すように、このRFIDタグ100の表(おもて)面側、絶縁基板の一主面11には、四隅を残して、銅などの導体からなる渦巻状のアンテナパターン12が形成されている。渦巻状のアンテナパターン12は、基板の面積を十分に活かすように外縁ぎりぎり近くまで形成されているが、四隅を残しているので、その形状は略八角形とされている。略正方形から四隅を切り落としたこのような形状の略八角形の渦巻き状アンテナパターンは、正方形のものよりは円に近くなるから、磁束を受ける効率が良いという利点がある。   As shown in FIG. 1, a spiral antenna pattern 12 made of a conductor such as copper is formed on the front surface side of the RFID tag 100, one main surface 11 of the insulating substrate, leaving four corners. Has been. The spiral antenna pattern 12 is formed as close as possible to the outer edge so as to make full use of the area of the substrate. However, since the four corners remain, the shape is substantially octagonal. A substantially octagonal spiral antenna pattern having such a shape obtained by cutting off four corners from a substantially square has an advantage that it is more efficient to receive magnetic flux because it is closer to a circle than a square one.

図1に示すように、主面11の四隅の一つには、アンテナパターン12の外側端12bと直接接続された外側端子14が形成されている。外側端子14には、他の層のアンテナパターンの外側端と接続するためのスルーホール6bが形成されている。この主面11の四隅の別の1つには、スルーホール6aが形成されているが、このスルーホール6aは、この層のアンテナパターン12とは接続されていない。この主面11の四隅の残り2つには、アンテナパターン12と一体的に形成された略直角三角形の導体パターン19a,19bが示されているが、これらはアンテナの構成要素としては、あってもなくてもよいもので、いわゆるダミーパターンである。   As shown in FIG. 1, an outer terminal 14 directly connected to the outer end 12 b of the antenna pattern 12 is formed at one of the four corners of the main surface 11. The outer terminal 14 is formed with a through hole 6b for connecting to an outer end of an antenna pattern of another layer. A through hole 6a is formed in another one of the four corners of the main surface 11, but the through hole 6a is not connected to the antenna pattern 12 of this layer. In the remaining two corners of the main surface 11, there are shown substantially right-angled triangular conductor patterns 19a and 19b formed integrally with the antenna pattern 12, but these are the components of the antenna. This is a so-called dummy pattern.

図1において、ほぼ中央部に符号7で示す領域は、封止樹脂で覆われた部分である。渦巻きの内側端12aおよびICチップ1は、この封止樹脂7の下に隠れていて見えない。また、図1ではわかりにくいが、アンテナパターン12とその外側の配線パターンは、Auめっき用のソルダーレジスト8で保護されている。   In FIG. 1, a region indicated by reference numeral 7 in the substantially central portion is a portion covered with a sealing resin. The inner end 12a of the spiral and the IC chip 1 are hidden under the sealing resin 7 and cannot be seen. Further, although it is difficult to understand in FIG. 1, the antenna pattern 12 and the wiring pattern outside thereof are protected by a solder resist 8 for Au plating.

図3は、このRFIDタグの表(おもて)面の、ICチップを樹脂封止される前の状態を表す平面図である。図3において、太線で示された矩形Aの内側は、封止樹脂7で封止される領域である。この太線で示された矩形Aの外側は、封止樹脂7が流れ出ないように、内側よりも若干(例えば5μm程度)高くなるようソルダーレジスト8が塗布されている。   FIG. 3 is a plan view showing a state of the front surface of the RFID tag before the IC chip is resin-sealed. In FIG. 3, the inside of the rectangle A indicated by the bold line is a region sealed with the sealing resin 7. A solder resist 8 is applied to the outside of the rectangle A indicated by the bold line so as to be slightly higher (for example, about 5 μm) than the inside so that the sealing resin 7 does not flow out.

図3に示すように、このアンテナパターン12の渦巻きの内側には、チップ搭載パッド15と、チップ接続端子16a,16bと、スルーホール5a,5bが形成されている。ICチップ1は、2つの電極端子3a,3bを具備している。ICチップ1は、その電極端子を3a,3b上に向けてチップ搭載パッド15の上に搭載されている。ICチップ1の電極端子3aは低背ワイヤ4aによりチップ接続端子16aに接続されている。ICチップ1の電極端子3bは低背ワイヤ4bによりチップ接続端子16bに接続されている。チップ接続端子16aは、渦巻き状のアンテナパターン12の内側端12aに接続された内側接続端子13でもある。チップ接続端子16bは、配線12cを介してスルーホール5bに接続されている。スルーホール5a,5bは、その一部がICチップ1の下に隠れており、チップ搭載パッドの役割も兼ねている。なお、この場合でも、スルーホール5a,5bは、ICチップ1の底面とは電気的には接続されていない。スルーホール5a,5bの一部または全部を、ICチップ1の下に、電気的に接続されないように配置し、チップ搭載パッドの役割も兼ねさせることで、渦巻きの内側にスルーホール専用の領域を確保する必要がなくなるため、アンテナコイルの面積を大きくとることができる。すなわち、基板のサイズ、配線幅、ギャップ幅、アンテナパターン数など他の条件が同じままでも、内側のスルーホール用の特別な領域を取らないようにすることで、アンテナコイルの巻回数を増やすことができるのでアンテナコイルのインダクタンス値を大きくさせることができる。   As shown in FIG. 3, chip mounting pads 15, chip connection terminals 16a and 16b, and through holes 5a and 5b are formed inside the spiral of the antenna pattern 12. The IC chip 1 includes two electrode terminals 3a and 3b. The IC chip 1 is mounted on the chip mounting pad 15 with its electrode terminals facing 3a and 3b. The electrode terminal 3a of the IC chip 1 is connected to the chip connection terminal 16a by a low-profile wire 4a. The electrode terminal 3b of the IC chip 1 is connected to the chip connection terminal 16b by a low-profile wire 4b. The chip connection terminal 16 a is also the inner connection terminal 13 connected to the inner end 12 a of the spiral antenna pattern 12. The chip connection terminal 16b is connected to the through hole 5b through the wiring 12c. A part of the through holes 5a and 5b is hidden under the IC chip 1 and also serves as a chip mounting pad. Even in this case, the through holes 5a and 5b are not electrically connected to the bottom surface of the IC chip 1. By arranging a part or all of the through holes 5a and 5b under the IC chip 1 so as not to be electrically connected, and also serving as a chip mounting pad, an area dedicated to the through hole is provided inside the spiral. Since it is not necessary to ensure, the area of the antenna coil can be increased. That is, the number of turns of the antenna coil is increased by not taking a special area for the inner through hole even if other conditions such as the board size, wiring width, gap width, and number of antenna patterns remain the same. Therefore, the inductance value of the antenna coil can be increased.

各配線層の配線パターンは、銅のエッチングにより形成される。チップ搭載パッド15、チップ接続端子16a,16bは、ICチップ1の電極端子との電気的接続を確実にするため、さらにAuめっきされている。また、低背ワイヤ4a,4bもAuめっきされている。アンテナパターン12や接続端子13,14等、Auめっき不要の部分には、Auめっき用のソルダーレジストが塗布されている。このソルダーレジストは、上述したように、太線で示された矩形Aの外側が内側よりも少し高くなるように形成されている。   The wiring pattern of each wiring layer is formed by etching copper. The chip mounting pad 15 and the chip connection terminals 16a and 16b are further plated with Au in order to ensure electrical connection with the electrode terminals of the IC chip 1. The low-profile wires 4a and 4b are also Au plated. A solder resist for Au plating is applied to the parts that do not require Au plating, such as the antenna pattern 12 and the connection terminals 13 and 14. As described above, this solder resist is formed so that the outside of the rectangle A indicated by the thick line is slightly higher than the inside.

本実施形態のRFIDタグ100の裏面側にも、図2に示すように、表面側と同様に、略正方形の絶縁基板の主面41の四隅を残して略八角形状に渦巻状のアンテナパターン42が形成されている。アンテナパターン42の渦巻きの内側には、渦巻きの内側端42aに直接接続された内側接続端子43が設けられている。この内側接続端子43にはスルーホール5bが設けられている。主面41の四隅の一つには、アンテナパターン42の渦巻きの外側端42bと直接接続された略直角三角形の外側端子44が形成されている。外側端子44には、他の層のアンテナパターンの外側端と接続するためのスルーホール6aが形成されている。この主面41の四隅の別の1つには、スルーホール6bが形成されているが、このスルーホール6bは、この層のアンテナパターン42とは接続されていない。この主面41の四隅の残り2つには、アンテナパターン42と一体的に形成された略直角三角形の導体パターン49a,49bが示されているが、これらはアンテナの構成要素としては、あってもなくてもよいもので、いわゆるダミーパターンである。裏面側は、全面的に、Auめっき用のソルダーレジスト8が塗布され、保護されている。   On the back side of the RFID tag 100 of the present embodiment, as shown in FIG. 2, as in the front side, the antenna pattern 42 is a substantially octagonal spiral pattern leaving the four corners of the main surface 41 of the substantially square insulating substrate. Is formed. Inside the spiral of the antenna pattern 42, an inner connection terminal 43 that is directly connected to the inner end 42a of the spiral is provided. The inner connection terminal 43 is provided with a through hole 5b. At one of the four corners of the main surface 41, a substantially right-angled triangular outer terminal 44 that is directly connected to the spiral outer end 42b of the antenna pattern 42 is formed. The outer terminal 44 is formed with a through hole 6a for connecting to the outer end of the antenna pattern of another layer. A through hole 6b is formed in another one of the four corners of the main surface 41, but the through hole 6b is not connected to the antenna pattern 42 of this layer. In the remaining two corners of the main surface 41, there are shown substantially right-angled triangular conductor patterns 49a and 49b formed integrally with the antenna pattern 42. These are the antenna components. This is a so-called dummy pattern. On the entire rear surface side, a solder resist 8 for Au plating is applied and protected.

図1〜図3に示すように、渦巻きの内側に位置するスルーホール5a,5b、および、渦巻きの外側に位置するスルーホール6a,6bは、それぞれ、このRFIDタグ100の基板全体を貫通している貫通スルーホールである。貫通スルーホールは、接続したい一対の層ごとに別々のスルーホールを形成するよりも、簡便に製造することができ、余分な場所も取らずに済むという利点がある。
これらの貫通スルーホール5a,5b,6a,6bは、その内壁が例えば銅でめっきされ、その孔の内部は、導電性樹脂や銅めっきなどの導体で充填され孔埋めされている。スルーホールの孔の内部に導体が充填されているので、チップ搭載や樹脂封止の液が孔に侵入することがない。また、スルーホール内壁のめっき液残りによる腐食も防止できる。なお、スルーホール内部に導電性樹脂が充填される場合には層間の導通も可能であるから、スルーホール内壁は、めっきされていなくても良い。これらのスルーホール5a,5b,6a,6bの内径は、例えば、10〜100μm程度とされる。スルーホールは、例えば、公知のレーザー加工やドリル加工などにより、比較的簡便に孔明けすることができる。
As shown in FIGS. 1 to 3, the through holes 5 a and 5 b positioned inside the spiral and the through holes 6 a and 6 b positioned outside the spiral respectively penetrate the entire substrate of the RFID tag 100. It is a through hole. The through-hole has an advantage that it can be easily manufactured and does not require an extra space, rather than forming a separate through-hole for each pair of layers to be connected.
These through-through holes 5a, 5b, 6a, 6b have inner walls plated with copper, for example, and the insides of the holes are filled with a conductor such as conductive resin or copper plating and filled. Since the conductor is filled inside the hole of the through hole, the liquid for chip mounting or resin sealing does not enter the hole. Further, corrosion due to the plating solution remaining on the inner wall of the through hole can be prevented. Note that, when the through hole is filled with a conductive resin, conduction between layers is possible, so that the inner wall of the through hole may not be plated. The inner diameters of these through holes 5a, 5b, 6a, 6b are, for example, about 10 to 100 μm. The through hole can be made relatively easily by, for example, known laser processing or drilling.

次に、図4〜図8を用いて、このRFIDタグのアンテナの構成を説明する。   Next, the configuration of the antenna of the RFID tag will be described with reference to FIGS.

図4は、このRFIDタグの構成を簡略化して模式的に示した分解斜視図である。図5〜8は、このRFIDタグのアンテナを構成する各層の配線パターンを表す水平断面図であり、図5はICチップが搭載される第1配線層(最上層ともいう)、図6は第2配線層、図7は第3配線層、図8は第4配線層を示している。   FIG. 4 is an exploded perspective view schematically showing the configuration of the RFID tag in a simplified manner. 5 to 8 are horizontal sectional views showing wiring patterns of respective layers constituting the antenna of the RFID tag, FIG. 5 is a first wiring layer (also referred to as an uppermost layer) on which an IC chip is mounted, and FIG. FIG. 7 shows a third wiring layer, and FIG. 8 shows a fourth wiring layer.

図4においては、各配線層の接続関係を説明するため、実際よりも巻回数を少なくして簡略化して示している。実際のアンテナパターンの渦巻きの巻回数は、必要とされるインダクタンス値や、設計にもよるが、図5〜8に示すように、例えば9回程度とされている。   In FIG. 4, in order to explain the connection relationship between the respective wiring layers, the number of turns is reduced to be simplified than the actual number. The actual number of spirals of the antenna pattern is, for example, about nine as shown in FIGS. 5 to 8 depending on the required inductance value and design.

図4に示すように、第1の実施形態に係るRFIDタグ100は、略正方形の絶縁基板の一方の主面に渦巻状のアンテナパターンを含めた配線層が形成された4つの単位アンテナ基板10、20、30、40が絶縁層を介して積層され一体化された4層配線板とされている。積層された4つの単位アンテナ基板の最上層に位置する単位アンテナ基板10及び最下層に位置する単位アンテナ基板40の構成は、図1〜図3のところで説明したのと同じである。   As shown in FIG. 4, the RFID tag 100 according to the first embodiment includes four unit antenna substrates 10 each having a wiring layer including a spiral antenna pattern formed on one main surface of a substantially square insulating substrate. , 20, 30, and 40 are laminated and integrated through an insulating layer to form a four-layer wiring board. The configurations of the unit antenna substrate 10 positioned at the uppermost layer of the four unit antenna substrates stacked and the unit antenna substrate 40 positioned at the lowermost layer are the same as those described with reference to FIGS.

図4〜図8に示すように、各配線層は、第1配線層から順に、渦巻状のアンテナパターン12,22,32,42を具備している。各アンテナパターン12,22,32,42は、1つの内側端12a,22a,32a,42aと、1つの外側端12b,22b,32b,42bを内包している。内側端12a,22a,32a,42aには、それぞれ、1つの内側接続端子13,23,33,43が接続されている。外側端12b,22b,32b,42bには、それぞれ、1つの外側接続端子14,24,34,44が接続されている。内側接続端子13,23,33,43は、アンテナパターンの渦巻きの内側に設けられ、互いに層間接続される配線層の内側端子同士が同じ位置に重なるようにされている。各内側接続端子13,23,33,43には、複数ある貫通スルーホール5a,5bのうちの1つのみが導通するようにされている。外側接続端子14,24,34,44は、アンテナ基板の四隅の1つに設けられ、互いに層間接続される配線層の外側端子同士が同じ位置になるようにされている。各外側接続端子14,24,34,44には、複数ある貫通スルーホール6a,6bのうちの1つのみが導通するようにされている。   As shown in FIGS. 4 to 8, each wiring layer includes spiral antenna patterns 12, 22, 32, and 42 in order from the first wiring layer. Each antenna pattern 12, 22, 32, 42 includes one inner end 12a, 22a, 32a, 42a and one outer end 12b, 22b, 32b, 42b. One inner connection terminal 13, 23, 33, 43 is connected to each of the inner ends 12a, 22a, 32a, 42a. One outer connection terminal 14, 24, 34, 44 is connected to each of the outer ends 12b, 22b, 32b, 42b. The inner connection terminals 13, 23, 33, and 43 are provided inside the spiral of the antenna pattern, and the inner terminals of the wiring layers that are connected to each other are overlapped at the same position. Only one of the plurality of through-holes 5a and 5b is electrically connected to each inner connection terminal 13, 23, 33, and 43. The outer connection terminals 14, 24, 34, 44 are provided at one of the four corners of the antenna substrate so that the outer terminals of the wiring layers connected to each other are in the same position. Each outer connection terminal 14, 24, 34, 44 is made to conduct only one of the plurality of through-through holes 6 a, 6 b.

図4〜図8に示すように、各配線層の四隅の2つには、スルーホールが設けられていない略直角二等辺三角形状の配線領域19a,19b,29a,29b,39a,39b,49a,49bが形成されている。これらは、渦巻き状のアンテナパターンと一体化されているが、アンテナの構成要素としてはあってもなくても良いダミーパターンである。   As shown in FIGS. 4 to 8, wiring regions 19a, 19b, 29a, 29b, 39a, 39b, and 49a having substantially right-angled isosceles triangles that are not provided with through holes are provided at two corners of each wiring layer. , 49b are formed. These are integrated with the spiral antenna pattern, but are dummy patterns that may or may not be a component of the antenna.

図4に示すように、第1配線層のアンテナパターン12と第2配線層のアンテナパターン22とは、その渦巻きの外側端において、外側接続端子14,24と導通したスルーホール6bを介して接続されている。第2配線層のアンテナパターン22と第3配線層のアンテナパターン32とは、その渦巻きの内側端において、内側接続端子23,33と導通したスルーホール5aを介して接続されている。第3配線層のアンテナパターン32と第4配線層のアンテナパターン42とは、その渦巻きの外側端において、外側接続端子34,44と導通したスルーホール6aを介して接続されている。第4配線層のアンテナパターン42と第1配線層のアンテナパターン12とは、その渦巻きの内側端において、内側接続端子43,13と導通したスルーホール5bを介して接続されている。   As shown in FIG. 4, the antenna pattern 12 of the first wiring layer and the antenna pattern 22 of the second wiring layer are connected via the through holes 6b that are electrically connected to the outer connection terminals 14 and 24 at the outer end of the spiral. Has been. The antenna pattern 22 of the second wiring layer and the antenna pattern 32 of the third wiring layer are connected to each other at the inner end of the spiral via the through holes 5a that are electrically connected to the inner connection terminals 23 and 33. The antenna pattern 32 of the third wiring layer and the antenna pattern 42 of the fourth wiring layer are connected to each other at the outer end of the spiral via through holes 6a that are electrically connected to the outer connection terminals 34 and 44. The antenna pattern 42 of the fourth wiring layer and the antenna pattern 12 of the first wiring layer are connected to each other at the inner end of the spiral via the through holes 5b that are electrically connected to the inner connection terminals 43 and 13.

各アンテナパターン12,22,32,42は、これらの接続端子及び層間接続導体を介して、図4に示すようにして、電気的に直列接続され、第1配線層(最上層)に両端子を有する1つのアンテナコイル2を構成している。このように構成されたアンテナコイル2の一端は、第1配線層の内側接続端子13(チップ接続端子16aと兼用)であり、他端は、第1配線層の内側貫通スルーホール5bに接続されたチップ接続端子16bである(配線12cといってもよい)。   The antenna patterns 12, 22, 32, and 42 are electrically connected in series as shown in FIG. 4 through these connection terminals and interlayer connection conductors, and both terminals are connected to the first wiring layer (uppermost layer). One antenna coil 2 having the above is configured. One end of the antenna coil 2 configured in this way is the inner connection terminal 13 (also used as the chip connection terminal 16a) of the first wiring layer, and the other end is connected to the inner through-through hole 5b of the first wiring layer. Chip connection terminal 16b (may be referred to as wiring 12c).

なお、この例では、各単位アンテナ基板はこの順序で積層されて接続されているが、図4の例において、第2配線層が形成されている単位アンテナ基板20と第3配線層が形成されている単位アンテナ基板30とは、順序を入れ替えて積層しても良い。その場合でも、各アンテナパターンを直列接続させ両端を最上層に露出させた1つのアンテナコイルを構成することができる。   In this example, the unit antenna substrates are stacked and connected in this order. However, in the example of FIG. 4, the unit antenna substrate 20 on which the second wiring layer is formed and the third wiring layer are formed. The unit antenna substrate 30 may be stacked in a different order. Even in such a case, it is possible to configure one antenna coil in which each antenna pattern is connected in series and both ends are exposed in the uppermost layer.

図4〜8に示すように、これらの渦巻き状のアンテナパターン12,22,32,42は、一方の面から透視したとき主たるコイル部分の配線が互いに重なり合うように形成されている。互いに重なり合うように形成されているので、絶縁層を介して互いに対向する配線層のアンテナパターンとの間で、寄生容量が発生する。本実施形態においては、その寄生容量を積極的に利用する構成とされている。したがって、寄生容量を大きくするためには、配線層間に介在する絶縁層は、誘電率の高いものであることが好ましい。   As shown in FIGS. 4 to 8, these spiral antenna patterns 12, 22, 32, and 42 are formed so that wirings of main coil portions overlap each other when seen through from one surface. Since they are formed so as to overlap each other, a parasitic capacitance is generated between the antenna patterns of the wiring layers facing each other through the insulating layer. In the present embodiment, the parasitic capacitance is actively used. Accordingly, in order to increase the parasitic capacitance, it is preferable that the insulating layer interposed between the wiring layers has a high dielectric constant.

図4〜8に示すように、これらの渦巻き状のアンテナパターン12,22,32,42は、アンテナコイル2の一端から各アンテナパターンの接続関係に沿ってたどったときに、渦巻きの旋回方向が同じ向き(例えば、時計回りなら時計回り、反時計回りなら反時計回り)になるように形成されている。すなわち、一定の方向の磁界を受けたときに発生する電流を打ち消しあわない向きで、各アンテナパターンが形成されている。   As shown in FIGS. 4 to 8, when these spiral antenna patterns 12, 22, 32, and 42 are traced from one end of the antenna coil 2 along the connection relationship of each antenna pattern, the swirling direction of the spiral is It is formed so as to be in the same direction (for example, clockwise for clockwise and counterclockwise for counterclockwise). That is, each antenna pattern is formed in a direction that does not cancel out the current generated when a magnetic field in a certain direction is received.

図9は、本実施形態のRFIDタグ100の等価回路を示す図である。図9に示すように、このRFIDタグ100は、基本的には、ICチップ1の内部に搭載されたコンデンサC1と、4層構造のアンテナコイル2とでLC共振回路を構成している。さらに、上記説明したアンテナパターンの重なり合いにより生じる寄生容量C2がICチップ1内のコンデンサC1に並列に接続される構成となっている。   FIG. 9 is a diagram showing an equivalent circuit of the RFID tag 100 of the present embodiment. As shown in FIG. 9, the RFID tag 100 basically comprises an LC resonance circuit with a capacitor C1 mounted inside the IC chip 1 and an antenna coil 2 having a four-layer structure. Furthermore, the parasitic capacitance C2 generated by the overlapping of the antenna patterns described above is connected in parallel to the capacitor C1 in the IC chip 1.

ここで、ICチップ1は、図示を省略した読み出し専用メモリ(ROM)、ランダムアクセスメモリ(RAM)、ロジック回路、演算装置(CPU)から主に構成されている。CPUでは、ROMやRAMに格納されたプログラムやデータなどを用いてリーダライタとの通信制御や応答処理など各種の演算処理を実行する。また、ROMには、RFIDタグ100の製造時に、個々のRFIDタグに固有に付与された識別情報であるタグ識別コードが記憶され、このタグ識別コードは書き換え不能となっている。ICチップ1には、電源バックアップ不要で且つ書き換え可能な不揮発性メモリや無線交信のためのRF回路の他、コンデンサC1なども搭載されている(図9参照)。ICチップ1としては、フィリップス社の I-CODE SLIチップや、インフィニオンテクノロジーズ社のmy-dチップ等、13.56MHz帯のRFIDタグ用のチップとして市場で入手可能なものを、用途に合わせて適宜用いることができる。   Here, the IC chip 1 is mainly composed of a read-only memory (ROM), a random access memory (RAM), a logic circuit, and an arithmetic unit (CPU) (not shown). The CPU executes various types of arithmetic processing such as communication control with a reader / writer and response processing using programs and data stored in the ROM and RAM. The ROM stores a tag identification code, which is identification information uniquely assigned to each RFID tag when the RFID tag 100 is manufactured, and the tag identification code cannot be rewritten. The IC chip 1 includes a capacitor C1 and the like in addition to a rewritable non-volatile memory and an RF circuit for wireless communication that do not require power backup (see FIG. 9). As the IC chip 1, a chip that is commercially available as a chip for a 13.56 MHz band RFID tag, such as Philips I-CODE SLI chip, Infineon Technologies my-d chip, etc., is appropriately selected according to the application. Can be used.

各単位アンテナ基板に形成されたアンテナパターンは、例えば、線幅が約80μm、線間(ギャップ)が約70μm、線厚が約18μmである。アンテナパターン12は、公知の方法により形成することができるが、このように微細な配線パターンであるため、銅などの導電性金属のエッチングにより形成することが好ましい。   The antenna pattern formed on each unit antenna substrate has, for example, a line width of about 80 μm, a line-to-line (gap) of about 70 μm, and a line thickness of about 18 μm. Although the antenna pattern 12 can be formed by a known method, it is preferably formed by etching a conductive metal such as copper because it is such a fine wiring pattern.

上記説明したように、また、図1〜8に示すように、本実施形態のRFIDタグ100は、各層の巻回数が9回程度の4層の渦巻状アンテナパターンを直列に接続して、その最上層である第1配線層に両端子を有する1つのアンテナコイルを構成し、その第1配線層のアンテナパターンの渦巻きの内部にICチップを搭載し、ICチップの両電極端子とアンテナコイルの両端子を電気的に接続した構成とされている。このような構成にすることにより、基板を5mm角の略正方形のように、ICカードに比べて大幅に小型化しても、十分なアンテナコイルの巻回数および面積を確保することができ、結果として所定のインダクタンス値を確保することができた。   As described above and as shown in FIGS. 1 to 8, the RFID tag 100 according to the present embodiment has a four-layer spiral antenna pattern in which the number of turns of each layer is about 9, and is connected in series. One antenna coil having both terminals in the first wiring layer, which is the uppermost layer, is constructed, an IC chip is mounted inside the spiral of the antenna pattern of the first wiring layer, and both the electrode terminals of the IC chip and the antenna coil Both terminals are electrically connected. By adopting such a configuration, even if the substrate is significantly reduced in size compared to an IC card, such as a substantially square of 5 mm square, a sufficient number of turns and area of the antenna coil can be secured. A predetermined inductance value could be secured.

なお、本実施形態において、RFIDタグ100は、カード型のものより厚くてもよく、その厚さは、例えば、樹脂封止されていない部分で0.3mm〜0.5mm程度、総厚で0.6mm〜1.2mm程度とされている。   In the present embodiment, the RFID tag 100 may be thicker than a card-type one, and the thickness thereof is, for example, about 0.3 mm to 0.5 mm in a portion that is not resin-sealed, and 0 in total thickness. .6 mm to 1.2 mm.

(製造方法)
次に、本実施形態に係るRFIDタグ100の製造方法を説明する。
(Production method)
Next, a method for manufacturing the RFID tag 100 according to this embodiment will be described.

以下では、便宜上、1個のRFIDタグの製造方法として説明するが、実際には、図10に示すように、実装機等で扱いやすい大きさの実装用単位シート110に、例えば7個×7個の49個といった、複数個がまとめて製造され、ダイシングにより個片化されて、個々のRFIDタグ100となる。   Hereinafter, for convenience, the description will be made as a method for manufacturing one RFID tag. However, as shown in FIG. 10, in actuality, for example, 7 × 7 Plural pieces such as 49 pieces are manufactured together and separated into pieces by dicing to form individual RFID tags 100.

本発明のRFIDタグは、図4に模式的に示すように、4つの絶縁基板の片面に所定の形状のアンテナパターンと接続端子をそれぞれ形成して4つの単位アンテナ基板とし、これら4つの単位アンテナ基板を接着性絶縁層を介して積層し、各接続端子を導通させることで製造することができる。そのための材料や製造方法としては、公知の多層プリント配線板の材料や製造方法を用いることができる。   As schematically shown in FIG. 4, the RFID tag of the present invention forms antenna patterns and connection terminals of a predetermined shape on one side of four insulating substrates to form four unit antenna substrates, and these four unit antennas. It can be manufactured by laminating a substrate via an adhesive insulating layer and making each connection terminal conductive. As the material and manufacturing method therefor, a known multilayer printed wiring board material and manufacturing method can be used.

しかし、片面プリント配線板を接着性絶縁層を介して4層積層すると全体が厚くなってしまう。また、各配線層間の絶縁層が厚くなってしまうので、絶縁層を介して積層される配線層間で寄生容量を発生させることが期待できなくなる。
そこで、実際には、層間絶縁層を薄くして寄生容量を生じやすくするため、また、全体を薄くするため、次に説明するように、両面配線板を内層板として多層化する方法で製造することが好ましい(図11〜図12参照)。
However, if four layers of a single-sided printed wiring board are laminated via an adhesive insulating layer, the whole becomes thick. In addition, since the insulating layer between the wiring layers becomes thick, it cannot be expected that parasitic capacitance is generated between the wiring layers stacked via the insulating layer.
Therefore, in actuality, in order to make the interlayer insulating layer thin to easily generate parasitic capacitance, and to make the whole thin, as described below, the double-sided wiring board is manufactured by a multilayer method as an inner layer board. It is preferable (see FIGS. 11 to 12).

まず、内層板として、厚さ0.1mmの絶縁基板の両側に厚さ18μmの銅箔が張られた両面銅張り基板を用意し、一方の銅箔面には図6に示す第2配線層パターンを、他方の銅箔面には図7に示す第3配線層パターンを、公知のフォトリソグラフィとエッチングにより形成した。絶縁基板としては、例えばガラスエポキシ系のプリプレグが硬化したものを用いた。銅箔は仕上がり時と同じ厚さのものを用意する必要はなく、もっと厚いものであってもよい。銅箔のエッチングにより配線層の厚さを調整することが可能だからである。銅のエッチャントとしては、通常用いられるもの、たとえば、塩化鉄を成分とする水溶液を用いた。   First, as an inner layer board, a double-sided copper-clad board in which 18 μm-thick copper foil is stretched on both sides of an insulating board having a thickness of 0.1 mm is prepared, and the second wiring layer shown in FIG. A third wiring layer pattern shown in FIG. 7 was formed on the other copper foil surface by known photolithography and etching. As the insulating substrate, for example, a glass epoxy prepreg cured was used. It is not necessary to prepare a copper foil having the same thickness as the finished one, and it may be thicker. This is because the thickness of the wiring layer can be adjusted by etching the copper foil. As the copper etchant, a commonly used one, for example, an aqueous solution containing iron chloride as a component was used.

一方、外層板として、厚さ0.1mmの絶縁基板の片側に厚さ18μmの銅箔が張られた片面銅張り基板を2組用意した。   On the other hand, two sets of single-sided copper-clad substrates in which a copper foil having a thickness of 18 μm was stretched on one side of an insulating substrate having a thickness of 0.1 mm were prepared as outer layer plates.

そして、図11(a)に示すように、この配線層形成済みの両面板102を内層板として、その両側に絶縁性接着層104,105を介して、それぞれ配線層形成前の片面銅張り基板101,103を、銅層を外側になるようにして、互いに積層配置した。絶縁性接着層104,105としては、例えば未硬化のガラスエポキシ系プリプレグを用いた。   Then, as shown in FIG. 11 (a), the double-sided board 102 having the wiring layer formed thereon is used as an inner layer board, and the single-sided copper-clad substrate before the wiring layer is formed on both sides via insulating adhesive layers 104 and 105, respectively. 101 and 103 were laminated together with the copper layer on the outside. As the insulating adhesive layers 104 and 105, for example, uncured glass epoxy prepreg was used.

続いて、図11(b)に示すように、積層された積層体を加熱加圧して一体化し、図5〜8で示した所定の場所にレーザー加工やドリル加工などで貫通孔をあけ、内壁を銅めっきし、さらに孔の内部に導電性ペーストを充填して孔埋めし、貫通スルーホール5a,5b,6a,6bとした。そして、外層両面の銅箔を公知のフォトリソグラフィとエッチングによりパターニングした。すなわち、片面銅張り基板101の銅層には図5に示した第1配線層パターンを、片面銅張り基板103の銅層には図8に示した第4配線層パターンを、それぞれ形成した。   Then, as shown in FIG.11 (b), the laminated body laminated | stacked is heat-pressed and integrated, a through-hole is drilled by the laser processing, drilling, etc. in the predetermined place shown in FIGS. Was plated with copper, and the inside of the hole was filled with a conductive paste to fill the hole, thereby forming through-holes 5a, 5b, 6a, 6b. Then, the copper foils on both sides of the outer layer were patterned by known photolithography and etching. That is, the first wiring layer pattern shown in FIG. 5 was formed on the copper layer of the single-sided copper-clad substrate 101, and the fourth wiring layer pattern shown in FIG.

続いて、図11(c)に示すように、第1配線層のうちAuめっきを施したい部分、すなわち、チップ搭載パッド15、チップ接続端子16a,16bにマスクをしてから、最上層表面と最下層表面に、Auめっきや酸化から保護するためのソルダーレジストを塗布した。これにより、Auめっきを施したくない部分、すなわち、第1配線層のアンテナパターン12、外側接続端子14、スルーホール6a,6bの表面、第4配線層の全面、および、露出していた絶縁基板部分に耐Auめっき用のソルダーレジスト層8が形成された。そして、マスクをはずして、ボンディングめっきをした。これにより、チップ搭載パッド15、チップ接続端子16a、16bの表面がAuめっきされた。このように、チップ搭載部のみ窓開けしてソルダーレジスト層を形成してからAuめっきをすることで、Auめっきの少量化、アンテナ特性の安定化という効果が得られる。   Subsequently, as shown in FIG. 11C, after masking the portion of the first wiring layer to which Au plating is to be performed, that is, the chip mounting pad 15 and the chip connection terminals 16a and 16b, A solder resist for protecting from Au plating and oxidation was applied to the bottom surface. As a result, the portion where Au plating is not desired, that is, the antenna pattern 12 of the first wiring layer, the outer connection terminals 14, the surfaces of the through holes 6a and 6b, the entire surface of the fourth wiring layer, and the exposed insulating substrate A solder resist layer 8 for anti-Au plating was formed on the part. Then, the mask was removed and bonding plating was performed. As a result, the surfaces of the chip mounting pad 15 and the chip connection terminals 16a and 16b were Au plated. In this way, by effecting Au plating after forming a solder resist layer by opening a window only at the chip mounting portion, effects of reducing the amount of Au plating and stabilizing antenna characteristics can be obtained.

続いて、図12(d)に示すように、第1配線層の樹脂封止したい箇所(すなわち、図3に太線Aで示した領域の内側)にマスクをして、再度第1配線層側の表面にソルダーレジストを塗布した。このとき追加形成されるソルダーレジスト層は、図3のところで説明したように封止樹脂の流出を防ぐ堤防としての役目を果たす。その堤防の厚さ(高さ)、すなわちソルダーレジスト層同士の段差は、封止樹脂の量や粘性などにより適宜定められるが、例えば10μmとした。   Subsequently, as shown in FIG. 12D, a mask is applied to a portion of the first wiring layer where the resin sealing is desired (that is, the inside of the region indicated by the thick line A in FIG. 3), and the first wiring layer side again. A solder resist was applied to the surface of the film. The solder resist layer additionally formed at this time serves as a bank to prevent the sealing resin from flowing out as described with reference to FIG. The thickness (height) of the levee, that is, the level difference between the solder resist layers is appropriately determined depending on the amount and viscosity of the sealing resin, and is set to 10 μm, for example.

続いて、図12(e)に示すように、マスクをはずして、チップ搭載パッド15及び内側のスルーホール5a,5bの上に、接着剤を用いてICチップ1を固定し、ワイヤボンディングにより、ICチップ1の電極端子3a,3bをチップ接続端子16a,16bにそれぞれ接続した。そして、図12(f)に示すように、第1配線層の中央の凹んだ部分を封止樹脂7で封止した。これにより、図1〜図2で示した状態のものとなる。   Subsequently, as shown in FIG. 12 (e), the mask is removed, and the IC chip 1 is fixed on the chip mounting pad 15 and the inner through-holes 5a and 5b using an adhesive, and by wire bonding, The electrode terminals 3a and 3b of the IC chip 1 were connected to the chip connection terminals 16a and 16b, respectively. Then, as shown in FIG. 12 (f), the recessed portion at the center of the first wiring layer was sealed with a sealing resin 7. As a result, the state shown in FIGS.

既に説明したように、図10のようにして1つの実装用単位シートに複数個のRFIDタグがまとめて製造される。すなわち、この後、ダイシングにより個々のRFIDタグに切り離されて、個々のRFIDタグ100となる。   As already described, a plurality of RFID tags are manufactured together on one mounting unit sheet as shown in FIG. That is, after that, it is separated into individual RFID tags by dicing to form individual RFID tags 100.

本実施形態のRFIDタグ100は、以上のようにして製造される。   The RFID tag 100 of this embodiment is manufactured as described above.

この後、必要に応じて、透明樹脂で覆われるなどして、利用場面に即した形態のRFIDタグとされる。   Then, if necessary, the RFID tag is formed in a form suitable for the use scene by being covered with a transparent resin.

以上は、アンテナ配線層が4層の場合で説明したが、さらに多層の場合でも、両面内層板を増やすことで、同様に製造することができる。   Although the above description has been given for the case where the antenna wiring layer has four layers, even in the case of a multilayer structure, the antenna wiring layer can be manufactured similarly by increasing the number of double-sided inner layer plates.

[その他の実施形態]
上記説明では、ICチップ搭載部分を必要最小限度で樹脂封止した(部分封止した)が、図13(b)に示すように、ICチップ搭載部分のみならず、ICチップ搭載面(最上層)全面を封止樹脂7で封止してもよい。その場合の製造工程は、図11(a)〜(c)までは、部分封止の場合と同じである。図11(c)の工程の後、追加のソルダーレジスト層を形成して堤防用の段差を設けることなく、図13(a)に示すように、ICチップを搭載してワイヤボンディングすればよい。そして、図13(b)に示すように、RFIDタグ200の上面が平坦になるように最上層の全面を封止樹脂7で封止する。
[Other Embodiments]
In the above description, the IC chip mounting portion is resin-sealed (partially sealed) at the necessary minimum. However, as shown in FIG. 13B, not only the IC chip mounting portion but also the IC chip mounting surface (uppermost layer). ) The entire surface may be sealed with the sealing resin 7. The manufacturing process in that case is the same as that in the case of partial sealing up to FIGS. After the step of FIG. 11 (c), an IC chip may be mounted and wire-bonded as shown in FIG. 13 (a) without forming an additional solder resist layer and providing a step for bank. Then, as shown in FIG. 13B, the entire uppermost layer is sealed with a sealing resin 7 so that the upper surface of the RFID tag 200 becomes flat.

樹脂封止以外の事項は、第1の実施形態と同じであるので説明を省略する。   Since matters other than resin sealing are the same as those in the first embodiment, description thereof is omitted.

このように全面封止した場合には、図13(b)に示すように、チップ搭載面側の上面を平坦にすることができるので、ブランド名や型番などを印字することが容易になるという利点がある。また、いずれの面を下にしても安定して配置することができるという利点もある。これに対して、第1の実施形態のように部分封止した場合には、図12(e)に示したようにチップ搭載面側の上面が平坦にならず、中央が盛り上がった形態となるので、安定配置できる向きが制限され、印字も困難である。   When the entire surface is sealed in this way, as shown in FIG. 13B, the top surface on the chip mounting surface side can be flattened, so that it is easy to print the brand name, model number, and the like. There are advantages. In addition, there is an advantage that it can be stably arranged regardless of which side is facing down. On the other hand, when the partial sealing is performed as in the first embodiment, the top surface on the chip mounting surface side is not flat as shown in FIG. Therefore, the direction in which stable placement can be performed is limited, and printing is difficult.

上記説明では、ICチップ1をワイヤボンディングにより接続していたが、フリップチップ接続してもよい。   In the above description, the IC chip 1 is connected by wire bonding, but may be flip-chip connected.

図14はフリップチップ接続のための接続端子の配置の一例を示す図である。同図においては、ICチップ搭載領域Bの近傍のみ示されており、その他の領域は省略されている。図14に示すように、ICチップ搭載領域Bには、渦巻状のアンテナパターン12の内側端12aと接続された内側接続端子13、ICチップ1の電極端子3aと接続されるチップ接続端子16a、ICチップ1の電極端子3bと接続されるチップ接続端子16b、貫通スルーホール5a,5bが設けられている。内側接続端子13とチップ接続端子16aは兼用されており、同じものである。貫通スルーホール5aは、他の層のアンテナパターンの内側端子同士を接続するための層間接続導体となるもので、この第1配線層のアンテナパターン12とは接続されていない。貫通スルーホール5bは、図5の場合と同様、図8に示す第4配線層のアンテナパターンの内側端子43と接続するための層間接続導体となるものである。図14に示すとおり、貫通スルーホール5bと、チップ接続端子16bとは配線12cを介して接続されている。このようにして、ICチップ1の電極端子3a,3bは、各層のアンテナパターンと接続端子が貫通スルーホールを介して接続されて構成された多層構造のアンテナコイル2の両端と電気的に接続される。   FIG. 14 is a diagram showing an example of the arrangement of connection terminals for flip chip connection. In the figure, only the vicinity of the IC chip mounting area B is shown, and the other areas are omitted. As shown in FIG. 14, in the IC chip mounting area B, the inner connection terminal 13 connected to the inner end 12a of the spiral antenna pattern 12, the chip connection terminal 16a connected to the electrode terminal 3a of the IC chip 1, A chip connection terminal 16b connected to the electrode terminal 3b of the IC chip 1 and through-through holes 5a and 5b are provided. The inner connection terminal 13 and the chip connection terminal 16a are shared and are the same. The through-through hole 5a serves as an interlayer connection conductor for connecting the inner terminals of the antenna patterns of the other layers, and is not connected to the antenna pattern 12 of the first wiring layer. The through-hole 5b serves as an interlayer connection conductor for connection to the inner terminal 43 of the antenna pattern of the fourth wiring layer shown in FIG. 8, as in the case of FIG. As shown in FIG. 14, the through through hole 5b and the chip connection terminal 16b are connected via a wiring 12c. In this way, the electrode terminals 3a and 3b of the IC chip 1 are electrically connected to both ends of the antenna coil 2 having a multilayer structure in which the antenna pattern and the connection terminal of each layer are connected via the through-hole. The

図15は、フリップチップ接続のための接続端子の配置の他の一例を示す図である。同図においては、ICチップ搭載領域Bの近傍のみ示されており、その他の領域は省略されている。図15の例は、図14の例と基本的には同じであるが、貫通スルーホール5a,5bが、ICチップ搭載領域Bの外にはみ出ている点と、アンテナパターンともICチップの電極端子とも接続されない小さなチップ搭載パッド15が2つ設けられている点が異なる。この2つの小さなチップ搭載パッド15は、チップを搭載するための台であるから、このような形状で2つに分かれている必要はなく、ふたつが合わさって細長い四角形とされていてもよい。また、小さなチップ搭載パッド15のうちの一つを削除して、スルーホール5aを領域Bの内側に配置しても良い。   FIG. 15 is a diagram showing another example of the arrangement of connection terminals for flip-chip connection. In the figure, only the vicinity of the IC chip mounting area B is shown, and the other areas are omitted. The example of FIG. 15 is basically the same as the example of FIG. 14, but the through-holes 5a and 5b protrude outside the IC chip mounting area B, and the antenna pattern is the electrode terminal of the IC chip. The difference is that two small chip mounting pads 15 that are not connected to each other are provided. Since the two small chip mounting pads 15 are bases for mounting the chip, it is not necessary to divide into two in such a shape, and the two may be formed into an elongated quadrangle. Alternatively, one of the small chip mounting pads 15 may be deleted and the through hole 5a may be disposed inside the region B.

図16は、図14のようにしてICチップをフリップチップ接続により搭載して、図12(f)に示した例のように、ICチップとその近傍を部分的に樹脂封止したRFID300を模式的に示した垂直断面図である。図16において、ICチップ1の電極端子3aは第1配線層のチップ接続端子16aと、ICチップ1の電極端子3bと第1配線層の16bと、それぞれ、チップ接続用バンプ9を介して接続されている。このチップ接続用バンプ9は、フリップチップ接続用の導体として一般的なものでよい。例えば金(Au)で構成できるが、銅で構成して表面をAuでめっきしてもよい。なお、図16においてはチップ接続端子16aとスルーホール5aが接続されているようにも見えるが、図14に示したように、チップ接続端子16aとスルーホール5aとは接続されていない。このように、ICチップは、ワイヤボンディングに限らずフリップチップ接続により搭載してもよい。なお、フリップチップ接続の場合でも、図13(b)に示した例のように、全体を封止樹脂7で封止して上面を平坦にしてもよいことはもちろんである。そのほうが上面を平坦にできるので印字や安定配置に資するほか、全体的に薄型にできるという効果が得られる。   FIG. 16 schematically shows an RFID 300 in which an IC chip is mounted by flip chip connection as shown in FIG. 14, and the IC chip and its vicinity are partially resin-sealed, as in the example shown in FIG. FIG. In FIG. 16, the electrode terminal 3a of the IC chip 1 is connected to the chip connection terminal 16a of the first wiring layer, the electrode terminal 3b of the IC chip 1 and the first wiring layer 16b via the chip connection bumps 9, respectively. Has been. The chip connection bump 9 may be a general conductor for flip chip connection. For example, it can be made of gold (Au), but it may be made of copper and the surface may be plated with Au. In addition, in FIG. 16, although it seems that the chip connection terminal 16a and the through hole 5a are connected, as shown in FIG. 14, the chip connection terminal 16a and the through hole 5a are not connected. Thus, the IC chip may be mounted not only by wire bonding but also by flip chip connection. Of course, even in the case of flip chip connection, as in the example shown in FIG. 13B, the entire surface may be sealed with the sealing resin 7 to flatten the upper surface. In this case, the upper surface can be flattened, which contributes to printing and stable placement, as well as the effect of reducing the overall thickness.

なお、本発明は上記実施形態のみに限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、いろいろに変形することができる。   In addition, this invention is not limited only to the said embodiment. Various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

たとえば、上記では、層間接続導体として、スルーホールの例で説明したが、スルーホールでなくても、略円錐型の導体バンプを層間絶縁層を貫通させ塑性変形させることにより導通させてもよい。各層において導体バンプが互いに積層されるように位置合わせすることにより、導体バンプの場合であっても余計な面積をとらずに層間接続することができる。もちろん、全配線層を貫通させる必要はなく必要な配線層同士だけをスルーホールまたは導体バンプにより接続してもよい。   For example, in the above description, the example of the through-hole is used as the interlayer connection conductor. However, instead of the through-hole, a substantially conical conductor bump may be made conductive by penetrating the interlayer insulating layer and plastically deforming. By aligning the conductor bumps in each layer so as to be laminated with each other, even in the case of conductor bumps, interlayer connection can be made without taking up an extra area. Of course, it is not necessary to penetrate all the wiring layers, and only necessary wiring layers may be connected by through holes or conductor bumps.

また、上記では、アンテナ配線層を4層にした例で説明したが、4層にする必要はなく、3層でも5層以上でもかまわない。5層以上の多層にする場合には、増やした層のアンテナパターンとの接続端子やスルーホールを形成するために、上記でダミーパターンとして説明した配線領域(四隅の残り)を用いることができる。また、渦巻きの外側を貫通するスルーホールは、1つの隅に1つしか形成できないわけではなく、同一の隅に2つ以上のスルーホールを設けてもよい。その場合でも、そのスルーホールの周囲の導体パターンが互いに導通しないようにすれば、多層のアンテナパターンが途中で短絡することなく、電気的に直列接続されて両端が最上層に露出した1つのアンテナコイルを構成することができる。また、アンテナパターンが形成された配線層が奇数の場合でも、アンテナコイルの両端をICチップの両電極端子に接続するために、配線層は偶数にする必要がある。その場合、配線層のうちの一層は、アンテナパターンの形成されていない、単なるジャンパー接続用の配線パターンとなる。   In the above description, the antenna wiring layer has been described as having four layers, but it is not necessary to have four layers, and three or five or more layers may be used. In the case of a multilayer of five or more layers, the wiring region (the rest of the four corners) described above as the dummy pattern can be used to form connection terminals and through-holes with the increased number of antenna patterns. Further, only one through hole penetrating the outside of the spiral cannot be formed at one corner, and two or more through holes may be provided at the same corner. Even in such a case, if the conductor patterns around the through hole are not electrically connected to each other, the multi-layer antenna pattern is electrically connected in series without short-circuiting in the middle, and one antenna having both ends exposed to the uppermost layer. A coil can be constructed. Even when the wiring layer on which the antenna pattern is formed is an odd number, the wiring layer needs to be an even number in order to connect both ends of the antenna coil to both electrode terminals of the IC chip. In that case, one of the wiring layers is simply a wiring pattern for connecting a jumper without an antenna pattern.

また、上記で説明した具体的な大きさや厚さなどの数値は、本発明の最適な実施形態における一例を示したものであり、本発明の範囲はこれらの数値に限定されるものではない。   Further, the numerical values such as the specific size and thickness described above are examples in the optimal embodiment of the present invention, and the scope of the present invention is not limited to these numerical values.

本発明によれば、13.56MHz帯など電磁誘導方式で交信するRFIDタグを、必要なインダクタンス値を確保しつつ、ICカードよりもはるかに小型化することができる。たとえば13.56MHz帯で5mm角のRFIDタグを提供することができる。これにより、RFIDタグをさまざまなものに付すことができるようになるので、RFIDタグの用途がさらに広がり、さまざまな産業に利用されることが期待できる。   According to the present invention, an RFID tag that communicates by an electromagnetic induction method such as the 13.56 MHz band can be made much smaller than an IC card while ensuring a necessary inductance value. For example, a 5 mm square RFID tag can be provided in the 13.56 MHz band. Thereby, since the RFID tag can be attached to various things, it can be expected that the use of the RFID tag is further expanded and used in various industries.

本発明の第1の実施形態に係るRFIDタグを表面(ICチップ搭載面)側から見た図。The figure which looked at the RFID tag which concerns on the 1st Embodiment of this invention from the surface (IC chip mounting surface) side. 図1のRFIDタグを裏面側から見た平面図。The top view which looked at the RFID tag of FIG. 1 from the back side. 図1のRFIDタグの樹脂封止前の状態を表面側からみた平面図。The top view which looked at the state before resin sealing of the RFID tag of FIG. 1 from the surface side. 図1のRFIDタグの構成を模式的に示す分解斜視図。FIG. 2 is an exploded perspective view schematically showing the configuration of the RFID tag in FIG. 1. 図1のRFIDタグの第1配線層を表す水平断面図。FIG. 2 is a horizontal sectional view showing a first wiring layer of the RFID tag in FIG. 1. 図1のRFIDタグの第2配線層を表す水平断面図。The horizontal sectional view showing the 2nd wiring layer of the RFID tag of FIG. 図1のRFIDタグの第3配線層を表す水平断面図。The horizontal sectional view showing the 3rd wiring layer of the RFID tag of FIG. 図1のRFIDタグの第4配線層を表す水平断面図。The horizontal sectional view showing the 4th wiring layer of the RFID tag of FIG. 図1のRFIDタグの等価回路図。The equivalent circuit schematic of the RFID tag of FIG. 多数個のRFIDタグが1つの実装用基板に形成された様子を概念的に示す図。The figure which shows notionally that many RFID tags were formed in one mounting board | substrate. 本発明の第1の実施形態に係るRFIDタグの製造工程の概略を示す図。The figure which shows the outline of the manufacturing process of the RFID tag which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 図11に示した製造工程の続きを示す図。The figure which shows the continuation of the manufacturing process shown in FIG. 本発明の他の実施形態に係るRFIDタグの製造工程の概略を示す垂直断面図。The vertical sectional view showing the outline of the manufacturing process of the RFID tag concerning other embodiments of the present invention. ICチップをフリップチップ接続する場合のRFIDタグのICチップ搭載領域近傍を表面側からみた図。The figure which looked at the IC chip mounting area vicinity of the RFID tag when flip-chip connecting an IC chip from the surface side. 図14の変形例を示す図。The figure which shows the modification of FIG. 図14のRFIDタグを示す垂直断面図。FIG. 15 is a vertical sectional view showing the RFID tag of FIG. 14.

符号の説明Explanation of symbols

1…ICチップ、2…アンテナコイル、3a,3b…チップ電極端子、4…低背ワイヤ、5a,5b…内側貫通スルーホール、6a,6b…外側貫通スルーホール、7…封止樹脂、8…ソルダーレジスト、9…チップ接続用バンプ、10,20,30,40…単位アンテナ基板、11,21,31,41…絶縁基板の一主面、12,22,32,42…アンテナパターン、12a,22a,32a,42a…アンテナパターンの渦巻きの内側端、12b,22b,32b,42b…アンテナパターンの渦巻きの外側端、13,23,33,43…内側接続端子、14,24,34,44…外側接続端子、15…チップ搭載パッド、16a,16b…チップ接続端子、100…RFIDタグ。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... IC chip, 2 ... Antenna coil, 3a, 3b ... Chip electrode terminal, 4 ... Low profile wire, 5a, 5b ... Inner through-hole, 6a, 6b ... Outer through-hole, 7 ... Sealing resin, 8 ... Solder resist, 9 ... Chip connection bumps, 10, 20, 30, 40 ... Unit antenna substrate, 11, 21, 31, 41 ... One main surface of insulating substrate, 12, 22, 32, 42 ... Antenna pattern, 12a, 22a, 32a, 42a ... inner end of spiral of antenna pattern, 12b, 22b, 32b, 42b ... outer end of spiral of antenna pattern, 13, 23, 33, 43 ... inner connection terminal, 14, 24, 34, 44 ... Outer connection terminals, 15... Chip mounting pads, 16 a and 16 b... Chip connection terminals, 100.

Claims (9)

矩形の絶縁基板の少なくとも一方の面に四隅を残して渦巻状のアンテナパターンを形成し前記アンテナパターンの渦巻き内及び前記絶縁基板の四隅の一つに、それぞれ前記アンテナパターンの内側端又は外側端に接続された接続端子を形成してなる単位アンテナ基板を、
絶縁層を介して複数層積層し前記各接続端子を層間接続導体を介して接続して、
前記各アンテナパターンが直列接続されて最上層の単位アンテナ基板表面に両端子を有するアンテナコイルを構成するとともに、
前記積層された単位アンテナ基板の最上層のアンテナパターンの渦巻き内にICチップを搭載して、
前記アンテナコイルの両端を電気的に前記ICチップに接続してなり、かつ前記アンテナパターンの渦巻きで一方の面から透視したとき主たるコイル部分が、前記絶縁層を介して互いに対向す
ことを特徴とするRFIDタグ。
A spiral antenna pattern is formed, leaving four corners on at least one surface of a rectangular insulating substrate, and inside the antenna pattern spiral and one of the four corners of the insulating substrate, respectively, on the inner end or outer end of the antenna pattern, respectively. A unit antenna substrate formed by forming connected connection terminals,
A plurality of layers are laminated via an insulating layer, and each connection terminal is connected via an interlayer connection conductor.
Each antenna pattern is connected in series to form an antenna coil having both terminals on the uppermost unit antenna substrate surface,
An IC chip is mounted in the spiral of the antenna pattern on the uppermost layer of the laminated unit antenna substrate,
Ri Na by connecting both ends of the antenna coil electrically the IC chip, and spiral in primary coil portions when viewed from one surface of the antenna pattern, the mutually opposing to isosamples through said insulating layer A featured RFID tag.
前記絶縁基板の平面形状は、略正方形であることを特徴とする請求項1に記載のRFIDタグ。   The RFID tag according to claim 1, wherein the planar shape of the insulating substrate is substantially square. 前記各アンテナパターンの形状は、八角形であることを特徴とする請求項1又は2に記載のRFIDタグ。   The RFID tag according to claim 1 or 2, wherein each antenna pattern has an octagonal shape. 前記各アンテナパターンの渦巻きは、一方の面から透視したとき主たるコイル部分が互いに重なり合うように形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のRFIDタグ。   4. The RFID tag according to claim 1, wherein the spiral of each antenna pattern is formed such that main coil portions overlap each other when seen through from one surface. 5. 前記層間接続導体は、全層を貫通する貫通スルーホールであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のRFIDタグ。   The RFID tag according to any one of claims 1 to 4, wherein the interlayer connection conductor is a through-hole penetrating all layers. 前記貫通スルーホールには導電性材料が充填されていることを特徴とする請求項5に記載のRFIDタグ。   The RFID tag according to claim 5, wherein the through-hole is filled with a conductive material. 前記アンテナコイルの両端と接続された前記ICチップ及び層間接続導体及び前記ICチップは封止樹脂で封止されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のRFIDタグ。   7. The RFID tag according to claim 1, wherein the IC chip, the interlayer connection conductor, and the IC chip connected to both ends of the antenna coil are sealed with a sealing resin. . 前記積層された単位アンテナ基板の最上層のアンテナパターンの渦巻き内に配置された層間接続導体は、その一部又は全部が前記ICチップの下に隠れる位置に配置されていることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載のRFIDタグ。   The interlayer connection conductor disposed in the spiral of the antenna pattern on the uppermost layer of the stacked unit antenna substrates is disposed at a position where a part or all of the interlayer connection conductor is hidden under the IC chip. The RFID tag according to any one of claims 1 to 7. 前記積層された単位アンテナ基板の最上層は、その全体が封止樹脂で封止され、その上面が平坦にされていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のRFIDタグ。   9. The RFID according to claim 1, wherein the uppermost layer of the stacked unit antenna substrates is entirely sealed with a sealing resin, and an upper surface thereof is flattened. tag.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103999287A (en) * 2012-09-18 2014-08-20 松下电器产业株式会社 Antenna, transmitting apparatus, receiving apparatus, three-dimensional integrated circuit, and non-contact communication system
WO2020129762A1 (en) 2018-12-17 2020-06-25 長野計器株式会社 Rfid antenna, rfid tag, and physical quantity measurement device

Families Citing this family (99)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7519328B2 (en) 2006-01-19 2009-04-14 Murata Manufacturing Co., Ltd. Wireless IC device and component for wireless IC device
US9064198B2 (en) 2006-04-26 2015-06-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. Electromagnetic-coupling-module-attached article
WO2008001561A1 (en) 2006-06-30 2008-01-03 Murata Manufacturing Co., Ltd. Optical disc
DE112007002024B4 (en) 2006-09-26 2010-06-10 Murata Mfg. Co., Ltd., Nagaokakyo-shi Inductively coupled module and element with inductively coupled module
US8235299B2 (en) 2007-07-04 2012-08-07 Murata Manufacturing Co., Ltd. Wireless IC device and component for wireless IC device
JP4930586B2 (en) 2007-04-26 2012-05-16 株式会社村田製作所 Wireless IC device
EP2148449B1 (en) 2007-05-11 2012-12-12 Murata Manufacturing Co., Ltd. Wireless ic device
CN104078767B (en) 2007-07-09 2015-12-09 株式会社村田制作所 Wireless IC device
JP2009025923A (en) * 2007-07-17 2009-02-05 Murata Mfg Co Ltd Radio ic device
EP2166490B1 (en) 2007-07-17 2015-04-01 Murata Manufacturing Co. Ltd. Wireless ic device and electronic apparatus
JP5167709B2 (en) * 2007-07-17 2013-03-21 株式会社村田製作所 Wireless IC device, inspection system thereof, and method of manufacturing wireless IC device using the inspection system
US20090021352A1 (en) 2007-07-18 2009-01-22 Murata Manufacturing Co., Ltd. Radio frequency ic device and electronic apparatus
JP5098478B2 (en) * 2007-07-18 2012-12-12 株式会社村田製作所 Wireless IC device and manufacturing method thereof
JP5076851B2 (en) * 2007-07-18 2012-11-21 株式会社村田製作所 Wireless IC device
JP5104865B2 (en) 2007-07-18 2012-12-19 株式会社村田製作所 Wireless IC device
JP4930236B2 (en) * 2007-07-18 2012-05-16 株式会社村田製作所 Wireless IC device
JP5088544B2 (en) * 2007-08-23 2012-12-05 株式会社村田製作所 Manufacturing method of wireless IC device
KR101047189B1 (en) 2007-12-20 2011-07-06 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 Wireless IC devices
EP2207240B1 (en) 2007-12-26 2013-08-21 Murata Manufacturing Co., Ltd. Antenna apparatus and wireless ic device
JP5267463B2 (en) 2008-03-03 2013-08-21 株式会社村田製作所 Wireless IC device and wireless communication system
EP2284949B1 (en) 2008-05-21 2016-08-03 Murata Manufacturing Co. Ltd. Wireless ic device
WO2009142068A1 (en) 2008-05-22 2009-11-26 株式会社村田製作所 Wireless ic device and method for manufacturing the same
JP5218558B2 (en) 2008-05-26 2013-06-26 株式会社村田製作所 Wireless IC device system and authentication method for wireless IC device
CN102047500B (en) 2008-05-28 2014-05-28 株式会社村田制作所 Wireless ic device and component for a wireless ic device
JP4557186B2 (en) 2008-06-25 2010-10-06 株式会社村田製作所 Wireless IC device and manufacturing method thereof
EP2306586B1 (en) 2008-07-04 2014-04-02 Murata Manufacturing Co. Ltd. Wireless ic device
WO2010007858A1 (en) * 2008-07-15 2010-01-21 株式会社村田製作所 Electronic part
JP5434920B2 (en) 2008-08-19 2014-03-05 株式会社村田製作所 Wireless IC device and manufacturing method thereof
WO2010038772A1 (en) * 2008-09-30 2010-04-08 日油株式会社 Rf tag and method for producing same
WO2010047214A1 (en) * 2008-10-24 2010-04-29 株式会社村田製作所 Radio ic device
CN102197537B (en) 2008-10-29 2014-06-18 株式会社村田制作所 Wireless IC device
CN104362424B (en) 2008-11-17 2018-09-21 株式会社村田制作所 Wireless telecom equipment
CN103500873B (en) 2009-01-09 2016-08-31 株式会社村田制作所 Wireless ic device and wireless ic module
WO2010082413A1 (en) 2009-01-16 2010-07-22 株式会社村田製作所 High frequency device and wireless ic device
EP2385580B1 (en) 2009-01-30 2014-04-09 Murata Manufacturing Co., Ltd. Antenna and wireless ic device
JP5510450B2 (en) 2009-04-14 2014-06-04 株式会社村田製作所 Wireless IC device
CN103022661B (en) 2009-04-21 2014-12-03 株式会社村田制作所 Antenna apparatus and resonant frequency setting method of same
WO2010140429A1 (en) 2009-06-03 2010-12-09 株式会社村田製作所 Wireless ic device and production method thereof
JP5516580B2 (en) 2009-06-19 2014-06-11 株式会社村田製作所 Wireless IC device and method for coupling power feeding circuit and radiation plate
WO2011001709A1 (en) 2009-07-03 2011-01-06 株式会社村田製作所 Antenna and antenna module
JP5182431B2 (en) 2009-09-28 2013-04-17 株式会社村田製作所 Wireless IC device and environmental state detection method using the same
JP5201270B2 (en) 2009-09-30 2013-06-05 株式会社村田製作所 Circuit board and manufacturing method thereof
JP5304580B2 (en) 2009-10-02 2013-10-02 株式会社村田製作所 Wireless IC device
CN102576939B (en) 2009-10-16 2015-11-25 株式会社村田制作所 Antenna and wireless ic device
CN102598413A (en) 2009-10-27 2012-07-18 株式会社村田制作所 Transmitting/receiving apparatus and wireless tag reader
CN102473244B (en) 2009-11-04 2014-10-08 株式会社村田制作所 Wireless IC tag, reader/writer, and information processing system
CN102549838B (en) 2009-11-04 2015-02-04 株式会社村田制作所 Communication terminal and information processing system
WO2011055701A1 (en) 2009-11-04 2011-05-12 株式会社村田製作所 Communication terminal and information processing system
CN102576929B (en) 2009-11-20 2015-01-28 株式会社村田制作所 Antenna device and mobile communication terminal
GB2488450B (en) 2009-12-24 2014-08-20 Murata Manufacturing Co Antenna and mobile terminal
CN102782937B (en) 2010-03-03 2016-02-17 株式会社村田制作所 Wireless communication devices and wireless communication terminal
WO2011108340A1 (en) 2010-03-03 2011-09-09 株式会社村田製作所 Wireless communication module and wireless communication device
CN102576940B (en) 2010-03-12 2016-05-04 株式会社村田制作所 Wireless communication devices and metal article processed
WO2011118379A1 (en) 2010-03-24 2011-09-29 株式会社村田製作所 Rfid system
WO2011122163A1 (en) 2010-03-31 2011-10-06 株式会社村田製作所 Antenna and wireless communication device
JP5482421B2 (en) 2010-05-10 2014-05-07 ソニー株式会社 Non-contact communication medium, antenna coil arrangement medium, communication apparatus and communication method
JP5299351B2 (en) 2010-05-14 2013-09-25 株式会社村田製作所 Wireless IC device
JP5170156B2 (en) 2010-05-14 2013-03-27 株式会社村田製作所 Wireless IC device
JP5376060B2 (en) 2010-07-08 2013-12-25 株式会社村田製作所 Antenna and RFID device
CN102859790B (en) 2010-07-28 2015-04-01 株式会社村田制作所 Antenna device and communications terminal device
JP5423897B2 (en) 2010-08-10 2014-02-19 株式会社村田製作所 Printed wiring board and wireless communication system
JP5234071B2 (en) 2010-09-03 2013-07-10 株式会社村田製作所 RFIC module
WO2012043432A1 (en) 2010-09-30 2012-04-05 株式会社村田製作所 Wireless ic device
WO2012050037A1 (en) 2010-10-12 2012-04-19 株式会社村田製作所 Antenna apparatus and communication terminal apparatus
GB2501385B (en) 2010-10-21 2015-05-27 Murata Manufacturing Co Communication terminal device
JP5510560B2 (en) 2011-01-05 2014-06-04 株式会社村田製作所 Wireless communication device
JP2012147403A (en) * 2011-01-14 2012-08-02 Mitsumi Electric Co Ltd High-frequency module
WO2012096365A1 (en) 2011-01-14 2012-07-19 株式会社村田製作所 Rfid chip package and rfid tag
JP5370616B2 (en) 2011-02-28 2013-12-18 株式会社村田製作所 Wireless communication device
JP5630566B2 (en) 2011-03-08 2014-11-26 株式会社村田製作所 Antenna device and communication terminal device
CN103081221B (en) 2011-04-05 2016-06-08 株式会社村田制作所 Wireless communication devices
WO2012141070A1 (en) 2011-04-13 2012-10-18 株式会社村田製作所 Wireless ic device and wireless communication terminal
JP5569648B2 (en) 2011-05-16 2014-08-13 株式会社村田製作所 Wireless IC device
JP5488767B2 (en) 2011-07-14 2014-05-14 株式会社村田製作所 Wireless communication device
CN103370886B (en) 2011-07-15 2015-05-20 株式会社村田制作所 Wireless communication device
WO2013011865A1 (en) 2011-07-19 2013-01-24 株式会社村田製作所 Antenna module, antenna device, rfid tag, and communication terminal device
JP5418737B2 (en) 2011-09-09 2014-02-19 株式会社村田製作所 Antenna apparatus and wireless device
US9171244B2 (en) 2011-09-30 2015-10-27 Hitachi Chemical Company, Ltd. RFID tag
WO2013080991A1 (en) 2011-12-01 2013-06-06 株式会社村田製作所 Wireless ic device and method for manufacturing same
WO2013096867A1 (en) * 2011-12-23 2013-06-27 Trustees Of Tufts College System method and apparatus including hybrid spiral antenna
JP5354137B1 (en) 2012-01-30 2013-11-27 株式会社村田製作所 Wireless IC device
JP5464307B2 (en) 2012-02-24 2014-04-09 株式会社村田製作所 ANTENNA DEVICE AND WIRELESS COMMUNICATION DEVICE
WO2013153697A1 (en) 2012-04-13 2013-10-17 株式会社村田製作所 Rfid tag inspection method, and inspection device
CN104636790A (en) * 2013-11-08 2015-05-20 相丰科技股份有限公司 Electronic tag
KR101465441B1 (en) * 2013-12-16 2014-11-27 주식회사 아이엠텍 Wireless communications fpcb set for portable appliance
USD776070S1 (en) 2014-03-18 2017-01-10 Sony Corporation Non-contact type data carrier
WO2016031311A1 (en) 2014-08-27 2016-03-03 株式会社村田製作所 Coil antenna, wireless ic device, and coil antenna manufacturing method
EP3644235B1 (en) 2014-12-19 2022-11-02 Murata Manufacturing Co., Ltd. Wireless ic device, molded resin article, and method for manufacturing wireless ic device
JP6008069B1 (en) 2015-03-06 2016-10-19 株式会社村田製作所 Wireless IC device, resin molded body including the same, communication terminal device including the same, and manufacturing method thereof
CN106503778A (en) 2015-09-08 2017-03-15 凸版印刷株式会社 Band IC tag paster and its installation method
CN106503779A (en) * 2015-09-08 2017-03-15 凸版印刷株式会社 Band IC tag paster
CN106684567A (en) * 2015-11-05 2017-05-17 伍颖超 Manufacture technology of electromagnetic touch control antenna board
KR101735370B1 (en) * 2015-11-06 2017-05-15 주식회사 이엠따블유 Antenna module and mobile device with the same
WO2018110602A1 (en) 2016-12-15 2018-06-21 凸版印刷株式会社 Cap seal
CN108172992B (en) * 2017-12-26 2020-06-16 电子科技大学 Novel Archimedes spiral antenna for stepping frequency ground penetrating radar
KR102426955B1 (en) * 2018-03-14 2022-08-01 도판 인사츠 가부시키가이샤 Loop antenna, loop antenna unit, and electronic device
CN112119402B (en) * 2018-05-18 2023-10-31 京瓷株式会社 RFID tag
WO2021085269A1 (en) 2019-10-28 2021-05-06 京セラ株式会社 Substrate for rfid tags , rfid tag, and rfid system
CN117273050B (en) * 2023-11-17 2024-02-20 赛维精密科技(广东)有限公司 Electronic tag and production process thereof

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0462866A (en) * 1990-06-25 1992-02-27 Seiko Epson Corp Mounting method for surface mounting component
JP2000048162A (en) * 1998-03-17 2000-02-18 Sanyo Electric Co Ltd Module for ic card, manufacture thereof, hybrid integrated circuit module and manufacture thereof
JP2001357368A (en) * 2000-06-13 2001-12-26 Dainippon Printing Co Ltd Ic carrier
JP2002183689A (en) * 2000-12-11 2002-06-28 Dainippon Printing Co Ltd Noncontact data carrier device and method of manufacture
JP3821083B2 (en) * 2002-10-11 2006-09-13 株式会社デンソー Electronics

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103999287A (en) * 2012-09-18 2014-08-20 松下电器产业株式会社 Antenna, transmitting apparatus, receiving apparatus, three-dimensional integrated circuit, and non-contact communication system
CN103999287B (en) * 2012-09-18 2016-11-16 松下知识产权经营株式会社 Antenna, dispensing device, reception device, three dimensional integrated circuits and non-contact communication system
WO2020129762A1 (en) 2018-12-17 2020-06-25 長野計器株式会社 Rfid antenna, rfid tag, and physical quantity measurement device

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