JP4824442B2 - チップの成形装置 - Google Patents
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Description
該チップ保持冶具は、チップが被加工側面を上側にして挿入されるチップ挿入口を備えた枠体と、該枠体に摺動可能に配設され該チップ挿入口と対応する開口を備えた可動プレートと、該可動プレートを該枠体に対して移動する移動手段と、を具備している、
ことを特徴とするチップの成形装置が提供される。
上記移動手段は、上記可動プレートを加工送り方向に移動せしめる第1の移動手段と、該第1の移動手段による移動方向と直交する方向に可動プレートを移動せしめる第2の移動手段とからなっている。
上記枠体には、上部案内壁と下部案内壁とにより可動プレートを案内する領域に水を噴射する水噴射手段が設けられていることが望ましい。
また、上記チップ保持冶具は、上記移動テーブルに着脱可能に構成されていることが望ましい。
図11には複数のデバイスが形成されたカード基板10の斜視図が示されている。図11に示すカード基板10は矩形状に形成されており、表面が第1の方向に形成された複数の第1の分割予定ライン101と該第1の分割予定ライン101と直交する方向に形成された第2の分割予定ライン102によって区画され、この区画された領域にデバイス103が形成されている。なお、図示の実施形態における第2の分割予定ライン102は、一方の側部が直線ではなく複雑な曲線部102aを備えている。このように形成されたカード基板10を個々のデバイス103に分割するには、切削装置によって第1の分割予定ライン101および第2の分割予定ライン102に沿って切断することにより、図12に示すように矩形のチップ100に分割する。このように分割された矩形のチップ100は、第2の分割予定ライン102に沿って形成された曲線部102aが未加工である。また、図12に示すチップ100は、一端部表面に段部104が突出して形成されている。以下、この曲線部102aを加工するためのチップの成形装置について説明する。
図1に示すチップの成形装置は、略直方体状の装置ハウジング2を具備している。この装置ハウジング2内には、被加工物である複数のチップを保持する後述するチップ保持冶具を上面に保持する移動テーブル3が加工送り方向である矢印Xで示す方向に移動可能に配設されている。この移動テーブル3は、中央部に静電チャック(図示せず)が設けられている。また、移動テーブル3は、図示しない切削送り手段によって矢印Xで示す加工送り方向に移動せしめられるとともに、図示しない回動機構によって回動せしめられるようになっている。このように構成された移動テーブル3上に記チップ100を複数保持するチップ保持冶具4が着脱可能に載置され保持される。なお、チップ保持冶具4については、後で詳細に説明する。
図示の実施形態におけるチップ保持冶具4は、図3に示すように枠体5と該枠体5に摺動可能に配設された可動プレート6を具備している。枠体5は、上部案内壁51と、下部案内壁52と、該上部案内壁51と下部案内壁52の両側部を連結する連結部53、54と、上部案内壁51と下部案内壁52との間に形成された矩形状の案内溝55とからなっており、合成樹脂によって形成することができる。上部案内壁51には、長手方向(加工送り方向X)に沿って所定の間隔を置いて配列された矩形状の複数のチップ挿入口511が設けられている。この複数のチップ挿入口511は、上記チップ100が側面を上側にして遊嵌できる大きさに形成されている。また、上部案内壁51には、チップ挿入口511との間に形成された位置規制部512が設けられている。この位置規制部512は、図3および図4に示すようにチップ挿入口511の中央部に一方の縁辺から内方に突出して形成されており、上記チップ100の段部104が当接するようになっている。下部案内壁52には、図4および図5に示すように上部案内壁51に設けられた複数のチップ挿入口511と対応する位置に長手方向(加工送り方向X)に沿ってそれぞれチップ挿入口511と対応しチップ100を支持する支持面521aを備えた複数の矩形状の凹部521が設けられている。
また、図示の実施形態においてはチップ100の表面に段部104が形成された被加工物に対応してチップ保持冶具4のチップ挿入口511を形成した例を示したが、チップ100の裏面に段部104が形成されている場合には、チップ保持冶具4のチップ挿入口511も裏面に形成された段部に対応した形状に形成される。
3:移動テーブル
4:チップ保持冶具
5:枠体
51:上部案内壁
511:チップ挿入口
512:位置規制部
52:下部案内壁
521:凹部
53、54:連結部
55:案内溝
6:可動プレート
61:開口
71:第1の移動手段
711:調整ボルト
72:第2の移動手段
721:調整ボルト
8:水噴射手段
9:切削手段
91:スピンドルハウジング
92:回転スピンドル
93:切削砥石
10:カード基板
100:チップ
11:撮像手段
Claims (6)
- 加工送り方向に移動可能に構成された移動テーブルと、該移動テーブル上に保持されチップの被加工側面を上側にしてチップを保持するチップ保持冶具と、該チップ保持冶具に保持されたチップの被加工側面に所定の形状に切削する切削砥石を備えた切削手段と、を具備するチップの成形装置において、
該チップ保持冶具は、チップが被加工側面を上側にして挿入されるチップ挿入口を備えた枠体と、該枠体に摺動可能に配設され該チップ挿入口と対応する開口を備えた可動プレートと、該可動プレートを該枠体に対して移動する移動手段と、を具備している、
ことを特徴とするチップの成形装置。 - 該枠体は該可動プレートを摺動可能に案内する案内溝を形成する上部案内壁と下部案内壁とを備えており、該上部案内壁には該チップ挿入口が設けられ、該下部案内壁には該チップ挿入口と対応して形成されチップの側面を支持する支持面を備えた凹部が設けられている、請求項1記載のチップの成形装置。
- 該上部案内壁に設けられた該チップ挿入口と該下部案内壁に設けられた凹部および該可動プレートに設けられた該開口は、それぞれ該加工送り方向に沿って複数配設されている、請求項2記載のチップの成形装置。
- 該移動手段は、該可動プレートを該加工送り方向に移動せしめる第1の移動手段と、該第1の移動手段による移動方向と直交する方向に可動プレートを移動せしめる第2の移動手段とからなっている、請求項1から3のいずれかに記載のチップの成形装置。
- 該枠体には、該上部案内壁と該下部案内壁とにより該可動プレートを案内する領域に水を噴射する水噴射手段が設けられている、請求項1から4のいずれかに記載のチップの成形装置。
- 該チップ保持冶具は、該移動テーブルに着脱可能に構成されている、請求項1から5のいずれかに記載のチップの成形装置。
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