JP4821623B2 - 単結晶育成用ルツボ及びこのルツボにより育成されるフッ化物結晶 - Google Patents
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Description
(実施例1)
(比較例1)
(比較例2)
(比較例3)
(比較例4)
2 ルツボ本体
2A 大径周壁部
2B 原料収容部
2C 小径周壁部
2D 種結晶収容部
2E 傾斜底部
2F 底面
2G 嵌合段部
3 蓋部材
3A 嵌合段部
4 底板部材
4A 嵌合段部
4B 接続口
5 放熱空間
6 円筒状支持部材
6A 嵌合段部
6B 嵌合段部
10 結晶育成炉
11 気密容器
12 断熱材
13 加熱室
14 ヒータ
15 シャフト
16 伝熱部材
Claims (7)
- 融解したフッ化物原料から種結晶を用いてフッ化物単結晶を育成するために使用するルツボであって、
原料収容部を囲む大径周壁部の下部に種結晶収容部を囲む小径周壁部が連続するロート状のルツボ本体と、このルツボ本体の小径周壁部側の下部開口を塞ぐ底板部材と、この底板部材上に前記ルツボ本体の大径周壁部の下部を支持して小径周壁部との間に放熱空間を形成する円筒状支持部材とを少なくとも備え、
前記円筒状支持部材の周面には、複数の放熱窓が開口されていることを特徴とする単結晶育成用ルツボ。 - 前記複数の放熱窓は、前記円筒状支持部材の周面総面積の30〜80%の開口率で開口されていることを特徴とする請求項1に記載の単結晶育成用ルツボ。
- 前記原料収容部の底面が円錐面状に下降傾斜しており、この底面中央部に前記種結晶収容部が開口していることを特徴とする請求項1又は2に記載の単結晶育成用ルツボ。
- 前記種結晶収容部は、直径が5〜20mmであり、長さが少なくとも20mmであることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の単結晶育成用ルツボ。
- 前記大径周壁部の外径が少なくとも150mmであることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の単結晶育成用ルツボ。
- 前記ルツボ本体の肉厚が少なくとも5mmであることを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の単結晶育成用ルツボ。
- 前記ルツボ本体の構成材料がグラファイト、ガラス状カーボン、炭化珪素の何れかであることを特徴とする請求項1〜6の何れか一項に記載の単結晶育成用ルツボ。
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