JP4816656B2 - センサ装置 - Google Patents
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Description
以下、本発明のセンサ装置を、圧力を測定する半導体圧力センサ装置に適用した第1実施例について、図1および図2を参照して説明する。
し、センシング部により圧力を検出すると、検出された圧力値に応じたアナログデータを増幅回路6に出力する。増幅回路6は、定電圧回路2から印加された定電圧を駆動電圧として動作し、アナログ回路5からアナログデータが入力されると、入力されたアナログデータを所定の増幅率にしたがって増幅してA/D変換回路7に出力する。
デジタル回路8は、制御信号S1をスイッチ回路4に出力することにより、スイッチ回路4を第1の切替状態に設定し(ステップA1)、制御信号S2を定電圧回路2に出力することにより、定電圧回路2の動作を開始させ、制御信号S3を発振回路3に出力することにより、発振回路3の動作を開始させる(ステップA2)。これに伴って、アナログ回路5、増幅回路6およびA/D変換回路7の各回路は、定電圧回路2から定電圧が印加されることにより、動作を開始する。
次に、本発明の第2実施例について、図3および図4を参照して説明する。ここでは、上記した第1実施例と同一部分については説明を省略し、異なる部分について説明する。上記した第1実施例は、スイッチ回路4を備えることにより、A/D変換回路7が動作中のときに定電圧回路7から発振回路3に定電圧が印加されるように構成したものであるが、これに対して、この第2実施例は、定電圧回路を2個備えることにより、一方の定電圧回路から発振回路に定電圧が常に印加されるように構成したものである。
デジタル回路15は、制御信号S4を第1の定電圧回路12に出力することにより、第1の定電圧回路12の動作を開始させ、制御信号S5を第2の定電圧回路13に出力することにより、第2の定電圧回路13の動作を開始させ、制御信号S6を発振回路14に出力することにより、発振回路14の動作を開始させる(ステップA11)。これに伴って、アナログ回路5、増幅回路6およびA/D変換回路7の各回路は、第1の定電圧回路12から定電圧が印加されることにより、動作を開始する。
次に、本発明の第3実施例について、図5および図6を参照して説明する。ここでも、上記した第1実施例と同一部分については説明を省略し、異なる部分について説明する。この第3実施例は、発振回路を2個備えることにより、定電圧回路から一方の発振回路に定電圧が常に印加されるように構成したものである。
デジタル回路15は、制御信号S7を定電圧回路22に出力することにより定電圧回路22の動作を開始させ、制御信号S8を第1の発振回路23に出力することにより、第1の発振回路23の動作を開始させる(ステップA21)。これに伴って、アナログ回路5、増幅回路6およびA/D変換回路7の各回路は、定電圧回路22から定電圧が印加されることにより、動作を開始する。
本発明は、上記した実施例にのみ限定されるものではなく、以下のように変形または拡張することができる。
半導体圧力センサ装置に適用することに限らず、加速度、磁束、湿度などの他の物理量を測定するセンサ装置に適用する構成であっても良い。
電源電圧が変動するのに伴って発振周波数が変動するのを抑制することに限らず、定電圧回路が電源電圧の変動を吸収する他に温度の変動をも吸収することができることを利用し、温度が変動するのに伴って発振周波数が変動するのを抑制するように構成しても良い。
Claims (1)
- 電源端子から直接印加された電源電圧を安定化させて定電圧を生成する第1の定電圧回路と、
前記電源端子から直接印加された電源電圧を安定化させて定電圧を生成する第2の定電圧回路と、
前記第2の定電圧回路から印加された定電圧に応じた発振周波数を出力する発振回路と、
前記第1の定電圧回路から印加された定電圧を駆動電圧として動作し、前記発振回路から入力された発振周波数に基づいてアナログデータをサンプリング処理してデジタルデータを生成して出力するA/D変換回路と、
前記電源端子から直接印加された電源電圧を駆動電圧として動作し、前記発振回路から入力された発振周波数に基づいて前記A/D変換回路から入力されたデジタルデータを補正演算するデジタル回路とを備え、
前記A/D変換回路がデジタルデータの出力を完了した後に、前記第1の定電圧回路が動作を休止するように構成したことを特徴とするセンサ装置。
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JPH07128085A (ja) * | 1993-11-05 | 1995-05-19 | Nippondenso Co Ltd | 制御回路 |
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