JP4813393B2 - 液処理装置及び処理液の消泡方法 - Google Patents
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Description
図1に示すように、液処理装置1は、ウエハ2の搬入及び搬出を行うための搬入出ユニット3の後部にウエハ2の洗浄を行うための洗浄ユニット4を配設するとともに、この洗浄ユニット4の後部に洗浄ユニット4への処理液5の供給を行うための処理液供給ユニット6を配設している。図中、7は電源供給装置である。
上記液処理装置1では、加熱により液泡を消泡させているために、そのまま消泡した処理液5を処理液タンク29に戻してしまうと、処理液タンク29に貯留した処理液5の温度が上昇し、処理室16に供給される処理液5の温度が被処理体(ウエハ2)の処理に必要な処理温度よりも上昇してしまうことになる。そこで、第2実施例に係る液処理装置1では、図3に示すように、消泡機構55に処理液5を貯留するための貯留タンク63を接続するとともに、貯留タンク63に処理液タンク29を消泡処理液回収流路62を介して接続し、この貯留タンク63で消泡した処理液5を所定温度に調温又は処理温度近傍まで降温してから処理液タンク29に戻すようにしている。なお、以下の説明では、第1実施例に係る液処理装置1と同様の機能を有するものには同一の符号を付して説明を省略している。
上記第2実施例に係る液処理装置1では、消泡機構55に貯留タンク63を接続し、この貯留タンク63で消泡した処理液5を所定温度に調温又は処理温度近傍まで降温してから処理液タンク29に戻すようにしているが、第3実施例に係る液処理装置1では、図4に示すように、貯留タンク63を設けずに、消泡機構55から処理液タンク29に処理液5を直接回収し、回収後に処理液5の調温を行うようにしている。なお、以下の説明では、第1実施例又は第2実施例に係る液処理装置1と同様の機能を有するものには同一の符号を付して説明を省略している。
3 搬入出ユニット 4 洗浄ユニット
5 処理液 6 処理液供給ユニット
7 電源供給装置 9 キャリア
10 ステージ 11 開閉扉
12 搬送機構 13 搬入出ユニット用コントローラ
14 開閉扉 15 搬送機構
16 処理室 17 排気ダクト
18 洗浄ユニット用コントローラ 19 搬送台
20 搬送アーム 21 回転機構
22 ベース体 23 回転モータ
24 回転軸 25 ロータ
26 ケーシング 27 ノズル
28 排出管 29 処理液タンク
31 供給機構 32 処理液供給ユニット用コントローラ
33 供給源 34 開閉弁
35 貯留量検出パイプ 36〜39 液面検出センサ
40 廃液パイプ 41 開閉弁
42 処理液供給流路 43 処理液回収流路
44 供給パイプ 45 吸引ポンプ
46 フィルタ 47 ヒータ
48 分岐パイプ 49 開閉弁
50 開閉弁 51 流路切換弁
52 三方コック 53 ドレンパイプ
54 液泡排出流路 55 消泡機構
56 排気パイプ 57 排気トラップ
58 ドレンパイプ 59 加熱パイプ
60 加熱源 61 排出パイプ
62 消泡処理液回収流路 63 貯留タンク
64 消泡処理液回収パイプ 65 吸引ポンプ
66 開閉弁 67 三方コック
68 ドレンパイプ 69 排気管
70 冷却パイプ 71 センサ
Claims (13)
- 処理液で被処理体を処理する処理室と前記処理液を貯留する処理液タンクとを処理液供給流路と処理液回収流路とを介して接続して処理液を循環して使用するように構成した液処理装置において、
前記処理液供給流路及び処理液回収流路とは別個に前記処理液タンクの内部の液泡を排出するための液泡排出流路を前記処理液タンクに接続し、前記液泡排出流路は、前記処理液タンクに内部の排気を行うための排気パイプを接続するとともに、前記排気パイプに排気トラップを接続し、前記排気トラップに前記液泡を消泡するための消泡機構を設け、前記消泡機構に排液流路を接続したことを特徴とする液処理装置。 - 前記消泡機構は、加熱手段により前記液泡を加熱することによって消泡するように構成したことを特徴とする請求項1に記載の液処理装置。
- 前記処理液を処理温度に加熱するためのヒータを有し、前記加熱手段は、前記ヒータよりも高い温度に加熱して前記液泡を消泡するように構成したことを特徴とする請求項2に記載の液処理装置。
- 前記加熱手段は、消泡する前記処理液よりも高い温度に加熱された処理流体を用いて前記液泡を加熱するように構成したことを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の液処理装置。
- 前記消泡機構は、内部の圧力が前記処理液タンクの内部の圧力よりも低くなるように構成したことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の液処理装置。
- 前記消泡機構は、前記処理液タンクと前記液泡排出流路との接続部よりも低い位置に配置したことを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載の液処理装置。
- 前記消泡機構は、前記液処理装置で生じた排気を外部へ排出するための排気ダクトに接続したことを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれかに記載の液処理装置。
- 前記消泡機構は、前記排液流路に前記処理液を貯留する貯留タンクを接続するとともに、貯留した処理液を前記処理液タンクに回収するための消泡処理液回収流路を前記貯留タンクに接続したことを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれかに記載の液処理装置。
- 前記消泡機構の前記排液流路に前記処理液タンクを接続し、前記処理液タンクから前記処理室への前記処理液の供給を停止している時に前記消泡機構から前記処理液タンクに消泡した処理液を回収し、その後、前記処理液タンクに設けた調温手段で前記処理液を調温するように構成したことを特徴とする請求項1〜請求項8のいずれかに記載の液処理装置。
- 処理液を貯留する処理液タンクから被処理体を処理する処理室に前記処理液を供給した後に、前記処理室から前記処理液タンクに前記処理液とともに前記処理室で発生した液泡を回収し、その後、前記処理液タンクの排気とともに前記処理液タンクから前記液泡を回収し、前記液泡を前記処理液タンクの外部で消泡し、消泡した前記処理液を前記処理液タンクの外部に排出することを特徴とする処理液の消泡方法。
- 処理液を貯留する処理液タンクから被処理体を処理する処理室に前記処理液を供給した後に、前記処理室から前記処理液タンクに前記処理液とともに前記処理室で発生した液泡を回収し、前記処理液タンクの排気とともに前記処理液タンクから前記液泡を回収し、前記液泡を前記処理液タンクの外部で消泡し、消泡した処理液を降温させ、その後、前記処理液タンクに回収することを特徴とする処理液の消泡方法。
- 処理液を貯留する処理液タンクから被処理体を処理する処理室に前記処理液を供給した後に、前記処理室から前記処理液タンクに前記処理液とともに前記処理室で発生した液泡を回収し、前記処理液タンクの排気とともに前記処理液タンクから前記液泡を回収し、前記液泡を前記処理液タンクの外部で消泡し、前記処理液タンクから前記処理室への前記処理液の供給を停止している時に消泡した処理液を前記処理液タンクに回収し、その後、前記処理液タンクに設けた調温手段で前記処理液を調温することを特徴とする処理液の消泡方法。
- 前記液泡を前記処理液の処理温度よりも高い温度に加熱することによって消泡することを特徴とする請求項10〜請求項12のいずれかに記載の処理液の消泡方法。
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