WO2007102604A1

WO2007102604A1 - 液処理装置及び処理液の消泡方法

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Publication number: WO2007102604A1
Application number: PCT/JP2007/054697
Authority: WO
Inventors: Teruomi Minami; Masaki Taira; Shigenori Kitahara
Original assignee: Tokyo Electron Limited
Priority date: 2006-03-09
Filing date: 2007-03-09
Publication date: 2007-09-13
Also published as: TW200805468A; TWI360169B; JP2007273958A; JP4813393B2

Abstract

　液処理装置は、処理液（５）で被処理体（ウエハ２）を処理する処理室（１６）と、処理液（５）を貯留する処理液タンク（２９）と、処理室（１６）と処理液タンク（２９）とを接続する処理液供給流路（４２）および処理液回収流路（４３）とを備えている。前記処理液（５）を加熱するためのヒータ（４７）が前記処理液供給流路（４２）に設けられている。前記処理液タンク（２９）の内部の液泡を排出するための液泡排出流路（５４）が前記処理液タンク（２９）に接続され、前記ヒータ（４７）よりも高い温度に加熱して前記液泡を消泡する消泡機構（５５）が前記液泡排出流路（５４）に接続されている。

Description

明細書

液処理装置及び処理液の消泡方法

技術分野

[0001] 本発明は、液処理装置及び処理液の消泡方法に関するものであり、特に、処理液で被処理体を処理する処理室と、処理液を貯留する処理液タンクと、これら処理室と処理液タンクとを接続する処理液供給流路および処理液回収流路とを備えた液処理装置、及び同装置で使用する処理液の消泡方法に関する。

背景技術

[0002] 従来より、半導体部品やフラットディスプレイや電子部品などの製造工程においては、半導体ウェハや液晶基板やディスク状記憶媒体などの被処理体に対して処理液を用いて洗浄やエッチングなどの処理を行う液処理装置が利用されてヽた。

[0003] この従来の液処理装置としては、処理室の内部に被処理体を回転させる回転機構と被処理体に向けて洗浄薬液や純水などの処理液を噴射するノズルを配設するとともに、ノズルに処理液タンクを連通連結した構成のものが知られている（たとえば、特許文献 1参照。）。

[0004] そして、従来の液処理装置では、処理室の内部で被処理体を回転させ、回転する被処理体に向けてノズルから処理液を噴射し、処理液によって被処理体の表面を処理するようにしていた。

[0005] この従来の液処理装置では、環境条件によっては処理室の内部においてノズルから被処理体に向けて処理液を噴射した際に、処理液の一部が泡状となってしまい、処理室の内部で泡状の処理液 (液泡）が発生することがあった。特に、処理液を処理室力処理液タンクに回収して、処理液を循環して使用できるように構成した場合には、処理室内の液泡が処理液タンクの内部に流れ込み、液泡の影響で処理液タンク力処理室に供給する処理液の量が変動してしまったり、液泡が処理液タンク力排気管へと流れ込んで、排気管を腐食させてしまうおそれがあった。

[0006] そのため、従来の液処理装置では、処理液を処理室から処理液タンクに回収して、処理液を循環して使用できるように構成するとともに、処理室の内部で発生した液泡を加熱することによって消泡し、その後、消泡した処理液をそのまま処理液タンクに回収するように構成していた (たとえば、特許文献 2参照。 )₀

特許文献 1：特開 2002— 110612号公報

特許文献 2：特開平 2— 160007号公報

発明の開示

[0007] ところが、上記従来の液処理装置では、加熱により消泡した処理液をそのまま処理液タンクに回収するように構成していたために、消泡した処理液の回収によって処理液タンク内の処理液の温度が上昇してしま、、被処理体を処理する温度条件が変動してしま!、、被処理体を良好に処理できなくなるおそれがあった。

[0008] 本発明は、処理液で被処理体を処理する処理室と、前記処理液を貯留する処理液タンクと、これら処理室と処理液タンクとを接続する処理液供給流路および処理液回収流路とを備え、前記処理液タンクの内部の液泡を排出するための液泡排出流路を前記処理液タンクに接続するとともに、前記液泡を消泡するための消泡機構を前記液泡排出流路に接続し、前記消泡機構に排水流路を接続したことを特徴とする液処理装置である。

[0009] 本発明は、前記消泡機構は、前記液泡を加熱することによって消泡する消泡加熱手段を含むことを特徴とする液処理装置である。

[0010] 本発明は、前記処理液供給流路に、処理液を処理温度に加熱するためのヒータが接続され、前記消泡加熱手段は、前記ヒータよりも高い温度に液泡を加熱して液泡を消泡することを特徴とする液処理装置である。

[0011] 本発明は、前記消泡加熱手段は、前記処理液よりも高い温度に加熱された処理流体を用いて前記液泡を加熱する加熱手段力なることを特徴とする液処理装置である。

[0012] 本発明は、前記消泡機構は、内部の圧力が前記処理液タンクの内部の圧力よりも低くなるように構成されたことを特徴とする液処理装置である。

[0013] 本発明は、前記消泡機構は、前記処理液タンクと前記液泡排出流路との接続部よりも低、位置に配置されて、ることを特徴とする液処理装置である。

[0014] 本発明は、前記消泡機構は、排気トラップを有し、この排気トラップに前記排水流路が接続され、かつ排気流路を排気トラップに接続したことを特徴とする液処理装置である。

[0015] 本発明は、前記消泡機構に接続された排水流路に、前記処理液を貯留する貯留タンクを接続し、貯留タンクに貯留した処理液を前記処理液タンクに回収するための消泡処理液回収流路を前記貯留タンクに接続したことを特徴とする液処理装置である本発明は、前記消泡機構に接続された前記排液流路に、前記処理液タンクを接続し、前記処理液タンクに調温手段を設け、前記処理液タンクから前記処理室への前記処理液の供給を停止している時に前記消泡機構力前記処理液タンクに消泡した処理液を回収し、その後、前記処理液タンクに設けた調温手段で前記処理液を調温するように構成したことを特徴とする液処理装置である。

[0016] 本発明は、処理液を貯留する処理液タンクから被処理体を処理する処理室に前記処理液を供給する工程と、前記処理室から前記処理液と、前記処理室で発生した液泡を処理液タンク内に回収する工程と、前記液泡を前記処理液タンクの外部の消泡機構で消泡し、消泡した前記処理液を前記消泡機構の外部に排出する工程と、を備えたことを特徴とする処理液の消泡方法である。

本発明は、処理液を貯留する処理液タンクから被処理体を処理する処理室に前記処理液を供給する工程と、前記処理室から前記処理液と、前記処理室で発生した液泡を処理液タンク内に回収する工程と、前記液泡を前記処理液タンクの外部の消泡機構で消泡し、消泡した処理液を降温させ、その後、前記処理液タンクに回収する工程と、を備えたことを特徴とする処理液の消泡方法である。

本発明は、処理液を貯留する処理液タンクから被処理体を処理する処理室に前記処理液を供給する工程と、前記処理室から前記処理液と、前記処理室で発生した液泡を処理室タンク内に回収する工程と、前記液泡を前記処理液タンクの外部の消泡機構で消泡する工程と、前記処理液タンクから前記処理室への前記処理液の供給を停止している時に消泡した処理液を前記処理液タンクに回収し、その後、前記処理液タンクに設けた調温手段で前記処理液を調温する工程と、を備えたことを特徴とする処理液の消泡方法である。 [0017] 本発明は、前記消泡機構において、液泡を前記処理液の処理温度よりも高い温度に加熱することによって消泡することを特徴とする処理液の消泡方法である。

[0018] そして、本発明では、以下に記載する効果を奏する。

[0019] すなわち、本発明では、処理液で被処理体を処理する処理室と処理液を貯留する処理液タンクとを処理液供給流路と処理液回収流路とを介して接続した液処理装置において、処理液タンクの内部の液泡を排出するための液泡排出流路を処理液タンクに接続するとともに、液泡を消泡するための消泡機構を液泡排出流路に設け、消泡機構に排水流路を接続している。このために、液泡を処理液タンク力排出することができるとともに、消泡した処理液を処理液タンクに回収することによって生じる処理液タンク内の処理液の温度変動を防止することができ、被処理体を同一温度条件で良好に処理することができる。

[0020] また、本発明では、消泡加熱手段により液泡を加熱することによって消泡するように消泡機構を構成しているために、加熱により液泡を容易かつ確実に消泡することができる。

[0021] また、本発明では、処理液を処理温度に加熱するためのヒータを有し、消泡加熱手段は、ヒータよりも高い温度に加熱して液泡を消泡するように構成しているために、液泡を確実に消泡することができる。し力も、消泡した薬液を処理液タンク外に排出することで、処理液供給流路から供給する処理液の処理温度よりも高！ヽ温度で液泡を加熱して消泡しても処理液供給流路から供給され被処理体を処理する処理液の温度変動がなぐ被処理体を同一温度条件で良好に処理することができる。

[0022] また、本発明では、消泡する処理液よりも高!ヽ温度に加熱された処理流体を用いて液泡を加熱しているために、消泡のために別個加熱源を設ける必要がなぐ消泡機構を設けたことによる液処理装置の製造コストやランニングコストの増大を抑制することがでさる。

[0023] また、本発明では、消泡機構の内部の圧力が処理液タンクの内部の圧力よりも低くなるようにして、るために、液泡や消泡した処理液が消泡機構から処理液タンクに逆流するのを防止することができ、逆流による処理液タンク内の処理液の温度変動を防止することができる。 [0024] また、本発明では、処理液タンクと液泡排出流路との接続部よりも低!ヽ位置に消泡機構を配置しているために、液泡や消泡した処理液が消泡機構力処理液タンクに逆流するのを防止することができ、逆流による処理液タンク内の処理液の温度変動を防止することができる。

[0025] また、本発明では、消泡機構に排気トラップを設け、この排気トラップに排水流路と排気流路とを接続しているために、薬液雰囲気を排気流路力外部に良好に排出することができる。し力も、排気流路での吸引により消泡機構が負圧状態となって消泡機構の内部の圧力が処理液タンクの内部の圧力よりも低くなり、液泡や消泡した処理液が消泡機構力も処理液タンクに逆流するのを防止することができ、逆流による処理液タンク内の処理液の温度変動を防止することができる。

[0026] また、本発明では、排水流路に処理液を貯留する貯留タンクを接続するとともに、貯留した処理液を処理液タンクに回収するための消泡処理液回収流路を貯留タンクに接続しているために、消泡した処理液を処理液タンクに回収して再利用することができる。また、消泡した処理液を貯留タンクで降温させることができ、処理液タンクに貯留された処理液の温度が上昇してしまうのを防止することができる。

また、本発明では、消泡機構の排液流路に処理液タンクを接続し、処理液タンクから処理室への処理液の供給を停止している時に消泡機構から処理液タンクに消泡した処理液を回収し、その後、処理液タンクに設けた調温手段で処理液を調温する。このために、消泡機構から回収された処理液をそのままの温度で処理室に供給してしまうことがなぐ処理液の温度変動による処理不良の発生を防止することができる。

[0027] また、本発明では、処理液の消泡方法にぉ、て、処理液を貯留する処理液タンクから被処理体を処理する処理室に処理液を供給した後に、処理室から処理液タンクに、処理液と液泡とを回収し、その後、前記液泡を前記処理液タンクの外部の消泡機構で消泡し、消泡した処理液を消泡機構の外部に排出している。このため、液泡を処理液タンク力排出した場合、消泡した処理液を処理液タンクに回収することによって生じる処理液タンク内の処理液の温度変動を防止することができ、被処理体を同一温度条件で良好に処理することができる。

[0028] また、本発明では、処理液の消泡方法にぉ、て、処理液を貯留する処理液タンクから被処理体を処理する処理室に処理液を供給した後に、処理室から処理液タンクに処理液と液泡とを回収し、液泡を処理液タンクの外部の消泡機構で消泡し、消泡した処理液を降温させ、その後、処理液タンクに回収することにしている。このため、消泡した処理液を処理液タンクに回収して再利用することができるとともに、処理液タンクに貯留された処理液の温度が上昇してしまうのを防止することができる。

[0029] また、本発明では、処理機の消泡方法にお!、て、処理液を貯留する処理液タンクから被処理体を処理する処理室に処理液を供給した後に、処理室から処理液タンクに処理液と液泡とを回収し、液泡を処理液タンクの外部の消泡機構で消泡し、処理液タンクから処理室への処理液の供給を停止している時に消泡した処理液を処理液タンクに回収し、その後、処理液タンクに設けた調温手段で処理液を調温する。このため、消泡した処理液を処理液タンクに回収して再利用することができるとともに、回収された処理液をそのままの温度で処理室に供給してしまうことがなぐ処理液の温度変動による処理不良の発生を防止することができる。

[0030] また、本発明では、液泡を処理液の処理温度よりも高い温度に加熱することによつて消泡しているために、液泡を確実に消泡することができる。しかも、消泡した処理液を処理液タンク外に排出した場合、処理液の処理温度よりも高！ヽ温度で液泡を加熱して消泡しても被処理体を処理する処理液の温度変動がなぐ被処理体を同一温度条件で良好に処理することができる。

図面の簡単な説明

[0031] [図 1]図 1は本発明に係る液処理装置のレイアウトを示す平面図。

[図 2]図 2は本発明の第 1実施例としての液処理装置の配管を示す説明図。

[図 3]図 3は本発明の第 2実施例としての液処理装置の配管を示す説明図。

[図 4]図 4は本発明の第 3実施例としての液処理装置の配管を示す説明図。

発明を実施するための最良の形態

[0032] 以下に、本発明に係る液処理装置の具体的な構成について図面を参照しながら説明する。以下の説明では、液処理装置として被処理体となるウェハの洗浄を行う基板洗浄装置に本発明を適用した実施例について、泡状の処理液 (液泡）を廃棄する場合 (第 1実施例）と再利用する場合 (第 2実施例および第 3実施例）とに分けて説明をする。

[0033] [第 1実施例]

図 1に示すように、液処理装置 1は、ウェハ 2の搬入及び搬出を行うための搬入出ユニット 3と、搬入出ユニット 3の後部に配置されウェハ 2の洗浄を行うための洗浄ュニット 4と、この洗浄ユニット 4の後部に配置され洗浄ユニット 4への処理液 5の供給を行うための処理液供給ユニット 6とを備えている。図中、 7は電源供給装置である。

[0034] 搬入出ユニット 3は、前端に設けられ複数枚のウェハ 2を収納したキャリア 9を載置する左右一対のステージ 10を含んでいる。各ステージ 10に開閉扉 11が設けられ、この開閉扉 11の内側にウェハ 2を搬送するための搬送機構 12が配設されて、る。この搬入出ユニット 3は、搬入出ユニット用コントローラ 13で制御されている。

[0035] そして、搬入出ユニット 3では、搬送機構 12を用いてステージ 10に載置されたキヤリア 9からウェハ 2を受け取り、洗浄ユニット 4へ搬送し、或いは、洗浄ユニット 4から処理後のウェハ 2を受け取り、キャリア 9へ受け渡すようにして、る。

[0036] 洗浄ユニット 4は、搬入出ユニット 3との間に設けられた開閉扉 14を含み、この開閉扉 14の内側にウェハ 2を搬送するための搬送機構 15が配設されている。この搬送機構 15の後方にウェハ 2の洗浄処理を行うための処理室 16が配設され、この処理室 1 6の側部に排気ダクト 17が配設されている。この洗浄ユニット 4は、洗浄ユニット用コントローラ 18で制御されている。

[0037] ここで、搬送機構 15は、前後に伸延する搬送台 19に沿って走行する搬送アーム 2 0と、搬送アーム 20の先端部に取付けられウェハ 2を回転させるための回転機構 21 とを有している。この回転機構 21は、図 2に示すように、ベース体 22と、ベース体 22 に取付けられた回転モータ 23とを有して、る。回転モータ 23の回転軸 24はベース体 22で回転自在に支持され、回転軸 24の先端部に複数枚のウェハ 2を保持する口ータ 25が取付けられている。この回転機構 21のベース体 22は、処理時に処理室 16 のケーシング 26と一体となって処理空間を形成する。

[0038] また、処理室 16は、前端部を開放した中空状のケーシング 26と、ケーシング 26の上部にウェハ 2へ向けて処理液 5を噴射するための左右一対のノズル 27とを含み、ケーシング 26の下端後部に排出管 28が設けられている。 [0039] そして、洗浄ユニット 4では、搬送機構 15を用いて処理室 16の内部へウェハ 2を搬送するとともに、処理室 16の内部でウェハ 2を回転させ、処理室 16の内部において回転するウェハ 2に処理液 5をノズル 27から噴射してウェハ 2の処理を行い、搬送機構 15を用いて処理後のウェハ 2を処理室 16から外部へ搬送する。また、液処理装置 1で生じた排気は排気ダクト 17から外部へ排出される。

[0040] 処理液供給ユニット 6は、処理液 5を貯留した処理液タンク 29を含み、この処理液タンク 29は供給機構 31を介して処理室 16に接続されている。この処理液供給ユニット 6は、処理液供給ユニット用コントローラ 32で制御されている。

[0041] 供給機構 31は、図 2に示すように、処理液タンク 29に処理液 5の供給源 33を開閉弁 34を介して接続されており、供給源 33から供給される処理液 5を適量だけ処理液タンク 29に貯留するようにしている。この処理液タンク 29には、貯留量検出ノイブ 35 が並列に接続されており、この貯留量検出パイプ 35に上部側から処理液 5の上限を検出する液面検出センサ 36、処理液 5の適量を検出する液面検出センサ 37、処理液 5の加熱停止を検出する液面検出センサ 38、処理液 5の下限を検出する液面検出センサ 39をそれぞれ取付けられている。図中、 40は処理液タンク 29の底部に接続した廃液パイプであり、 41は開閉弁である。

[0042] また、供給機構 31は、処理液タンク 29から処理室 16に処理液 5を供給するための処理液供給流路 42と、処理室 16から処理液タンク 29に処理液 5を回収するための処理液回収流路 43と力なって、る。

[0043] ここで、処理液供給流路 42は、処理液タンク 29に底部近傍まで伸延した供給パイプ 44を含んでいる。この供給パイプ 44に吸引ポンプ 45が接続され、この吸引ポンプ 45にフィルタ 46力接続され、このフィルタ 46にヒータ 47が接続され、このヒータ 47に分岐パイプ 48が接続され、この分岐パイプ 48の一端に開閉弁 49を介して処理液タンク 29が接続されている。分岐パイプ 48の他端に開閉弁 50を介して流路切換弁 51 が接続され、この流路切換弁 51は処理室 16のノズル 27に接続されている。この流路切換弁 51〖こは、洗浄を行うための処理液 5の他に、純水や乾燥流体やパージガスが接続されており、流路切換弁 51によって流路を切り換えることによって、処理室 16 に各種の処理流体を供給できるようにしている。また、処理液供給流路 42は、開閉弁 49を開弁する一方、開閉弁 50を閉弁することによって、処理液 5を処理液タンク 2 9とヒータ 47との間で循環させることができ、ヒータ 47によって処理液 5を適温に加熱することができる。

[0044] また、処理液回収流路 43は、処理室 16の排出管 28に接続された三方コック 52を含み、この三方コック 52に処理液タンク 29が接続されている。この三方コック 52には、ドレンパイプ 53が接続され、三方コック 52を切り換えることによって、処理室 16に供給された各種の処理流体をドレンパイプ 53から排出し、或いは、処理室 16に供給された処理液 5を処理液タンク 29に回収できる。

[0045] このように、処理液供給ユニット 6では、処理室 16と処理液タンク 29とを処理液供給流路 42と処理液回収流路 43とを介して接続することによって、処理液タンク 29から処理室 16に供給した処理液 5を処理液タンク 29に回収しながら循環して使用する。

[0046] そのため、処理液 5を使用する環境条件によっては、処理室 16のノズル 27から回転するウェハ 2に向けて処理液 5を噴射した際に、処理液 5の一部が泡状となった液泡が発生することがあり、その場合には、液泡も処理液 5とともに処理液タンク 29に回収されること〖こなる。

[0047] そこで、処理液供給ユニット 6では、図 2に示すように、処理液供給流路 42及び処理液回収流路 43とは別個に処理液タンク 29の内部の液泡を排出するための液泡排出流路 54が処理液タンク 29に接続され、この液泡排出流路 54に液泡を消泡するための消泡機構 55が接続されている。

[0048] 具体的には、処理液タンク 29に処理液タンク 29の内部の排気を行うための排気パイブ 56の基端部が接続され、この排気パイプ 56の先端部に排気トラップ 57が接続され、この排気トラップ 57の上端部に排気管 69が接続されている。この排気管 69は、排気源に接続される排気ダクト 17に接続されている。排気トラップ 57は、消泡機構 5 5を構成しており、排気トラップ 57の下端部に排水流路としてのドレンパイプ 58が接続されている。

[0049] すなわち消泡機構 55は、排気トラップ 57と、排気トラップ 57の内部に収納され消泡加熱手段として機能するコイル状の加熱パイプ 59とを含み、この加熱ノイブ 59の上流部に加熱源 60が接続され、加熱ノイブ 59の下流部に排出ノイブ 61が接続されている。

[0050] そして、消泡機構 55は、加熱源 60から供給された温水によって加熱パイプ 59をカロ熱し、この加熱パイプ 59によって処理液タンク 29から排気パイプ 56を通って排気トラップ 57に流れ込んだ液泡を加熱して膨張破裂させることで消泡する。

[0051] この消泡機構 55では、ヒータ 47によって加熱された処理液タンク 29の内部の処理液 5の処理温度 (たとえば、 40°C)よりも高い温度 (たとえば、 45°C)で液泡を加熱することによって消泡するようにしている。このように、処理液 5の種類によっては、所定温度 (ここでは、 40°C)を超えると液泡が発生しないが、所定温度以下で使用すると液泡が発生してしまう処理液 5があり、被処理体の処理条件によってこの種の処理液 5を所定温度以下で使用せざるを得ない場合には、所定温度以上 (ここでは、 45°C) に加熱することで消泡することができる。

[0052] また、消泡機構 55では、消泡する処理液 5よりも高い温度に加熱された処理流体を加熱パイプ 59に導入して液泡を加熱するように構成することもできる。

[0053] このように、処理液供給ユニット 6では、処理液タンク 29の排気を行なうために設けられた排気パイプ 56及び排気トラップ 57を排気流路として使用するだけでなぐ液泡排出流路 54としても機能させ、排気トラップ 57に設けた消泡機構 55によって液泡を消泡し、消泡した処理液 5をドレンノイブ 58から排出するとともに、排気を排気管 69 力排出するようにしている。

[0054] また、処理液供給ユニット 6では、排気トラップ 57を処理液タンク 29の上端部よりも低い位置に設置することによって、排気パイプ 56の基端部（処理液タンク 29側）に比ベて排気ノイブ 56の先端部 (排気トラップ 57側）が低い位置になるように排気パイプ 56を傾斜させている。このように、処理液タンク 29と液泡排出流路 54との接続部（処理液タンク 29の上端部）よりも低い位置に消泡機構 55を配置することで、処理液タンク 29から排気トラップ 57に向けて液泡が逆流することなく円滑に排出されるようにしている。

[0055] さらに、処理液供給ユニット 6では、消泡機構 55を排気流路を構成する排気管 69 に接続しており、排気管 69に排気ダクト 17を接続しているため、処理液タンク 29が大気圧状態となっているのに対して排気流路での吸引により消泡機構 55が負圧状態となつており、消泡機構 55の内部の圧力が処理液タンク 29の内部の圧力よりも低くなつている。このように、消泡機構 55の内部の圧力を処理液タンク 29の内部の圧力よりも低くすることで、処理液タンク 29から排気トラップ 57に向けて液泡が逆流することなく円滑に排出されるようにして、る。

[0056] 以上に説明したように、上記構成の液処理装置 1では、処理液 5で被処理体 (ゥェハ 2)を処理する処理室 16と処理液 5を貯留する処理液タンク 29とを処理液供給流路 42と処理液回収流路 43とを介して接続する。また、これらの処理液供給流路 42 や処理液回収流路 43とは別個に処理液タンク 29の内部の液泡を排出するための液泡排出流路 54を処理液タンク 29に接続し、この液泡排出流路 54に液泡を消泡するための消泡機構 55を設け、さらには、消泡機構 55に排水流路としてのドレンパイプ 5 8を接続している。

[0057] そして、上記液処理装置 1では、処理液 5を貯留する処理液タンク 29から被処理体

(ウェハ 2)を処理する処理室 16に処理液 5を供給した後に、処理室 16から処理液タンク 29に処理液 5とともに処理室 16で発生した液泡を回収する。その後、処理液タンク 29から液泡を外部に排出するとともに、液泡を消泡し、消泡した処理液 5を処理液タンク 5の外部に排出する。

[0058] そのため、上記液処理装置 1では、液泡を処理液タンク 29から排出することができるとともに、消泡した処理液 5を処理液タンク 29に回収することによって生じる処理液タンク 29の内部の処理液 5の温度変動を防止することができ、被処理体 (ウェハ 2)を同一温度条件で良好に処理することができる。

[0059] 特に、上記液処理装置 1では、消泡機構に加熱手段 (加熱パイプ 59)を設け、加熱手段によって液泡を処理液 5の処理温度よりも高い温度に加熱することで消泡しているために、加熱により液泡を容易かつ確実にに消泡することができる。し力も、消泡した処理液 5を処理液タンク 29の外部に排出することで、処理液供給流路 42から供給する処理液 5の処理温度よりも高い温度で液泡を加熱して消泡しても処理液供給流路 42から供給され被処理体 (ウェハ 2)を処理するための処理液 5の温度変動がなく、被処理体を同一温度条件で良好に処理することができる。

[0060] また、上記液処理装置 1では、消泡する処理液 5よりも高い温度に加熱された他の処理流体が存在している場合に、その処理流体を用いて液泡を加熱すると、消泡のために別個加熱源を設ける必要がなぐ液処理装置 1の製造コストやランニングコストの増大を抑制することができるといった効果を得ることができる。

[0061] [第 2実施例]

上記液処理装置 1では、加熱により液泡を消泡させているために、そのまま消泡した処理液 5を処理液タンク 29に戻してしまうと、処理液タンク 29に貯留した処理液 5 の温度が上昇し、処理室 16に供給される処理液 5の温度が被処理体 (ウェハ 2)の処理に必要な処理温度よりも上昇してしまうことになる。そこで、第 2実施例に係る液処理装置 1では、図 3に示すように、消泡機構 55に処理液 5を貯留するための貯留タンク 63を接続する。また貯留タンク 63に処理液タンク 29を消泡処理液回収流路 62を介して接続し、この貯留タンク 63で消泡した処理液 5を所定温度に調温又は処理温度近傍まで降温して力も処理液タンク 29に戻すようにしている。なお、以下の説明では、第 1実施例に係る液処理装置 1と同様の機能を有するものには同一の符号を付して説明を省略している。

[0062] すなわち、第 2実施例に係る液処理装置 1では、排気トラップ 57のドレンパイプ 58 に替えて消泡処理液回収パイプ 64を排気トラップ 57の下端部に接続し、この消泡処理液回収パイプ 64に貯留タンク 63を接続し、この貯留タンク 63に吸引ポンプ 65を接続し、この吸引ポンプ 65に開閉弁 66を介して処理液タンク 29を接続している。これにより、貯留タンク 63と処理液タンク 29との間に消泡処理液回収流路 62を形成している。

[0063] 貯留タンク 63は、消泡機構 55で消泡した処理液 5を一時的に貯留するものであり、調温機構を設けて貯留した処理液 5を積極的に調温又は降温するように構成してもよぐまた、処理液 5を一定時間貯留しておくことで自然に降温するように構成してもよい。

[0064] なお、第 2実施例に係る液処理装置 1では、消泡処理液回収パイプ 64の中途部に三方コック 67を介設し、この三方コック 67にドレンパイプ 68を接続しており、三方コック 67で流路を切り換えることで、消泡した処理液 5をドレンノイブ 68から排出できる。

[0065] そして、この第 2実施例に係る液処理装置 1では、処理液タンク 29の内部の処理液 5が液面検出センサ 37のレベル以下になったことを検出した場合に、貯留タンク 63 に貯留した処理液 5を処理液タンク 29に供給し、それでも処理液 5が液面検出センサ 37のレベルに達しないときには供給源 33から処理液 5を処理液タンク 29に供給する。

[0066] このように、第 2実施例に係る液処理装置 1では、排水流路に処理液 5を貯留するための貯留タンク 29を接続するとともに、貯留した処理液 5を処理液タンク 29に回収するための消泡処理液回収流路 62を貯留タンク 63に接続している。このために、消泡した処理液 5を処理液タンク 29に回収して再利用することができるとともに、消泡した処理液 5を貯留タンク 63で降温させることができ、処理液タンク 29に貯留された処理液 5の温度が上昇してしまうのを防止することができる。

[0067] [第 3の実施例]

上記第 2実施例に係る液処理装置 1では、消泡機構 55に貯留タンク 63を接続し、この貯留タンク 63で消泡した処理液 5を所定温度に調温又は処理温度近傍まで降温して力も処理液タンク 29に戻すようにしている。第 3実施に係る液処理装置 1では、図 4に示すように、貯留タンク 63を設けずに、消泡機構 55から処理液タンク 29に処理液 5を直接回収し、回収後に処理液 5の調温を行うようにしている。なお、以下の説明では、第 1実施例又は第 2実施例に係る液処理装置 1と同様の機能を有するものには同一の符号を付して説明を省略している。

[0068] すなわち、第 3実施例に係る液処理装置 1では、第 1実施例に係る液処理装置 1の排気トラップ 57のドレンパイプ 58に替えて消泡処理液回収パイプ 64を排気トラップ 5 7の下端部に接続し、この消泡処理液回収ノィプ 64に吸引ポンプ 65を三方コック 67 を介して接続する。この吸引ポンプ 65に開閉弁 66を介して処理液タンク 29を接続する。これにより、消泡機構 55と処理液タンク 29とを直接的に接続する消泡処理液回収流路 62を形成している。

[0069] また、第 3実施例に係る液処理装置 1では、処理液タンク 29の内部の処理液 5の温度を調節するための調温手段として、加熱手段であるヒータ 47のほかに冷却手段であるコイル状の冷却パイプ 70を処理液タンク 29の内部に設けている。この調温手段は、冷却パイプ 70に冷却水を流すことによって処理液タンク 29の内部の処理液 5を常に冷却するとともに、開閉弁 49を開弁する一方、開閉弁 50を閉弁することによって、処理液 5を処理液タンク 29とヒータ 47との間で循環させる。設定温度よりも処理液 5 の温度が低い場合にはヒータ 47を駆動することによって処理液 5を加熱し、一方、設定温度よりも処理液 5の温度が高い場合にはヒータ 47の駆動を停止することによって処理液 5を冷却し、これにより、処理液 5を適温に調温する。

[0070] さらに、第 3実施例に係る液処理装置 1では、消泡機構 55の排気トラップ 57の底部に消泡した処理液 5の有無を検出するためのセンサ 71を設けている。

[0071] そして、第 3実施例に係る液処理装置 1では、処理液 5を貯留する処理液タンク 29 から被処理体 (ウェハ 2)を処理する処理室 16に処理液 5を供給した後に、処理室 16 力も処理液タンク 29に処理液 5とともに処理室 16で発生した液泡を回収し、その液泡を処理液タンク 29の外部で消泡する。その後、吸引ポンプ 65を駆動して消泡した処理液 5を処理液タンク 29に回収する。

[0072] 第 3実施例に係る液処理装置 1では、吸引ポンプ 45の駆動を停止して処理液タンク 29から処理室 16に処理液 5を供給するのを停止し、ヒータ 47の駆動を停止し、その後、開閉弁 66を開弁するとともに吸引ポンプ 65駆動し、消泡機構 55で消泡した処理液 5を処理液タンク 29に回収する。このように、ヒータ 47の駆動を停止した後に消泡機構 55で消泡するために加熱した処理液 5を処理液タンク 29に回収するようにしているために、ヒータ 47を駆動させることなく処理液タンク 29の内部の処理液 5を回収した処理液 5で加熱することができ、ヒータ 47の駆動に要する電力消費を低減することができる。

[0073] ここで、処理液タンク 29から処理室 16への処理液 5の供給を開始する前、或いは、消泡機構 55の排気トラップ 57の内部に消泡した処理液 5が無くなつたことをセンサ 7 1で検出するまでに、処理液 5の回収を停止する。

[0074] さらに、第 3実施例に係る液処理装置 1では、消泡機構 55で消泡した処理液 5を処理液タンク 29に回収した後に、開閉弁 49を開弁する。一方、開閉弁 50を閉弁することによって、処理液 5を処理液タンク 29とヒータ 47との間で循環させ、冷却パイプ 70 によって処理液タンク 29の内部処理液 5を常に冷却するとともにヒータ 47によって処理液 5を適温に加熱する。これにより、ヒータ 47と冷却パイプ 70とからなる調温手段で処理液タンク 29の内部の処理液 5の温度を調節する。なお、調温手段での処理液 5の調温は、上述したように消泡機構 55からの処理液 5の回収を行った後に開始してもよぐ消泡機構 55からの処理液 5の回収を行うために吸引ポンプ 65を駆動した後又は同時に開始するようにしてもょ、。

[0075] その後、第 3実施例に係る液処理装置 1では、消泡機構から処理液タンクへの回収を停止した後、適温になった処理液 5を処理液タンク 29から処理室 16へ供給するようにしている。

[0076] このように、第 3実施例に係る液処理装置 1では、処理液タンク 29から処理室 16への処理液 5の供給を停止している時に消泡した処理液 5を処理液タンク 29に回収し、その後、処理液タンク 29に設けた調温手段で処理液 5を調温することにしている。このため、消泡した処理液 5を処理液タンク 29に回収して再利用することができるとともに、回収された処理液 5をそのままの温度で処理室 16に供給してしまうことがなぐ処理液 5の温度変動による処理不良の発生を防止することができる。

Claims

請求の範囲

[1] 処理液で被処理体を処理する処理室と、

前記処理液を貯留する処理液タンクと、

これら処理室と処理液タンクとを接続する処理液供給流路および処理液回収流路とを備え、

前記処理液タンクの内部の液泡を排出するための液泡排出流路を前記処理液タンクに接続するとともに、前記液泡を消泡するための消泡機構を前記液泡排出流路に接続し、前記消泡機構に排水流路を接続したことを特徴とする液処理装置。

[2] 前記消泡機構は、前記液泡を加熱することによって消泡する消泡加熱手段を含むことを特徴とする請求項 1に記載の液処理装置。

[3] 前記処理液供給流路に、処理液を処理温度に加熱するためのヒータが接続され、前記消泡加熱手段は、前記ヒータよりも高、温度に液泡を加熱して液泡を消泡することを特徴とする請求項 2に記載の液処理装置。

[4] 前記消泡加熱手段は、前記処理液よりも高!ヽ温度に加熱された処理流体を用いて前記液泡を加熱する加熱手段からなることを特徴とする請求項 2に記載の液処理装置。

[5] 前記消泡機構は、内部の圧力が前記処理液タンクの内部の圧力よりも低くなるように構成されることを特徴とする請求項 1に記載の液処理装置。

[6] 前記消泡機構は、前記処理液タンクと前記液泡排出流路との接続部よりも低、位置に配置されて！ヽることを特徴とする請求項 1に記載の液処理装置。

[7] 前記消泡機構は、排気トラップを有し、この排気トラップに前記排水流路が接続され、かつ排気流路を排気トラップに接続したことを特徴とする請求項 1に記載の液処理装置。

[8] 前記消泡機構に接続された排水流路に、前記処理液を貯留する貯留タンクを接続し、貯留タンクに貯留した処理液を前記処理液タンクに回収するための消泡処理液回収流路を前記貯留タンクに接続したことを特徴とする請求項 1に記載の液処理装置。

[9] 前記消泡機構に接続された前記排液流路に、前記処理液タンクを接続し、前記処理液タンクに調温手段を設け、前記処理液タンクから前記処理室への前記処理液の供給を停止している時に前記消泡機構力前記処理液タンクに消泡した処理液を回収し、その後、前記処理液タンクに設けた調温手段で前記処理液を調温するよう〖こ構成したことを特徴とする請求項 1に記載の液処理装置。

[10] 処理液を貯留する処理液タンクから被処理体を処理する処理室に前記処理液を供給する工程と、

前記処理室から前記処理液と、前記処理室で発生した液泡を処理液タンク内に回収する工程と、

前記液泡を前記処理液タンクの外部の消泡機構で消泡し、消泡した前記処理液を前記消泡機構の外部に排出する工程と、を備えたことを特徴とする処理液の消泡方法。

[11] 処理液を貯留する処理液タンクから被処理体を処理する処理室に前記処理液を供給する工程と、

前記液泡を前記処理液タンクの外部の消泡機構で消泡し、消泡した処理液を降温させ、その後、前記処理液タンクに回収する工程と、を備えたことを特徴とする処理液の消泡方法。

[12] 処理液を貯留する処理液タンクから被処理体を処理する処理室に前記処理液を供給する工程と、

前記処理室から前記処理液と、前記処理室で発生した液泡を処理室タンク内に回収する工程と、

前記液泡を前記処理液タンクの外部の消泡機構で消泡する工程と、

前記処理液タンク力前記処理室への前記処理液の供給を停止している時に消泡した処理液を前記処理液タンクに回収し、その後、前記処理液タンクに設けた調温手段で前記処理液を調温する工程と、を備えたことを特徴とする処理液の消泡方法

[13] 前記消泡機構にぉ、て、液泡を前記処理液の処理温度よりも高、温度に加熱することによって消泡することを特徴とする請求項 9に記載の処理液の消泡方法。