JP4806615B2 - 排気装置及び排気方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態を示している。図1に示す熱CVD装置21Aは、例えばカーボンナノチューブ作製用の熱CVD装置として構成されている。この熱CVD装置21Aは、反応管22と、原料ガス導入ライン23と、反応室排気ライン25とで構成されている。
ところが、上述した従来の排気方法では、装置再稼動時において、反応室排気ラインに瞬間的に高濃度の原料ガスが大量に流入するため、真空ポンプから排気される原料ガス濃度も通常より高くなり、希釈ガスの導入ガス量で排気ガスを十分に希釈することが困難になる場合がある。
図2は、本発明の第2の実施形態を示している。なお、図において上述の第1の実施形態と対応する部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略するものとする。
図3は、本発明の第3の実施形態を示している。なお、図において上述の第1の実施形態と対応する部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略するものとする。
22a 反応室
23 原料ガス導入ライン
25,38,43 反応室排気ライン(排気装置)
26 メイン排気バルブ
27 真空ポンプ
28 希釈ガス導入部
31 ガス濃度センサ(測定手段)
34 排気流量調整部
35A,35B,35C 固定バルブ
36 切替制御部
40 可変コンダクタンスバルブ
41 制御部
44 フローメータ(測定手段)
Claims (5)
- 反応室に導入されたプロセスガスを排気する排気装置であって、
前記反応室を排気する真空ポンプと、
前記反応室と前記真空ポンプとの間に配置されたメイン排気バルブと、
前記真空ポンプで排気されたプロセスガスを希釈ガスで希釈する希釈ガス導入手段と、
前記反応室と前記真空ポンプとの間に前記メイン排気バルブと並列して設けられ、前記真空ポンプで排気されるプロセスガスの流量を調整可能な排気流量調整手段と、
前記プロセスガスの排気流量又は濃度を測定する測定手段とを備え、
前記測定手段の測定結果に基づいて、前記排気流量調整手段により前記プロセスガスの排気流量を調整する
ことを特徴とする排気装置。 - 前記排気流量調整手段は、
前記メイン排気バルブと並列して配置され、互いに異なるコンダクタンスを有する複数の固定バルブと、
前記複数の固定バルブを選択的に開弁する切替手段とからなる
ことを特徴とする請求項1に記載の排気装置。 - 前記排気流量調整手段は、
前記メイン排気バルブと並列して配置された可変コンダクタンスバルブと、
前記可変コンダクタンスバルブの開弁量を制御する制御手段とからなる
ことを特徴とする請求項1に記載の排気装置。 - 反応室に導入されたプロセスガスを真空ポンプで排気し、排気したプロセスガスを希釈ガスで希釈する排気方法であって、
運転開始時には希釈した前記プロセスガスのガス濃度に基づいて前記プロセスガスの排気流量を制限し、徐々に排気流量を大きくする
ことを特徴とする排気方法。 - 前記プロセスガスは、可燃性ガスである
ことを特徴とする請求項4に記載の排気方法。
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