JP4802221B2 - エリアイメージセンサ支持装置および同センサのアオリ調整方法 - Google Patents

エリアイメージセンサ支持装置および同センサのアオリ調整方法 Download PDF

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Description

本発明は、マシンビジョンシステムに適用される電子カメラのエリアイメージセンサ支持装置および同センサのアオリ調整方法に関する。
マシンビジョンシステムにおいては、CCDイメージセンサ、CMOSイメージセンサ等のエリアイメージセンサを用いた工業用電子撮像カメラが広く用いられている。この種、工業用電子撮像カメラは、使用用途によって解像度を含む各種の仕様が規定される。例えば画像認識処理においては画面の四隅を含めた画面上の全部位を対象に高解像度の鮮明な画像取得を要求されるものがある。この要求に応えるためには、エリアイメージセンサの撮像面をレンズ光軸に対して直交させるための精緻なアオリ調整技術が必要とされる。なお、エリアイメージセンサにおける撮像面と外装面は平行度に関して必ずしも一定ではなく、例えば数十マイクロメートル程度の傾きをもつものもある。
この種のアオリ調整技術として、従来では、撮像素子の撮像面に対する固定板の傾きを3次元測定して、固定板を傾け、撮像面と固定板を平行に設定した状態で、接着剤により撮像素子を固定板に接着するアオリ調整手段が存在する。
特開2007−259166号公報
上記した従来のアオリ調整手段は、撮像素子を、直接、接着剤を用いて固定板に接着固定して撮像面のアオリを調整する調整手段であることから、接着剤が固化するまでの時間帯に亘り撮像面と固定板を平行に保った状態を保持しておかなければならず、接着剤が固化するまでの間に上記状態に変化が生じると製品不良につながるという問題がある。このため、接着剤を用いたアオリ調整手段は、アオリ量(平行度)の許容範囲が比較的広い量産向けのデジタルスチルカメラには適用可能であっても、アオリ量の許容範囲が狭い工業用電子撮像カメラに適用した場合は、歩留まり率が低く、従って経済的ダメージが大きく、実用性に乏しいという問題がある。
このため、上記した工業用電子撮像カメラの製造においては、人手によるシムを用いた精緻なアオリ調整作業により、撮像面のアオリ量(平行度)を、例えば数μm〜十数μm程度以下の精緻な規定範囲内に留めている。このシムを用いたアオリ調整作業は、厚さを異にする複数種のシムを予め用意しておき、3次元測定器で撮像面の傾きを測定しながら、厚さの異なる複数種のシムを組み合わせ用いてレンズマウントのセンサ取付部とセンサとの間にシムを介挿し、この測定作業とシムの取付作業を繰り返し行うことにより、アオリ調整を行っている。
本発明は、シムを用いたアオリ調整作業を容易かつ迅速に行うことのできるエリアイメージセンサ支持装置、およびシムを用いたアオリ調整作業を支援するアオリ調整方法を提供することを目的とする。
本発明は、レンズマウントの光軸上の結像位置にエリアイメージセンサの撮像面を固定配置するエリアイメージセンサ支持装置であって、前記エリアイメージセンサを保持し、同センサの矩形状の撮像面の中心を基準位置として、前記基準位置から前記撮像面の各頂点までの距離の1.5倍以上の距離を存して前記各頂点の対角延長線上の4点の外郭位置にアオリ調整を行うシム取付部を設けたホルダと、前記ホルダの前記シム取付部に取り付けられ、前記撮像面の中心から前記撮像面の各頂点までの距離と、前記撮像面の中心から前記4点の外郭位置の前記シム取付部までの距離との比率を係数とし、前記レンズマウントのフランジ面に対する前記撮像面の各頂点の光軸方向の距離に前記係数を乗じた結果をもとに算定された厚さ有するアオリ調整用シムと、前記ホルダの前記シム取付部に取り付けられた前記アオリ調整用シムを挟み前記ホルダに取り付けるアオリ調整部材と、前記ホルダに保持された前記エリアイメージセンサを前記アオリ調整部材を介して前記レンズマウントに固定する固定手段とを具備したことを特徴とする。
このセンサ支持装置により、シムを用いた精緻なアオリ調整作業を容易かつ迅速に行うことができる。
また、本発明は、エリアイメージセンサを保持し、同センサの矩形状の撮像面の中心を基準位置として、前記基準位置から前記撮像面の各頂点までの距離の1.5倍以上の距離を存して前記各頂点の対角延長線上の4点の外郭位置にアオリ調整を行うシム取付部を設けたホルダと、前記ホルダの前記シム取付部に、前記撮像面の各頂点部位のアオリ調整のために選択的に取り付けられたアオリ調整用シムと、前記ホルダの前記シム取付部に取り付けられた前記アオリ調整用シムを挟み前記ホルダに取り付けるアオリ調整部材と、前記ホルダに保持された前記エリアイメージセンサを前記アオリ調整部材を介して前記レンズマウントに固定する固定手段とを備え、前記エリアイメージセンサの撮像面をレンズマウントの光軸上の結像位置に固定配置するため、前記シム取付部に取り付ける前記アオリ調整用シムのアオリを調整するアオリ調整方法であって、前記レンズマウントのフランジ面に対する前記撮像面の各頂点の前記光軸方向の距離を測定し、測定した距離をもとに前記フランジ面に対する前記撮像面の平行度を算出する測定ステップと、前記算出した平行度が規定度数を超えたことを判定する判定ステップと、前記規定度数を超えたとき、前記撮像面の中心から前記撮像面の各頂点までの距離と、前記撮像面の中心から前記4点の外郭位置の前記シム取付部までの距離との比率を係数とし、前記各頂点の光軸方向の距離に前記係数を乗じた結果をもとに前記アオリ調整用シムの厚さを算定し提示する調整指示ステップと、を具備したことを特徴とする。
このアオリ調整方法により、シムを用いたアオリ調整作業に対して、効率のよい支援が行え、同調整作業を容易かつ迅速に行うことができる。
本発明によれば、シムを用いたアオリ調整作業を容易かつ迅速に行うことができる。
以下図面を参照して本発明の実施形態を説明する。まず、図1乃至図3を参照して、本発明に係るマシンビジョンシステムに適用される電子カメラのエリアイメージセンサ支持装置、およびアオリ調整方法の概要を説明する。なお、この発明の実施形態では、アオリ調整の後に行われる、フランジバック調整、傾き角(θ)調整等について、その機構並びに方法の説明を省略する。エリアイメージセンサは、CCDイメージセンサ、CMOSイメージセンサのいずれであってもよい。
本発明の実施形態に係る、マシンビジョンシステムに適用される電子カメラのエリアイメージセンサ支持装置は、図1および図2に示すように、エリアイメージセンサ2を保持し、同センサ2の矩形状の撮像面2aの各頂点ap1,ap2,ap3,ap4からセンサ2の外方に一定距離離間した撮像面2aの対角延長線上の4点の外郭位置b1,b2,b3,b4それぞれに、アオリ調整を行うシム取付部3P(1),3P(2),3P(3),3P(4)を設けたホルダ3Aと、上記シム取付部3P(1),3P(2),3P(3),3P(4)に、撮像面2aの各頂点部位のアオリ調整で選択的に取り付けられたアオリ調整用のシム5と、上記ホルダ3Aをシム取付部3P(1),3P(2),3P(3),3P(4)に取り付けられたシム5を挟み上記レンズマウント1に取り付ける、上記ホルダ3Aと対をなすアオリ調整部材(アオリ調整用ホルダ)3Bと、上記ホルダ3Aに保持されたエリアイメージセンサ2をアオリ調整用ホルダ3Bを介してレンズマウント1に固定する固定手段7とを具備して、レンズマウント1の光軸上の結像位置にエリアイメージセンサ2の撮像面2aを固定配置する。
上記シム取付部3P(1),3P(2),3P(3),3P(4)は、撮像面2aの中心を基準位置に、各頂点ap1,ap2,ap3,ap4までの距離の1.5倍以上(例えば2,5倍)の距離を存して撮像面2aの対角延長線上の4点の外郭位置b1,b2,b3,b4に設けられている。
このように、撮像面2aの中心を基準位置に、各頂点ap1,ap2,ap3,ap4までの距離の1.5倍以上の距離を存して撮像面2aの対角延長線上の4点の外郭位置b1,b2,b3,b4にシム取付部3P(1),3P(2),3P(3),3P(4)を設けたセンサ支持機構により、エリアイメージセンサ2の撮像面2a近傍の外装面内でシム調整を行う構成に較べて、シムの厚さ調整によるアオリ調整を、より高い精度で容易かつ迅速に行うことができる。
本発明の実施形態に係るエリアイメージセンサのアオリ調整方法は、図2に示す、三次元光学測定器21および三次元調整ステージ22と制御処理装置(S−PC)23とを用いて実現される。なお、ここでは、ホルダ3Aおよびアオリ調整用ホルダ3Bを介して、エリアイメージセンサ2を撮像面2aをレンズ光軸上に固定配置したレンズマウント1を、単に、センサ取付済のレンズマウント1と呼称する。
三次元光学測定器21は、三次元調整ステージ22に保持された、センサ取付済のレンズマウント1に対して、撮像面2aの距離(Z方向の距離)を測定する。三次元調整ステージ22は、センサ取付済のレンズマウント1を保持し、制御処理装置(S−PC)23の制御の下に、レンズマウント1に取り付けられたエリアイメージセンサ2の撮像面2aを三次元光学測定器21に対して任意の計測位置に移動させる。なお、この実施形態では、エリアイメージセンサ2のアオリ調整のみを対象としていることから、三次元調整ステージ22の駆動範囲はX・Y方向(撮像面2aの面内位置制御)のみであり、図示するZ方向、θ方向の駆動は必要としない。
制御処理装置(S−PC)23は、例えばディスプレイ装置(DISP)を備えたパーソナルコンピュータにより実現され、シムを用いたアオリ調整作業を支援する処理を実行する。このアオリ調整作業を支援する処理の手順を図3に示している。
本発明の実施形態に係るエリアイメージセンサのアオリ調整方法は、矩形状の撮像面2aを有するエリアイメージセンサ2に対し、同センサ2の撮像面2aの各頂点ap1,ap2,ap3,ap4から一定距離離間した、撮像面2aの対角延長線上の4点の外郭位置b1,b2,b3,b4それぞれに、シム取付部3P(1),3P(2),3P(3),3P(4)を有して、同シム取付部に取り付けたシム5によりエリアイメージセンサ2の撮像面2aのアオリ調整を行うもので、レンズマウント1のフランジ面(図4に示す符号SS参照)に対する撮像面2aの各頂点ap1,ap2,ap3,ap4の光軸方向の距離(図2に示す符号Z参照)を測定し、測定した距離をもとにフランジ面(SS)に対する撮像面2aの平行度を算出する測定ステップ(図3ステップS1)と、算出した平行度が規定度数を超えたことを判定する判定ステップ(図3ステップS2)と、算出した平行度が規定度数を超えたことを判定したとき(図3ステップS2 No)、上記各頂点の測定距離に、撮像面2aとシム取付部3P(1),3P(2),3P(3),3P(4)との間の距離に従う係数を乗じ、当該係数を乗じた各頂点の距離の最大値と最小値の差をもとに、各シム取付部3P(1),3P(2),3P(3),3P(4)に取り付けるシム5の厚さを算定して、外部に対し、アオリ調整を指示するとともに、アオリ調整の対象となるシム取付部および同シム取付部に取り付けるシムの厚さを提示する調整指示ステップ(図3ステップS3〜S5)とを具備したことを特徴とする。
このように、本発明の実施形態に係るアオリ調整方法によれば、アオリ量(平行度)の測定結果に基づいて適正なシムの厚さが提示されることから、マシンビジョンシステムに適用される電子カメラのアオリ調整作業におけるシムの交換作業を低減若しくは回避でき、シムの取り付けによるアオリ調整を作業者の経験に因らず容易にかつ迅速に行うことができる。
上記した実施形態の具体的な構成例を図4乃至図8に示している。
図4および図5は上記図3のステップS1における測定処理を説明するための平面図および側面図である。なお、図5は、ホルダ3Aおよびアオリ調整用ホルダ3Bを省略して示している。また、ここでは説明を簡素にするため、頂点ap1−ap4(ap2−ap3)方向のみの傾きについて示している。
この測定処理では、三次元光学測定器21および三次元調整ステージ22により、レンズマウント1のレンズ取付面1aの開口1c周囲に設けられたフランジ面(SS)を基準面として、エリアイメージセンサ2の撮像面2aの各頂点ap1,ap2,ap3,ap4における基準面(SS)からの距離を測定する。ここで測定した各頂点ap1,ap2,ap3,ap4の基準面(SS)からの距離(4点)について最小値(di)と最大値(dj)を求め、その最大値と最小値からアオリ量(平行度:sl)を求める(図3ステップS1)。
この平行度(sl)が規定度数を超えたか否かを、例えば測定した最小値(di)と最大値(dj)の距離の差をもとに判定する(図3ステップS2)。ここで、平行度(sl)が規定度数を超えない場合(図3ステップS2 Yes)は、シムによるアオリ調整を必要としないものとして、上記測定を行ったエリアイメージセンサ2のアオリ調整作業を終了する。
また、平行度(sl)が規定度数を超えた場合(図3ステップS2 No)は、シムによるアオリ調整を必要とするものとして、その旨をディスプレイ装置(DISP)に表示するとともに、各頂点ap1,ap2,ap3,ap4の光軸方向の測定距離に、撮像面2aとシム取付部3P(1),3P(2),3P(3),3P(4)との間の距離に従う係数を乗じ、撮像面2aのアオリ量を拡大する。例えば、図6に示すように、頂点ap1とap3を結ぶ対角延長線、および頂点ap2とap4を結ぶ対角延長線に設けられたシム取付部3P(1),3P(2),3P(3),3P(4)の撮像面2a中心からの距離が、各頂点ap1,ap2,ap3,ap4の撮像面2a中心からの距離に対して、2,5倍であるとき、この距離差2.5を係数として、基準面(SS)に対する各頂点ap1,ap2,ap3,ap4の光軸方向の測定距離に係数(2.5)を乗じる(図3ステップS3)。そしてこの係数(2.5)を乗じた各頂点の距離の差をもとに、各シム取付部3P(1),3P(2),3P(3),3P(4)に取り付けるシム5の厚さをシム取付部個々に算定する。すなわち、撮像面2aの全方位に対して傾きがなくなるように、4点のシム取付部3P(1),3P(2),3P(3),3P(4)に取り付けるシム各々の厚さを個々に算定する。この場合、各頂点ap1,ap2,ap3,ap4の測定距離のうち、測定距離が最大値を示す頂点に対応したシム取付部に対しては、シムの厚さを零として算定する場合と、予め用意したシムのうちの最小厚のシムの厚さを算定値とし、残るシム取付部に対して最小厚のシムの厚さを加える(嵩上げする)場合とがあり、そのいずれかの算定方法が適用される(図3ステップS4)。測定距離が最大の点を基準とするときは他の3点のシム厚を多くする。測定距離が最小の点を基準とするときは他の3点のシム厚を少なくする。ここで算定した4点のシム取付部3P(1),3P(2),3P(3),3P(4)に取り付けるシム各々の厚さをシム取付部3P(1),3P(2),3P(3),3P(4)に対応付け、アオリ調整指示情報として、ディスプレイ装置(DISP)に表示する。
このディスプレイ装置(DISP)に表示されたアオリ調整指示情報の内容に基づいて、アオリ調整の作業者は、予め用意された、厚さをそれぞれ異にする複数種のシム5の中から、各シム取付部3P(1),3P(2),3P(3),3P(4)に取り付ける1枚若しくは複数枚のシム5を選定し、このシム5を取付部3P(1),3P(2),3P(3),3P(4)に取り付ける。このシム取付部3P(1),3P(2),3P(3),3P(4)は、図6に示すように、係合ピン3a,3bと、ホルダ取付孔3cを有し、この係合ピン3a,3bに、シム5の取付孔が係合して、シム5がシム取付部3P(1),3P(2),3P(3),3P(4)に取り付けられる。シム5は、図6に示すように、略二等辺三角形状をなし、底辺を撮像面2aの頂点方向に向けた状態で、上記係合ピン3a,3bに係合してシム取付部3P(1),3P(2),3P(3),3P(4)に取り付けられる。このシム5を挟んで、図7に示すように、ホルダ3Aに、アオリ調整用ホルダ3Bを取り付ける。この対をなすホルダ3A,3Bの取り付けは、ホルダ3Aの背面から、シム取付部3P(1),3P(2),3P(3),3P(4)のホルダ取付孔3cに、止めねじ6を嵌挿し、止めねじ6をホルダ3Aと対をなすアオリ調整用ホルダ3Bに螺合することにより、ホルダ3Aとアオリ調整用ホルダ3Bがシム5を挟んで螺着され、上記対をなすホルダ3A,3Bがシム5を挟んで一体に固定される。またはアオリ調整用ホルダ3Bの前面から止めねじ6によりホルダ3Aをねじ止めすることにより、ホルダ3A,3B相互がシム5を挟んで一体に固定される。
この一体化されたホルダ3A,3Bをレンズマウント1に取り付けることにより、ホルダ3Aに保持されたエリアイメージセンサ2がレンズマウント1に固定される。ここでは固定手段に止めねじ7を用い、止めねじ7をホルダ3Aの背面から固定用取り付け孔3eに嵌挿し、レンズマウント1に螺合することにより、ホルダ3Aがレンズマウント1に螺着され、ホルダ3Aに保持されたエリアイメージセンサ2がレンズマウント1に固定される。
この取付状態例を図8に示している。上記ホルダ3Aのシム取付部3P(1),3P(2),3P(3),3P(4)に介挿されたシム5,5,…により、図8に示すように、レンズマウント1の基準面となるフランジ面(SS)に対して、撮像面2aの全方位に傾きがない(フランジ面(SS)に対して撮像面2aが平行となる)、エリアイメージセンサ2が傾いた状態で、エリアイメージセンサ2がレンズマウント1に固定される。
上記した実施形態のアオリ調整機構により、エリアイメージセンサ2を、撮像面2aの全方位に傾きがない、フランジ面(SS)に対して撮像面2aが平行となる状態でレンズマウント1に取り付けることができ、かつ、そのアオリ調整作業を作業者の経験に因らず容易にかつ迅速に行うことができる。
なお、この発明は、上述した実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階では本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成要素の変形、変更が可能である。例えば、上記した実施形態では、シム取付部3P(1),3P(2),3P(3),3P(4)を、撮像面2aの中心を基準位置として、各頂点ap1,ap2,ap3,ap4までの距離の2.5倍、対角延長線上に離間した、エリアイメージセンサ2の外郭位置に設けたが、これに限らず、マシンビジョンシステムに適用される電子カメラにおけるカメラ筐体の大きさ等に応じて適宜設定すればよい。
本発明の実施形態に係るエリアイメージセンサ支持装置の構成を示す平面図。 上記実施形態に係るエリアイメージセンサ支持装置の構成要素およびアオリ調整方法を実現する構成要素を示す図。 上記実施形態に係るアオリ調整方法の処理手順を示すフローチャート。 上記実施形態に係るエリアイメージセンサ支持装置およびアオリ調整方法を説明するための図。 上記実施形態に係るエリアイメージセンサ支持装置およびアオリ調整方法を説明するための図。 上記実施形態に係るエリアイメージセンサ支持装置およびアオリ調整方法を説明するための図。 上記実施形態に係るエリアイメージセンサ支持装置およびアオリ調整方法を説明するための図。 上記実施形態に係るエリアイメージセンサ支持装置およびアオリ調整方法を説明するための図。
符号の説明
1…レンズマウント、SS…基準面(フランジ面)、2…エリアイメージセンサ、2a…撮像面、ap1,ap2,ap3,ap4…頂点、3A…ホルダ、3P(1),3P(2),3P(3),3P(4)…シム取付部、3B…アオリ調整部材(アオリ調整用ホルダ)、5…シム、6…止めねじ、7…固定手段(止めねじ)、21…三次元光学測定器、22…三次元調整ステージ、23…制御処理装置(S−PC)。

Claims (2)

  1. レンズマウントの光軸上の結像位置にエリアイメージセンサの撮像面を固定配置するエリアイメージセンサ支持装置であって、
    前記エリアイメージセンサを保持し、同センサの矩形状の撮像面の中心を基準位置として、前記基準位置から前記撮像面の各頂点までの距離の1.5倍以上の距離を存して前記各頂点の対角延長線上の4点の外郭位置にアオリ調整を行うシム取付部を設けたホルダと、
    前記ホルダの前記シム取付部に取り付けられ、前記撮像面の中心から前記撮像面の各頂点までの距離と、前記撮像面の中心から前記4点の外郭位置の前記シム取付部までの距離との比率を係数とし、前記レンズマウントのフランジ面に対する前記撮像面の各頂点の光軸方向の距離に前記係数を乗じた結果をもとに算定された厚さ有するアオリ調整用シムと、
    前記ホルダの前記シム取付部に取り付けられた前記アオリ調整用シムを挟み前記ホルダに取り付けるアオリ調整部材と、
    前記ホルダに保持された前記エリアイメージセンサを前記アオリ調整部材を介して前記レンズマウントに固定する固定手段と
    を具備したことを特徴とするエリアイメージセンサ支持装置。
  2. エリアイメージセンサを保持し、同センサの矩形状の撮像面の中心を基準位置として、前記基準位置から前記撮像面の各頂点までの距離の1.5倍以上の距離を存して前記各頂点の対角延長線上の4点の外郭位置にアオリ調整を行うシム取付部を設けたホルダと、
    前記ホルダの前記シム取付部に、前記撮像面の各頂点部位のアオリ調整のために選択的に取り付けられたアオリ調整用シムと、
    前記ホルダの前記シム取付部に取り付けられた前記アオリ調整用シムを挟み前記ホルダに取り付けるアオリ調整部材と、
    前記ホルダに保持された前記エリアイメージセンサを前記アオリ調整部材を介して前記レンズマウントに固定する固定手段と
    を備え、
    前記エリアイメージセンサの撮像面をレンズマウントの光軸上の結像位置に固定配置するため、前記シム取付部に取り付ける前記アオリ調整用シムのアオリを調整するアオリ調整方法であって、
    前記レンズマウントのフランジ面に対する前記撮像面の各頂点の前記光軸方向の距離を測定し、測定した距離をもとに前記フランジ面に対する前記撮像面の平行度を算出する測定ステップと、
    前記算出した平行度が規定度数を超えたことを判定する判定ステップと、
    前記規定度数を超えたとき、前記撮像面の中心から前記撮像面の各頂点までの距離と、前記撮像面の中心から前記4点の外郭位置の前記シム取付部までの距離との比率を係数とし、前記各頂点の光軸方向の距離に前記係数を乗じた結果をもとに前記アオリ調整用シムの厚さを算定し提示する調整指示ステップと、
    を具備したことを特徴とするエリアイメージセンサのアオリ調整方法。
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5669482B2 (ja) * 2010-08-24 2015-02-12 富士機械製造株式会社 カメラ装置の撮像面調整装置
JP6199014B2 (ja) * 2012-07-26 2017-09-20 株式会社ザクティ レンズユニット及びこれを具えた撮像装置
JP2014026091A (ja) * 2012-07-26 2014-02-06 Xacti Corp レンズユニットのアオリ調整方法
JP6062196B2 (ja) * 2012-09-27 2017-01-18 株式会社ザクティ レンズユニット及びこれを具えた撮像装置
US10293441B2 (en) * 2013-12-19 2019-05-21 Isolution Co., Ltd. Apparatus and method for aligning optical axes of lenses and assembling camera module
JP7130438B2 (ja) * 2018-05-30 2022-09-05 キヤノン株式会社 撮像装置、その制御方法、及びプログラム

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08298675A (ja) * 1995-04-25 1996-11-12 Sony Corp ビデオカメラのフランジバック距離測定装置
JP3728620B2 (ja) * 2000-02-04 2005-12-21 カシオ計算機株式会社 撮像素子の傾き調整装置
JP2005277628A (ja) * 2004-03-24 2005-10-06 Konica Minolta Photo Imaging Inc 撮像素子調整機構、デジタルカメラ及び撮像素子調整方法
JP2006203706A (ja) * 2005-01-21 2006-08-03 Olympus Imaging Corp 撮像素子取付け構造、板材取付け構造および板材取付け方法
JP2007184684A (ja) * 2006-01-04 2007-07-19 Eastman Kodak Co 固体撮像素子パッケージ及びカメラモジュール並びにあおり調整方法
JP2007259166A (ja) * 2006-03-24 2007-10-04 Sanyo Electric Co Ltd 撮像素子のアオリ調整方法及び該方法で調整された撮像素子を有するカメラ機器

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