JP4801996B2 - 試料移動機構及び荷電粒子ビーム描画装置 - Google Patents
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Description
可変成形型電子線描画装置(EB(Electron beam)描画装置)における第1のアパーチャ410には、電子線330を成形するための矩形例えば長方形の開口411が形成されている。また、第2のアパーチャ420には、第1のアパーチャ410の開口411を通過した電子線330を所望の矩形形状に成形するための可変成形開口421が形成されている。荷電粒子ソース430から照射され、第1のアパーチャ410の開口411を通過した電子線330は、偏向器により偏向され、第2のアパーチャ420の可変成形開口421の一部を通過して、所定の一方向(例えば、X方向とする)に連続的に移動するステージ上に搭載された試料340に照射される。すなわち、第1のアパーチャ410の開口411と第2のアパーチャ420の可変成形開口421との両方を通過できる矩形形状が、X方向に連続的に移動するステージ上に搭載された試料340の描画領域に描画される。第1のアパーチャ410の開口411と第2のアパーチャ420の可変成形開口421との両方を通過させ、任意形状を作成する方式を可変成形方式という。
ここで、Xステージ及びYステージから構成されるステージに対し、XY方向に移動する際に各ステージのガイドウェイの加工精度やステージ移動による重量バランスの変化等からプリロード変動等が生じ、被処理物固定具とミラーとの間の距離に誤差が生じるため予めステージを移動させた各点で発生する被処理物固定具とミラーとの間の相対変位量を測定しておくとする技術が文献に開示されている(例えば、特許文献1参照)。また、クロスローラガイドを用いてXステージ及びYステージを移動させる機構において、ステージを移動させた場合のピッチング誤差を低減させるとする技術が文献に開示されている(例えば、特許文献2参照)。
試料を水平方向に加速移動させる試料移動機構であって、
水平方向に加速移動する移動部と、
移動部上に配置され、略重心高さ位置で移動部に支持された板部と、
板部の略重心高さ位置に自己の重心高さ位置が配置されるように板部に接続された、レーザー測長用のレーザーを反射するミラー部と、
を備えたことを特徴する。
試料を支持する試料支持部と、
試料支持部の下面で試料支持部に接続された板部と、
板部に接続された、レーザー測長用のレーザーを反射するミラー部と、
板部の下面で前記板部を支持し、水平方向に加速移動する移動部と、
を備えた試料移動機構であって、
試料支持部の下面から試料の重心位置までの高さと試料の質量と移動部が加速移動する場合の加速度との積を第1の弾性係数で叙した第1の値と、板部の下面からミラー部におけるレーザーの反射位置までの高さとミラー部の質量と移動部が加速移動する場合の加速度との積を第2の弾性係数で叙した第2の値とが一致するように、試料支持部とミラー部と板部とを形成することを特徴する。
試料を支持する試料支持部と、
試料支持部の下面で試料支持部に接続された板部と、
板部に接続された、レーザー測長用のレーザーを反射するミラー部と、
板部の下面で記板部を支持し、水平方向に加速移動する移動部と、
移動部が加速移動する場合にミラー部から受ける荷重による板部のひずみ量を測定するひずみ量測定部と、
を備えたことを特徴する。
試料を載置して、水平方向に加速移動するステージと、
レーザーを用いてステージの位置を測長するレーザー測長機と、
前記ステージに配置され、前記レーザーを反射するミラー部と、
試料に荷電粒子ビームを照射する照射部と、
前記レーザー測長機により測長された前記ステージの位置の変位量を時間で微分することでステージの速度を演算し、演算された前記ステージの速度をさらに時間で微分することでステージの加速度を演算する演算部と、
前記ステージが可変速で連続移動している間に、前記荷電粒子ビームを偏向する偏向器と、
前記演算部により演算された加速度に基づいて、前記ステージが可変速で連続移動している間における前記偏向器による前記荷電粒子ビームを偏向させる位置を制御する偏向制御部と、
を備えたことを特徴する。
上述したステージに配置され、レーザーを反射するミラー部と、
演算部により演算された加速度に基づいて、偏向器による荷電粒子ビームを偏向させる位置を制御する偏向制御部と、
を備えたことを特徴する。
図1は、実施の形態1における描画装置の構成を示す概念図である。
図1において、荷電粒子ビーム描画装置の一例である描画装置100は、照射部の一例となる描画部150を構成する電子鏡筒102、描画室103、XYステージ105、電子銃201、照明レンズ202、第1のアパーチャ203、投影レンズ204、偏向器205、第2のアパーチャ206、対物レンズ207、偏向器208、支持ピン222、台座212、反射ミラー214、参照ミラー216、支柱232、駆動部106を備え、制御部160として、描画制御回路110、偏向制御部の一例となる偏向制御回路112、ステージ駆動回路114、CPU120、メモリ122、レーザー干渉計132、レーザー干渉計134を備えている。コンピュータとなるCPU120には、描画制御回路110、偏向制御回路112、ステージ駆動回路114、メモリ122、レーザー干渉計132、レーザー干渉計134が図示していないバスを介して接続されている。描画制御回路110、偏向制御回路112、ステージ駆動回路114は、CPU120から出力される制御信号により制御される。また、CPU120で演算される入力データ或いは出力データ等はメモリ122に記憶される。
そして、電子鏡筒102内には、電子銃201、照明レンズ202、第1のアパーチャ203、投影レンズ204、偏向器205、第2のアパーチャ206、対物レンズ207、偏向器208が配置されている。描画室103内には、試料移動機構170が配置されている。試料移動機構170は、上述したXYステージ105、台座212、反射ミラー214、参照ミラー216、支持ピン222、支柱232を有している。図1では、本実施の形態1を説明する上で必要な構成部分以外については記載を省略している。描画装置100にとって、通常、必要なその他の構成が含まれることは言うまでもない。
試料移動機構170では、基台238上にXYステージ105が配置される。XYステージ105は、Xステージ234とYステージ236を有していて、基台238上にクロスローラー等のスライド機構により接続されたYステージ236がY方向に移動自在に配置される。そして、Yステージ236上に、Yステージ236と同様、クロスローラー等のスライド機構により接続されたXステージ234がX方向に移動自在に配置される。そして、Xステージ234上は、複数の支柱232が配置され、複数の支柱232に板部の一例となる台座212が接続されている。かかるXYステージ105と支柱232とが移動部107として移動することにより台座212が水平方向となるXY方向に移動させられる。また、台座212がより高精度な平行度を保つために台座212は3本の支柱232により支持固定されると好適である。
図3において、台座212の4隅端部のうち、直交する2つの端部にX方向の移動を測長するための反射ミラー214aとY方向の移動を測長するための反射ミラー214bとが形成されている。ここでは、反射ミラー214aと反射ミラー214bとも台座212に一体に形成されている。但し、一体でなくても構わない。例えば、反射ミラー214aと反射ミラー214bとをそれぞれ台座212にネジ等で固定されていても構わない。ここでは、反射ミラー214aと反射ミラー214bとのそれぞれの重心高さ位置が台座212の重心高さ位置に一致するように形成されていればよい。
図4では、XYステージ105及びその下部は省略している。Xステージ234上は、複数の支柱332が配置され、複数の支柱332に台座312が接続されている。かかるXYステージ105と支柱332とが移動部107として移動することにより台座312が水平方向となるXY方向に移動させられる。
図5では、図4と同様、XYステージ105及びその下部は省略している。上述したように、実施の形態1では、反射ミラー214の重心高さ位置Aと台座212の重心高さ位置Bと支柱232の接続位置Cとが同じ高さ位置になるように構成されている。そして、図5に示す試料移動機構を加速度Gで水平方向に加速移動させると、力点となる接続位置Cと反射ミラー214の重心高さ位置Aとが同じ高さ位置であるため反射ミラー214にモーメントが働かず、反射ミラー214のレーザー照射位置における変形量Δxを無くす或いは小さくすることができる。同時に、力点となる接続位置Cと台座212の重心高さ位置Bとが同じ高さ位置であるため台座212にモーメントが働かず、台座212自体の変形量も無くす或いは小さくすることができる。よって、反射ミラー214と台座212との変形が最小限に抑えられるので、試料101と反射ミラー214との相対距離が変化せず、或いは微量で済ますことができる。その結果、加速度Gがかかる移動状況においても高精度な位置検出を行なうことができる。よって、所望する位置に描画することができる。
図6は、実施の形態2における試料移動機構の一部を示す概念図である。
実施の形態2において、描画装置100における図6に示す構成以外は、実施の形態1と構成および動作が同様である。よって図6に示す構成以外の説明を省略する。また、図6では、台座312の一端に反射ミラー314が一体に形成されているが、実施の形態1と同様、台座312の4隅端部のうち、図示していないが、直交する2つの端部にX方向の移動を測長するための反射ミラー314aとY方向の移動を測長するための反射ミラー314bとが形成されている。また、反射ミラー314aと反射ミラー314bとも台座312に一体に形成されている。但し、一体でなくても構わない。例えば、反射ミラー314aと反射ミラー314bとをそれぞれ台座312にネジ等で固定されていても構わない。
移動部107が水平方向に加速度Gで加速移動すると、試料101の質量mによって支持ピン222が弾性変形を生じ、加速方向とは反対方向に変位する。同様に、反射ミラー314の質量Mによって台座312が弾性変形を生じ、反射ミラー314におけるレーザーの反射位置において加速方向とは反対方向に変位する。
そして、試料101の変位量をΔx1、反射ミラー314におけるレーザーの反射位置の変位量をΔx2とすれば、Δx1=m・G・h/EA、Δx2=M・G・H/EB・(H’/H)で示すことができるので、Δx1=Δx2となるように、形状、材料等を選定することにより加速度による試料101と反射ミラー314とに変位が生じたとしても相対的な位置関係を維持することができる。その結果、誤差は相殺され高精度な位置を把握することができる。よって、描画装置100において認識される試料101の位置ずれを低減することができる。
図8は、実施の形態3における描画装置の構成を示す概念図である。
図8において、荷電粒子ビーム描画装置の一例である描画装置100は、照射部の一例となる描画部150を構成する電子鏡筒102、描画室103、XYステージ105、電子銃201、照明レンズ202、第1のアパーチャ203、投影レンズ204、偏向器205、第2のアパーチャ206、対物レンズ207、偏向器208、支持ピン222、台座312、反射ミラー314、参照ミラー216、支柱332、駆動部106、ひずみ量測定部の一例となるひずみゲージ242及びひずみゲージ244を備え、制御部160として、描画制御回路110、偏向制御部の一例となる偏向制御回路112、ステージ駆動回路114、CPU120、メモリ122、レーザー干渉計132、レーザー干渉計134、アンプ142を備えている。コンピュータとなるCPU120には、描画制御回路110、偏向制御回路112、ステージ駆動回路114、メモリ122、レーザー干渉計132、レーザー干渉計134、アンプ142が図示していないバスを介して接続されている。描画制御回路110、偏向制御回路112、ステージ駆動回路114は、CPU120から出力される制御信号により制御される。また、CPU120で演算される入力データ或いは出力データ等はメモリ122に記憶される。
移動部107が水平方向に加速度Gで加速移動すると、反射ミラー314の質量Mによって台座312が弾性変形を生じ、反射ミラー314が加速方向とは反対方向に変位する。そして、台座312のうち、変形しない位置(ひずまない位置)に基準となるひずみゲージ242を設置し、変形する位置(ひずむ位置)にひずみゲージ244を設置することで、その相対量から加速度Gがかかった反射ミラー314から受ける荷重による台座312のひずみ量を測定することができる。ひずみゲージ242とひずみゲージ244は、台座312の上面に設置すると好適である。但し、これに限るものではなく、例えば、台座312の下面に設置してもよい。加速度Gに伴う反射ミラー314による台座312のひずみ量が計測できる位置であれば構わない。
試料移動機構を加速度Gで水平方向に加速移動させると、特に、反射ミラー314が加速度Gにより試料101側に変形してレーザー照射位置がΔxずれてしまうことは上述した通りである。そして、試料101の変位量に比べ、反射ミラー314の変位量が大きいため、試料101と反射ミラー314との相対距離に誤差が生じ、レーザー測長され、CPU120で認識される試料101の位置にずれが生じてしまう。その結果、所望する位置に描画することができなくなってしまう。実施の形態3では、CPU120においてアンプ142から入力された台座312のひずみ量から反射ミラー314の変位量を演算することにより、試料101と反射ミラー314との相対距離を補正することができる。その結果、誤差は補正され高精度な位置を把握することができる。よって、描画装置100において認識される試料101の位置ずれを低減することができる。
図10は、実施の形態4における描画装置の構成を示す概念図である。
図10において、荷電粒子ビーム描画装置の一例である描画装置100は、照射部の一例となる描画部150を構成する電子鏡筒102、描画室103、XYステージ105、電子銃201、照明レンズ202、第1のアパーチャ203、投影レンズ204、偏向器205、第2のアパーチャ206、対物レンズ207、偏向器208、支持ピン222、台座312、反射ミラー314、参照ミラー216、支柱332、駆動部106を備え、制御部160として、描画制御回路110、偏向制御部の一例となる偏向制御回路112、ステージ駆動回路114、CPU120、メモリ122、レーザー干渉計132、レーザー干渉計134を備えている。コンピュータとなるCPU120には、描画制御回路110、偏向制御回路112、ステージ駆動回路114、メモリ122、レーザー干渉計132、レーザー干渉計134が図示していないバスを介して接続されている。描画制御回路110、偏向制御回路112、ステージ駆動回路114は、CPU120から出力される制御信号により制御される。また、CPU120で演算される入力データ或いは出力データ等はメモリ122に記憶される。そして、CPU120内には、微分演算部124といった機能を有している。
試料移動機構を加速度Gで水平方向に加速移動させると、特に、反射ミラー314が加速度Gにより試料101側に変形してレーザー照射位置がΔxずれてしまうことは上述した通りである。そして、試料101の変位量に比べ、反射ミラー314の変位量が大きいため、試料101と反射ミラー314との相対距離に誤差が生じ、レーザー測長され、CPU120で認識される試料101の位置にずれが生じてしまう。その結果、所望する位置に描画することができなくなってしまう。実施の形態4では、CPU120においてレーザー干渉計132とレーザー干渉計134とから入力されたステージの位置となる反射ミラー314の位置の変位量Xを微分演算部124において時間tで微分することで試料移動機構の速度vを計測する。そして、所定の係数k1と速度vの積に基づいて、偏向器208が偏向すべき位置を補正する。
具体的には、微分演算部124により加速度gが演算されると、CPU120は、所定の係数k2と加速度gの積に基づいて補正された信号を偏向制御回路112に出力する。そして、偏向制御回路112は、かかる信号に沿った偏向信号を出力し、図示していない偏向アンプから偏向電圧が偏向器208に印加され偏向器208による電子ビーム200を偏向させる位置を制御する。そして、偏向器208は、電子ビーム200を偏向させることで、描画装置100では所望する位置に描画することができる。
図12は、実施の形態5における試料移動機構の一部を示す概念図である。
実施の形態5において、描画装置100における図12に示す構成以外は、実施の形態1と構成および動作が同様である。よって図12に示す構成以外の説明を省略する。また、図12では、台座342の側面が反射ミラーとなっている。また、台座342の4つの側面のうち、図示していないが、直交する2つの側面の一方がX方向の移動を測長するための反射ミラー、他方がY方向の移動を測長するための反射ミラーを兼ねている。また、実施の形態5では、台座342の側面において、高さ位置が異なる2つの位置にレーザーを照射する。そして、図1では、参照ミラー用のレーザー干渉計を除いて、反射ミラーにレーザーを照射し、また受光することで台座342の側面の反射位置を測長するレーザー干渉計は、1つ(XY方向にそれぞれ1つ)しか記載していないが、ここでは、図示していないが、高さ位置が異なる2つの位置それぞれのレーザーを照射し、また受光することで台座342の側面のそれぞれの反射位置を測長する2つのレーザー干渉計を描画装置100は備えている。すなわち、参照ミラー用のレーザー干渉計を除いて、XY方向にそれぞれ2つずつ備えている。
101,340 試料
102 電子鏡筒
103 描画室
105 XYステージ
106 駆動部
107 移動部
110 描画制御回路
112 偏向制御回路
114 ステージ駆動回路
120 CPU
122 メモリ
124 微分演算部
132,134 レーザー干渉計
142 アンプ
150 描画部
160 制御部
170 試料移動機構
200 電子ビーム
201 電子銃
202 照明レンズ
203,410 第1のアパーチャ
204 投影レンズ
205,208 偏向器
206,420 第2のアパーチャ
207 対物レンズ
212,312,342 台座
214,314 反射ミラー
216 参照ミラー
222 支持ピン
232,332 支柱
234 Xステージ
236 Yステージ
238 基台
242,244 ひずみゲージ
330 電子線
411 開口
421 可変成形開口
430 荷電粒子ソース
Claims (4)
- 試料を水平方向に加速移動させる試料移動機構であって、
水平方向に加速移動する移動部と、
前記移動部上に配置され、略重心高さ位置で前記移動部に支持された板部と、
前記板部の略重心高さ位置に自己の重心高さ位置が配置されるように前記板部に接続された、レーザー測長用のレーザーを反射するミラー部と、
を備えたことを特徴する試料移動機構。 - 試料を支持する試料支持部と、
前記試料支持部の下面で前記試料支持部に接続された板部と、
前記板部に接続された、レーザー測長用のレーザーを反射するミラー部、
前記板部の下面で前記板部を支持し、水平方向に加速移動する移動部と、
を備えた試料移動機構であって、
前記試料支持部の下面から前記試料の重心位置までの高さと前記試料の質量と前記移動部が加速移動する場合の加速度との積を第1の弾性係数で叙した第1の値と、前記板部の下面から前記ミラー部における前記レーザーの反射位置までの高さと前記ミラー部の質量と前記移動部が加速移動する場合の加速度との積を第2の弾性係数で叙した第2の値とが一致するように、前記試料支持部と前記ミラー部と前記板部とを形成することを特徴する試料移動機構。 - 試料を支持する試料支持部と、
前記試料支持部の下面で前記試料支持部に接続された板部と、
前記板部に接続された、レーザー測長用のレーザーを反射するミラー部と、
前記板部の下面で前記板部を支持し、水平方向に加速移動する移動部と、
前記移動部が加速移動する場合に前記ミラー部から受ける荷重による前記板部のひずみ量を測定するひずみ量測定部と、
を備えたことを特徴する試料移動機構。 - 試料を載置して、水平方向に加速移動するステージと、
レーザーを用いて前記ステージの位置を測長するレーザー測長機と、
前記ステージに配置され、前記レーザーを反射するミラー部と、
前記試料に荷電粒子ビームを照射する照射部と、
前記レーザー測長機により測長された前記ステージの位置の変位量を時間で微分することでステージの速度を演算し、演算された前記ステージの速度をさらに時間で微分することでステージの加速度を演算する演算部と、
前記ステージが可変速で連続移動している間に、前記荷電粒子ビームを偏向する偏向器と、
前記演算部により演算された加速度に基づいて、前記ステージが可変速で連続移動している間における前記偏向器による前記荷電粒子ビームを偏向させる位置を制御する偏向制御部と、
を備えたことを特徴する荷電粒子ビーム描画装置。
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US5684360A (en) * | 1995-07-10 | 1997-11-04 | Intevac, Inc. | Electron sources utilizing negative electron affinity photocathodes with ultra-small emission areas |
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US5990476A (en) * | 1996-12-17 | 1999-11-23 | Physical Electronics Inc | Control of surface potential of insulating specimens in surface analysis |
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US6042738A (en) * | 1997-04-16 | 2000-03-28 | Micrion Corporation | Pattern film repair using a focused particle beam system |
US6538254B1 (en) * | 1997-07-22 | 2003-03-25 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for sample fabrication |
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