JP4785429B2 - 無機材料ナノ構造体の加工方法および同加工装置 - Google Patents
無機材料ナノ構造体の加工方法および同加工装置 Download PDFInfo
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Description
本実施形態の無機材料ナノ構造体加工装置は、基本的に、員環配列構造を有する無機材料ナノ構造体が分散した溶液を収容または流動させる狭隘な空間を持つ処理容器と、この処理容器内の狭隘な空間を形成する少なくとも一の面とこれに対向する他の面との少なくともいずれか一方を他方に向って高周波振動させる高周波振動手段とを備えている。
本実施形態では、上述の第1実施形態によりカーボンナノチューブ2に微細な孔102を開口させ、またはカーボンナノチューブ2を破断させた後に、カーボンナノチューブ2を溶液3から分離し、その分離したカーボンナノチューブ2を加熱処理等することにより、開口または破断部分の形状を安定化させる安定化処理を施す無機材料ナノ構造体加工方法および同加工装置について説明する。
以上の実施形態では、無機材料ナノ構造体として、カーボンナノチューブ2を適用したが、本実施形態では、種々の無機材料ナノ構造体を適用することができる。
本実施形態では、第2実施形態において熱処理された熱処理済みナノチューブ2cに関し、冷却後の利用形態について説明する。
2 カーボンナノチューブ
3 溶液
4 原料混合タンク
5 攪拌装置
6 混合液
7 混合液供給配管
8 混合液供給用ポンプ
9 流量調節弁
10 処理容器
11 振動体
12 反射体
13 混合液導入口(ノズル)
14 液排出口
15 液排出管
16 流量調整弁
17 収集タンク
18 振動軸
19 高周波振動発生装置
20 高周波コイル
21 振動子
22 アーム
23 静止部
24 高周波電源装置
25 電源ケーブル
31 送給管
32 送給ポンプ
33 ナノチューブ分離装置
34 混合液リターン配管
35 ナノチューブ送給パイプ
36 混合液リターンポンプ
37 ナノチューブ処理タンク
38 中和液
39 ナノチューブ洗浄液
40 切断ナノチューブ送給パイプ
41 真空処理タンク
43 真空ブロア
44 ナノチューブ取出し管
45 ナノチューブ貯留タンク
46 送給配管
47 送給ポンプ
48 流量調節弁
49 熱処理炉
50 ヒータ
51 加熱用配線
52 ナノチューブ排出管
53 排出用弁
54 タンク
100 キャビテーション泡
102 孔
101 破断部
Claims (11)
- 側壁部ならびに底壁部を有する容器の前記底壁部の中心位置に前記底壁部に対向して水平に振動体が配置され、前記振動体に対向する前記底壁部内面側に反射体が設けられており、前記容器の前記底壁部中心位置に前記底壁部および前記反射体を貫通する導入口から、員環配列構造を有する無機材料ナノ構造体が分散した混合液を、前記振動体と前記反射体間の狭隘な空間内に収容または流動させ、前記振動体を高周波振動させて前記狭隘な空間内に発生するキャビテーション泡が崩壊するときの衝撃波により、前記無機材料ナノ構造体に微細な孔を開口させ、または前記無機材料ナノ構造体を破断させる処理を施すことを特徴とする無機材料ナノ構造体の加工方法。
- 前記空間の狭隘な対向面の間隔を、10mm以下とする請求項1記載の無機材料ナノ構造体の加工方法。
- 前記キャビテーション泡を発生させる振動周波数を、500Hz以上の高周波領域とする請求項1記載の無機材料ナノ構造体の加工方法。
- 前記無機材料ナノ構造体として、規則的な員環配列構造を有し、かつ三次元における少なくとも1方向の寸法がナノメートルの領域にあるシリコン等の導体または半導体を適用する請求項1記載の無機材料ナノ構造体の加工方法。
- 前記無機材料ナノ構造体として、炭素の六員環配列構造を有し、かつ三次元における少なくとも1方向の寸法がナノメートルの領域にあるカーボンナノチューブを適用する請求項1記載の無機材料ナノ構造体の加工方法。
- 前記無機材料ナノ構造体に微細な孔を開口させ、または前記無機材料ナノ構造体を破断させた後に、前記無機材料ナノ構造体を前記混合液から分離し、当該分離した無機材料ナノ構造体を加熱処理することにより、前記開口または破断部分の形状を安定化させる安定化処理を施す請求項1記載の無機材料ナノ構造体の加工方法。
- 前記無機材料ナノ構造体として、員環配列構造を持つチューブで、その内側に金属などの無機材料の原子または分子を内包するものを適用する請求項1記載の無機材料ナノ構造体の加工方法。
- 側壁部ならびに底壁部を有する縦軸筒状の密閉容器の前記底壁部の中心位置に前記底壁部に対向して水平に振動体が配置され、前記振動体は、前記容器外部に設置されている高周波振動発生装置に接続されており、前記振動体に対向する前記底壁部内面側に反射体が設けられており、前記容器の前記底壁部中心位置に前記底壁部および前記反射体を貫通する導入口が穿設されており、この導入口には混合液供給配管が接続されていて、この混合液供給配管は、員環配列構造を有する無機材料ナノ構造体が分散した混合液が収容されている原料混合タンクに接続されており、前記混合液は前記混合タンクから前記混合液供給配管を介して前記容器の前記底壁部および前記反射体に穿設された前記導入口から上向きに前記容器内に流入し、前記混合液を前記振動体と前記反射体間の狭隘な空間内に収容または流動させ、前記容器の前記側壁には排出口が設けられており、この排出口には排出管を介して収集タンクが配置されており、前記振動体を高周波振動させて前記狭隘な空間内に発生するキャビテーション泡が崩壊するときの衝撃波により、前記狭隘な空間に存在する前記混合液の前記無機材料ナノ構造体に微細な孔を開口させ、または前記無機材料ナノ構造体を破断させる処理を施すことにより、生成された無機材料ナノ構造体を前記排出口から前記排出管を介して前記収集タンクに収集することを特徴とする無機材料ナノ構造体の加工装置。
- 前記容器内で高周波振動が付与される前記狭隘な空間を形成する一の面と、これに対する他の面との間隔は、10mm以下に設定されている請求項8記載の無機材料ナノ構造体の加工装置。
- 前記キャビテーション泡を発生させる振動周波数は、500Hz以上の高周波領域に設定されている請求項8記載の無機材料ナノ構造体の加工装置。
- 前記高周波振動発生装置は、前記キャビテーション泡を発生させる手段として、超磁歪材料または圧電型セラミックス材料により構成された振動部を有する請求項8記載の無機材料ナノ構造体の加工装置。
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