JP4776387B2 - 酸化セリウム研磨剤および基板の研磨法 - Google Patents
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(酸化セリウム粒子の作製1)
炭酸セリウム水和物2kgを白金製容器に入れ、800℃で2時間空気中で焼成することにより、黄白色の粉末を約1kg得た。この粉末をX線回折法で相同定を行ったところ、酸化セリウムであることを確認した。焼成粉末粒子径は30〜100μmであった。焼成粉末粒子表面を走査型電子顕微鏡で観察したところ、酸化セリウムの粒界が観察された。粒界に囲まれた酸化セリウム一次粒子径を測定したところ、その分布の中央値が190nm、最大値が500nmであった。焼成粉末についてX線回折精密測定を行い、その結果についてリートベルト法(RIETAN−94)による解析で、一次粒子径を表わす構造パラメーター:Xの値が0.080、等方的微少歪みを表わす構造パラメーター:Yの値が0.223であった。酸化セリウム粉末1kgをジェットミルを用いて乾式粉砕を行った。粉砕粒子について走査型電子顕微鏡で観察したところ、一次粒子径と同等サイズの小さな粒子の他に、1μmから3μmの大きな粉砕粒子と0.5から1μmの粉砕粒子が混在していた。これらの粉砕粒子は、一次粒子の凝集体ではない。粉砕粒子についてX線回折精密測定を行い、その結果についてリートベルト法(RIETAN−94)による解析で、一次粒子径を表わす構造パラメーター:Xの値が0.085、等方的微少歪みを表わす構造パラメーター:Yの値が0.264であった。この結果、粉砕による一次粒子径変量は殆どなく、また粉砕により粒子に歪みが導入されていた。さらに、BET法による比表面積測定の結果、10m2/gであることがわかった。
酸化セリウム粒子の作製1で用いたのと同じ炭酸セリウム水和物2kgを白金製容器に入れ、750℃で2時間空気中で焼成することにより、黄白色の粉末を約1kg得た。この粉末をX線回折法で相同定を行ったところ、酸化セリウムであることを確認した。焼成粉末粒子径は30〜100μmであった。焼成粉末粒子表面を走査型電子顕微鏡で観察したところ、酸化セリウムの粒界が観察された。粒界に囲まれた酸化セリウム一次粒子径を測定したところ、その分布の中央値が141nm、最大値が400nmであった。焼成粉末についてX線回折精密測定を行い、その結果についてリートベルト法(RIRTAN−94)による解析で、一次粒子径を表わす構造パラメーター:Xの値が0.101、等方的微少歪みを表わす構造パラメーター:Yの値が0.223であった。酸化セリウム粉末1kgをジェットミルを用いて乾式粉砕を行った。粉砕粒子について走査型電子顕微鏡で観察したところ、一次粒子径と同等サイズの小さな粒子の他に、1μmから3μmの大きな粉砕粒子と0.5から1μmの粉砕粒子が混在していた。これらの粉砕粒子は、一次粒子の凝集体ではない。粉砕粒子についてX線回折精密測定を行い、その結果についてリートベルト法(RIETAN−94)による解析で、一次粒子径を表わす構造パラメーター:Xの値が0.104、等方的微少歪みを表わす構造パラメーター:Yの値が0.315であった。この結果、粉砕による一次粒子径変量は殆どなく、また粉砕により粒子に歪みが導入されていた。さらに、BET法による比表面積測定の結果、16m2/gであることがわかった。
上記作製1、2の酸化セリウム粒子1kgとポリアクリル酸アンモニウム塩水溶液(40重量%)23gと脱イオン水8977gを混合し、撹拌しながら超音波分散を10分間施した。得られたスラリーを5μmフィルターでろ過をし、さらに脱イオン水を加えることにより3wt%研磨剤を得た。スラリーpHは8.3であった。スラリー粒子の粒度分布をレーザー回折法(測定装置:Malvern Instruments社製 Mastersizer Microplus、光源He−Neレーザー、粒子の屈折率1.9285、吸収0で測定)を用いて調べたところ、中央値が酸化セリウム粒子の作製1によるスラリーは200nm、酸化セリウム粒子の作製2によるスラリーは280nmであった。500nm以上の粒子の含有量は、酸化セリウム粒子の作製1によるスラリーが13.4体積%、酸化セリウム粒子の作製2によるスラリーが37.8体積%、最大粒子径は共に1950nmであった。スラリーの分散性およびスラリー粒子の電荷を調べるため、スラリーのゼータ電位を調べた。両側に白金製電極を取り付けてある測定セルに酸化セリウムスラリーを入れ、両電極に10Vの電圧を印加した。電圧を印加することにより電荷を持ったスラリー粒子は、その電荷と反対の極を持つ電極側に移動する。この移動速度を求めることにより、粒子のゼータ電位を求めることができる。ゼータ電位測定の結果、それぞれマイナスに荷電し、−38mV、−55mVと絶対値が大きく分散性が良好であることを確認した。
保持する基板取り付け用の吸着パッドを貼り付けたホルダーに、TEOS−プラズマCVD法で作製したSiO2絶縁膜を形成させたSiウエハをセットし、多孔質ウレタン樹脂製の研磨パッドを貼り付けた定盤上に、絶縁膜面を下にしてホルダーを載せ、さらに加工荷重が300g/cm2になるように重しを載せた。定盤上に、上記の酸化セリウムスラリー(固形分:3重量%)を50cc/minの速度で滴下しながら、定盤を30rpmで2分間回転させ、絶縁膜を研磨した。研磨後ウエハをホルダーから取り外して、流水で良く洗浄後、超音波洗浄機によりさらに20分間洗浄した。洗浄後、ウエハをスピンドライヤーで水滴を除去し、120℃の乾燥機で10分間乾燥させた。光干渉式膜厚測定装置を用いて、研磨前後の膜厚変化を測定した結果、この研磨によりそれぞれ620nm、640nm(研磨速度:310nm/min、320nm/min)の絶縁膜が削られ、ウエハ全面に渡って均一の厚みになっていることがわかった。また、光学顕微鏡を用いて絶縁膜表面を観察したところ、明確な傷は見られなかった。
(酸化セリウム粒子の作製)
炭酸セリウム水和物2kgを白金製容器に入れ、800℃で2時間空気中で焼成することにより、黄白色の粉末を約1kg得た。この粉末をX線回折法で相同定を行ったところ、酸化セリウムであることを確認した。焼成粉末粒子径は30〜100μmであった。焼成粉末粒子表面を走査型電子顕微鏡で観察したところ、酸化セリウムの粒界が観察された。粒界に囲まれた酸化セリウム一次粒子径を測定したところ、その分布の中央値が190nm、最大値が500nmであった。焼成粉末についてX線回折精密測定を行い、その結果についてリートベルト法(RIETAN−94)による解析で、一次粒子径を表わす構造パラメーター:Xの値が0.080、等方的微少歪みを表わす構造パラメーター:Yの値が0.223であった。酸化セリウム粉末1kgをジェットミルを用いて乾式粉砕を行った。粉砕粒子について走査型電子顕微鏡で観察したところ、一次粒子径と同等サイズの小さな粒子の他に、1μmから3μmの大きな粉砕粒子と0.5から1μmの粉砕粒子が混在していた。これらの粉砕粒子は、一次粒子の凝集体ではない。粉砕粒子についてX線回折精密測定を行い、その結果についてリートベルト法(RIETAN−94)による解析で、一次粒子径を表わす構造パラメーター:Xの値が0.085、等方的微少歪みを表わす構造パラメーター:Yの値が0.264であった。この結果、粉砕による一次粒子径変量は殆どなく、また粉砕により粒子に歪みが導入されていた。さらに、BET法による比表面積測定の結果、10m2/gであることがわかった。
上記の酸化セリウム粒子1kgとポリアクリル酸アンモニウム塩水溶液(40重量%)23gと脱イオン水8977gを混合し、撹拌しながら超音波分散を10分間施した。得られたスラリーを1μmフィルターでろ過をし、さらに脱イオン水を加えることにより3wt%研磨剤を得た。スラリーpHは8.3であった。スラリー粒子の粒度分布をレーザー回折法を用いて調べたところ、中央値が200nm、500nm以上の含有量は5.1体積%、最大粒子径は780nmであった。スラリーの分散性およびスラリー粒子の電荷を調べるため、スラリーのゼータ電位を調べた。両側に白金製電極を取り付けてある測定セルに酸化セリウムスラリーを入れ、両電極に10Vの電圧を印加した。電圧を印加することにより電荷を持ったスラリー粒子は、その電荷と反対の極を持つ電極側に移動する。この移動速度を求めることにより、粒子のゼータ電位を求めることができる。ゼータ電位測定の結果、マイナスに荷電し、−50mVと絶対値が大きく分散性が良好であることを確認した。
保持する基板取り付け用の吸着パッドを貼り付けたホルダーに、TEOS−プラズマCVD法で作製したSiO2絶縁膜を形成させたSiウエハをセットし、多孔質ウレタン樹脂製の研磨パッドを貼り付けた定盤上に、絶縁膜面を下にしてホルダーを載せ、さらに加工荷重が300g/cm2になるように重しを載せた。定盤上に、上記の酸化セリウムスラリー(固形分:3重量%)を50cc/minの速度で滴下しながら、定盤を30rpmで2分間回転させ、絶縁膜を研磨した。研磨後ウエハをホルダーから取り外して、流水で良く洗浄後、超音波洗浄機によりさらに20分間洗浄した。洗浄後、ウエハをスピンドライヤーで水滴を除去し、120℃の乾燥機で10分間乾燥させた。光干渉式膜厚測定装置を用いて、研磨前後の膜厚変化を測定した結果、この研磨により600nm(研磨速度:300nm/min)の絶縁膜が削られ、ウエハ全面に渡って均一の厚みになっていることがわかった。また、光学顕微鏡を用いて絶縁膜表面を観察したところ、明確な傷は見られなかった。
実施例2で用いたのと同じ酸化セリウム粒子1kgとポリアクリル酸アンモニウム塩水溶液(40重量%)23gと脱イオン水8977gを混合し、撹拌しながら超音波分散を10分間施し、さらに脱イオン水を加えることにより3wt%研磨剤を得た。スラリーpHは8.2であった。スラリー粒子の粒度分布をレーザー回折法を用いて調べたところ、中央値は600nm、500nm以上の含有量は56体積%、最大粒子径は3300nmであった。スラリーの分散性およびスラリー粒子の電荷を調べるため、スラリーのゼータ電位を調べた。両側に白金製電極を取り付けてある測定セルに酸化セリウムスラリーを入れ、両電極に10Vの電圧を印加した。電圧を印加することにより電荷を持ったスラリー粒子は、その電荷と反対の極を持つ電極側に移動する。この移動速度を求めることにより、粒子のゼータ電位を求めることができる。ゼータ電位測定の結果、マイナスに荷電し、−35mVと絶対値が大きく分散性が良好であることを確認した。
保持する基板取り付け用の吸着パッドを貼り付けたホルダーに、TEOS−プラズマCVD法で作製したSiO2絶縁膜を形成させたSiウエハをセットし、多孔質ウレタン樹脂製の研磨パッドを貼り付けた定盤上に、絶縁膜面を下にしてホルダーを載せ、さらに加工荷重が300g/cm2になるように重しを載せた。定盤上に、上記の酸化セリウムスラリー(固形分:3重量%)を50cc/minの速度で滴下しながら、定盤を30rpmで2分間回転させ、絶縁膜を研磨した。研磨後ウエハをホルダーから取り外して、流水で良く洗浄後、超音波洗浄機によりさらに20分間洗浄した。洗浄後、ウエハをスピンドライヤーで水滴を除去し、120℃の乾燥機で10分間乾燥させた。光干渉式膜厚測定装置を用いて、研磨前後の膜厚変化を測定した結果、この研磨により780nm(研磨速度:340nm/min)の絶縁膜が削られ、ウエハ全面に渡って均一の厚みになっていることがわかった。光学顕微鏡を用いて絶縁膜表面を観察したところ、幅の狭い傷がウエハ前面にわたって無数に見られた。
実施例と同様にTEOS−CVD法で作製したSiO2絶縁膜を形成させたSiウエハについて、市販シリカスラリー(キャボット社製、商品名SS225)を用いて研磨を行った。この市販スラリーのpHは10.3で、SiO2粒子を12.5wt%含んでいるものである。研磨条件は実施例と同一である。その結果、研磨による傷は見られず、また均一に研磨がなされたが、2分間の研磨により150nm(研磨速度:75nm/min)の絶縁膜層しか削れなかった。
Claims (5)
- 所定の被研磨面を研磨するための酸化セリウムスラリーであって、
該酸化セリウムスラリーは、炭酸塩、硝酸塩、硫酸塩、しゅう酸塩から選択されるセリウム化合物を600℃以上900℃以下で焼成し、これを粉砕して得られた、粒界に囲まれた一次粒子を有する、一次粒子の凝集体ではない粒子径0.5〜3μmの粒子を含む酸化セリウム粒子、水、及びポリアクリル酸アンモニウム塩を含み、
該酸化セリウムスラリー中の前記酸化セリウム粒子は、500nm以上の粒子径の含有量が全酸化セリウム粒子の3〜40体積%であり、
該酸化セリウムスラリー中の前記酸化セリウム粒子の粒子径は、前記酸化セリウムスラリーを、レーザ回折法(光源He−Neレーザー、粒子の屈折率1.9285、吸収0で測定)で測定して求められるスラリー粒子の粒子径である、
酸化セリウム研磨剤。 - 前記酸化セリウム粒子は、前記粒子径が3000nm以下である粒子が99体積%以上である、請求項1記載の酸化セリウム研磨剤。
- 前記酸化セリウム粒子は、粒子径の中央値が150〜450nmである、請求項1または請求項2に記載の酸化セリウム研磨剤。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の酸化セリウム研磨剤で所定の基板を研磨することを特徴とする基板の研磨法。
- 所定の基板が、SiO2絶縁膜が形成された基板である請求項4に記載の基板の研磨法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006029040A JP4776387B2 (ja) | 2006-02-06 | 2006-02-06 | 酸化セリウム研磨剤および基板の研磨法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006029040A JP4776387B2 (ja) | 2006-02-06 | 2006-02-06 | 酸化セリウム研磨剤および基板の研磨法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34924397A Division JPH11181406A (ja) | 1997-12-18 | 1997-12-18 | 酸化セリウム研磨剤および基板の研磨法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006186384A JP2006186384A (ja) | 2006-07-13 |
JP4776387B2 true JP4776387B2 (ja) | 2011-09-21 |
Family
ID=36739196
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006029040A Expired - Lifetime JP4776387B2 (ja) | 2006-02-06 | 2006-02-06 | 酸化セリウム研磨剤および基板の研磨法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4776387B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112007002470T5 (de) * | 2006-10-16 | 2009-09-10 | Cabot Microelectronics Corp., Aurora | Glaspoliermittel und -verfahren |
JP2014080461A (ja) * | 2012-10-12 | 2014-05-08 | Fujimi Inc | 研磨用組成物の製造方法及び研磨用組成物 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2738291B2 (ja) * | 1994-02-14 | 1998-04-08 | 日本電気株式会社 | 機械・化学研磨方法および研磨装置 |
JP2864451B2 (ja) * | 1994-11-07 | 1999-03-03 | 三井金属鉱業株式会社 | 研磨材及び研磨方法 |
JPH08168954A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-07-02 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 研磨キズの防止方法 |
JPH09321003A (ja) * | 1995-05-22 | 1997-12-12 | Sumitomo Chem Co Ltd | 研磨材およびその製造方法、ならびにそれを使用した半導体基板上の絶縁膜の平坦化方法 |
JPH09183966A (ja) * | 1995-12-29 | 1997-07-15 | Seimi Chem Co Ltd | セリウム研摩材の製造方法 |
AU1670597A (en) * | 1996-02-07 | 1997-08-28 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Cerium oxide abrasive, semiconductor chip, semiconductor device, process for the production of them, and method for the polishing of substrates |
-
2006
- 2006-02-06 JP JP2006029040A patent/JP4776387B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006186384A (ja) | 2006-07-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090410 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090424 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090623 |
|
A02 | Decision of refusal |
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A521 | Written amendment |
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|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20100209 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110628 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140708 Year of fee payment: 3 |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140708 Year of fee payment: 3 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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EXPY | Cancellation because of completion of term |