JP4775760B2 - シリンダ形リニアモータおよびそのガイド装置 - Google Patents
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Description
図7は、従来のシリンダ形リニアモータであって、(a)はその側断面図、(b)は(a)のA―A線に沿う正断面図である。
図7において、1は固定子、11は永久磁石、12はポールピース、13はパイプ、2は可動子、21は電機子コイル、22はバックヨーク、3は磁気的空隙である。
固定子1は、軸方向に着磁された複数の円筒状の永久磁石11と、該永久磁石11間に配設された磁性体からなる複数の円筒状のポールピース12を備え、複数の永久磁石11の同極同士を対向させると共に該磁石11と該ポールピース12の外周に非磁性体からなる中空円筒状のパイプ13を同軸となるように嵌合して構成されている。また、可動子2は、固定子1の外側に磁気的空隙3を介して対向すると共に、軸方向に伸びる中空円筒状の磁性体からなるバックヨーク22の内径側に、複数の電機子コイル21を軸方向に巻装して構成されている。ここで、バックヨーク22の軸方向長さLは、永久磁石11とポールピース12の軸方向長さの和である磁極ピッチをτp、自然数をnとすると、電磁的な周期性からL=n・τpの長さとして構成されている。
次に、シリンダ形リニアモータのガイド機構について説明する。
図8は、従来のシリンダ形リニアモータのガイド機構を示す全体斜視図である。
図8において、14は固定子取付部、15はガイドレール、23はフレーム、24はガイドブロック、17は固定ベースである。
固定子1は、固定ベース17の両端に設けた固定子取付部14に取り付けられており、固定ベース17の長手方向にはガイドレール15が設けられている。また、可動子2は、バックヨーク22を周方向に位置決めするための溝を備えたフレーム23を有しており、フレーム23内にバックヨーク22と電機子コイル21を保持すると共に、フレーム23の底部にガイドブロック24が取り付けられている。
次に動作について説明する。
上記のような構成において、可動子2の固定子1との相対位置に対して、電機子コイル21に所定の電流を通電すると、可動子2はガイドブロック24が固定子1のガイドレール15上の長手方向に向かって案内されながら、高推力で移動する。さらに固定子の軸心に冷却管を設けて冷媒を流すことにより、冷却効率を上げたものが提案されている(例えば、特許文献2を参照)。
F=(1/2)・v2・(dP/dx) ・・・(1)
つまり、移動位置xの変化に伴ってパーミアンスPが変化することにより力が発生する。シリンダ形リニアモータは、バックヨークの端部でパーミアンス変化が生じるので、両端部でのパーミアンスを各々P1、P2とすると、コギング推力は両者の和として次式となる。
F=(1/2)・v2・(dP1/dx+dP2/dx) ・・・(2)
ここで、バックヨークの軸方向長さをLとしたときの、両端各々に働く力は、mをコギング波形の高調波成分の次数、amを次数mの振幅値とすると次式のように表すことができる。
F1=Σam・sin(2πm・x/τp) ・・・(3)
F2=Σam・sin(2πm・(x+L)/τp) ・・・(4)
従って、両端部の合成力、すなわちコギング推力は、2πm・x/τpをζ、2π・L/τpをθとすると、
F=F1+F2=Σam(sinζ+sin(ζ+mθ))
=Σam((1+cosmθ) ・sinζ+sinmθ・cosζ)
=Σam(2(1+cosmθ))1/2 ・cos(ζ−φ) ・・・(5)
ここで、
φ=tan−1((1+cosmθ)/sinmθ) ・・・(6)
である。
このコギング推力Fの振幅は(5)式から、
1+cosmθ ・・・(7)
の値で決定される。この値はcosmθ=1の場合に最大の値となるが、ここで、基本波成分に注目し、m=1を考えると、自然数をnとすると、
θ=2π・n=2π・L/τp ・・・(8)
となる。ゆえにL=n・τpの関係になるようなバックヨークの軸方向長さとすると、最も大きなコギング推力が発生することになる。
このコギング推力はリニアモータの制御装置にとって外乱となり、制御できないため、リニアモータの発生力や速度が脈動するという問題があった。また、この脈動により、製造装置のコンタリング性能や搬送の位置決め精度に悪影響を及ぼす、あるいは振動や音が発生するというような問題を引き起こしていた。
そこで、本発明の第1の目的は、バックヨークの端部効果により発生するコギング推力を極小にすることができるシリンダ形リニアモータを提供することにある。
更に、特許文献2のリニアモータは、固定子側に発熱源である電機子コイルを有しているために大きな効果が期待出来たが、現在、市場で流通しているシリンダ形リニアモータの大半は、特許文献1に開示されているような可動子側に電機子コイルを有するものが大多数であり、界磁を有する固定子の軸心を冷却しても発熱源となる可動子の電機子コイルと非接触となってしまい、冷却効果が期待できなかった。
そこで、本発明の第2の目的は、荷重の方向に関係なく剛性を高めると共に全体の重量を軽量化し、発熱源である可動子側の電機子を直接冷却することができるシリンダ形リニアモータのガイド装置を提供することにある。
請求項1に記載の発明は、軸方向に着磁された複数の円筒状の永久磁石と、前記永久磁石間に配設された磁性体からなる複数の円筒状のポールピースを備え、
前記複数の永久磁石の同極同士を対向させると共に該磁石と該ポールピースの外周に非磁性体からなる中空円筒状のパイプを同軸となるように嵌合して構成される固定子と、
前記固定子の外側に磁気的空隙を介して対向すると共に、軸方向に伸びる中空円筒状の磁性体からなるバックヨークの内径側に、複数の電機子コイルを軸方向に巻装して構成される可動子とを具備し、
前記永久磁石と前記ポールピースの軸方向長さの和である磁極ピッチをτp、自然数をnとし、ΔL1=τp/2、もしくは(τp/4)<ΔL1<(3/4)・τpとした時に、前記バックヨークの軸方向の長さLを、L=n・τp+ΔL1に設定したシリンダ形リニアモータにおいて、
前記バックヨークの両端部における軸方向中心に対する点対称の位置を半円形に切り欠かれた形状とし、前記バックヨークの半円形に切り欠かれた部分の軸方向長さをΔL2、磁極ピッチをτp、2以上の自然数をmとした時に、該軸方向長さをΔL2=τp/(2m)に設定したものである。
前記固定子の外側に磁気的空隙を介して対向すると共に、軸方向に伸びる中空円筒状の磁性体からなるバックヨークの内径側に、複数の電機子コイルを軸方向に巻装して構成される可動子とを具備し、
前記永久磁石と前記ポールピースの軸方向長さの和である磁極ピッチをτp、自然数をnとし、ΔL1=τp/2、もしくは(τp/4)<ΔL1<(3/4)・τpとした時に、前記バックヨークの軸方向の長さLを、L=n・τp+ΔL1に設定したシリンダ形リニアモータにおいて、
前記バックヨークの両端部を軸方向中心に対して傾斜した形状とし、前記バックヨークの両端部断面の傾斜角度をθb 、磁極ピッチをτp、2以上の自然数をm、バックヨークの直径をDとした時に、該傾斜角度をθb =tan − 1 (D・m/τp)に設定したものである。
波成分に位相を持たせるようにして、基本波成分を半減させて、全体でのコギング推力を減少させるとともに、更に残留した、より高次のコギング推力の調波成分を相殺して消すことができ、全体のコギング推力を極小にすることができる。
本発明が従来技術と異なる点は以下のとおりである。
すなわち、シリンダ形リニアモータは、バックヨーク22の両端部における軸方向中心に対する点対称の位置を半円形に切り欠かれた形状とし、バックヨーク22の半円形に切り欠かれた部分の軸方向長さをΔL2、磁極ピッチをτp、2以上の自然数をmとした時に、該軸方向長さをΔL2=τp/(2m)に設定している。ここで、バックヨーク22の軸方向長さはL=n・τp+ΔL1であるが、実質的にはバックヨーク22の半円形に切り欠かれた上側と下側の部分が両端でそれぞれΔL2の長さだけずれた形となっている点であり、基本的にバックヨーク22の形状に特徴を有するものとなっている。
図1は第1実施例を補足説明するためのシリンダ形リニアモータであって、(a)はその側断面図、(b)は(a)のA―A線に沿う正断面図、(c)は(a)のバックヨークの斜視図である。永久磁石11とポールピース12の軸方向長さの和である磁極ピッチをτp、自然数をnとした時に、バックヨーク22の軸方向の長さLについては、図1ではバックヨーク22の軸方向の長さL=n・τpよりも全体でΔL1=τp/2の長さだけ延長し、
L=n・τp+ΔL1 ・・・(9)
に設定している。
1+cosθ=1+cos(2π・L/τp)
=1+cos(2π(n・τp+ΔL1)/τp)
=1+cos(2πn+2π・ΔL1/τp)
=1+cos(2π・ΔL1/τp) ・・・(10)
で決定される。自然数をn1とすると、ΔL1の値によって(10)式の値が最小となるのは、2π・ΔL1/τp=π・n1のとき、すなわちΔL1=n1・τp/2のときであり、バックヨーク22の長さの最小構成を考慮するとn1=1であるので、ΔL1=τp/2が最良である。この条件では、コギング推力基本波の位相は磁極ピッチτpの半分、つまり180度となり、両者が互いに反転して打ち消し合う状態である。
(10)式によれば、その最大値は「2」であるが、バックヨーク22両端のコギング推力の位相をΔL1によって上記の条件、すなわち90度から180度の間、もしくは180度から270度の間にすれば、「1」以下、つまり半分以下の値となる。
このことから、上記条件ではバックヨーク22両端部でのコギング推力基本波を相殺させて打ち消すことはできないが、位相差を持たせることで、コギング推力の基本波を半減させて、コギング推力を低減させることができる。
1+cosmθ=1+cosm(2π・ΔL2/τp) ・・・(11)
ここで、mは2以上の自然数である。
ゆえに、(11)式の値が最小となるのは、自然数をlとすると、m(2π・ΔL2/τp)=π・lのとき、すなわちΔL2=l・τp/(2m)のときであり、バックヨーク22の長さの最小構成はl=1であるので、ΔL2=τp/(2m)が最良である。
図3は本発明の第2実施例を示すシリンダ形リニアモータであって、(a)はその側断面図、(b)は(a)のA―A線に沿う正断面図、(c)は(a)のバックヨークの斜視図、図4は第2実施例によるコギング推力を説明するためにバックヨークを便宜上、模式的に表わした図であって、(a)はその側断面図、(b)は(a)のA−A線に沿う正断面図である。
第2実施例が第1実施例と異なる点は、バックヨーク22の両端部を軸方向中心に対して傾斜した形状とし、バックヨーク22の両端部断面の傾斜角度をθb 、磁極ピッチをτp、2以上の自然数をm、バックヨークの直径をDとした時に、該傾斜角度をθb =Tan−1 (D・m/τp)に設定した点である。ここで、バックヨーク22の軸方向長さはL=n・τp+ΔL1であって第1実施例と変わりはないが、実質的にはバックヨーク22の両端における傾斜した部分でそれぞれΔL3の長さだけずれた形となっている。
1+cosmθ=1+cosm(2π・(ΔL3/2)/τp) ・・・(12)
ここで、mは2以上の自然数である。
ゆえに、(12)式の値が最小となるのは、自然数をlとすると、m(2π・(ΔL3/2)/τp)=π・lのとき、すなわちΔL3=l・τp/mのときであり、バックヨーク22長の最小構成はl=1であるので、ΔL3=τp/mがdw1とdw2の微小部分での2つのコギング推力を相殺する条件となる。図4(b)を参照すると、バックヨーク22の周方向に90度間隔で配置された微小部分
dw1、dw2のコギング推力は、上記条件の形状とすれば打ち消されるので、図4(b)のA−A断面での形状の対称性を考慮すれば、周全体でのm次調波のコギング推力が打ち消されることが理解される。
よって、上記条件、ΔL3=τp/mにより、バックヨーク22の端部の傾斜角θb は、バックヨーク22の直径をDとすると、θb =Tan−1(D/ΔL3)=Tan−1 (D・m/τp)で表されることになる。
図5は本発明の第3実施例を示すガイド装置を備えたシリンダ形リニアモータの全体斜視図である。
第3実施例が従来技術と異なる点は以下のとおりである。
すなわち、図5に示すように、シリンダ形リニアモータの固定子1の両端に固定子取付部14を配置し、固定子1と平行に配置された2本のガイドバー16を固定子取付部14に取付け、可動子2を構成するバックヨーク22を周方向に位置決めするための溝を備えたフレーム23を該バックヨーク22の外側に嵌合する構成にしている。また、フレーム23の両側面に、ガイドバー16を内部に貫通するように孔部(不図示)を設けたガイドブロック25を取付ける構成となっている。なお、ガイドブロック25とガイドバー16はすべり接触式の軸受をなすものである。
第4実施例が第3実施例と異なる点は、第3実施例のフレームとガイドブロックを一体にした点であって、具体的には図6に示すように、フレーム23内における固定子1を中心とした多角形状の頂点位置(四隅)に4本のガイドバー16を貫通させるための孔部18を設ける構成にしたものとなっている。
また、ガイドバー16は内部に冷媒を供給するように中空形状を有した点である。
それから、中空形状のガイドバーを可動子と接触する状態で可動子内部に配置し、その中に冷媒が流れるような構成とすることで、シリンダ形リニアモータの発熱源である可動子側に構成された電機子コイルに対し、直接冷却を行うことができる。
11 永久磁石
12 ポールピース
13 パイプ
14 固定子取付部
15 ガイドレール
16 ガイドバー
17 固定ベース
18 孔部
2 可動子
21 電機子コイル
22 バックヨーク
23 フレーム
24、25 ガイドブロック
3 空隙
Claims (6)
- 軸方向に着磁された複数の円筒状の永久磁石と、前記永久磁石間に配設された磁性体からなる複数の円筒状のポールピースを備え、前記複数の永久磁石の同極同士を対向させると共に該磁石と該ポールピースの外周に非磁性体からなる中空円筒状のパイプを同軸となるように嵌合して構成される固定子と、
前記固定子の外側に磁気的空隙を介して対向すると共に、軸方向に伸びる中空円筒状の磁性体からなるバックヨークの内径側に、複数の電機子コイルを軸方向に巻装して構成される可動子と、を具備し、
前記永久磁石と前記ポールピースの軸方向長さの和である磁極ピッチをτp、自然数をnとし、ΔL1=τp/2、もしくは(τp/4)<ΔL1<(3/4)・τpとした時に、前記バックヨークの軸方向の長さLを、L=n・τp+ΔL1に設定したシリンダ形リニアモータにおいて、
前記バックヨークの両端部における軸方向中心に対する点対称の位置を半円形に切り欠かれた形状とし、前記バックヨークの半円形に切り欠かれた部分の軸方向長さをΔL2、磁極ピッチをτp、2以上の自然数をmとした時に、該軸方向長さをΔL2=τp/(2m)に設定したことを特徴とするシリンダ形リニアモータ。 - 軸方向に着磁された複数の円筒状の永久磁石と、前記永久磁石間に配設された磁性体からなる複数の円筒状のポールピースを備え、前記複数の永久磁石の同極同士を対向させると共に該磁石と該ポールピースの外周に非磁性体からなる中空円筒状のパイプを同軸となるように嵌合して構成される固定子と、
前記固定子の外側に磁気的空隙を介して対向すると共に、軸方向に伸びる中空円筒状の磁性体からなるバックヨークの内径側に、複数の電機子コイルを軸方向に巻装して構成される可動子と、を具備し、
前記永久磁石と前記ポールピースの軸方向長さの和である磁極ピッチをτp、自然数をnとし、ΔL1=τp/2、もしくは(τp/4)<ΔL1<(3/4)・τpとした時に、前記バックヨークの軸方向の長さLを、L=n・τp+ΔL1に設定したシリンダ形リニアモータにおいて、
前記バックヨークの両端部を軸方向中心に対して傾斜した形状とし、前記バックヨークの両端部断面の傾斜角度をθb 、磁極ピッチをτp、2以上の自然数をm、バックヨークの直径をDとした時に、該傾斜角度をθb =Tan − 1 (D・m/τp)に設定したことを特徴とするシリンダ形リニアモータ。
- 請求項1または2記載のシリンダ形リニアモータと、
前記シリンダ形リニアモータの固定子の両端に配置された固定子取付部と、
前記固定子取付部に取付けられると共に、前記固定子と平行に配置された少なくとも2本有したガイドバーと、
前記シリンダ形リニアモータの可動子を構成するバックヨークの外側に嵌合されたフレームと、
前記フレームの両側面に取付けられると共に、前記ガイドバーを内部に貫通するように設けたガイドブロックと、
を備えたことを特徴とするシリンダ形リニアモータのガイド装置。 - 前記フレームと前記ガイドブロックを一体にしたことを特徴とする請求項3記載のシリンダ形リニアモータのガイド装置。
- 前記フレーム内における前記固定子を中心とした多角形状の頂点位置に前記ガイドバーを貫通させるための孔部を設けたことを特徴とする請求項4記載のシリンダ形リニアモータのガイド装置。
- 前記ガイドバーは、内部に冷媒を供給するための中空形状を有したことを特徴とする請求項3乃至5のいずれか1項に記載のシリンダ形リニアモータのガイド装置。
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