JP4765319B2 - 塗布装置 - Google Patents
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Description
そこで、本願発明は、異物などの検知手段が異物などを検知しそこなっても、塗布ヘッドの先端を傷つけることのないスリットコート式塗布装置を提供する。
塗布対象である平面の基板の被塗布面上に塗布流体をスリット状の開口部から流出する塗布ヘッドと、前記被塗布面から前記開口部を所定間隙分離間させて前記基板を前記塗布ヘッドに対して相対移動する相対移動手段とを備えたスリットコート式塗布装置であって、
前記開口部のヘッド先端部に対して併設されるとともに、前記被塗布面に沿う直線状の保護先端部を有する板状部材と、
スペーサーを介して対向させた2枚の導電シートからなる導通センサーを、前記板状部材を介して前記塗布ヘッドとは反対側に併設することにより、前記基板上の異物あるいは前記基板の隆起部分を検知できるようにした検知手段と、
該検知の際に、前記相対移動を強制停止するか、あるいは、前記塗布ヘッドを前記基板から離すように退避させるかを制御する制御手段とを有することを特徴とするスリットコート式塗布装置である。
塗布対象である平面の基板の被塗布面上に塗布流体をスリット状の開口部から流出する塗布ヘッドと、前記被塗布面から前記開口部を所定間隙分離間させて前記基板を前記塗布ヘッドに対して相対移動する相対移動手段とを備えたスリットコート式塗布装置であって、
前記開口部のヘッド先端部に対して併設されるとともに、前記被塗布面に沿う直線状の保護先端部を有する板状部材と、
マイクロフォンを取り付けたフィルム、または、マイクロフォンを取り付けた糸を、前記板状部材を介して前記塗布ヘッドとは反対側に併設することにより、前記基板上の異物あるいは前記基板の隆起部分を検知できるようにした検知手段と、
該検知の際に、前記相対移動を強制停止するか、あるいは、前記塗布ヘッドを前記基板から離すように退避させるかを制御する制御手段とを有することを特徴とするスリットコート式塗布装置である。
本発明の参考例である第1の実施の形態を説明する。
スリットコート式塗布装置1と基板10とは相対移動しており、図1では、基板10が静止しており、それに対して、スリットコート式塗布装置1が右方向に移動していく状態を示している。
本発明の目的は、塗布ヘッド2の損傷防止であるので、塗布ヘッド2が異物などに触れないようにする必要がある。
2つ目の方法は、検知部6が異物などを検知した瞬間に、塗布ヘッド2を基板10の上方に離し、異物などが塗布ヘッドに触れないようにする方法である。この際、塗布ヘッド2と基板10との相対移動はそのまま継続してもよい。この方法であると、塗布ヘッド2と基板10との相対移動に関しては、異物などが検出されようが検出されまいが、同じ動作なので、相対移動に関するプログラムに修正を加える必要はなく、また、異物を検出した基板は、後工程で搬出することにより、複数枚の基板への塗布流体の塗布を、特別な変更を加えずに、連続して行える。
この2通りの制御は、図示せぬ制御手段によって行う。
本発明の第2の実施の形態を説明する。
スリットコート式塗布装置1と基板10とは相対移動しており、図2では、基板10が静止しており、それに対して、スリットコート式塗布装置1が右方向に移動していく状態を示している。
本発明の目的は、塗布ヘッド2の損傷防止であるので、塗布ヘッド2が異物などに触れないようにする必要がある。
2つ目の方法は、導通センサー20が異物などを検知した瞬間に、塗布ヘッド2を基板10の上方に離し、異物などが塗布ヘッドに触れないようにする方法である。この際、塗布ヘッド2と基板10との相対移動はそのまま継続してもよい。この方法であると、塗布ヘッド2と基板10との相対移動に関しては、異物などが検出されようが検出されまいが、同じ動作なので、相対移動に関するプログラムに修正を加える必要はなく、また、異物を検出した基板は、後工程で搬出することにより、複数枚の基板への塗布流体の塗布を、特別な変更を加えずに、連続して行える。
この2通りの制御は、図示せぬ制御手段によって行う。
本発明の第3の実施の形態を説明する。
スリットコート式塗布装置1と基板10とは相対移動しており、図3では、基板10が静止しており、それに対して、スリットコート式塗布装置1が右方向に移動していく状態を示している。
本発明の目的は、塗布ヘッド2の損傷防止であるので、塗布ヘッド2が異物などに触れないようにする必要がある。
2つ目の方法は、振動センサー30が異物などを検知した瞬間に、塗布ヘッド2を基板10の上方に離し、異物などが塗布ヘッドに触れないようにする方法である。この際、塗布ヘッド2と基板10との相対移動はそのまま継続してもよい。この方法であると、塗布ヘッド2と基板10との相対移動に関しては、異物などが検出されようが検出されまいが、同じ動作なので、相対移動に関するプログラムに修正を加える必要はなく、また、異物を検出した基板は、後工程で搬出することにより、複数枚の基板への塗布流体の塗布を、特別な変更を加えずに、連続して行える。
この2通りの制御は、図示せぬ制御手段によって行う。
本発明の第4の実施の形態を説明する。
異物などが糸41に接触すると糸が振動し、糸の振動が音波に変換される。その音波をマイクロフォン40により検知することにより、異物などを検知することができる。
2・・・塗布ヘッド
4・・・板状部材
5・・・板状部材の先端部
6・・・レーザセンサー
8・・・塗布ヘッドのリップ先端
10・・・基板
11・・・異物
20・・・導通センサー
30・・・振動センサー
31・・・マイクロフォン
40・・・マイクロフォン
41・・・糸
Claims (2)
- 塗布対象である平面の基板の被塗布面上に塗布流体をスリット状の開口部から流出する塗布ヘッドと、前記被塗布面から前記開口部を所定間隙分離間させて前記基板を前記塗布ヘッドに対して相対移動する相対移動手段とを備えたスリットコート式塗布装置であって、
前記開口部のヘッド先端部に対して併設されるとともに、前記被塗布面に沿う直線状の保護先端部を有する板状部材と、
スペーサーを介して対向させた2枚の導電シートからなる導通センサーを、前記板状部材を介して前記塗布ヘッドとは反対側に併設することにより、前記基板上の異物あるいは前記基板の隆起部分を検知できるようにした検知手段と、
該検知の際に、前記相対移動を強制停止するか、あるいは、前記塗布ヘッドを前記基板から離すように退避させるかを制御する制御手段とを有することを特徴とするスリットコート式塗布装置。 - 塗布対象である平面の基板の被塗布面上に塗布流体をスリット状の開口部から流出する塗布ヘッドと、前記被塗布面から前記開口部を所定間隙分離間させて前記基板を前記塗布ヘッドに対して相対移動する相対移動手段とを備えたスリットコート式塗布装置であって、
前記開口部のヘッド先端部に対して併設されるとともに、前記被塗布面に沿う直線状の保護先端部を有する板状部材と、
マイクロフォンを取り付けたフィルム、または、マイクロフォンを取り付けた糸を、前記板状部材を介して前記塗布ヘッドとは反対側に併設することにより、前記基板上の異物あるいは前記基板の隆起部分を検知できるようにした検知手段と、
該検知の際に、前記相対移動を強制停止するか、あるいは、前記塗布ヘッドを前記基板から離すように退避させるかを制御する制御手段とを有することを特徴とするスリットコート式塗布装置。
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