JP4758818B2 - フレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイ - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 62
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 88
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 29
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 10
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 5
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 claims description 5
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 claims description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 claims 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000002990 reinforced plastic Substances 0.000 claims 1
- 239000004753 textile Substances 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 225
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 45
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 30
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 11
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 8
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 6
- 239000004918 carbon fiber reinforced polymer Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 4
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 4
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000000427 thin-film deposition Methods 0.000 description 2
- 229920012266 Poly(ether sulfone) PES Polymers 0.000 description 1
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
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- C23C14/50—Substrate holders
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- H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
- H10K2102/301—Details of OLEDs
- H10K2102/311—Flexible OLED
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/40—Thermal treatment, e.g. annealing in the presence of a solvent vapour
- H10K71/421—Thermal treatment, e.g. annealing in the presence of a solvent vapour using coherent electromagnetic radiation, e.g. laser annealing
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K77/00—Constructional details of devices covered by this subclass and not covered by groups H10K10/80, H10K30/80, H10K50/80 or H10K59/80
- H10K77/10—Substrates, e.g. flexible substrates
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Description
本発明は、フレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイに関し、特にフレキシブル基板またはフィルムの垂れ下がりを防止できるフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイに関するものである。
最近、携帯が簡便なディスプレイ装置に対する関心が高くなり、有機電界発光表示装置（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ Ｄｉｓｐｌａｙ）のようなフレキシブルディスプレイに対する要求が急増している。有機電界発光表示装置は、有機発光ダイオード（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄ、ＯＬＥＤ）を利用したものであり、有機発光ダイオードはアノード電極、発光層及びカソード電極を含む。アノード電極は、発光層へ正孔を供給して、カソード電極は発光層へ電子を供給する。アノード電極から供給された正孔とカソード電極から供給された電子は、発光層で結合して光を生成する。
一方、ディスプレイの製造工程に含まれる薄膜形成工程は、一般的に、マスクを使用した蒸着方式によって遂行される。しかし、有機電界発光表示装置のようなフレキシブルディスプレイの薄膜形成工程では、フレキシブル基板またはフィルムの垂れ下がりが発生する。これによって、成膜されなければならない位置に薄膜を正確に成膜してパターニングすることが困難であって、また、薄膜が同一の特性を持つように成膜することも困難である。また、真空蒸着の際、真空チャンバー内で成膜が形成されなければならないが、フレキシブル基板またはフィルムの変形なしにチャンバー内にフレキシブル基板またはフィルムを移送することも困難である。これによって、薄膜形成などの製造工程または移送の際に、フレキシブル基板またはフィルムの垂れ下がりを防止できるフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイの必要性が台頭した。
一方、前記従来のフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイに関する技術を記載した文献としては、下記特許文献１ないし５等がある。
特開２００４−５０５４４６号公報
特開２０００−２６９３１０号公報
特開２０００−２０８４３９号公報
韓国公開特許第２００３−００４４２０５号公報
韓国公開特許第１９９６−００１２３７２号公報
したがって、本発明の目的はフレキシブル基板またはフィルムの垂れ下がりを防止できるフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイを提供することである。
前記目的を達成するために、本発明の第１の態様は、中央部に開口部が形成された支持板と、前記支持板の端部にお互いに対称となるように設置されて、フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを固定するための少なくとも２つ以上のクランプとを具備するフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイを提供する。
前記クランプは、前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを固定するために開閉可能に設置された開閉部と、前記開閉部から所定の離隔空間を置いて設置されて、前記開閉部が閉鎖される場合に、前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを固定して前記支持板から所定の高さに支持するための支持部を具備する。前記開閉部の前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムと接する内側面には、前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを固定するための段差が、前記支持板との間に前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを挟みつつ前記支持部へ向かって突出して鋭角に形成されて、前記支持部の前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムと接する外側面は、前記開閉部の内側面に形成された段差と前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを介して嵌合可能な形状である。また、前記支持板の一端に形成された前記クランプの開閉部から、前記支持部上に伸長されるように形成されて、前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを前記支持部の上面に固定する前面支持部を具備する。前記支持板、前記クランプ及び前記前面支持部の中の少なくとも一つには、溝またはホールが形成される。前記支持板の中央部には、開口部が形成される。前記支持板は、１０ｍｍないし５０ｍｍの厚さを持つ。前記支持板及びクランプの中の少なくとも一つは、アルミニウムなどの軽金属と炭素纎維強化プラスチックなどの合成樹脂の中の少なくとも一つで形成される。前記支持板及びクランプの中の少なくとも一つは、アルミニウムとスチール系列を異種接合して形成される。
本発明の第２の態様は、ドナーフィルムを利用したレーザー転写法によって発光層を形成する有機発光ダイオードの製造方法において、前記フレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイを利用してドナーフィルムを製造し、または発光層を形成する有機発光ダイオードの製造方法を提供する。
本発明の第３の態様は、フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを固定するためのフィルムトレイに具備され、前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを固定するために開閉可能に設置された開閉部と、前記開閉部から所定の離隔空間を置いて設置されて、前記開閉部が閉鎖される場合に、前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを固定して前記クランプが設置される支持板から所定の高さに支持するための支持部と、前記クランプの開閉部から、前記支持部上に伸長されるように形成されて、前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを前記支持部の上面に固定する前面支持部と、を具備するクランプを提供する。
前記開閉部の前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムと接する内側面には、前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを固定するための段差が、前記クランプが設置されて中央部に開口部が形成された支持板との間に前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを挟みつつ前記支持部へ向かって突出して鋭角に形成されて、前記支持部の前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムと接する外側面は、前記開閉部の内側面に形成された段差と前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを介して嵌合結合可能な形状になる。
以上説明したように本発明の実施形態によるフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイによると、フレキシブル基板またはフィルムの垂れ下がりを防止して、薄膜蒸着の際や移送の際にフレキシブル基板またはフィルムが水平に維持される。これによって、薄膜を正確な位置に成膜してパターニングすることが可能であり、薄膜が同一の特性を持つように、全体の成膜領域内に薄膜を均一に形成することができる。また、フレキシブル基板またはフィルムの模様変形なしにフレキシブル基板またはフィルムを便利に移送することができる。また、ドナーフィルムを利用したレーザー転写法に本発明によるフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイが使用される場合、ドナーフィルムを水平に維持した状態で発光層を形成することができるので、ミス−アラインメントが発生する可能性も少なくなる。
以下、本発明が属する技術分野で通常の知識を持った者が本発明を容易に実施することができる望ましい実施形態を添付された図１ないし図１０ｅを参照して詳しく説明すると次のようである。
図１は、本発明の第１の実施形態によるフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイを示す平面図である。
図１を参照すれば、本第１の実施形態によるフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイ１００は、支持板１１０と、支持板１１０の上面の縁部に設置されたクランプ１２０と、支持板１１０の中央部に形成された開口部１３０とを具備する。ここで、フィルムトレイ１００は、クランプ１２０を利用してフレキシブル基板またはフィルムの垂れ下がりが防止されるように固定することができる装置であり、以下、説明の便宜のためにフィルムトレイ１００にフレキシブルフィルムが固定される場合を仮定して説明する。
支持板１１０は、フィルムトレイ１００の本体となる部分であり、フレキシブルフィルムの固定または移送の際に、フレキシブルフィルムを支持するために利用される。このような支持板１１０は、軽量化のためにアルミニウムなどの軽金属または炭素纎維強化プラスチック（Ｃａｒｂｏｎ Ｆｉｂｅｒ Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃ、ＣＦＲＰ）などの合成樹脂などで形成される。また、アルミニウムで支持板１１０を製造する場合、剛性維持のために部分的にスチールなどを異種接合して製造することもできる。例えば、支持板１１０とクランプ１２０の接合部位は、スチールで異種接合されることができる。このような支持板１１０は、移送しようとするフィルムの大きさを考慮して製作されて、通常、１０ｍｍないし５０ｍｍの厚さに製造される。
ここで、支持板１１０の大きさ及び厚さは、フレキシブルフィルムの大きさによって多様に設定されて製造されることができる。例えば、第４世代級の７３０×９２０ｍｍ２のフレキシブルフィルムを支持する支持板１１０は、横１２４０ｍｍ、縦９００ｍｍ、厚さ１５ｍｍの大きさに製造されることができる。このような支持板１１０の少なくとも一つの角部分には、固定用ピン（図示しない）の挿入が可能な固定用ホール１４０が形成される。ここで、固定用ピンは、フィルムトレイ１００によって固定されたフレキシブルフィルム上に薄膜を蒸着するなどの工程を遂行する際、フィルムトレイ１００の移動を防止する機能を果すことができる。
開口部１３０は、支持板１１０の重さを軽量化するために形成される。また、開口部１３０は、場合によって蒸着領域を制限する機能を果したりする。例えば、フレキシブルフィルムに単独で薄膜を蒸着する場合、開口部１３０の大きさに対応する薄膜が蒸着されることができる。
クランプ１２０は、支持板１１０の上面の縁部に、お互いに対称となるように少なくとも２つ以上が形成されてフレキシブルフィルムを固定させる。本第１の実施形態において、クランプ１２０は、フレキシブルフィルムの端部を安定的に固定させることができるように、支持板１１０の４つの縁部にお互いに対称となるように形成される。このようなクランプ１２０は、軽量化のためにアルミニウムなどの軽金属または炭素纎維強化プラスチックなどの合成樹脂で製造される。また、クランプ１２０には軽量化のための四角形溝（Ｇｒｏｏｖｅ）１２５が形成されることができる。本実施形態では、溝１２５を四角形の形状に形成したが、本発明はこれに制限されるものではない。
図２は、図１に図示されたフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイ１００の断面図である。
図２を参照してクランプ１２０の構成を詳しく説明すると、クランプ１２０は、開閉可能に設置され、フレキシブルフィルムを固定するための開閉部１２０ａと、開閉部１２０ａから所定の離隔空間を置いて設置されて、開閉部１２０ａが閉鎖される場合にフレキシブルフィルムを固定して所定高さで支持するための支持部１２０ｂとを具備する。ここで、開閉部１２０ａの内側面には、フレキシブルフィルムを固定するための段差が形成される。また、支持部１２０ｂの外側面は、開閉部１２０ａの内側面に形成された段差と結合可能な形状に形成される。
このようなクランプ１２０は、支持部１２０ｂ上に安着されたフレキシブルフィルムが水平に維持されるように、開閉部１２０ａの開閉によってフレキシブルフィルムを固定する。ここで、クランプ１２０を利用してフィルムトレイ１００上にフレキシブルフィルムを固定する方法に対する詳細な説明は、後述する。
前述したフィルムトレイ１００は、移送ロボット（図示せず）などによって工程チャンバーなどに移送されることができる。例えば、フィルムトレイ１００は、移送ロボットによって図面上に矢印で表示される方向に移送されて、工程チャンバーの内に移送されることができる。
一方、フィルムトレイ１００は、ドナーフィルムを利用したレーザー転写工程にも使われることができる。例えば、支持板１１０上にフレキシブルなドナーフィルムのベース基板（ｂａｓｅ ｓｕｂｓｔｒａｔｅ）を固定して、蒸着チャンバーに移送しながら光熱変換層（ｌｉｇｈｔ−ｔｏ−ｈｅａｔ ｃｏｎｖｅｒｓｉｏｎ ｌａｙｅｒ、ＬＴＨＣ）及び転写層（ｔｒａｎｓｆｅｒ ｌａｙｅｒ）などを順に形成することができる。ドナーフィルム及びレーザー転写工程に対する詳しい説明は、後述する。
図３ａないし図３ｃは、図２に図示されたフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイを利用してフレキシブルフィルムを固定する方法を示す断面図である。
図３ａないし図３ｃを参照すれば、まず、支持板１１０の一側の上面の縁部に設置された開閉部１２０ａが開放された状態でフレキシブルフィルム２１０がフィルムトレイ１００上に置かれる。この時、フレキシブルフィルム２１０の一側は、開放された開閉部１２０ａの内側へ挿入される。そして、フレキシブルフィルム２１０がフィルムトレイ１００から離脱されることを防止するために、外部装置に設置された離脱防止台２２０が所定の圧力でフレキシブルフィルム２１０を固定させる。ここで、フレキシブルフィルム２１０は、ポリエチレンテレフタレートＰＥＴ、ポリエテルスルホンＰＥＳまたはポリカボネイトＰＣなどの軟性を持つ材料で形成されたフィルムである（図３ａ参照）。
次に、開放された開閉部１２０ａを閉鎖して、フレキシブルフィルム２１０の一端部が固定される。ここで、フレキシブルフィルム２１０の一端部は、開閉部１２０ａの内側面に形成された段差部及び、開閉部１２０ａと支持部１２０ｂの離隔空間に挿入されて固定される。フレキシブルフィルム２１０の一端部が固定されると、フレキシブルフィルム２１０の垂れ下がりを防止できるように、フレキシブルフィルム２１０に対してＡ方向に所定のテンションを加えながら、切断機２３０でフレキシブルフィルム２１０の他側を切断する。例えば、フレキシブルフィルム２１０の垂れ下がり量が２０ｍｍ以内になるようにするテンションをＡ方向に加えながら、フレキシブルフィルム２１０の他側を切断することができる（図３ｂ参照）。
次に、支持板１１０の他側縁に設置された開閉部１２０ａを開閉して、フレキシブルフィルム２１０が垂れ下がらないようにフレキシブルフィルム２１０の他端も固定する。（図３ｃ）
このように、フィルムトレイ１００に固定されたフレキシブルフィルム２１０は、所定のテンションが維持されるように固定されているので、フレキシブルフィルム２１０上に薄膜を蒸着する工程が進行されたり移送がなされる際にも、その模様が変形されない。これによって、正確な位置に成膜してパターニングすることが可能であり、薄膜が同一の特性を持つように、全体の成膜領域内に薄膜を均一に形成することができる。また、フレキシブルフィルム２１０を容易に移送することができる。
このように、フィルムトレイ１００に固定されたフレキシブルフィルム２１０は、所定のテンションが維持されるように固定されているので、フレキシブルフィルム２１０上に薄膜を蒸着する工程が進行されたり移送がなされる際にも、その模様が変形されない。これによって、正確な位置に成膜してパターニングすることが可能であり、薄膜が同一の特性を持つように、全体の成膜領域内に薄膜を均一に形成することができる。また、フレキシブルフィルム２１０を容易に移送することができる。
図４は本発明の第２の実施形態によるフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイを示す平面図である。
図４を参照すれば、本第２の実施形態によるフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイ４００は、支持板４１０と、支持板４１０の上面の縁部に設置されたクランプ４２０と、支持板４１０の中央部に形成された開口部４３０とを具備する。
支持板４１０の少なくとも一つの角部分には、固定用ピン（図示しない）が挿入されることができる固定用ホール４４０が形成される。また、支持板４１０及びクランプ４２０には、軽量化のための多数の四角形の溝４５０、４２５が具備される。支持板４１０、クランプ４２０、開口部４３０、固定用ホール４４０及び溝４５０、４２５に対する説明は図１で前述したので、これに対する詳しい説明は省略する。
図５は、本発明の第３の実施形態によるフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイを示す平面図である。以後、説明の便宜のために、フィルムトレイにフレキシブルフィルムが固定される場合を仮定して説明する。
図５を参照すれば、本第３の実施形態によるフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイ５００は、支持板５１０と、支持板５１０の上面の２つの縁部にお互いに対称するように設置されたクランプ５２０と、支持板５１０の中央部に形成された開口部５３０と、クランプ５２０に接合されるように設置された前面支持部５４０とを具備する。
ここで、支持板５１０及びクランプ５２０には軽量化のための溝５５０、５２５が形成される。支持板５１０、クランプ５２０、開口部５３０及び溝５２５、５５０に対する説明は図１で前述したので、これに対する詳しい説明は省略する。
前面支持部５４０は、支持板５１０の両側にお互いに対称となるように長く設置されて、フレキシブルフィルムがよりテンションを伴って固定されるようにする。ここで、前面支持部５４０は、図６ａ及び図６ｂに図示されるように、支持板５１０の一側に設置されたクランプ５２０の開閉部５２０ａに接合されて、支持部５２０ｂの上部に位置するように設置される。このような前面支持部５４０は、開閉部５２０ａとともに開閉されて、支持部５２０ｂ上部のフレキシブルフィルム５６０に所定の圧力をかけて、フレキシブルフィルム５６０が垂れ下がらないで水平に維持されるように固定させる。
一方、フィルムトレイ５００は、軽量化のために、図７ａのように、前面支持部５４０に円形開口部である多数のホール（Ｈｏｌｅ）５７０を具備することができる。また、フィルムトレイ５００は、図７ｂのように、支持板５１０と前面支持部５４０に多数のホール５７０を具備することもできる。例えば、第４世代級７３０×９２０ｍｍ２のフレキシブル基板またはフィルムの固定に適合するフィルムトレイ５００には、３０ｍｍの直径を持った５８個のホール５７０が形成されることができる。一般的に、ホール５７０は約１０ｍｍないし５０ｍｍの直径を持つように形成される。溝５２５、５５０及びホール５７０の大きさ、数、位置などは、本実施形態に限定されるものではない。
図８ａは、図２に図示されるフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイを利用してフレキシブルフィルムに一層の薄膜を単独蒸着する一例を示す断面図である。
図８ａを参照すれば、開口部８１０ａが形成された支持板８１０上に、クランプ８２０によってフレキシブルフィルム８３０またはフレキシブル基板が固定されている。この時、支持板８１０の下部にある蒸着源８４０から、蒸着物質を支持板８１０の方へ供給する。そうすると、支持板８１０の開口部８１０ａを通じて蒸着物質がフレキシブルフィルム８３０またはフレキシブル基板に蒸着される。これによって、フレキシブルフィルム８３０またはフレキシブル基板には開口部８１０ａの大きさに対応する薄膜８５０が形成される。すなわち、この場合の開口部８１０ａは、フィルムトレイの軽量化以外にも、薄膜８５０の蒸着領域を制限する機能を果すようになる。ここで、蒸着源８４０は簡略に図示されるが、薄膜８５０の蒸着は、スパッタリング、熱蒸着または化学気相蒸着法などの多様な方法によって遂行されることができる。
一方、このようなフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイを利用してドナーフィルムを製造することもできる。ここで、ドナーフィルムは、レーザー転写法によって薄膜を形成する際に使用される。例えば、ドナーフィルムは、有機発光ダイオードの有機発光層を形成する時に使用されることができる。この場合、図８ｂのようにフレキシブルなドナーフィルムのベース基板８３５は、クランプ８２０によって固定された後、ベース基板８３５が支持板８１０の下部に位置するように配置された後に、チャンバー、例えば、蒸着チャンバーなどに移送される。この後、ベース基板８３５の下部に位置された蒸着源８４０から、ベース基板８３５の方へ蒸着物質を供給することにより、ベース基板には薄膜８５０が形成される。この時、薄膜８５０としては、光熱変換層と転写層などが順に形成されることができる。ここで、チャンバーにフィルムトレイが移送される際には、移送ロボット（図示しない）などが利用される。
図９ａないし図９ｄは、図８ｂに図示されるフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイを利用して製造されたドナーフィルムを使用して有機発光ダイオードの発光層を形成する一例を示す断面図である。
図９ａないし図９ｄを参照すれば、発光層を形成するために、まず、アノード電極９２０、正孔注入層９３０及び正孔輸送層９４０が順に形成されたアクセプター基板９１０上に、ドナーフィルム９５０を位置させる。
ここで、ドナーフィルム９５０は、ベース基板９５０ａ、光熱変換層９５０ｂ及び転写層９５０ｃを含む。
ベース基板９５０ａは、ドナーフィルム９５０を支持するための支持基板として作用し、透明な高分子物質、例えばポリエチレンテレフタレートＰＥＴなどで形成される。このようなベース基板９５０ａは、図８ｂに図示されたフレキシブルディスプレイ用フィルムトレイによって、垂れ下がりが防止できるように固定されてチャンバー（図示しない）内に移送される。ここで、フレキシブルディスプレイ用フィルムトレイに対する説明は前述したので、これに対する説明は略する。
光熱変換層９５０ｂは、レーザーを吸収して熱エネルギーに変換させてくれる光吸収材（ｒａｄｉａｔｉｏｎ ａｂｓｏｒｂｅｒ）を含む。すなわち、光熱変換層９５０ｂは、光吸収材でレーザー光を吸収して熱エネルギーで変換させる。このような光熱変換層９５０ｂは、アルミニウム、アルミニウム酸化膜及び硫化物にカーボンブラック、黒鉛、赤外線染料、ピグメントなどの赤外線光吸収材を含むことができる。
転写層９５０ｃは、有機薄膜形成用物質をコーティングすることにより製造される。ここで、ドナーフィルム９５０は発光層を形成するためのものであるので、転写層９５０ｃは、形成される発光層の物質を含む。この時、発光層のさまざまな特性を改善するために、所定含量の添加物質を添加することもできる。例えば、発光層の效率を高めるためにドーパントを添加することもできる（図９ａ参照）。
この後、ドナーフィルム９５０をアノード電極９２０、正孔注入層９３０及び正孔輸送層９４０が順に形成されたアクセプター基板９１０の上部に密着させて、発光層を形成しようとする領域に選択的にレーザーを照射してパターニングする。ここで、フレキシブルディスプレイ用フィルムトレイの支持板８１０には、開口部８１０ａが形成されているので、レーザーがドナーフィルム９５０に到逹することができる。図９ｂ
この後、ドナーフィルム９５０をアクセプター基板９１０から引き離せば、転写層９５０ｃの中でレーザーを照射された部分が正孔輸送層９４０上に付き、ドナーフィルム９５０から分離する（図９ｃ）。
この後、ドナーフィルム９５０をアクセプター基板９１０から引き離せば、転写層９５０ｃの中でレーザーを照射された部分が正孔輸送層９４０上に付き、ドナーフィルム９５０から分離する（図９ｃ）。
この後、ドナーフィルム９５０をアクセプター基板９１０から完全に引き離せば、アノード電極９２０、正孔注入層９３０及び正孔輸送層９４０が順に形成されたアクセプター基板９１０上に、レーザーを照射された部分のみに発光層９６０が形成される。図９ｄ
ここで、図８ｂに図示されたフレキシブルディスプレイ用フィルムトレイを利用してドナーフィルム９５０を製造する場合、ベース基板９５０ａがフレキシブルであっても、ベース基板９５０ａを水平に維持した状態で光熱変換層９５０ｂ及び転写層９５０ｃを形成することができる。これによって、ベース基板９５０ａ上の正確な位置に光熱変換層９５０ｂと転写層９５０ｃを均一に形成することができる。
ここで、図８ｂに図示されたフレキシブルディスプレイ用フィルムトレイを利用してドナーフィルム９５０を製造する場合、ベース基板９５０ａがフレキシブルであっても、ベース基板９５０ａを水平に維持した状態で光熱変換層９５０ｂ及び転写層９５０ｃを形成することができる。これによって、ベース基板９５０ａ上の正確な位置に光熱変換層９５０ｂと転写層９５０ｃを均一に形成することができる。
また、ドナーフィルム９５０を、図８ｂに図示されたフレキシブルディスプレイ用フィルムトレイによって水平に固定した状態で発光層を形成すると、ミス−アラインメントが発生する可能性も少なくなる。
図１０ａないし図１０ｅは、本発明の第４の実施形態によるフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイ及びその固定方法を示す図面である。ここで、本第４の実施形態によるフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイも、フレキシブル基板またはフィルムに適用が可能であり、以下、説明の便宜のためにフレキシブルフィルムを移送する場合を仮定して説明する。
図１０ａないし図１０ｅを参照すれば、本第４の実施形態によるフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイ１１００は、四角形状の支持枠１１００ａとフレキシブルフィルムを安着させるための基板支持部１１００ｂを含む。ここで、基板支持部１１００ｂは、移送しようとするフレキシブルフィルム１２００を安着させるために支持枠１１００ａから所定の段差を置いて形成されて、成膜のための開口部１１１０を具備する。
このようなフィルムトレイ１１００は、ガラス基板のように柔軟性をほとんど持たないインフレキシブル基板１３００に付着したフレキシブルフィルム１２００の固定または蒸着の際に利用される。また、フィルムトレイ１１００は、軽量化のためにアルミニウムなどの軽金属または炭素纎維強化プラスチックなどの合成樹脂などで形成されることができる。アルミニウムでフィルムトレイ１１００を製造する場合、剛性維持のために部分的にスチールなどを異種接合して製造することもできる。このようなフィルムトレイ１１００は、通常、１０ｍｍないし５０ｍｍの厚さに製造されて、移送しようとするフレキシブルフィルム１２００の大きさを考慮してフレキシブルフィルム１２００が安定的に移送されるように製作される。例えば、フィルムトレイ１１００の基板支持部１１００ｂのまわりは、フレキシブルフィルム１２００の大きさに対応するように製作されることができる（図１０ａないし図１０ｂ参照）。
フレキシブルフィルム１２００がフィルムトレイ１１００によって移送される過程を説明すると、まず、移送及び蒸着時にフレキシブルフィルム１２００の垂れ下がりが防止できるように、フレキシブルフィルム１２００をガラス基板のようなインフレキシブル基板１３００に付着させる（図１０ｃ）。
そして、インフレキシブル基板１３００に付着したフレキシブルフィルム１２００を、フィルムトレイ１１００に安着させる。この時、フレキシブルフィルム１２００は、フィルムトレイ１１００の基板支持部１１００ｂ上に安着される（図１０ｄないし図１０ｅ）。
このように、フィルムトレイ１１００上に、インフレキシブル基板１３００に付着したフレキシブルフィルム１２００を安着させてフレキシブルフィルム１２００を固定及び移送すると、フレキシブルフィルム１２００に薄膜を蒸着する際やフレキシブルフィルム１２００を移送する際に、フレキシブルフィルム１２００の垂れ下がりを防止することができる。これによって、薄膜形成の際に、フレキシブルフィルム１２００の正確な位置に薄膜を成膜してパターニングすることができ、薄膜が同一の特性を持つように全体の成膜領域内に均一に形成することができる。また、フレキシブルフィルム１２００の模様変形なしに、フレキシブルフィルム１２００を容易に移送することができる。
本発明の技術的思想は、前記望ましい実施形態によって具体的に記述されたが、前記の実施形態はその説明のためのものであって、これ制限されるものではないことに注意しなければならない。また、本発明の技術分野の通常の知識を持った者ならば、本発明の技術的思想の範囲内で多様な変形例が可能であるということが理解できるはずである。
前述したように、本発明の実施形態によるフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイによると、フレキシブル基板またはフィルムの垂れ下がりを防止して、薄膜蒸着の際や移送の際にフレキシブル基板またはフィルムが水平に維持される。これによって、薄膜を正確な位置に成膜してパターニングすることが可能であり、薄膜が同一の特性を持つように全体の成膜領域内に薄膜を均一に形成することができる。また、フレキシブル基板またはフィルムの模様変形なしにフレキシブル基板またはフィルムを便利に移送することができる。また、ドナーフィルムを利用したレーザー転写法に本発明によるフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイが使用される場合、ドナーフィルムを水平に維持した状態で発光層を形成することができるので、ミス−アラインメントが発生する可能性も少なくなる。
１００、４００、５００、１１００ フィルムトレイ、
１１０、４１０、５１０、８１０ 支持板、
１２０、４２０、５２０、８２０ クランプ、
１２０ａ、５２０ａ、８２０ａ クランプの開閉部、
１２０ｂ、５２０ｂ、８２０ｂ クランプの支持部、
２１０、５６０、８３０、１２００ フレキシブルフィルム、
５４０ 前面支持部、
８３５ ドナーフィルムのベース基板。
１１０、４１０、５１０、８１０ 支持板、
１２０、４２０、５２０、８２０ クランプ、
１２０ａ、５２０ａ、８２０ａ クランプの開閉部、
１２０ｂ、５２０ｂ、８２０ｂ クランプの支持部、
２１０、５６０、８３０、１２００ フレキシブルフィルム、
５４０ 前面支持部、
８３５ ドナーフィルムのベース基板。
Claims (7)
- 中央部に開口部が形成された支持板と、
前記支持板の縁部にお互いに対称となるように設置されて、フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを固定するための少なくとも２つ以上のクランプを具備し、
前記クランプは、
前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを固定するために開閉可能に設置された開閉部と、
前記開閉部から所定の離隔空間を置いて設置されて、前記開閉部が閉鎖される場合に、前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを固定して前記支持板から所定高さで支持するための支持部と、
前記支持板の一側端部に形成された前記クランプの開閉部から、前記支持部上に伸長されるように形成されて、前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを前記支持部の上面に固定する前面支持部と、を具備し、
前記開閉部の前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムと接する内側面には、前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを固定するための段差が、前記支持板との間に前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを挟みつつ前記支持部へ向かって突出して鋭角に形成されて、
前記支持部の前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムと接する外側面は、前記開閉部の内側面に形成された段差と前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを介して嵌合可能な形状であることを特徴とするフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイ。 - 前記支持板、前記クランプ及び前記前面支持部の中の少なくとも一つには、溝またはホールが形成されることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイ。
- 前記支持板は、１０ｍｍないし５０ｍｍの厚さを持つことを特徴とする請求項１または２に記載のフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイ。
- 前記支持板及びクランプの中の少なくとも一つは、アルミニウムなどの軽金属と炭素纎維強化プラスチックなどの合成樹脂の中の少なくとも一つで形成されたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイ。
- 前記支持板及びクランプの中の少なくとも一つは、アルミニウムとスチール系列を異種接合して形成されたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイ。
- ドナーフィルムを利用したレーザー転写法によって発光層を形成する有機発光ダイオードの製造方法において、
請求項１〜５のいずれか１項に記載したフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイを利用してドナーフィルムを製造し、または発光層を形成することを特徴とする有機発光ダイオードの製造方法。 - フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを固定するためのフィルムトレイに具備されるクランプであって、
前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを固定するために開閉可能に設置された開閉部と、
前記開閉部から所定の離隔空間を置いて設置されて、前記開閉部が閉鎖される場合に、前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを固定して前記クランプが設置される支持板から所定高さに支持するための支持部と、
前記クランプの開閉部から、前記支持部上に伸長されるように形成されて、前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを前記支持部の上面に固定する前面支持部と、を具備し、
前記開閉部の前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムと接する内側面には、前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを固定するための段差が、前記クランプが設置されて中央部に開口部が形成された支持板との間に前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを挟みつつ前記支持部へ向かって突出して鋭角に形成されて、
前記支持部の前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムと接する外側面は、前記開閉部の内側面に形成された段差と前記フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを介して嵌合可能な形状であることを特徴とするクランプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020050080995A KR100658267B1 (ko) | 2005-08-31 | 2005-08-31 | 플렉시블 디스플레이 제조용 필름 트레이 |
| KR10-2005-0080995 | 2005-08-31 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007067368A JP2007067368A (ja) | 2007-03-15 |
| JP4758818B2 true JP4758818B2 (ja) | 2011-08-31 |
Family
ID=37733500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006126660A Expired - Fee Related JP4758818B2 (ja) | 2005-08-31 | 2006-04-28 | フレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7834451B2 (ja) |
| JP (1) | JP4758818B2 (ja) |
| KR (1) | KR100658267B1 (ja) |
| CN (1) | CN100454514C (ja) |
| TW (1) | TWI353648B (ja) |
Families Citing this family (38)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US9866660B2 (en) | 2011-03-21 | 2018-01-09 | Apple Inc. | Electronic devices with concave displays |
| US8816977B2 (en) | 2011-03-21 | 2014-08-26 | Apple Inc. | Electronic devices with flexible displays |
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| CN2387609Y (zh) | 1999-06-30 | 2000-07-12 | 黄福国 | 电致冷光显示器 |
| JP2001168176A (ja) | 1999-12-03 | 2001-06-22 | Foi:Kk | プラズマ処理装置および保持具 |
| US6299745B1 (en) * | 2000-05-03 | 2001-10-09 | Honeywell International Inc. | Flexible substrate plating rack |
| KR20030044205A (ko) * | 2001-11-29 | 2003-06-09 | 동부전자 주식회사 | 반도체 제조 장치 및 방법 |
| JP4322469B2 (ja) | 2002-04-26 | 2009-09-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
| JP4264228B2 (ja) | 2002-07-04 | 2009-05-13 | 富士フイルム株式会社 | 記録方法及び記録装置 |
| US6777025B2 (en) | 2002-12-20 | 2004-08-17 | Eastman Kodak Company | Tensioning unrolled donor substrate to facilitate transfer of organic material |
| US6924654B2 (en) * | 2003-03-12 | 2005-08-02 | Celerity Research, Inc. | Structures for testing circuits and methods for fabricating the structures |
| JP3816457B2 (ja) * | 2003-03-18 | 2006-08-30 | 株式会社東芝 | 表示装置 |
| TWI255153B (en) | 2003-10-20 | 2006-05-11 | Hitachi Displays Ltd | Organic EL display device |
| TWM261711U (en) | 2004-06-15 | 2005-04-11 | Hirose Tech Co Ltd | Clamping mechanism used to fasten flexible substrate |
-
2005
- 2005-08-31 KR KR1020050080995A patent/KR100658267B1/ko active IP Right Grant
-
2006
- 2006-04-28 JP JP2006126660A patent/JP4758818B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-08-28 TW TW095131556A patent/TWI353648B/zh not_active IP Right Cessation
- 2006-08-29 US US11/512,649 patent/US7834451B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-08-31 CN CNB2006101123697A patent/CN100454514C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN100454514C (zh) | 2009-01-21 |
| US7834451B2 (en) | 2010-11-16 |
| CN1925127A (zh) | 2007-03-07 |
| TWI353648B (en) | 2011-12-01 |
| JP2007067368A (ja) | 2007-03-15 |
| US20070049033A1 (en) | 2007-03-01 |
| TW200723432A (en) | 2007-06-16 |
| KR100658267B1 (ko) | 2006-12-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20081201 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090107 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090127 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090427 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090609 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091007 |
|
| A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20091015 |
|
| A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20091127 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110328 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110331 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
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|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110603 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4758818 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140610 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140610 Year of fee payment: 3 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140610 Year of fee payment: 3 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |