JP4753815B2 - 微小移動体装置およびその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、光の照射により生じる熱を利用して動作する微小移動体装置に関する。

熱変形素子の熱変形に伴う衝撃力を利用した微小移動装置が知られている（特許文献１）。この文献に記載される微小移動装置は、所定の摺動面に載置される移動体と、この移動体の端面に取り付けられ熱変形により伸縮する熱変形素子と、この熱変形素子の端面に取り付けられ上記の摺動面から離間した慣性体（重り）とから構成される。熱変形素子が加熱されると、熱変形素子が急激に変形し、その変形に伴う衝撃力が移動体に作用する。移動体は、摺動面に対して摺動可能であるため、衝撃力により移動することができる。ここで、熱変形素子は、たとえば、レーザ光やマイクロ波により加熱可能であり、移動体を駆動する駆動力が非接触で提供されるという利点がある。
特開平６−１７７４７号公報

しかし、上記の微小移動装置には、以下の不都合がある。すなわち、熱変形素子の変形により生じる衝撃力を利用するため、効率良く移動体を移動させようとすると、移動体自体の形状を特殊なものとする必要がある。また、熱を加えると急激に変形する必要があるため、熱変形素子として特殊な材料を選択しなければならない。さらに、移動体と慣性体との重量バランスを最適化する必要があり、構造の小型化および単純化の点で制約を受ける。

本発明は、上記の不都合に鑑みてなされ、熱変形素子が発生する衝撃力に依らず、かつ、駆動力が非接触で提供されて変位動作することができる移動体装置を提供することを目的とする。

上記の目的を実現するため、本発明の移動体装置は、少なくとも第１の弾性層と第２の弾性層とから構成され、湾曲し、凹面側が載置面に面して載置される湾曲部材と、湾曲部材に光を照射する光源と、を備える。

湾曲部材が、湾曲部材に設けられ、第１の弾性層および第２の弾性層から構成され、先端部が載置面に接する分枝部を有すると、湾曲部材が載置面に安定して載置されるため、好ましい。

第１の弾性層がフォトレジストであり、第２の弾性層が金属であると、好適である。また、その金属がアルミニウムであるとより好ましい。さらに、そのフォトレジストが、０．０２〜５ＧＰａの硬さと、０．７〜１７０ＧＰａのヤング率とを有すると、一層好ましい。

光源がレーザダイオードを含んでいると、湾曲部材にレーザ光を容易に照射することができ、好ましい。また、上記の光源が、湾曲部材に照射される光の強度を変調する変調器を更に含んでいれば、湾曲部材の振動を容易に発生させることができ、好ましい。

本発明の移動体を製造する方法は、また、基板表面にフォトレジスト層を形成し、フォトレジスト層をパターン化して、第一の層を形成し、基板および第一の層を覆う金属層を形成し、第一の層上に第二の層が形成されるように、金属層をパターン化して、第一の層と第二の層とが積層されてなる移動体を製造する方法にある。この方法によれば、上述の移動体装置の湾曲部材を確実に製造することができる。

第一の層は、加熱されると、所定の硬さおよびヤング率を有することができ、好ましい。

本発明のまた別の特徴は、０．０２〜５ＧＰａの硬さと０．７〜１７０ＧＰａのヤング率とを有するフォトレジストからなる第１の弾性層、およびアルミニウムからなる第２の弾性層から構成されるカンチレバーと、カンチレバーに光を照射する光源と、を備えることにある。

以上のように、本発明によれば、熱変形素子が発生する衝撃力に依らず、かつ、駆動力が非接触で提供されて移動することができる移動体装置を提供することができる。

以下、添付の図面を参照しながら、本発明の一実施形態による移動体装置について説明する。添付の図面は、縮尺比に従って縮小、拡大されたものではなく、実施形態の概略を表すに過ぎない。また、添付の図面は、実施形態の特定のパラメータまたは構造上の細部を図示することを意図するものではない。これらについては、ここに示す情報を通して、当業者が任意に決定することができる。また、図面中、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

図１を参照すると、移動体装置１は、湾曲部材２と、この湾曲部材２に光束Ｌを照射する光源３とから構成される。
湾曲部材２は、図２（ａ）〜（ｃ）に示す通り、弓なりに湾曲する要部２ａと、要部２ａの側方に設けられ要部２ａと同様に湾曲する分枝部２ｂ、２ｃとを有し、全体として平面視で十字形状に構成されている（図２（ｂ））。湾曲部材２は、凹面側が基台４に面するように載置され、要部２ａの両端部と、分岐部２ｂ、２ｃの先端部とが基台４の上面４ａに摺動可能に接している（図２（ｃ））。

要部２ａおよび分枝部２ｂ、２ｃは、第１の弾性層２０と第２の弾性層２１とが積層されて構成され、第１の弾性層２０は凸面側に位置し、第２の弾性層２１は凹面側に位置している。また、これらの層２０、２１は、弾性材料からなり、互いに異なる熱膨張係数を有している。具体的には、第１の弾性層２０は、典型的にはガラス（ＳｉＯ_２）、プラスチック、又は樹脂などで構成され、第２の弾性層２１はステンレス・スチールやアルミニウム（Ａｌ）などの金属で構成されると好ましい。本実施形態においては、第１の弾性層２０をフォトレジストで作製し、微細加工が容易との理由から第２の弾性層２１をＡｌで作製している。特に、このフォトレジスト層は、３．４ＧＰａ程度の硬さと８１ＧＰａ程度のヤング率とを有している。

本実施形態における湾曲部材２の寸法を例示すると、要部２ａの長手方向の長さが３〜４ｍｍ程度であり、要部２ａの幅が０．８〜１．２ｍｍ程度である。また、第１の弾性層２０（フォトレジスト）の厚さが０．１〜２μｍ程度であり、第２の弾性層２１（Ａｌ）の厚さが０．１〜１０μｍ程度である。なお、分枝部２ｂの先端部から分枝部２ｃの先端部までの長さは、要部２ａの長手方向の長さとほぼ同一であり、分枝部２ｂ、２ｃの幅も要部２ａの幅とほぼ同一である。

基台４は、その上面４ａに載置される湾曲部材２が自重により移動しない程度に保たれている。また、その上面４ａは、湾曲部材２が摺動可能な程度に平坦な面とされている。具体的には、基台４として、鏡面研磨されたシリコン（Ｓｉ）ウェハーが好適である。

光源３は、本実施形態においては、波長６８５ｎｍのレーザ光を出射するレーザダイオードを用いた光源である。また、湾曲部材２上のレーザ光照射点の位置は、特に限定されず、要部２ａおよび分枝部２ｂ、２ｃでも、また、凸面側でも凹面側でも構わない。ただし、頂部よりも、湾曲部材２の端部（先端部）のいずれかに偏っている場合には、両端部（両先端部）での変形量に差が生じるため、この差によって、一定の方向へより顕著に移動することができる。

なお、光源３は、レーザダイオードへの印加電圧を所定の周波数（例えば３０Ｈｚ〜１４０Ｈｚ）でＯＮ／ＯＦＦすることができる。これにより、湾曲部材２へ照射される光もその周波数でＯＮ／ＯＦＦする。本実施形態では、図示しないファンクション・ジェネレータを利用し、これを実現している。ただし、印加電圧をスイッチでＯＮ／ＯＦＦしても良いし、可変電圧器を利用してもよい。また、レーザ光Ｌ（光束Ｌ）の光路にチョッパーを設けるようにしても構わない。

以上の構成を有する移動体装置１の動作、および移動体装置１が奏する効果・利点について述べる。
移動体装置１では、湾曲部材２がその凹面側（Ａｌ層側）が基台４の上面４ａに面するように載置され、少なくとも２つの接触部で上面４ａに接している。ここで、光源３からのレーザ光Ｌを湾曲部材２に照射すると、光の吸収により熱が発生し、第１の弾性層２０と第２の弾性層２１との間の熱膨張係数の差によって湾曲部材が変形する。このため、上面４ａに接する２つの接触部の間隔が変化する。レーザ光Ｌの照射が中断され温度が低下すると、湾曲部材２は、各層２０、２１の弾性力によってもとの形状に再変形する。このため、その接触部の間隔ももとに戻る。したがって、レーザ光Ｌの照射を所定の周期でＯＮ／ＯＦＦすると、湾曲部材２は、その周期で接触部の間隔が広狭するように振動する。ここで、湾曲部材２は、基台４に単に置かれているため、この振動により基台４上を移動することができる。故に、湾曲部材２は、熱変形部材の熱変形に伴う衝撃力を利用することなく、非接触で駆動力の提供を受けて移動する移動体として機能することができる。

また、第１の弾性層２０がフォトレジスト層で、第２の弾性層２１がＡｌで作製されているため、両者間の熱膨張係数の差が大きく、したがって、レーザ光Ｌの照射により生じる変形の度合を大きくすることができる。このため、湾曲部材２の移動量および移動速度を上昇させることができる。特に、フォトレジスト層が３．４ＧＰａ程度の硬さと８１ＧＰａ程度のヤング率とを有しており、湾曲部材２の第１の弾性層２０として好適である。

さらに、このような材料を用いると、第１の弾性層２０と第２の弾性層２１との内部の残留応力の差により、湾曲部材２を容易かつ確実に弓なりに湾曲することができる。

またさらに、要部２ａの両端部だけでなく、分枝部２ｂ、２ｃの先端部も上面４ａに接しているため、湾曲部材２は安定して基台４上に載置される。

次いで、図３（ａ）〜（ｄ）および図４（ａ）〜（ｃ）を参照しながら、湾曲部材の作製方法について説明する。

（１）フォトレジスト層の形成工程
まず、シリコン（Ｓｉ）基板３１を用意し、その表面に湾曲部材の第１の弾性層２０となるフォトレジスト層３２を形成する（図３（ａ））。Ｓｉ基板３１としては、鏡面研磨された市販のウェハーでよく、作製する湾曲部材２よりも大きければ、そのサイズ・形状は問わない。
使用するフォトレジストとしては、ポジフォトレジスト、ネガフォトレジストのいずれでもよく、具体的には、東京応化工業社製のＴＳＭＲ−８９００などを使用することができる。特に、後述するリフトオフ工程における作業性の点から、有機溶剤で容易に剥離できるフォトレジストを使用すると好ましい。また、フォトレジスト層３２の厚さは、０．０１〜３μｍ程度であると好適である。
次に、作製する湾曲部材２の形状に対応したパターン（十字形状）を有するフォトマスクを用いてフォトレジスト層３２を露光、現像し、パターン化されたフォトレジスト層３２ａを形成する。

（２）Ａｌ膜の形成工程
次に、フォトレジスト層３２が除去されて露出したＳｉ基板３１の表面と、フォトレジスト層３２ａとの上に、湾曲部材の第２の弾性層２１となるＡｌ膜３３を成膜する（図３（ｃ））。この成膜には、種々の物理的又は化学的蒸着法を採用することができる。ただし、膜厚の制御に優れていること、および、後述するようにフォトレジスト層３２を変質するという効果をもたらすことができることから、スパッタ法、特にマグネトロン・スパッタ法が好ましい。具体的な成膜条件を例示すると、スパッタガスがアルゴン（Ａｒ）であり、スパッタ電力が５００Ｗであり、ガス圧が３．０Ｐａである。また、スパッタ時間は７〜１０時間であり、この間に成膜されるＡｌ膜の膜厚は２〜３μｍ程度である。
（３）パターン化工程
Ａｌ膜３３上にフォトレジスト膜３４を塗布し、ベーキングし、上述のフォトマスクを用いて露光、現像し、マスク層３４ａを形成する（図３（ｄ）、図４（ａ））。その後、このマスク層３４ａを用いて、Ａｌ膜３３のマスク層３４ａに覆われていない部分をエッチングして除去する。これにより、Ａｌ層３３ａが形成される（図４（ｂ））。

（４）リフトオフ工程
最後に、有機溶剤（アセトン）を用い、マスク層３４ａを除去するとともに、フォトレジスト層３２ａをＳｉ基板３１からリフトオフする。このとき、Ａｌ層３３ａ上に、フォトレジスト層が残存する。これは、フォトレジスト層が、Ａｌ膜のスパッタ成膜中に生成されるプラズマの影響により変質したためである。

スパッタ成膜中と同じ条件でフォトレジスト層を加熱し、ナノインデンテーション試験を行った結果、フォトレジスト層の硬さは、熱処理前の１．０ＧＰａから３．４ＧＰａまで変化し、フォトレジスト層のヤング率は、熱処理前の３３ＧＰａから８１ＧＰａへと変化することが明らかとなっている。よって、フォトレジスト層が変質することにより、湾曲部材２に好適な第１の弾性層２０を実現することができる。

以上の工程により、第１の弾性層２０と第２の弾性層２１とが積層された湾曲部材２が形成される。湾曲部材２は、ヤング率が異なる２つの膜の残留応力の相違により、湾曲している。本実施形態における湾曲部材２は、レーザ光照射のＯＮ／ＯＦＦにより湾曲の度合が変化することを利用して移動するため、湾曲している必要があるが、この湾曲形状を実現するため、第１の弾性層２０と第２の弾性層２１との２層構造が利用されている。換言すると、上記の方法は、２層を積層することにより特別な工程を経ずに湾曲形状を得ることができるという利点を有している。

次に、上述の移動体装置１の効果を確認するために本発明の発明者等が行った実験の結果について説明する。この実験は、湾曲の度合がどの程度であるかを調べるために行ったものである。この目的のため、測定の簡便さを考慮し、湾曲部材２に代わってＡｌ層とフォトレジスト層との２層からなるマイクロ・カンチレバーを作製し、その変位量について評価した。このマイクロ・カンチレバーにおけるフォトレジスト層は、上記の湾曲部材２と同様、３．４ＧＰａ程度の硬さと、８１ＧＰａ程度のヤング率とを有していた。
さらに、比較のため、Ａｌ単層から構成されるマイクロ・カンチレバーと、ステンレス・スチール（ＳＵＳ）単層から構成されるマイクロ・カンチレバーとを作製し、その変位量を調べた。なお、これらのマイクロ・カンチレバーは、上述の湾曲部材の製造方法を適宜変更して作製した。また、上記３種類のマイクロ・カンチレバーのサイズは以下の通りであった。

・２層カンチレバー：長さ３．０６ｍｍ × 幅７００μｍ × 厚さ１．９μｍ、
・Ａｌ単層カンチレバー：長さ５．２２ｍｍ × 幅７００μｍ × 厚さ２．７μｍ、
・ＳＵＳ単層カンチレバー：長さ４．８６ｍｍ × 幅７００μｍ × 厚さ１０μｍ。

図５（ａ）（ｂ）〜図７（ａ）（ｂ）に、上述のマイクロ・カンチレバー形状が、レーザ光を連続照射した前後でどのように変化するかを示す。各図の（ａ）は、レーザ光を連続照射する前の形状を示し、各図の（ｂ）は、レーザ光を連続照射した後の形状を示している。

なお、この観察には、図８に示す測定装置を使用した。具体的には、実体顕微鏡１０の対物レンズの下にマイクロ・カンチレバーＭＣを置き、このマイクロ・カンチレバーＭＣに対して、ファンクション・ジェネレータ１１を介して駆動されるレーザダイオード１２からレーザ光Ｌを照射する。なお、レーザ光Ｌは、マイクロ・カンチレバーＭＣの裏面から照射している。そして、実体顕微鏡１０に設置されたＣＣＤカメラ１３によりマイクロ・カンチレバーＭＣの画像を撮像し、この画像を構成する電子データをパーソナルコンピュータ１４に入力する。その画像は、ディスプレイ１５に表示され、また、所定のプリンタ（図示せず）により印刷される。

図５（ａ）（ｂ）から分かるように、ステンレス・スチール単層からなるカンチレバーは、レーザ光の照射により上向きの反りが低減するように変形するが、先端部の変位量はわずか１３μｍに過ぎなかった。
また、図６（ａ）（ｂ）に示す通り、Ａｌ単層のカンチレバーでは、レーザ光の照射前後での先端部の変位量は約３３μｍとなり、ステンレス・スチール単層のカンチレバーに比べると、大きく増加することが分かった。

一方、Ａｌ層とフォトレジスト層とから構成されるマイクロ・カンチレバーでは、図７（ａ）（ｂ）に示すように、先端部の変位量は、約６４０μｍにも及んでいることが明らかとなった。これは、Ａｌ層とフォトレジスト層とが積層されている効果であり、特に、フォトレジスト層が加熱されて変質し、上述の硬さおよびヤング率を有しているためと本発明者等は考えている。
次いで、Ａｌ層とフォトレジスト層とから構成されるマイクロ・カンチレバーにおけるレーザ光強度と変位量との関係について説明する。図９を参照すると、レーザ光の出力の約１．５ｍＷから約１３ｍＷまでの範囲において、先端部の変位量はレーザ光出力にほぼ比例していることが分かる。この結果から、移動体装置１の湾曲部材２においても、照射するレーザ光の強度によりその変形量を、さらには移動速度を制御できることが示唆される。

続けて、Ａｌ層とフォトレジスト層とから構成されるマイクロ・カンチレバーにおけるレーザ光の照射周波数と変位量との関係について説明する。図１０を参照すると、このカンチレバーの先端部の変位量（振幅）は、レーザ光の照射周波数（照射周期）によっても制御できることが分かる。特に、周波数１００Ｈｚ付近に変位量のピークが認められるが、これは、このカンチレバーの固有振動数が約１００Ｈｚであり、レーザ光照射周波数と一致したために生じる共振現象に起因すると考えられる。

なお、照射周波数が約１２０Ｈｚを超えると変位量が減少するのは、非照射時間が短くなるのに伴って熱の放射が十分に行われなくなり、もとの形状にまで戻りきれなくなるためと推測される。

以上の実験結果を踏まえて、本実施形態による移動体装置１の動作の具体例を説明する。
図１１（ａ）〜（ｅ）は、波長６８５ｎｍのレーザ光（出力６．７ｍＷ）を照射周波数２５Ｈｚで湾曲部材２に照射したときの湾曲部材２の位置を示す図である。 図中、白い楕円は、レーザ光照射点を表わしている。

図１１（ａ）は、レーザ光の照射開始直後、図１１（ｂ）は、照射開始１０秒後、図１１（ｃ）は、照射開始２０秒後の湾曲部材２の位置を示している。これらの図を参照すると、レーザ光の照射により湾曲部材２が下向きに移動していることが分かる。図１１（ａ）と図１１（ｃ）とを比較すると、レーザ光の照射開始から約２０秒の間に、湾曲部材２は、約０．５ｍｍ移動していることが分かる。このような肉眼でも認識できる程度の移動量および移動速度は、従来実現されておらず、このことから、本発明が奏する効果が理解される。しかも、波長６８５ｎｍの可視光レーザ光で６．７ｍＷ程度の出力であるにも関らず、このような移動量および移動速度が得られることから、その効果が顕著であるということができる。さらに、湾曲部材２が有する固有振動数と、照射するレーザ光の照射周波数とを一致させれば、湾曲部材２の変形量をより大きくすることができ、具体的には、約２０秒間で約１ｍｍといった更に高い移動速度を実現できることを確認している。

なお、湾曲部材２は、上述のように平行に移動するだけでなく、回転することも可能である。図１１（ｄ）は、図１１（ｃ）と同様にレーザ光照射２０秒後の湾曲部材２の位置を示している。ここで、図中の目安線としての破線を参照しながら、図１１（ａ）、図１１（ｃ）および図１１（ｄ）を比較すると、湾曲部材２が反時計回りに回転していることが分かる。この結果は、本発明にかかる移動体装置において、レーザ光の照射点を調整すれば、非接触で、湾曲部材２の移動方向をも制御できることを示している。これも本発明が奏する大きな効果である。

以上、実施形態を参照しながら本発明にかかる移動体装置について説明したが、本発明は上記の形態に限らず、種々の変形が可能である。
たとえば、２つの分枝部２ｂ、２ｃを有し全体として十字形状の湾曲部材２を例示したが、図１２（ａ）〜（ｃ）に示すように、湾曲部材が上記の湾曲部材２の要部２ａに該当する部分のみから構成され、平面視で方形（図１２（ｂ））であってもよい。さらに、湾曲部材２は、図１３（ａ）〜（ｃ）に示すように平面視で矢尻形状であってよく、また、Ｙ字形状や星型形状に形成されても構わない。

また、一部のみが湾曲しており、その部分の凹面側が載置面に面するように載置されれば、たとえば、図１４（ａ）〜（ｃ）に示す通り、側方から見た場合にＳ字形状であっても良い。また、Ｗ字形状であっても、凹面状の部分が下向きに載置されていれば良い。さらに、光の照射を阻害せず、湾曲形状を損なわない限りにおいて、凸面側に突起部を設けても構わないことは言うまでもない。そのような突起部は、移動体としての湾曲部材が他の部材に作用を及ぼすよう利用される場合において、他の部材に対する作用点又は動作点として機能することができる。

なお、湾曲形状としては、載置面と接する少なくとも２つの部分を除いた部位が載置面から離隔していれば、特に限定されるものではなく、湾曲部材が載置される場所に応じて種々の湾曲状態とすることができる。

さらに、第１の弾性層と第２の弾性層とが積層された構成に限らず、一又は複数の層を更に積層しても構わない。具体的には、Ａｌ層、フォトレジスト層、および炭素層の３層から構成すると好適である。また、第１の弾性層と第２の弾性層とは、同一の形状を有している必要はない。たとえば、第１の弾性層は、第２の弾性層の一の面の一部を覆えばよく、また、第２の弾性層の一の面に点在していてもよい。

光源３として、波長６８５ｎｍのレーザ光を発するレーザダイオードを利用したものを例示したが、湾曲部材２に対して光を照射できれば、特に形式が限定されるものではない。さらに、照射光の波長は、６８５ｎｍに限定されず、可視域（約４００ｎｍから約７００ｎｍ）内のいずれの波長であってよく、また、赤外域内の波長であってもよい。

また、光源３は、赤色光発光ダイオードと、このダイオードからの光を集光して湾曲部材２に照射する集光用レンズとから構成されるものであっても構わない。このとき、湾曲部材２に照射される光束の強度を所定の周波数で変調するため、このレンズと湾曲部材２との間にチョッパーを設けると好ましい。
また、上述の湾曲部材の作製方法は、スパッタリングやフォトリソグラフィなどの半導体製造プロセスを応用したもので、あくまでも一例であって、種々の変更が可能である。

たとえば、第１の弾性層２０となるフォトレジスト層を意図的に加熱して変質させる加熱工程を設けても良い。これは、Ａｌ膜のスパッタリングに代えて真空蒸着を採用した場合などに好適である。

また、Ｓｉ基板３１上にフォトレジスト層３２を形成する前に、この基板３１上にＳｉＯ_２層を形成し、この上にフォトレジスト層３２を形成するようにしてもよい。そして、Ａｌ膜をエッチングしてパターン化した後、マスク層３４ａ（フォトレジスト）をアッシングにより除去し、バッファード・フッ酸を用いて当該ＳｉＯ_２層を除去すれば、第１の弾性層２０としてのフォトレジスト層３２ａの厚さを確実かつ容易に制御することが可能となる。

本発明は、いわゆる光熱駆動型の自走式マイクロマシンのコア技術として種々の分野での利用が可能である。具体的には、計測器機、医療機器、工作機器への応用が可能であり、特に計測器機分野への利用が見込まれる。

本発明にかかる移動体装置の概略図である。 図１の移動体装置の湾曲部材を示す（ａ）斜視図、（ｂ）上面図、（ｃ）側面図である。 図２の湾曲部材の製造方法を示す図である。 図２の湾曲部材の製造方法を示す図である。 本発明にかかる移動体装置の効果を確認するために作製したカンチレバーとの比較の目的で作製したステンレス・スチール単層のカンチレバーを示す図であり、（ａ）は光照射前、（ｂ）は光照射後の当該カンチレバーを示す。 本発明にかかる移動体装置の効果を確認するために作製したカンチレバーとの比較の目的で作製したアルミニウム単層のカンチレバーを示す図であり、（ａ）は光照射前、（ｂ）は光照射後の当該カンチレバーを示す。 本発明にかかる移動体装置の効果を確認するために作製したカンチレバーを示す図であり、（ａ）は光照射前、（ｂ）は光照射後の当該カンチレバーを示す。 図５から図７に示す実験に用いた測定装置の概略図である。 図７に示すカンチレバーの先端部の変位量のレーザ光強度依存性を示す図である。 図７に示すカンチレバーの先端部の変位量のレーザ光照射周波数依存性を示す図である。 本発明にかかる移動体装置の湾曲部材が移動する様子を示す図である。 図１の移動体装置の湾曲部材の変形例を示す（ａ）斜視図、（ｂ）上面図、（ｃ）側面図である。 図１の移動体装置の湾曲部材の別の変形例を示す（ａ）斜視図、（ｂ）上面図、（ｃ）側面図である。 図１の移動体装置の湾曲部材の更に別の変形例を示す（ａ）斜視図、（ｂ）上面図、（ｃ）側面図である。

符号の説明

１…移動体装置、２…湾曲部材、２ａ…要部、２ｂ、２ｃ…分枝部、２０…第１の弾性層、２１…第２の弾性層、３…光源、４…基台。

Claims (10)

1. 少なくとも第１の弾性層と第２の弾性層とから構成され、湾曲し、凹面側が載置面に面して載置される湾曲部材と、
   前記湾曲部材に光を照射する光源と、
   を備える微小移動体装置。
2. 前記湾曲部材が、前記湾曲部材に設けられ、前記第１の弾性層および前記第２の弾性層から構成され、先端部が前記載置面に接する分枝部を有する、請求項１に記載の微小移動体装置。
3. 前記第１の弾性層がフォトレジストであり、前記第２の弾性層が金属である、請求項１又は２に記載の微小移動体装置。
4. 前記金属がアルミニウムである、請求項３に記載の微小移動体装置。
5. 前記フォトレジストが、０．０２〜５ＧＰａの硬さと、０．７〜１７０ＧＰａのヤング率とを有する、請求項４に記載の微小移動体装置。
6. 前記光源がレーザダイオードを含む、請求項１から５のいずれか一項に記載の微小移動体装置。
7. 前記光源が、前記湾曲部材に照射される光の強度を変調する変調器を更に含む、請求項１から６のいずれか一項に記載の微小移動体装置。
8. 基板表面にフォトレジスト層を形成し、
   前記フォトレジスト層をパターン化して、第一の層を形成し、
   前記基板表面および前記第一の層を覆う金属層を形成し、
   前記第一の層上に第二の層が形成されるように、前記金属層をパターン化して、前記第一の層と前記第二の層とが積層されてなる微小移動体を製造する方法。
9. 前記第一の層が加熱される、請求項８に記載の方法。
10. ０．０２〜５ＧＰａの硬さと０．７〜１７０ＧＰａのヤング率とを有するフォトレジストからなる第１の弾性層、およびアルミニウムからなる第２の弾性層、から構成されるカンチレバーと、
    前記カンチレバーに光を照射する光源と、
    を備える微小移動体装置。