JP4743951B2 - 半導体ウエハのノッチ部分の研磨装置及び研磨加工方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、シリコンウエハのノッチ部分の面取り部の研磨を行う研磨装置及び研磨加工方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
シリコンウエハの製造工程においては、CZ(チョクラルスキー)法等で引き上げられたシリコンインゴットから切り出されたシリコンウエハに対して、所定の研磨液(スラリ液)を使用して面取り処理、ラッピング処理及びポリッシング加工を施すことにより、その表面を平滑にし、或いは鏡面状態に仕上げるようにしている。
【0003】
ラッピング処理やポリッシング加工が施される前の面取り処理においては、シリコンウエハに対して、その周縁部を面取り加工することにより、シリコンウエハの周縁部が、ウエハ搬送装置やハンドリング装置、熱処理するためのサセプターやボート等と接触してチップやかけが発生することを防止するようにしている。
【0004】
最近では、この面取り加工の後、面取り部をポリッシング(研磨)して、周縁部を鏡面状に仕上げて、より微細なチップやかけの発生を少なくしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、面取り、研磨の対象であるシリコンウエハ15として、図4に示されるような構成のものがある。図4はシリコンの結晶軸方向を示すと共に位置決めを行うために用いられる切欠き形状のノッチ部15Bが形成されたシリコンウエハ15を示す平面図である。最近では、上述の理由で、このノッチ加工部分についても、鏡面状に研磨することが多くなっている。
【0006】
このような形状のノッチ部15Bは、周縁部の面取り加工法と同様に加工され、その後鏡面状に研磨される。ノッチ部15Bの面取り加工面を鏡面研磨する場合、その鋭角部分や凹んだ部分を研磨しようとすると、図5に示される構成の研磨装置10が用いられている。すなわち図5は研磨装置10の縦断面図を示し、カバー11の内側の空間に押さえ板13によって保持された研磨パッド12が矢印a方向およびその逆方向に回動自在に枢支されている。カバー11の上部にはスラリ液をカバー外側から内側に供給するための円管形状のスラリ供給ノズル14が設けられている。このスラリ供給ノズル14からカバー内側に供給されたスラリ液は、矢印a方向に回動する研磨パッド12に流れ落ち、当該研磨パッド21に供給される。
【0007】
スラリ液が供給された研磨パッド12は、矢印a方向及びその逆方向に所定のタイミングごとに反転しながら回動することにより、カバー11の開口部11Aにおいて当該研磨パッド12の周縁部に当接されたシリコンウエハの周縁部に形成されているノッチ部15Bの面取り部を鏡面研磨する。
【0008】
ここで、カバー内側に供給されたスラリ液のうち余分なスラリ液は、カバー内側の低部に一旦溜まった後、カバー11の側面に形成されている排液口16からカバー外側に流れ出るようになされている。
【0009】
ところがカバー11の側面に排液口16が設けられていると、カバー内側の最も低い底部に余分なスラリ液が溜まり易くなる。このようにカバー内側に余分なスラリ液が溜まると、研磨パッド12が当該液溜まりに浸漬しながら回動することとなり、多量のスラリ液を巻上げ、カバー11の開口部11Aから外側に飛散する問題があった。
【0010】
また、従来の研磨装置10においては、スラリ液をカバー内側に供給するためのスラリ供給ノズル14が研磨パッド12の上部に設けられ、スラリ液を研磨パッド12に滴下させるようになされている。従って、余分なスラリ液がSUS板でなる押さえ板13に付着し易くなる。押さえ板13はフェルト状素材からなる研磨パッド12とは異なり、スラリ液を吸収することがないため、当該押さえ板13に付着したスラリ液は押さえ板13の回動によってカバー11の開口部11Aからカバー外側に飛散する問題があった。
【0011】
また、従来の研磨装置10においては、図6に示すように、円形断面形状のスラリ液供給ノズル14を用いていたため、比較的厚みの小さな研磨パッド12にスラリ液を均一かつ確実に供給するためには、供給するスラリ液の流量を多くする必要がある。スラリ液の流量を多くすると、研磨パッド12とカバー11との間隔が小さいことにより、過剰なスラリ液が研磨パッドに付着し、カバー外側にスラリ液が飛散する問題があった。
【0012】
スラリ液がカバー外側に飛散すると、この分、スラリ液の回収量が減り、結果としてスラリ液の消費量が増えることとなる。また、カバー外側に過剰にスラリ液が飛散すると、シリコンウエハに当該飛散したスラリ液が付着し、シリコンウエハの品質の劣化を招くことになる。
【0013】
本発明は、以上のような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、スラリ液の飛散を減らすとともに、スラリ液の消費量を少なくし得る半導体ウエハのノッチ部分の研磨装置及び研磨加工方法を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
以上のような課題を解決するために、本発明に係る半導体ウエハのノッチ部分の研磨装置においては、回転する研磨パッドの下側の部分に、スラリ液の給液口と排液口とを近接させて配置し、当該回転する研磨パッドに染み込んだスラリ液のうちでも余分なものが直ちに落ちるようにすることによって、余分なスラリ液が飛散するのを防止するようにしている。
【0015】
より具体的には、本発明においては以下のようなものを提供する。
【0016】
(1) 回動する薄円盤状の研磨パッドによって半導体ウエハのノッチ部分の面取り加工面の研磨を行う研磨装置であって、前記研磨パッドの研磨部分を露出させると共に他の部分を覆って当該研磨パッドを収容するカバーと、このカバーに収容されている前記研磨パッドを回動させる駆動軸と、を備え、前記カバーの内側において、前記研磨パッドにスラリ液を供給する給液口が当該カバーの下半分の部分に配置されていると共に、スラリ液を排出する排液口が当該カバーの最下部の部分に配置されていることを特徴とする半導体ウエハのノッチ部分の研磨装置。
【0017】
「研磨パッド」とは、フェルト等の布製のものであって、研磨剤を含んだスラリ液を吸収し、この状態で半導体ウエハのノッチ部分を擦ることにより、鏡面研磨を行うものをいう。
【0018】
「カバー」とは、スラリ液が外側に飛散することを防止した樹脂製、金属製等でなる、研磨パッドを覆うものである。
【0019】
「最下部」とは、供給ノズルから噴出されたスラリ液のうち、余分なスラリ液が落下して溜まり易くなる部位をいう。
【0020】
(2) (1)記載の研磨装置であって、前記給液口は所定長のスリット形状をなし、当該給液口から上方に噴出された前記スラリ液を前記研磨パッドが横切るようにしたことを特徴とする半導体ウエハのノッチ部分の研磨装置。
【0021】
(3) (1)または(2)記載の研磨装置であって、前記給液口は、前記カバーの最下部の部分に配置されていることを特徴とする半導体ウエハのノッチ部分の研磨装置。
【0022】
(4) 回動する薄円盤状の研磨パッドによって半導体ウエハのノッチ部分の面取り部の研磨を行う研磨加工方法において、前記ノッチ部分の研磨を行う前記薄円盤状の研磨パッドの下部において、スラリ液を供給する給液口とスラリ液を排出する排液口とを近接して設置することにより、スラリ液の効率使用を図りながら、半導体ウエハのノッチ部分の面取り部の研磨を行う研磨加工方法。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る半導体ウエハのノッチ部分の研磨装置及び研磨加工方法について図面を参照しながら説明する。
【0024】
[装置の構成]
図1は、本発明に係る半導体ウエハの研磨装置20の全体構成を示す断面図である。この図1に示されるように、研磨装置20においては、カバー21の内側の空間に押さえ板23によって保持された研磨パッド22が回動軸24を回動中心として矢印a方向およびその逆方向に回動自在に枢支されている。
【0025】
カバー21の内側の最も低い底部には、スラリ液29を上方に向かって噴出させるためのスラリ液供給ノズル30が設けられている。図2は、スラリ液供給ノズル30の構成を示す斜視図である。この図2に示されるように、スラリ液供給ノズル30は、外側から供給されたスラリ液をノズル先端部に導くための供給路32と、当該供給路32を介してノズル先端部に供給されたスラリ液を、所定の幅L及び所定の厚さで上方に噴出させるようになされたスリット状の噴出口33とを有する。このスリットの長さは、当該スリット状の噴出口33から上方に噴出されたスラリ液29の幅Lが研磨パッド22の厚みよりも大きくなるように形成されている。これにより、研磨パッド22を研磨装置20のカバー21の内側の空間に押さえ板23によって取り付けた際に、当該研磨パッド22が回動軸24と平行なスラスト方向に動いたとしても、その研磨パッドは、噴出されたスラリ液29の幅L内を通過するようになされている。
【0026】
かくして、噴出口33から上方に噴出されたスラリ液29を、回動する研磨パッド22が横切ることにより、当該研磨パッド22は、スラリ液29を横切る瞬間のみ当該スラリ液に触れることになる。この結果、研磨パッド22には、過剰なスラリ液が付着せず、必要十分な量のスラリ液が研磨パッド22に供給される。研磨パッド22に供給されたスラリ液は、フェルト状素材でなる研磨パッド22に浸透する。
【0027】
このように、スラリ液が浸透した研磨パッド22は、図1に示されるように、所定の回動駆動手段(図示せず)によって矢印a方向及びそれとは逆方向に所定のタイミングごとに反転しながら回動駆動され、この回動する研磨パッド22の周縁部に対して、カバー21の開口部21Aを介してシリコンウエハ15のノッチ部分15Bが当接されることにより、当該シリコンウエハ15のノッチ部分15Bの面取り部が研磨される。
【0028】
因みに、シリコンウエハ15は、真空吸着ベース41によって吸着保持されており、当該真空吸着ベース42は、回動支持部材42によって矢印c、d方向に回動自在に支持されている。したがって、真空吸着ベース41を回動させることにより、当該真空吸着ベース41に保持されたシリコンウエハ15を傾かせ、これにより当該シリコンウエハ15のノッチ部分15Bをその形状に合わせて研磨することが可能となっている。
【0029】
スラリ液供給ノズル30の噴出口33から上方に噴出したスラリ液は、カバー21の内側の最も低い低部に形成された開口部26に直接落下する。この開口部26は、カバー21の内側の最も低い底部に設けられた排液口27の開口端を拡張したものであり、当該開口部26の内側空間にスラリ液供給ノズル30を配置している。したがって、スラリ液供給ノズル30から上方に噴出したスラリ液は、直接開口部26に落下することとなる。
【0030】
また、開口部26に流れ落ちたスラリ液29は、当該開口部26から排液口27を介してカバー21の外側に排出されることとなり、これによりカバー内側の底部にはスラリ液29が溜まらず、研磨パッド22に過剰なスラリ液が付着することを回避している。
【0031】
因みに、カバー21の内周面には、開口部21Aの上方及び下方にそれぞれ突起部28A及び28Bが形成されている。図3は、図1のA−A線を断面にとって示す縦断面図であり、突起部28A及び28Bは、それぞれカバー21の内周面の幅方向に土手状に形成されている。この突起部28A及び28Bのうち、開口部21Aよりも上方に形成されている突起部28Aは、図1に示されるように、研磨パッド22が矢印aと逆方向に回動した際に、当該研磨パッド22の回動によってカバー内側で発生するスラリ液の飛沫が開口部21Aに到達することを防止する。また、開口部21Aよりも下方に形成されている突起部28Bは、研磨パッド22が矢印a方向に回動した際に、当該研磨パッド22の回動によってカバー内側で発生するスラリ液の飛沫が開口部21Aに到達することを防止するようになされている。
【0032】
[動作]
以上の構成の研磨装置20においては、矢印aで示す方向またはこれとは逆方向に回動する研磨パッド22に対して、スラリ液供給ノズル30からスラリ液が上方の研磨パッド22が横切る位置に噴出された後、開口部26に直接落下する。従って、カバー21の内側に余分なスラリ液が滞留することがなくなるとともに、スラリ液を吸収し得ないSUS材等で構成された押さえ板23にスラリ液が付着しないことにより、カバー21の内側において余分なスラリ液の飛散が少なくなる。
【0033】
カバー21の内側で余分なスラリ液の飛散が減少すると、開口部21Aからカバー外側へのスラリ液の飛散も減少することになり、スラリ液の回収量も増える。回収されたスラリ液は再利用される。
【0034】
また、スラリ液供給ノズル30によって噴出されたスラリ液29は、スラリ液供給ノズル30のスリット状の噴出口33によって、研磨パッド22の回動軸方向(スラスト方向)に所定幅Lを以って噴出されていることにより、研磨パッド22の位置がそのスラスト方向に動いた場合であっても、当該研磨パッド22は噴出口33から噴出されたスラリ液29の幅L内を横切ることになる。従って、研磨パッド22をカバー内側の空間へ取り付けた際に当該研磨パッド22が押さえ板23によって回動軸24と平行なスラスト方向に動いたとしても、その研磨パッド22は、スラリ液29の幅L内を横切ることとなって、当該研磨パッド22へのスラリ液の付着量を常に一定量に保つことが可能となる。従って、研磨パッド22に対してスラリ液を均一に付着させることができる。
【0035】
このように、研磨装置20を用いることにより、スラリ液の飛散が防止されその余分なスラリ液の回収量も増えることにより、例えば、図4に示されるような、ノッチ15Bを有するシリコンウエハ15のように、ノッチ15Bの面取り部の研磨にスラリ液を多く消費するような場合であっても、スラリ液の不必要な消費を少なくすることが可能となる。
【0036】
[他の実施形態]
なお上述の実施形態においては、スラリ液供給ノズル30をカバー21の最も低い部分に設ける場合について述べたが、本発明はこれに限らず、少なくとも流れ落ちたスラリ液が押さえ板23に触れないような位置であればよく、この位置としては、カバー21の真下の位置から角度90°上方の位置までの間、すなわちカバー21の下半部が好ましい。この場合、カバー21の最も低い位置に加えて、スラリ液供給ノズル30から噴射されたスラリ液の落下位置にも開口部26及び排液口27を設けるようにすれば、余分なスラリ液の飛散を減少させることができる。
【0037】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る半導体ウエハのノッチ部分の研磨装置は、スラリ液が過剰に研磨パッドに付着することを防止することができ、また、余分なスラリ液の飛散を少なくすることができることにより、スラリ液の消費量を少なくし得るとともに、スラリ液の飛散による半導体ウエハの品質の劣化を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る半導体ウエハの研磨装置の構成を示す断面図である。
【図2】 本発明に係るスラリ液供給ノズルの構成を示す斜視図である。
【図3】 本発明に係る半導体ウエハの研磨装置の構成を示す断面図である。
【図4】 ノッチを有する半導体ウエハを示す平面図である。
【図5】 従来の半導体ウエハの研磨装置の構成を示す断面図である。
【図6】 従来の半導体ウエハの研磨装置の構成を示す断面図である。
【符号の説明】
10、20 面取り装置
11、21 カバー
11A、21A 開口部
12、22 研磨パッド
13、23 押さえ板
14、30 スラリ液供給ノズル
15 シリコンウエハ
15B ノッチ部
16、27 排液口
28A、28B 突起部
29 スラリ液
33 噴出口
Claims (4)
- 回動する薄円盤状の研磨パッドによって半導体ウエハのノッチ部分の面取り部の研磨を行う研磨装置であって、
前記研磨パッドの研磨部分を露出させると共に他の部分を覆って当該研磨パッドを収容するカバーと、
前記カバーに収容されている前記研磨パッドを水平方向の回転軸を中心に回動させる駆動軸と、
前記研磨パッドの側面を保持する押さえ板と、
前記カバーの内側における前記カバーの下半分の部分に配置され、前記研磨パッドにスラリ液を供給する給液口と、
前記カバーの最下部に配置され、前記スラリ液を排出する排液口と、
前記カバーにおいて前記排液口よりも上側に形成され、前記研磨パッドの外縁の一部を露出させて、前記半導体ウエハを前記研磨パッドの外縁に対して当接させる開口部と、
を備えることを特徴とする半導体ウエハのノッチ部分の研磨装置。 - 請求項1記載の研磨装置であって、前記給液口は、前記研磨パッドの厚さ方向に延びる所定長のスリット形状をなし、当該給液口から上方に噴出された前記スラリ液の幅が前記研磨パッドの厚みよりも大きくなるように形成されていることを特徴とする半導体ウエハのノッチ部分の研磨装置。
- 請求項1または請求項2記載の研磨装置であって、前記給液口は、前記カバーの最下部に配置されていることを特徴とする半導体ウエハのノッチ部分の研磨装置。
- 回動する薄円盤状の研磨パッドを有する研磨装置によって半導体ウエハのノッチ部分の面取り部の研磨を行う研磨加工方法において、
前記研磨装置は、
前記研磨パッドの研磨部分を露出させると共に他の部分を覆って当該研磨パッドを収容するカバーと、
前記カバーに収容されている前記研磨パッドを水平方向の回転軸を中心に回動させる駆動軸と、
前記研磨パッドの側面を保持する押さえ板と、
前記カバーの内側における前記カバーの下半分の部分に配置され、前記研磨パッドにスラリ液を供給する給液口と、
前記カバーの最下部に配置され、前記スラリ液を排出する排液口と、
前記カバーにおいて前記排液口よりも上側に形成され、前記研磨パッドの外縁の一部を露出させて、前記半導体ウエハを前記研磨パッドの外縁に対して当接させる開口部と、
を備え、
前記ノッチ部分の研磨を行う前記薄円盤状の研磨パッドの下部において、前記給液口を前記排液口よりも前記研磨パッド側に設置することにより、前記スラリ液の効率使用を図りながら、前記半導体ウエハのノッチ部分の面取り部の研磨を行う研磨加工方法。
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