JP4740037B2 - 窒化物半導体レーザ素子およびこれを備えた窒化物半導体レーザ装置 - Google Patents
窒化物半導体レーザ素子およびこれを備えた窒化物半導体レーザ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4740037B2 JP4740037B2 JP2006149859A JP2006149859A JP4740037B2 JP 4740037 B2 JP4740037 B2 JP 4740037B2 JP 2006149859 A JP2006149859 A JP 2006149859A JP 2006149859 A JP2006149859 A JP 2006149859A JP 4740037 B2 JP4740037 B2 JP 4740037B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nitride semiconductor
- semiconductor laser
- laser device
- face
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
11 GaN基板
12 絶縁膜
13 p電極
14 n電極
15 リッジ部
16 出射側共振器端面
17 反射側共振器端面
18 ARコート膜
19 HRコート膜
20 窒化物半導体積層体
21 n型GaN層
22 n型Al0.05Ga0.95Nクラッド
23 n型GaNガイド層
24 多重量子井戸活性層
25 p型Al0.3Ga0.7N蒸発防止層
26 p型GaNガイド層
27 p型Al0.062Ga0.938Nクラッド層
28 p型GaNコンタクト層
30 ウェハ
31 スクライブポイント
41 第1の吸湿防止層
42 第2の吸湿防止層
50 窒化物半導体レーザ装置
51 ステム
52 サブマウント
53 半田
54 ピン
55 配線
57 ピン
58 キャップ
59 ガラス窓
Claims (3)
- 複数の窒化物半導体層からなる窒化物半導体積層体と、この窒化物半導体積層体を劈開して形成された互いに平行な2個の端面と、この2個の端面の上に設けられた保護層と誘電体からなるコート膜とを備えた窒化物半導体レーザ素子において、
前記保護層がAl 2 O 3 であって、前記コート膜のいずれの上にもSiN/TiNからなる吸湿防止層を設けたことを特徴とする窒化物半導体レーザ素子。 - 前記吸湿防止層の厚さが10Å以上100Å以下であることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体レーザ素子。
- 請求項1または請求項2に記載の窒化物半導体レーザ素子と、前記窒化物半導体レーザ素子を覆うキャップとを備えた窒化物半導体レーザ装置において、
前記キャップが前記窒化物半導体レーザ素子から出射されたレーザ光を通過させる孔を有し、前記窒化物半導体レーザ素子が前記キャップ外の雰囲気と触れていることを特徴とする窒化物半導体レーザ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006149859A JP4740037B2 (ja) | 2006-05-30 | 2006-05-30 | 窒化物半導体レーザ素子およびこれを備えた窒化物半導体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006149859A JP4740037B2 (ja) | 2006-05-30 | 2006-05-30 | 窒化物半導体レーザ素子およびこれを備えた窒化物半導体レーザ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007324193A JP2007324193A (ja) | 2007-12-13 |
JP4740037B2 true JP4740037B2 (ja) | 2011-08-03 |
Family
ID=38856758
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006149859A Active JP4740037B2 (ja) | 2006-05-30 | 2006-05-30 | 窒化物半導体レーザ素子およびこれを備えた窒化物半導体レーザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4740037B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5004642B2 (ja) * | 2007-04-19 | 2012-08-22 | 三洋電機株式会社 | 半導体レーザ装置 |
JP5193718B2 (ja) | 2008-07-18 | 2013-05-08 | パナソニック株式会社 | 窒化物半導体レーザ装置 |
JP2015023055A (ja) | 2013-07-16 | 2015-02-02 | ソニー株式会社 | 電子装置、光ディスク装置、表示装置および撮像装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03142892A (ja) * | 1989-10-27 | 1991-06-18 | Sharp Corp | 半導体レーザ素子 |
JP2000068586A (ja) * | 1998-08-20 | 2000-03-03 | Hitachi Ltd | 光モジュールおよび光伝送装置 |
JP2002335053A (ja) * | 2001-03-06 | 2002-11-22 | Sony Corp | 半導体レーザの製造方法、半導体レーザ、半導体装置の製造方法および半導体装置 |
JP2003304022A (ja) * | 2002-04-12 | 2003-10-24 | Sharp Corp | 半導体レーザ装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62118469A (ja) * | 1985-11-19 | 1987-05-29 | Sharp Corp | ワ−ドプロセツサにおける外来語変換方式 |
JPH03184329A (ja) * | 1989-12-13 | 1991-08-12 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
-
2006
- 2006-05-30 JP JP2006149859A patent/JP4740037B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03142892A (ja) * | 1989-10-27 | 1991-06-18 | Sharp Corp | 半導体レーザ素子 |
JP2000068586A (ja) * | 1998-08-20 | 2000-03-03 | Hitachi Ltd | 光モジュールおよび光伝送装置 |
JP2002335053A (ja) * | 2001-03-06 | 2002-11-22 | Sony Corp | 半導体レーザの製造方法、半導体レーザ、半導体装置の製造方法および半導体装置 |
JP2003304022A (ja) * | 2002-04-12 | 2003-10-24 | Sharp Corp | 半導体レーザ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007324193A (ja) | 2007-12-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4451371B2 (ja) | 窒化物半導体レーザ素子 | |
JP5430826B2 (ja) | 窒化物半導体レーザ素子 | |
JP2007103814A (ja) | 窒化物半導体発光素子およびその製造方法 | |
JP5184927B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子および窒化物半導体発光素子の製造方法 | |
JP2010068007A (ja) | 窒化物半導体レーザ素子 | |
JP2010153810A (ja) | 窒化物系半導体レーザ素子および光ピックアップ装置 | |
EP1164669B1 (en) | Semiconductor laser device, method for producing the same, and optical disk device | |
JP4310352B2 (ja) | 発光デバイスおよび発光デバイスの製造方法 | |
JP4740037B2 (ja) | 窒化物半導体レーザ素子およびこれを備えた窒化物半導体レーザ装置 | |
JP4860210B2 (ja) | 窒化物半導体レーザ素子およびその製造方法 | |
JP2010109144A (ja) | 半導体レーザ素子およびその製造方法 | |
JP2009277684A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP2010135516A (ja) | 窒化物半導体発光装置 | |
JP5411491B2 (ja) | 発光素子 | |
JP4799339B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子 | |
JP4514760B2 (ja) | 半導体レーザ素子 | |
US20120063482A1 (en) | Semiconductor laser element, semiconductor laser device, and optical apparatus employing the same | |
JP3290646B2 (ja) | 半導体レーザ素子、その製造方法及び光ディスク装置 | |
JP4066317B2 (ja) | 半導体レーザ素子、その製造方法及び光ディスク装置 | |
JP5431441B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子 | |
JP2723649B2 (ja) | 半導体レーザ素子の製造方法 | |
JP5803167B2 (ja) | 窒化物半導体レーザ素子の製造方法 | |
US7970035B2 (en) | Nitride semiconductor laser element and external-cavity semiconductor laser device | |
JP2012015155A (ja) | 窒化物系半導体レーザ素子および光装置 | |
JP2012069790A (ja) | 半導体レーザ素子、半導体レーザ装置およびこれを用いた光装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20071121 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080806 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101207 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110203 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110426 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110428 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4740037 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140513 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D03 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |