JP2010109144A - 半導体レーザ素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この窒化物系半導体レーザ素子100は、活性層25を有する半導体素子層20と、半導体素子層20の活性層25を含む領域の端部に形成された光出射面1および光反射面2からなる共振器端面と、光出射面1の表面上に形成されたAlN膜41と、AlN膜41の光出射面1とは反対側の表面上に形成されたAlOXNY(0≦X<1.5、0<Y≦1)膜42とを備える。そして、AlN膜41とAlOXNY膜42との界面3は、凹凸形状を有する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第1実施形態による窒化物系半導体レーザ素子の構造を説明するための、半導体レーザ素子の共振器方向に沿った面における断面図である。図2および図3は、図1に示した第1実施形態による窒化物系半導体レーザ素子の構造を示した断面図である。まず、図1〜図3を参照して、本発明の第1実施形態による窒化物系半導体レーザ素子100の構造について説明する。
図4は、本発明の第2実施形態による半導体レーザ素子の構造を説明するための、半導体レーザ素子の共振器方向に沿った面における断面図である。図5は、図4に示した第2実施形態による窒化物系半導体レーザ素子の構造を示した拡大断面図である。図4および図5を参照して、この第2実施形態では、上記第1実施形態と異なり、光反射面2側にも、窒化膜と酸窒化膜とによって多層化された誘電体多層膜70が形成される場合について説明する。
図6は、本発明の第2実施形態の第1変形例による半導体レーザ素子の構造を説明するための、半導体レーザ素子の共振器方向に沿った面における断面図である。図6を参照して、この第2実施形態の第1変形例では、上記第2実施形態と異なり、AlOXNY膜72とSiO2膜82との間にAl2O3膜81が形成されない場合について説明する。
図7は、本発明の第2実施形態の第2変形例による半導体レーザ素子の構造を説明するための、半導体レーザ素子の共振器方向に沿った面における断面図である。図7を参照して、この第2実施形態の第2変形例では、上記第2実施形態と異なり、AlOXNY膜72とAl2O3膜81との間にAlN膜をさらに形成する場合について説明する。
図8は、本発明の第2実施形態の第3変形例による半導体レーザ素子の構造を説明するための、半導体レーザ素子の共振器方向に沿った面における断面図である。図8を参照して、この第2実施形態の第3変形例では、上記第2実施形態と異なり、AlOXNY膜72とSiO2膜82との間に、Al2O3膜81の代わりにAlN膜とAlON膜とをこの順に形成する場合について説明する。
図9は、本発明の第3実施形態による半導体レーザ素子の構造を説明するための、半導体レーザ素子の共振器方向に沿った面における断面図である。図9を参照して、この第3実施形態では、上記第1実施形態と異なり、光出射面1に窒化膜と酸窒化膜とからなる誘電体多層膜340のみが形成されている場合について説明する。
図10および図11は、図1に示した第1実施形態おける窒化物系半導体レーザ素子の光出射面側に形成した誘電体多層膜の様子を透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて観察した顕微鏡写真である。図12および図13は、図1に示した第1実施形態の効果を確認するために行った確認実験の結果を示した図である。図1および図10〜図13を参照して、上記第1実施形態の効果を確認するために行った確認実験について説明する。なお、図10は、窒化物系半導体レーザ素子の側面から素子の幅方向(図2のB方向)に沿って誘電体多層膜の様子を観察した場合の顕微鏡写真であり、図11は、窒化物系半導体レーザ素子の下面から素子の厚み方向(図2のC方向)に沿って誘電体多層膜の様子を観察した場合の顕微鏡写真である。
3 界面
20 半導体素子層
21 n型層(半導体素子層)
22 n型クラッド層(半導体素子層)
23 n型キャリアブロック層(半導体素子層)
24 n型光ガイド層(半導体素子層)
25 活性層(半導体素子層、発光層)
26 p型光ガイド層(半導体素子層)
27 p型キャップ層(半導体素子層)
28 p型クラッド層(半導体素子層)
29 p型コンタクト層(半導体素子層)
41 AlN膜(第1絶縁膜)
42 AlOXNY膜(第2絶縁膜)
51 Al2O3膜(第3絶縁膜)
Claims (6)
- 発光層を有する半導体素子層と、
前記半導体素子層の前記発光層を含む領域の端部に形成された共振器端面と、
前記共振器端面のうちの光出射側の端面の表面上に形成されたAlNからなる第1絶縁膜と、
前記端面とは反対側の前記第1絶縁膜の表面上に形成されたAlOXNY(0≦X<1.5、0<Y≦1)からなる第2絶縁膜とを備え、
前記第1絶縁膜と前記第2絶縁膜との界面は、凹凸形状を有する、半導体レーザ素子。 - 前記凹凸形状は、複数の凹部および凸部を含み、
前記発光層が発するレーザ光の波長がλであり、前記第1絶縁膜および前記第2絶縁膜の平均屈折率がそれぞれ、n1およびn2である場合、前記界面における前記凹部の底部から前記凹部と隣り合う前記凸部の頂部までの高さの最大値Hは、H<λ/n1かつH<λ/n2であるように設定されている、請求項1に記載の半導体レーザ素子。 - 前記AlOXNYにおいて、X<Yである、請求項1または2に記載の半導体レーザ素子。
- 前記光出射側の端面とは反対側の前記第2絶縁膜の表面上に形成され、酸化膜または窒化膜のいずれか一方からなる第3絶縁膜をさらに備える、請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体レーザ素子。
- 発光層を有する半導体素子層を形成する工程と、
前記半導体素子層の前記発光層を含む領域の端部に共振器端面を形成する工程と、
前記共振器端面のうちの光出射側の端面の表面上に、前記端面側からAlNからなる第1絶縁膜とAlOXNY(0≦X<1.5、0<Y≦1)からなる第2絶縁膜とを、前記第1絶縁膜と前記第2絶縁膜との界面が凹凸形状を有するように形成する工程とを備える、半導体レーザ素子の製造方法。 - 前記第1絶縁膜と前記第2絶縁膜とを形成する工程は、ECRプラズマ法により、前記界面が凹凸形状を有するように前記第1絶縁膜と前記第2絶縁膜とを形成する工程を含む、請求項5に記載の半導体レーザ素子の製造方法。
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