JP4739009B2

JP4739009B2 - 耐熱熱伝導性熱圧着用シリコーンゴムシート

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Publication number: JP4739009B2
Application number: JP2005365217A
Authority: JP
Inventors: 郁男櫻井; 毅橋本; 昭生中野
Original assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date: 2005-12-19
Filing date: 2005-12-19
Publication date: 2011-08-03
Anticipated expiration: 2025-12-19
Also published as: JP2007169332A

Description

本発明は、シリコーンゴムシートに関し、特に、熱伝導性を有すると共に被圧着物に均一に圧力をかける目的で使用される耐熱熱伝導性熱圧着用シリコーンゴムシートに関する。さらには、安価、低比重で熱伝導率が高くかつ熱時の強度低下が小さく３００℃以上の高温でも繰り返し使用することの出来る耐久性に優れ、積層板やフレキシブルプリント基板の成形に適し、或は液晶ディスプレイ等の電極の接続に用いる異方性導電膜用熱圧着シートに好適な耐熱熱伝導性熱圧着用シリコーンゴムシートに関する。

熱伝導性電気絶縁材として、シリコーンゴムに酸化ベリリウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、又は酸化亜鉛等粉末を配合したシート（特許文献１参照）や、シリコーンゴムに窒化ホウ素を配合し網目状の絶縁材で補強したシート（特許文献２参照）等が従来から知られており、既に、パワートランジスタ、サイリスタ、整流器、トランス、或はパワーＭＯＳＦＥＴ等の発熱性部品の放熱絶縁用に使用されている。しかしながら、このような材料を２００℃以上の高温条件下で使用すると、熱伝導性付与剤中の不純物やｐＨの影響により、シリコーンゴムが劣化するという欠点がある。

一方、プレス成形機で積層板、フレキシブルプリント基板等を成形する際のシートや、液晶ディスプレイの電極端子部と駆動回路が搭載されたフレキシブルプリント基板の接続に用いる異方性導電膜を圧着機で熱圧着する際の緩衝用シートとして、上記の熱伝導性電気絶縁シートが用いられている。例えば、特許文献３には、シリコーンゴムに窒化ホウ素を配合しガラスクロスで補強したものが、特許文献４には、シリコーンゴムに窒化ホウ素と導電性物質を配合しガラスクロスで補強して帯電防止性を付与したシートが開示されている。しかしながら、これらの場合には、何れも高温条件下でシリコーンゴムが劣化するという欠点があった。特に最近、フレキシブルプリント基板成形や異方性導電膜硬化工程の圧着サイクルを短縮し生産性を向上させるために成形温度が上昇してきたこともあり、耐熱性と熱伝導性がより改善された熱伝導性ゴムシートの開発が望まれるに至った。また
、市場からは、低コスト化の要求やシートの重さを抑えて取り扱い性を向上させるためにシートの低密度化の要求もある。

これに対し、特許文献５には、熱伝導性付与剤として水分を除いた揮発分が０．５重量％以下であるカーボンブラックを２０〜１５０重量部用いることにより、３００℃以上の温度で使用可能な耐熱性と良好な熱伝導性を有する耐熱熱伝導性シリコーンゴムシートが提案された。しかしながら、この場合には、カーボンブラックのみが熱伝導性付与剤として用いられているため、熱伝導性が十分ではなかったり、熱伝導性を向上させるためカーボンブラックのみを高充填しすぎると、この特許文献に記載の範囲内であってもシートへの成形性が悪くなり、シート表面が荒れて圧着用シートとしては適さないという欠点があった。

また、特許文献６には、熱伝導性付与剤として水分を除いた揮発分が０．５重量％以下でありかつＢＥＴ比表面積が１００ｍ^２／ｇ以上であるカーボンブラックをベースポリマーであるオルガノポリシロキサン１００重量部に対して１０〜１００重量部用いることにより、３００℃以上の温度で使用可能な耐熱性と良好な熱伝導性を有する耐熱熱伝導性シリコーンゴムシートが提案された。さらに、この特許文献には、このカーボンブラックと酸化アルミニウムなどの熱伝導性充填剤を共充填して耐熱性と熱伝導性を両立することが提案されているが、この特許文献で有効とされる範囲が広すぎて、最近の市場からの要求である、低密度、安価、高耐熱耐久性、高熱伝導性のすべてを満足する耐熱熱伝導性シリコーンゴムシートは完成できていなかった。

カーボンブラックはシリコーンゴムの耐熱性補強剤と熱伝導性付与剤として使用されるが、さらに熱伝導性を向上させるためには、酸化アルミニウム粉末などの無機系熱伝導性付与剤を加える必要がある。無機系熱伝導性付与剤を添加する場合、通常はその添加量を増やしていくに従い、ゴム強度が弱くなると共に、耐熱圧着耐久性も悪くなる。また、特許文献６の実施例３や４に見られるように、無機系熱伝導性付与剤を添加する場合には、カーボンブラックの配合量を少なくしないと無機系熱伝導性付与剤を十分に添加することができなかったため、カーボンブラックによるシリコーンゴムの耐熱性補強効果が小さくなることで、より一層耐熱圧着耐久性も悪くなってしまっていた。

特許文献６には、熱伝導性を向上させるために、酸化アルミニウム粉末などの無機系熱伝導性付与剤を加える旨の記述があるが、無機系熱伝導性付与剤を適切に選ばないと、特に耐熱耐久性が十分ではなくなる場合があった。すなわち、無機系熱伝導性付与剤が酸性、あるいはアルカリ性が強い場合、耐熱耐久性が十分ではなかった。

特開昭４７−３２４００号公報実開昭５４−１８４０７４号公報特開平５−１９８３４４号公報特開平６−３６８５３号公報特開平７−１１０１０号公報特開２００３−２６１７６９号公報

そこで、本発明の目的は、３００℃以上という高温下で使用することが出来る上、良好な熱伝導性を有すると共に耐久性にも優れ、安価で軽くて取り扱い性も良好な耐熱熱伝導性熱圧着用シリコーンゴムシートを提供することにある。

本発明者等は、この目的に鑑み、低密度、安価、高耐熱耐久性、高熱伝導性のすべてを満足する耐熱熱伝導性シリコーンゴムシートを得る為に鋭意検討した結果、ベースポリマーである所定のオルガノポリシロキサン１００質量部に対して、水分以外の揮発分が０．５質量％以下であるカーボンブラック粉末：３０〜８０質量部と１０ｗｔ％水スラリーのｐＨが５．６以上７．５以下である結晶性二酸化ケイ素粉末：３０〜２００質量部を配合したシリコーンゴム組成物をシート状に成形・硬化することにより良好な結果を得ることが出来ることを見出し、本発明に到達した。

即ち、本発明者らは、上記の目的を達成する手段として、
（Ａ）平均重合度が２００以上であるオルガノポリシロキサン：１００質量部、
（Ｂ）水分以外の揮発分が０．５質量％以下であるカーボンブラック粉末：３０〜８０質量部、
（Ｃ）１０ｗｔ％水スラリーのｐＨが５．６以上７．５以下である結晶性二酸化ケイ素粉末：３０〜２００質量部、及び、
（Ｄ）硬化剤
を含有するシリコーンゴム組成物をシート状に成形し硬化させてなり、密度が１．７ｇ／ｃｍ^３以下である耐熱熱伝導性熱圧着用シリコーンゴムシートを見出した。

本発明では、無機系熱伝導性付与剤として比較的安価で低密度でｐＨが中性に近い結晶性二酸化ケイ素粉末をカーボンブラックと共充填することにより、カーボンブラックの配合量を少なくせずに成形性の良好なシリコーン組成物を得ることが可能である。

本発明のシリコーンゴムシートは、耐熱性、熱伝導性、強度、熱圧着耐久性、作業性に優れ、安価で軽くて取り扱い性も良好であり、またシリコーンゴムとしての弾性を有するので、プレス成形機で積層板、フレキシブルプリント（ＦＰＣ）基板等を成形または加工する際に熱を伝えるとともに均一に圧力をかける目的で使用されるシートや、液晶パネルあるいはＰＤＰパネルの電極端子部と駆動用ＬＳＩの搭載されたＦＰＣ基板の電極端子部とを接続する際に用いる異方性導電膜（ＡＣＦ）を加熱圧着機で熱圧着する際のシートとして有効である。

本明細書において、下記の用語の意味は次の通りである。

「平均粒径」：カーボンブラックの平均粒径は、電子顕微鏡により写真を撮影し、その写真により一次粒子径を測定する方法、いわゆる電子顕微鏡法により求めた粒子径の算術平均値を言う。なおカーボンブラックは、通常は一次粒子が凝集した凝集粒を形成して存在するが、ここで言う平均粒径は、凝集粒の平均粒径ではなく、一次粒子の平均粒径を言う。
結晶性二酸化ケイ素粉末の平均粒径は、光回折／散乱法により粒度分布を測定し、その小粒径側から積算した質量積算値が５０％になるときの粒径を言う。

「平均重合度」：オルガノポリシロキサン等について、骨格をなすシロキサン結合を構成するケイ素原子数の平均である数平均重合度を意味する。
本発明に用いられる組成物について説明する。

［組成物］
一般に、シリコーンゴムの耐熱性は配合組成により異なり、ベースポリマーの種類、ビニル基含有量、耐熱添加剤の種類、充填剤の種類などによって影響される。また組成物中のｐＨ、水分あるいは不純物の影響を受けるために、添加剤の選定には充分注意する必要がある。

耐熱性を向上させる充填剤としてカーボンブラックを用いることができるが、カーボンブラック中の揮発分を考慮する必要がある。特に、熱伝導性を良好にするためにカーボンブラックを大量に添加する場合には、その揮発分が重要なポイントとなる。

カーボンブラックの揮発分は表面に化学的に吸着している酸素化合物（カルボキシル、キノン、ラクトン、ヒドロキシル等の酸性成分）の重量に該当するが、加熱することによりこの酸素化合物が表面から気化するため、シリコーンゴムの耐熱性に悪影響を与える。従って、揮発分が０．５質量％以下のカーボンブラックを用いることにより、３００℃以上の高温下でも使用可能な耐熱性を実現することができる。

また、シリコーンゴムの強度は補強性シリカを配合することにより大幅に向上するが、高温時になると強度が大きく低下する。これはシリカ表面の水酸基とシロキサンポリマーの結合が熱に弱いからであると考えられる。そこで、本発明では、カーボンブラックを用いることにより高温時の強度低下を小さく抑え、熱圧着シリコーンゴムシートとしての耐久性を向上させる。

さらに、シリコーンゴムにカーボンブラックを配合することによりシリコーンゴムシートが導電化されるので、圧着工程中に発生する静電気が除去できるようになり、これによってゴミ、ホコリ等の付着及び回路に搭載されている電子部品の破壊を防止することができる。

本発明においては、熱伝導性付与剤として、結晶性二酸化ケイ素粉末を用いるが、この結晶性二酸化ケイ素粉末のｐＨは、最終的に出来上がったシリコーンゴムの耐熱性に影響を及ぼすため、考慮する必要がある。結晶性二酸化ケイ素粉末は、酸性が強いものも多く存在するため注意が必要である。酸性が強い二酸化ケイ素粉末を充填した場合、高温下の使用においては、熱分解によるシリコーンゴムの劣化が促進されてしまう。従って、本発明では１０ｗｔ％水スラリーのｐＨが５．６以上７．５以下と中性に近い結晶性二酸化ケイ素粉末を用いることにより、３００℃以上の高温下でも使用可能な耐熱性を実現することができる。

以下、本発明に用いられる組成物の必須の成分、（Ａ）〜（Ｄ）成分ごとに説明する。

−（Ａ）成分−
本発明で使用する（Ａ）成分である、平均重合度２００以上のオルガノポリシロキサンは、例えば、次の平均組成式（１）で表される。

Ｒ_ｎＳｉＯ_{（４−ｎ）／２}・・・・（１）
（式中、ｎは１．９５〜２．０５の正数、Ｒは置換または非置換の一価炭化水素基を表す。）
Ｒで表される置換または非置換の一価炭化水素基は、具体的にはメチル基、エチル基、プロピル基等のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基、ビニル基、アリル基等のアルケニル基、フェニル基、トリル基等のアリール基あるいはこれらの水素原子が部分的に塩素原子、フッ素原子などのハロゲン原子で置換されたハロゲン化炭化水素基等が例示される。

（Ａ）成分のオルガノポリシロキサンは、主鎖がジメチルシロキサン単位からなるもの、あるいはこのオルガノポリシロキサンの主鎖にビニル基、フェニル基、トリフルオロプロピル基などを導入したものが好ましい。また分子鎖末端がトリオルガノシリル基または水酸基で封鎖されたものが好ましい。このトリオルガノシリル基としては、トリメチルシリル基、ジメチルビニルシリル基、トリビニルシリル基などが例示される。なお、この成分の平均重合度は２００以上である。重合度が２００未満では硬化後の機械的強度が劣り、脆くなる。

−（Ｂ）成分−
次に（Ｂ）成分である、水分以外の揮発分が０．５質量％以下であるカーボンブラックは、シリコーンゴムシートの耐熱性を向上させるとともに機械的強度、特に熱時の強度を向上させると共に熱伝導性を付与し、さらに導電化による帯電防止性を付与するものである。カーボンブラックはその製造方法により、ファーネスブラック、チャンネルブラック、サーマルブラック、アセチレンブラック等に分類される。水以外の揮発分が０．５質量％以下のカーボンブラックとしては、アセチレンブラックが好適である。

揮発分の測定方法はＪＩＳＫ６２２１の“ゴム用カーボンブラック試験方法”に記載されている。具体的にはるつぼの中にカーボンブラックを規定量入れ、９５０℃で７分間加熱した後の揮発減量を測定する。

（Ｂ）成分のカーボンブラックの平均粒径は１０〜３００μｍの範囲が好ましく、１５〜１００μｍの範囲がより好ましい。また、ＢＥＴ比表面積は２０〜３００ｍ^２/ｇが好ましく、３０〜２００ｍ^２/ｇがより好ましい。

この（Ｂ）成分の配合量は、（Ａ）成分１００質量部に対して３０〜８０質量部であり、特に４０〜６０質量部の範囲で使用することが好ましい。３０質量部未満では熱伝導性および耐熱圧着性の向上が不充分となり、また８０質量部を超えると均一に配合することが困難になる上、得られる組成物の成形加工性が極めて悪くなる。

−（Ｃ）成分−
（Ｃ）成分である、１０ｗｔ％水スラリーのｐＨが５．６以上７．５以下である結晶性二酸化ケイ素粉末は、シリコーンゴムシートに熱伝導性を付与するものである。結晶性二酸化ケイ素粉末の酸性またはアルカリ性が強いと、高温下の使用においてシロキサンポリマーが切断される結果、シリコーンゴムシートの耐熱性が悪くなる。従って、高温時の劣化を抑制して、熱伝導性を付与するには、１０ｗｔ％水スラリーのｐＨが５．６以上７．５以下である結晶性二酸化ケイ素粉末を用いることが好適である。このｐＨは、例えば結晶性二酸化ケイ素粉末１０ｇを蒸留水９０ｇに加え、８０℃で２時間攪拌して混合した後２３℃の室温に冷却後、得られた水スラリーについて測定したｐＨ値である。

また、該結晶性二酸化ケイ素粉末の密度は２．７ｇ／ｃｍ^３前後と比較的小さいため、シート全体の比重を小さくする上で有効である。

この（Ｃ）成分の配合量は、（Ａ）成分１００質量部に対して３０〜２００質量部であり、特に４０〜１６０質量部の範囲で使用することが好ましい。３０質量部未満では熱伝導性が不充分となり、また２００質量部を超えると均一な配合が困難になる上、得られる組成物の成形加工性が極めて悪くなって、硬化後の機械的強度が低くなると共にゴムの柔軟性が低下する。

また、この結晶性二酸化ケイ素粉末の平均粒径は１〜１５μｍが好ましく、特に２〜１０μｍのものが好ましい。平均粒径が１μｍ未満では、コンパウンドが硬くなって成形性が悪くなるし、熱伝導性付与の効果も小さい。平均粒径が１５μｍより大きいと、硬化後のゴム強度が弱くなり、耐熱圧着性も悪くなる。

−（Ｄ）成分−
（Ｄ）成分である硬化剤は、通常シリコーンゴムの硬化に使用されている従来から公知のものの中から適宜選択して使用することが出来る。このような硬化剤としては、例えば、
ａ）ラジカル反応に使用されるジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン、ジクミルパーオキサイドなどの有機過酸化物；
ｂ）（Ａ）成分のオルガノポリシロキサンがアルケニル基を有する場合には、付加反応硬化剤として、ケイ素原子に結合した水素原子を１分子中に２個以上含有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンと白金、パラジウム等の白金族金属系触媒との組合わせ；
ｃ）（Ａ）成分のオルガノポリシロキサンがシラノール基を含有する場合には、縮合反応硬化剤として、アルコキシ基、アセトキシ基、ケトオキシム基、プロペノキシ基などの加水分解性の基を２個以上有する有機ケイ素化合物；
等が例示される。これらの硬化剤の添加量は、通常のシリコーンゴムの場合と同様にすればよいが、一般的には次の通りである。

硬化剤ａ）（Ａ）成分のオルガノポリシロキサン１００質量部当り、０．１〜２０質量部。

硬化剤ｂ）前記オルガノハイドロジェンシロキサンを、（Ａ）成分のアルケニル基１モル当り該オルガノハイドロジェンシロキサンが有するケイ素原子結合水素原子が０．５〜１０モルとなる量とし、白金族金属系触媒の量は（Ａ）成分に対して金属分として０．１〜１０００ｐｐｍ（重量基準）の範囲である。

硬化剤ｃ）（Ａ）成分のオルガノポリシロキサン１００質量部当り、０．５〜３０質量部である。

−その他の成分−
本発明においては、任意であるが、このシリコーンゴム組成物に酸化セリウム粉末（（Ｅ）成分）を必要に応じて添加することにより、耐熱性を向上させることができる。該酸化セリウムの添加量は、（Ａ）成分１００質量部に対して０．１〜５質量部、好ましくは０．２〜２質量部の範囲である。添加量が５質量部を越えると反対に耐熱性が低下してくる。また、この酸化セリウム粉末としては、ＢＥＴ比表面積が５０ｍ^２／ｇ以上という比較的大きな比表面積を有するものを用いることが好ましい。

その他、シリコーンゴム組成物には、必要に応じて、親水性シリカ、疎水性シリカ等の補強性シリカ充填剤、クレイ、炭酸カルシウム、けいそう土、二酸化チタン等の充填剤、低分子シロキサンエステル、シラノール等の分散剤、シランカップリング剤、チタンカップリング剤等の接着付与剤、難燃性を付与させる白金族金属系化合物、ゴムコンパウンドのグリーン強度を上げるテトラフルオロポリエチレン粒子などを添加してもよい。

−調製・加工−
本発明に用いるシリコーンゴム組成物の調製は、所要の成分を二本ロールミル、ニーダー、バンバリーミキサー、プラネタリーミキサー等の混合機を用いて混練りすればよいが、一般的には硬化剤だけを使用する直前に添加することが好ましい。

また、本発明のシリコーンゴムシートの成形方法としては、硬化剤までを配合したシリコーンゴム組成物をカレンダーあるいは押出し機で所定の厚さに分出してから硬化させる方法、液状のシリコーンゴム組成物あるいはトルエン等の溶剤に溶解して液状化したシリコーンゴム組成物をフィルム上にコーティングしてから硬化させる方法等があげられる。

このようにして成形、硬化させたシリコーンゴムシートの厚さは０．１〜１０ｍｍ、好ましくは０．２〜１ｍｍの範囲であることが好ましい。厚さ０．１ｍｍ未満では被圧着体に充分追従できないので圧力のかかり方が不均一となり易く、１０ｍｍを超える厚さになると熱の伝わり方が悪くなる。
［シリコーンゴムシート］
上記のようにして成形、硬化により得られる本発明の耐熱熱伝導性熱圧着用シリコーンゴムシートは、例えば、大画面の液晶パネルの透明電極のリード部とフレキシブルプリント基板の外部電極のリード部を異方性導電膜で圧着する場合のクッションシートとして用いられるが、そのとき使用されるシートは、大面積のものでは、幅１ｍ弱、長さ１０ｍのものまであり、環状の筒に巻きつけて供給される。このとき、シートの密度が大きいと、シートが非常に重くなり、自動圧着機への装着作業が難しくなる。また、シートの製造工程、出荷においてもシートが軽いほうが作業が楽になるため、シートの密度は小さいほうが好ましい。具体的には、本発明の耐熱熱伝導性熱圧着用シリコーンゴムシートの密度は、１．７ｇ／ｃｍ^３以下である。

本発明の耐熱熱伝導性熱圧着用シリコーンゴムシートの熱伝導率は、伝熱媒体として効率よく熱を伝えるという観点から、０．７Ｗ／ｍＫ以上であることが好ましい。

以下、本発明を実施例によって更に詳述するが、本発明はこれらによって何ら限定されるものではない。

下記の例において次の材料を使用した。＊印は、本発明の条件を満たさない材料であることを示す。
・オルガノポリシロキサン：
（ａ−１）ジメチルシロキサン単位９９．８５モル％、メチルビニルシロキサン単位０．１５モル％からなる平均重合度８，０００の、分子鎖両末端がジメチルビニルシロキシ基で封鎖されたメチルビニルポリシロキサン
（ａ−２）ジメチルシロキサン単位９９．５モル％、メチルビニルシロキサン単位０．５モル％からなる平均重合度８，０００の、分子鎖両末端がジメチルビニルシロキシ基で封鎖されたメチルビニルポリシロキサン
・カーボンブラック：
（ｂ−１）平均粒径が３５ｎｍ、水以外の揮発分０．１０質量％、ＢＥＴ比表面積６９ｍ^２／ｇのアセチレンブラック
（ｂ−２）平均粒子径２３ｎｍ、水以外の揮発分０．１０質量％、ＢＥＴ比表面積１３０ｍ^２／ｇのアセチレンブラック
・無機系熱伝導性付与剤
（ｃ−１）平均粒径が４μｍで、１０ｗｔ％水スラリーのｐＨが６．１の結晶性二酸化ケイ素粉末
（ｃ−２＊）平均粒径が２μｍで、１０ｗｔ％水スラリーのｐＨが４．５の結晶性二酸化ケイ素粉末
（ｃ−３＊）平均粒径２．５μｍの酸化アルミニウム粉末
（ｃ−４＊）補強性シリカ（商品名：ＡｅｒｏｓｉｌＲ−９７２、Ｄｅｇｕｓｓａ株式会社製）
・硬化剤：
（ｄ−１）塩化白金酸のビニルシロキサン錯体（白金含有量１質量％）
（ｄ−２）下記式（２）：

で表されるメチルハイドロジェンポリシロキサン
・その他の成分：
（ｅ−１）ＢＥＴ比表面積が１４０ｍ^２／ｇの酸化セリウム粉末
（ｆ）エチニルシクロヘキサノール

−実施例１−
（Ａ）成分として、（ａ−１）８０質量部と、
（ａ−２）２０質量部からなるベース１００質量部に、
（Ｂ）成分として、（ｂ−１）５０質量部、
（Ｃ）成分として、（ｃ−１）１４０質量部、
及び
（Ｅ）成分として、（ｅ−１）０．５質量部
を加圧ニーダーで配合し、混練りして均一化した。得られたシリコーンゴム組成物１００質量部に対して（ｄ−１）０．０５質量部、白金触媒の制御剤である（ｆ）０．０２５質量部および（ｄ−２）０.７質量部を添加し、二本ロールミルでよく混練りして硬化性シリコーンゴム組成物（Ｉ）を調製した。

得られたシリコーンゴム組成物を、カレンダー成形機を用いて厚さ０．２５ｍｍに分出ししてから厚さ１００μｍポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム上に転写した。ＰＥＴフィルムとの積層品の状態で１６０℃の加熱炉の中を５分間通してシート状のシリコーンゴム組成物を硬化させた。次にシート状組成物からＰＥＴフィルムを剥離し、乾燥機中で２００℃で４時間熱処理して厚さ０．２５ｍｍの耐熱熱伝導性シリコーンゴムシートを作製した。

−実施例２−
実施例１において、各成分の配合量を次のように変更した以外は実施例１と同様にして硬化性シリコーンゴム組成物（ＩＩ）を調製し、同様に成形、硬化させてシリコーンゴムシートを作製した。

（Ａ）成分として、（ａ−１）４０質量部と、
（ａ−２）６０質量部からなるベース１００質量部に、
（Ｂ）成分として、（ｂ−１）５５質量部、
（Ｃ）成分として、（ｃ−１）４５質量部、
及び
（Ｅ）成分として、（ｅ−１）０．５質量部
（Ｄ）成分として、（ｄ−１）０．０７質量部、
（ｄ−２）１．０質量部
（ｆ）０．０３５質量部

−比較例１−
実施例１において、（Ｂ）成分として（ｂ−１）の代わりに（ｂ−２）２０質量部を用い、（Ｃ）成分として（ｃ−１）の代わりに（ｃ−２＊）を１４０質量部を使用した以外は、実施例１と同様にして組成物を調製し、同様に成形、硬化させて厚さ０．２５ｍｍのシリコーンゴムシートを作製した。

−比較例２−
実施例１において、（Ｂ）成分として（ｂ−１）の代わりに（ｂ−２）２０質量部を用い、（Ｃ）成分として（ｃ−１）の代わりに（ｃ−３＊）を２５０質量部を使用した以外は、実施例１と同様にして組成物を調製し、同様に成形、硬化させて厚さ０．２５ｍｍのシリコーンゴムシートを作製した。

−比較例３−
組成物の調製に、
（Ａ）成分として、（ａ−１）１００質量部と、
（Ｂ）成分として、（ｂ−１）５０質量部、
（Ｃ）成分として、（ｃ−４＊）５質量部、
を使用し、該組成物１００に対して、成形において、
（Ｅ）成分として、（ｅ−１）０．５質量部
（Ｄ）成分として、（ｄ−１）０．１質量部、
（ｄ−２）１．５質量部
（ｆ）０．０５質量部
を使用した以外は、実施例１と同様にして組成物を調製し、同様に成形、硬化させて厚さ０．２５ｍｍのシリコーンゴムシートを作製した。

［基本物性の評価］
・密度、引張り強さおよび切断時伸び：ＪＩＳＫ６２４９の規定に準拠して測定した。
・熱伝導率：ＡＳＴＭＥ１５３０の規定に準拠して測定した。

［熱圧着耐久回数の評価］
図１に示すように、線幅５０μｍの銅電極１ａまたは１ｂがピッチ５０μｍで設けられた、２枚のＦＰＣ（フレキシブルプリント配線板）２ａおよび２ｂを、それぞれの銅電極１ａおよび１ｂを設けた側の面が互いに向かい合うようにし、その間に厚さが２２μｍ、幅１．５ｍｍのＡＣＦ（異方性導電膜）３を挟んだ状態で、圧着機のバックアップツール４の上に設置した。次に、実施例１、２、または比較例１〜３で作製した熱圧着用シリコーンゴムシート５の下面に、厚さ３０μｍのテフロン（デュポン株式会社の登録商標）フィルム６を配した状態で、そのテフロンフィルムの下面が、上記の上側のＦＰＣ２ａの上面に当たるように載置し、シリコーンゴムシート５の上から３５０℃に加熱した加圧ツール７により、４ＭＰａの押し圧力で２０秒間押圧した。こうして２枚のＦＰＣ２ａ、２ｂ間でＡＣＦ３を圧着することにより銅電極１ａと１ｂ間で電気的導通が得られた。
次に、シリコーンゴムシート５はそのまま同じものを使用し、テフロンフィルム６は新品に替え、２枚のＦＰＣとＡＣＦは新しいものにセットし直して上記と同様にして圧着する操作を繰り返した。この操作の繰り返しは、二枚のＦＰＣの銅電極間に所望の電気的導通が得られなくなるまで行ない、それまでの圧着操作の回数によりシリコーンゴムシートの熱圧着耐久性を評価した。熱圧着耐久回数とはシリコーンゴムシート５の劣化によりＡＣＦに均一な圧力を付与できなくなる結果、同条件の処理ながら所望の電気的導通が銅電極間に形成されなくなるまでの回数を意味する。結果を表１に示す。

［原材料価格の比較］
実施例１、２、比較例１〜３で作製した熱圧着用シリコーンゴムシートの単位面積当たりの素原材料の合計価格の比を、実施例１で作製したシートの価格を１として示した。
評価結果を表１に示す。

本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを用いてＦＰＣで挟んだＡＣＦを熱圧着する方法を説明する模式図。

符号の説明

１ａ，１ｂ．銅電極
２ａ，２ｂ．フレキシブルプリント配線版
３．異方性導電膜
４．バックアップツール（支持台）
５．熱圧着用シリコーンゴムシート
６．テフロンフィルム

Claims

（Ａ）平均重合度が２００以上であるオルガノポリシロキサン：１００質量部、
（Ｂ）水分以外の揮発分が０．５質量％以下であるカーボンブラック粉末：３０〜８０質量部、
（Ｃ）１０ｗｔ％水スラリーのｐＨが５．６以上７．５以下であり、平均粒径が１〜１５μｍである結晶性二酸化ケイ素粉末：３０〜２００質量部、及び、
（Ｄ）硬化剤
を含有するシリコーンゴム組成物をシート状に成形し硬化させてなり、密度が１．７ｇ／ｃｍ^３以下、厚さが０．１〜１０ｍｍの範囲にある耐熱熱伝導性熱圧着用シリコーンゴムシート。
前記シリコーンゴム組成物が、さらに、（Ｅ）酸化セリウム粉末を（Ａ）成分１００質量部に対して０．１〜５質量部含有する、請求項１に係るシリコーンゴムシート。
熱伝導率が０．７Ｗ／ｍＫ以上である請求項１又は２に係るシリコーンゴムシート。