JP2007321156A - 熱圧着用シリコーンゴムシート - Google Patents

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Abstract

【課題】シートが加圧ツールや被圧着物に密着せず、圧着工程の作業性を改善することができると共に、シート自体の耐久性が良く周囲を汚染しにくい熱圧着用シリコーンゴムシートを提供すること。
【解決手段】JIS K 6221に基づく揮発分の測定による水分以外の揮発分が0.5重量%以下であるカーボンブラックを含有してなる、厚さが0.1〜10mmのシリコーンゴムシート。該シートの少なくとも一方の表面は、エンボス加工によって設けられた算術平均表面粗さが0.8μm〜5μmの凹凸を有する。また、前記凹凸は、未硬化のシリコーンゴムシートをエンボスの付いたロールに押し付けて、該エンボスを未硬化のシリコーンゴムシートに転写させ、次いで該未硬化のシリコーンゴムシートを硬化させることによって設けられたことを特徴とする。
【選択図】なし

Description

本発明は、被圧着物を加熱圧着する場合に被圧着物と加熱圧着装置との間に介在させる熱圧着用シリコーンゴムシートに関し、特に、プレス成形機を用いて、積層板やフレキシブルプリント基板を成形する際に熱を伝えながら均一に圧力をかける目的で使用されるシートや、液晶ディスプレイに接続された電極と駆動用LSIが搭載されたFPCのリード電極とを異方導電性接着剤を介在させ熱圧着して電気的および機械的に接続する際に適した、離形性に優れると共に周囲の装置部品や被圧着物を汚染し難い、熱圧着用シリコーンゴムシートに関する。
近年、携帯用コンピューター、ワープロ、ビデオカメラ、ナビゲーションシステム、及び携帯テレビ等のディスプレイとして、液晶パネルを用いることが増えている。液晶を駆動させるためには、液晶パネルに接続された電極と駆動用LSIが搭載されたフレキシブルプリント基板(FPC)のリード電極とを、異方導電性接着剤を介在させて熱圧着し、電気的および機械的に接続する必要がある。この際、加圧ツールとFPCの間に挟んで、加圧ツールから異方導電性接着剤に熱を伝えながら均一な圧力を加える目的で、熱圧着用シートが用いられている。このような熱圧着用シートとして、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)等のフッ素樹脂フィルムを用いることもあるが、さらに圧力を均一にかけるために、低弾性で柔軟性があり熱伝導性の良いシリコーンゴムシートを使用することが一般的になっている。
しかしながら、シリコーンゴムシートはフッ素樹脂フィルムに比べてシート表面に粘着性があり、シートが加圧ツールやFPCに密着して貼り付くために、圧着工程の作業性が著しく低下するだけでなく、剥がす際にシートが劣化して耐久性が悪くなることがある。そこで、熱圧着用シリコーンゴムシートとして、例えば、シリコーンゴムに窒化ホウ素を配合して熱伝導性を高めると共にガラスクロスで補強したり(特開平5−198344号公報)、シリコーンゴムに窒化ホウ素と導電性物質を配合し、更にガラスクロスで補強して帯電防止性を付与したり(特開平6−36853号公報)、シリコーンゴムにセラミック、金属などの良熱伝導性物質を配合したり(特開平6−289352号公報)、或いはシリコーンゴムに水分以外の揮発分が0.5%以下であるカーボンブラックを配合し耐熱性を改良したもの(特開平7−11010号公報)等が提案されているが、シート表面の粘着性については依然として改善されていない。
シート表面の粘着性の問題に対しては、シリコーンゴムシートの表面にタルクやマイカ等の鱗片状の粉をムラなく打粉することによりシートの粘着性を低下させる方法や、打粉してから、余分な粉を水で洗浄することにより除去する方法などが提案されている。又、シリコーンゴムシートと耐熱性樹脂フィルムを複合化することによりシート表面の粘着性をなくすと共に強度に優れた熱圧着用シリコーンゴム複合シートが提案されている(特開平8−174765号公報)。しかしながら、このシートはシリコーンゴムが耐熱性樹脂フィルムと接着しているので、ゴム単体の場合より柔軟性がなくなるという欠点がある。特に、シートの両面に耐熱性樹脂フィルムを設けるとこの傾向が強くなる。このように柔軟性がなくなると加圧時に均一に圧力がかかりにくくなるので加圧力を大きくする必要があるが、被圧着体の強度との関係で限界がある。このような欠点は低硬度のゴムを用いて柔軟性を向上させることによって改善されるが、このようにゴムを低硬度化する為にはカーボンの充填量を減量する必要があり、従って熱伝導性が悪くなるという欠点が生じる。また、FPC取り付け後に液晶パネルの汚れを洗浄することは難しいので、なるべく工程上汚さないことが重要であるということも考慮すれば、従来のいずれの方法も完全なものではなく、周囲の装置部品や被圧着物を汚染する心配のないシリコーンゴムシートの開発が望まれていた。
そこで本発明者等は、表面離形性に優れると共に、周囲の装置部品や被圧着物等を汚染しにくい熱圧着用シリコーンゴムシートについて鋭意検討した結果、エンボスロールを用いて、シリコーンゴムシートの少なくとも一方の表面に工業生産可能に一定範囲の凹凸を持たせることができること、および、それによって良好な結果を得ることができることを見出し、本発明に到達した。
従って本発明の目的は、シートが加圧ツールや被圧着物に密着せず、圧着工程の作業性を改善することができると共に、シート自体の耐久性が良く周囲を汚染しにくい熱圧着用シリコーンゴムシートを提供することにある。
本発明の上記の目的は、JIS K 6221に基づく揮発分の測定による水分以外の揮発分が0.5重量%以下であるカーボンブラックを含有してなる、厚さが0.1〜10mmのシリコーンゴムシートであって、該シートの少なくとも一方の表面が、エンボス加工によって設けられた算術平均表面粗さが0.8μm〜5μmの凹凸を有すると共に、該凹凸が、未硬化のシリコーンゴムシートをエンボスの付いたロールに押し付けて、該エンボスを未硬化のシリコーンゴムシートに転写させ、次いで該未硬化のシリコーンゴムシートを硬化させることによって設けられたことを特徴とする、熱圧着用シリコーンゴムシートによって達成された。本発明のシリコーンゴムシートは良熱伝導性充填剤を含有することが好ましく、両表面に凹凸を有することが好ましい。
本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートは、少なくとも一方の表面に凹凸を有するので、加圧ツールや被圧着物からの離形性が良く、周囲を汚染しないという優位性がある。従って、シート自体の耐久性が良くなるだけでなく、熱圧着工程の作業性が向上する。また、加圧の際、シートが密着せず若干移動するので圧着部に空気を巻きこむ事がないので、均一な圧力を加えることができると言う付随的効果も生じる。
本発明で使用するシリコーンゴムシートは、オルガノポリシロキサンと充填剤及び硬化剤を配合し、シート状に成形してから硬化させたものである。上記オルガノポリシロキサンは平均重合度が200以上であり、次の平均組成式(1)で表されるものであることが好ましい。
SiO(4−n)/2 (1)
上式中のRは、置換または非置換の一価炭化水素基及び/又は水酸基を表し、nは1.95〜2.05の正数を表す。Rの具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基等のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基、ビニル基、アリル基等のアルケニル基、フェニル基、トリル基等のアリール基あるいはこれらの水素原子が部分的に塩素原子、フッ素原子などで置換されたハロゲン化炭化水素基等が挙げられる。本発明においては、オルガノポロシロキサンの主鎖がジメチルシロキサン単位からなるもの、又はこのオルガノポリシロキサンの主鎖にビニル基、フェニル基、トリフルオロプロピル基などを導入したものが好ましい。また分子鎖末端がトリオルガノシリル基または水酸基で封鎖されたものとすればよいが、このトリオルガノシリル基としてはトリメチルシリル基、ジメチルビニルシリル基、トリビニルシリル基などが例示される。なお、このオルガノポリシロキサンの重合度は200以上であることが好ましく、25℃における粘度が300cs以上のものであることが好ましい。重合度が200以下であると硬化後の機械的強度が劣り、脆くなる傾向がある。
本発明においては、充填剤として、水分以外の揮発分が0.5重量%以下であるカーボンブラックを用いるが、熱伝導性を良好なものとするために、良熱伝導性充填剤を添加することが好ましい。水分以外の揮発分が0.5重量%以下であるカーボンブラックは、シリコーンゴムシートの耐熱性を向上させるとともにその熱伝導性と機械的強度を向上させ、導電化による帯電防止性を付与するものである。カーボンブラックはその製造方法により、ファーネスブラック、チャンネルブラック、サーマルブラック、アセチレンブラック等に分類されるが、水分以外の揮発分が0.5%以下のカーボンブラックとしては、アセチレンブラックや特開平1−272667号に開示されている導電性カーボンブラック等が好適である。水分以外の揮発分の測定方法はJIS K 6221「ゴム用カーボンブラック試験方法」に記載されており、その具体的内容は、るつぼの中にカーボンブラックを規定量入れ、950℃で7分間加熱した後の揮発減量を測定するというものである。上記カーボンブラックの配合量は、オルガノポリシロキサン100重量部に対して20〜150重量部、特に40〜100重量部の範囲であることが好ましい。20重量部以下では熱伝導性が不充分となり、また150重量部を越えると配合が困難になる上、成形加工性が極めて悪くなる。
本発明で使用することの出来る良熱伝導性充填剤としては、酸化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、水酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、石英等の無機粉末、あるいは銀、ニッケル、銅、鉄等の金属粉末等が好適である。これらの良熱伝導性充填材の配合量は、オルガノポリシロキサン100重量部に対して50〜1,200重量部であることが好ましく、特に100〜1,000重量部の範囲で使用することが好ましい。50重量部以下では熱伝導性が不充分となり、また1,200重量部を越えると成形加工性が悪くなって、硬化後の機械的強度が低くなるとともにゴムの柔軟性がなくなる。また、カーボンブラックと良熱伝導性充填剤を併用して使用しても良い。
本発明で使用する硬化剤は、通常シリコーンゴムの硬化に使用されている、従来から公知のものの中から適宜選択することができる。例えば、ラジカル反応の場合には、ジ-t-ブチルパーオキサイド、2,5-ジメチル-2,5-ジ(t-ブチルパーオキシ)ヘキサン、ジクミルパーオキサイド等の有機過酸化物があげられ、その配合量はオルガノポリシロキサン100重量部に対して0.1〜5重量部であることが好ましい。
オルガノポリシロキサンがアルケニル基を2個以上有する場合には、ケイ素原子に結合した水素原子を1分子中に2個以上含有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンと白金族金属系触媒とからなる付加反応硬化剤があげられる。オルガノハイドロジェンポリシロキサンの配合量は、オルガノポリシロキサンのアルケニル基に対するケイ素原子に結合した水素原子のモル比(≡Si−H/アルケニル基)が0.5〜5となる量であることが好ましく、白金族金属系触媒はオルガノポリシロキサンに対して1ppm〜1,000ppmであることが好ましい。
オルガノポリシロキサンがシラノール基を2個以上含有する場合には、アルコキシ基、アセトキシ基、ケトオキシム基、プロペノキシ基などの加水分解性の基を2個以上持つ有機ケイ素化合物等の縮合反応硬化剤があげられる。本発明においては、成形のしやすさから、硬化剤としては有機過酸化物または付加反応硬化剤を使用することが好ましい。
本発明においては、必要に応じて親水性シリカ、疎水性シリカ等の補強性シリカ充填剤、クレイ、炭酸カルシウム、けいそう土、二酸化チタン等の充填剤、低分子シロキサンエステル、シラノール基を有する有機ケイ素化合物等の分散剤、シランカップリング剤、チタンカップリング剤等の接着付与剤、難燃性を付与させる白金族金属系触媒、ゴムコンパウンドのグリーン強度を上げるテトラフルオロポリエチレン粒子などを添加してもよい。
本シリコーンゴムコンパウンドの配合方法としては、上記成分を二本ロール、ニーダー、バンバリーミキサー、プラネタリーミキサー等の混合機を用いて混練りすればよいが、一般的には、使用する直前に硬化剤を添加することが好ましい。シリコーンゴムシートの成形方法としては、硬化剤までを配合したシリコーンゴムコンパウンドを金型中で熱プレスして硬化させる方法、カレンダー、押出し機等で所定の形状に加工してから熱硬化させる方法、液状のシリコーンゴムコンパウンドあるいはトルエン等の溶剤に溶解して液状化したシリコーンゴムコンパウンドをポリエチレンテレフタレート(PET)等のフィルム上にコーティングしてから乾燥して溶剤を除去した後、熱硬化させる方法等があげられる。このようにして、本発明のシリコーンゴムシートの厚さを0.1〜10mmの範囲に調整する。厚さが0.1mm以下では被圧着体に充分追従することができないので圧力のかかり方が不均一になる。また、10mm以上の厚さになると熱の伝わり方が悪くなる。
本発明においては、シリコーンゴムシートの少なくとも一方の表面に凹凸を持たせることにより粘着性を低減させ離形性を付与するが、該凹凸の程度は、算術平均表面粗さで0.8μm〜5μmの範囲であることが必要である。凹凸が0.8μm以下ではシリコーンシートが粘着し易くなり、5μm以上になると電極の電気的接続が不安定になるので好ましくない。また、凹凸を両表面に設ける場合には、両表面の粗さは同じであっても異なる粗さであっても良い。尚、上記算術平均表面粗さは、JISB0601に準じて測定する。本発明においては、上記の凹凸をエンボス加工によって設ける。
シリコーンゴムシート表面にエンボスを付与する方法は、表面を粗したプラスチックフィルムの粗面上にシリコーンゴムシート組成物を分出しし、硬化する前にプラスチック面と反対の分出しシート面をエンボスの付いたロールに押し付けてエンボスを転写させ、次いで硬化させた後プラスチックフィルムからシリコーンゴムを剥ぎ取る方法である。前記プラスチック表面の粗面が、該面に設けられたシリコーンゴムシート表面に、算術平均表面粗さが0.8μm〜5μmの凹凸をもたらすように設けられている場合には、両面に算術平均表面粗さが0.8μm〜5μmの凹凸を有する本発明のシリコーンゴムシートが得られる。
本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートは、耐熱性、熱伝導性、強度及び作業性に優れると共にシリコーンゴムとしての弾性を有するので、プレス成形機を用いて、積層板やフレキシブルプリント基板を成形する際に熱を伝えながら均一に圧力をかける目的で使用されるシートや、液晶ディスプレイに接続された電極と駆動用LSIが搭載されたFPCのリード電極とを異方導電性接着剤を介在させ熱圧着して電気的および機械的に接続する際に用いるシートとして特に有効である。
以下、本発明を実施例によって更に詳述するが、本発明はこれによって限定されるものではない。
ジメチルシロキサン単位99.85モル%及びメチルビニルシロキサン単位0.15モル%からなる、平均重合度が8,000のメチルビニルポリシロキサン100重量部に、平均粒径が40nmで水分以外の揮発分が0.10%のアセチレンブラック50重量部並びに補強性シリカ(Aerosil R−972:商品名、Degussa社製)5重量部を二本ロールで配合し、混練りして均一化した。このシリコーンゴムコンパウンド100重量部に対して塩化白金酸のイソプロピルアルコール溶液(白金含有量2重量%)0.1重量部、反応抑制剤であるアセチレン性アルコール(3-メチル-1-ブチン-3-オール)0.05重量部、及び下式(2)で表されるメチルハイドロジェンポリシロキサン1.2重量部を添加し、二本ロールでよく混練りして硬化性シリコーンゴムコンパウンドを調製した。
得られたシリコーンゴムコンパウンドを、カレンダー成形機を用いて厚さ0.30mmに分出ししてから、算術平均表面粗さ0.7μmの片面エンボス加工された厚さ100μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上に転写した。次いで算術平均表面粗さが3.5μmのエンボスロールをPETフィルムと反対側の分出しシートの表面に押し付け、シリコーンゴムの表面にエンボスを転写させた後、160℃の加熱炉の中を5分間通して硬化させた。次に、シリコーンゴムシートをPETフィルムから剥がし、200℃で2時間、後加熱硬化させて熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。エンボスを転写させた面の表面粗さを表面粗さ計サーフテスト501(ミツトヨ(株)製の商品名)を用いて測定したところ、算術平均表面粗さは2.9μmであった。
ジメチルシロキサン単位99.85モル%及びメチルビニルシロキサン単位0.15モル%からなる、平均重合度が8,000のメチルビニルポリシロキサン100重量部、良熱伝導性充填剤として酸化アルミニウム粉末(アルミナAL−45:昭和電工(株)製の商品名)400重量部、比表面積が200m/gであるシリカ微粉末(アエロジル200:日本アエロジル(株)製の商品名)30重量部、並びに下式(3)で表されるα,ω-ジヒドロキシメチルポリシロキサン5重量部を、ニーダーを用いて均一に混練りし、150℃で2時間熱処理した。
冷却後、このシリコーンゴムコンパウンド100重量部に、硬化剤として有機過酸化物(C−23:信越化学工業(株)製の商品名)1.5重量部を二本ロールで添加し混合した後、カレンダー成形機を用いて厚さ0.30mmに分出しした。次に、算術平均表面粗さ0.7μmの片面エンボス加工された厚さ100μmのPETフィルム上に、上記分出ししたシリコーンゴム組成物を転写し、ついで算術平均表面粗さ3.5μmのエンボスロールをPETフィルムと反対側分出しシートの表面に押し付けてシリコーンゴムの表面にエンボスを転写させた後、160℃の加熱炉の中を5分間通して硬化させた。次に、このシリコーンゴムシートをPETフィルムから剥がし、200℃で4時間、後加熱硬化させて熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
比較例1.
実施例1のシリコーンゴムコンパウンドを使用し、カレンダー成形機を用いて厚さ0.30mmに分出ししてから厚さ100μmの算術平均表面粗さが0のPETフィルム上に転写し、160℃の加熱炉の中を5分間通して硬化させた。次にシリコーンゴムシートをPETフィルムから剥がし、シートの表面に平均粒径13μmのタルク粉をガーゼによりシートに擦り付け、ムラなく塗布した。さらに、乾燥機中で200℃で4時間熱処理した後、このシートを流水中でスポンジで擦りながら洗浄し、余分な粉を除去してから水を乾燥させ、熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
比較例2.
実施例2のシリコーンゴムコンパウンドを使用し、カレンダー成形機を用いて厚さ0.30mmに分出ししてから厚さ100μmの算術平均表面粗さが0のPETフィルム上に転写し、160℃の加熱炉の中を5分間通して硬化させた。次にこのシリコーンゴムシートをPETフィルムから剥がし、平均粒径が20μmのマイカ粉をガーゼによりシートに擦り付け、ムラなく塗布した。さらに、乾燥機中で200℃で4時間熱処理した後、このシートを流水中でスポンジで擦りながら洗浄して余分な粉を除去してから水を乾燥させ、熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
比較例3.
ジメチルシロキサン単位99.85モル%及びメチルビニルシロキサン単位0.15モル%からなる、平均重合度8,000のメチルビニルポリシロキサン100重量部に、平均粒径40nmで水分以外の揮発分0.10%のアセチレンブラック50重量部並びに補強性シリカ(Aerosil R−972:Degussa社製の商品名)5重量部を二本ロールで配合し、混練りして均一化した。このシリコーンゴムコンパウンド100重量部に対して塩化白金酸のイソプロピルアルコール溶液(白金量2重量%)0.1重量部、反応抑制剤であるアセチレン性アルコール(3-メチル-1-ブチン-3-オール)0.05重量部、並びに前記(2)式で表されるメチルハイドロジェンポリシロキサン1.2重量部を添加し、二本ロールでよく混練りして硬化性シリコーンゴムコンパウンドを調製した。
このシリコーンゴムコンパウンドを、カレンダー成形機を用いて厚さ0.30mmに分出ししてから厚さ100μmの平滑なPETフィルム上に転写し、160℃の加熱炉の中を5分間通して硬化させ、次にシリコーンゴムシートをPETフィルムから剥がし、200℃で2時間、後加熱硬化させて、比較用の圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
比較例4.
耐熱性樹脂フィルムである厚さ12μmの芳香族ポリイミドフィルム(カプトン:東レデュポン(株)製の商品名)にプライマーC(信越化学工業(株)製の商品名)を塗布してから、室温で30分間乾燥した。一方、実施例1で作製した硬化性シリコーンゴムコンパウンドを、カレンダー成形機を用いて厚さ0.30mmに分出ししてから厚さ100μmの算術平均表面粗さが0のPETフィルム上に転写した。次にこのシートの上から前記したプライマーを塗布したカプトンフィルムを圧着し、160℃の加熱炉の中を5分間通してシリコーンゴムコンパウンドを硬化させた。次にPETフィルムを剥がし、乾燥機中で200℃で4時間熱処理して熱圧着用シリコーンゴム複合シートを作製した。
(圧着試験)
実施例1、2及び比較例1〜4で作製した熱圧着用シリコーンゴムシートの裏面の下に、厚さ30μmのデュポン・ジャパン・リミデッド製テフロンフィルム(テフロンは登録商標)、次に、25μmピッチの銅電極を設けた2枚のFPCで厚さ22μmの異方性導電接着剤をはさんだもの(上下の銅電極の位置を合わせる)を置いてから圧着機に設置し、340℃に加熱した加圧ツールで熱圧着用シリコーンゴムシートの表面側から40kgf/cmの押し圧力で20秒間圧着した。この圧着を繰り返し、加圧ツールへのシートの密着状態および均一な圧力で、異方性導電接着剤を加熱硬化できなくなるまでの回数を測定した。この回数は、上下のFPCの銅電極の導通により確認した。ただし、比較例4の熱圧着用シリコーンゴム複合シートの場合には、カプトンフィルム側を加圧ツールに向けて測定した。また、フィルムの厚さが加わり、熱の伝わり方が悪くなるため加圧時間を25秒に延長した。結果は表1に示した通りである。
比較例1、2の場合には、連続使用すると加圧ツールが徐々に汚れてくるため、洗浄が必要になる。一方、実施例1および2の場合には、加圧ツールの洗浄は必要なく耐久性もある。比較例3の場合には2回/1日の洗浄が必要となり、その都度圧着機の冷却を行うので非常に手間がかかる等のことが確認された。次に、実施例1と比較例4について、加圧ツールの押し圧力を30kgf/cmに低下させたこと以外は同様な条件で圧着試験を実施したところ、実施例1の場合には、上下のFPCの銅電極間における導通は良好であったが、比較例4の場合には一部導通不良が発生した。比較例4の熱圧着用シリコーンゴム複合シートは、加圧ツールに対する密着と加圧ツールの汚れについては問題ないが、本発明に比べて圧着時間を延長し、押し圧力を高くする必要のあることが確認された。
本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートは、加圧ツールや被圧着物からの離形性が良く、周囲を汚染しないという優位性があるので、シート自体の耐久性が良くなるだけでなく、熱圧着工程の作業性が向上する。更に、シリコーンゴム表面への凹凸の付与が工業的に効率よく行われるので生産性にも優れており、産業上極めて有用である。

Claims (4)

  1. JIS K 6221に基づく揮発分の測定による水分以外の揮発分が0.5重量%以下であるカーボンブラックを含有してなる、厚さが0.1〜10mmのシリコーンゴムシートであって、該シートの少なくとも一方の表面が、エンボス加工によって設けられた算術平均表面粗さが0.8μm〜5μmの凹凸を有すると共に、該凹凸が、未硬化のシリコーンゴムシートをエンボスの付いたロールに押し付けて、該エンボスを未硬化のシリコーンゴムシートに転写させ、次いで該未硬化のシリコーンゴムシートを硬化させることによって設けられたことを特徴とする、熱圧着用シリコーンゴムシート。
  2. 前記シリコーンゴムシートが、良熱伝導性充填剤として無機粉末及び/又は金属粉末を含有してなる請求項1に記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
  3. 前記シリコーンゴムシートがその両面に凹凸を有する、請求項1または2に記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
  4. 前記シリコーンゴムシートが、平均重合度が200以上の下記平均組成式(1)で表されるオルガノポリシロキサン及び硬化剤を含有してなる、請求項1〜3の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
    SiO(4−n)/2 (1)
    但し、Rは置換又は非置換の一価炭化水素基及び/又は水酸基を表し、nは1.95〜2.05の正数である。
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