JP4735628B2 - ディップ装置 - Google Patents
ディップ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4735628B2 JP4735628B2 JP2007248657A JP2007248657A JP4735628B2 JP 4735628 B2 JP4735628 B2 JP 4735628B2 JP 2007248657 A JP2007248657 A JP 2007248657A JP 2007248657 A JP2007248657 A JP 2007248657A JP 4735628 B2 JP4735628 B2 JP 4735628B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- tank
- dip
- level
- liquid level
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
Q1=Q2+Q3 ・・・(1)
従って、ディップ装置1の正常時には、検出槽7の液面レベルは、オーバーフローにより常に満杯状態となる。一方、ポンプ5又はストレーナ11の目詰まりなどにより、ディップ槽3への液体供給量Q1が少なくなるような異常時には、以下の不等式(2)が成り立ち、検出槽7における液面レベルが低下し始めることとなる。
Q1<Q2+Q3 ・・・(2)
2 基板(ワーク)
3 ディップ槽
4 供給タンク
5 ポンプ
6 オーバーフロー受器
7 検出槽
21 液面センサ
22 コントローラ(制御手段)
Q1 液体供給量
Q2 液体戻り量
Q3 液体戻り量
LV 液面レベル
Claims (2)
- ワークを浸漬するための液体を収容するディップ槽と、
前記ディップ槽に供給される液体を収容する供給タンクと、
前記供給タンクの中の液体を前記ディップ槽へ供給するためのポンプと、
前記ディップ槽からオーバーフローする液体を受けると共に、その受けた液体を流下させて前記供給タンクへ戻すオーバーフロー受器と
を備えたディップ装置において、
前記ディップ槽と前記オーバーフロー受器との間に設けられ、前記ディップ槽からオーバーフローした液体を受け、その受けた液体の一部を流下させて前記供給タンクへ戻すと共に、残りの液体をオーバーフローさせて前記オーバーフロー受器へ流下させる検出槽と、
前記検出槽における液面レベルを検出するための液面センサと、
前記液面センサにより検出された液面レベルに基づき前記ポンプによる前記ディップ槽への液体供給量を制御するための制御手段と
を備えたことを特徴とするディップ装置。 - 前記制御手段は、前記検出される液面レベルが所定の正常レベルとなるときは、前記ポンプを通常の液体供給量に維持し、前記検出される液面レベルが所定の異常レベルとなるときは、所定の異常処理を実行し、前記検出される液面レベルが前記正常レベルと前記異常レベルとの間のレベルとなるときは、前記ポンプの液体供給量を増大させることを特徴とする請求項1に記載のディップ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007248657A JP4735628B2 (ja) | 2007-09-26 | 2007-09-26 | ディップ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007248657A JP4735628B2 (ja) | 2007-09-26 | 2007-09-26 | ディップ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009078217A JP2009078217A (ja) | 2009-04-16 |
JP4735628B2 true JP4735628B2 (ja) | 2011-07-27 |
Family
ID=40653377
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007248657A Expired - Fee Related JP4735628B2 (ja) | 2007-09-26 | 2007-09-26 | ディップ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4735628B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103920616A (zh) * | 2014-04-09 | 2014-07-16 | 江苏百利达股份有限公司 | 帘子布浸胶控制系统 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04114761A (ja) * | 1990-09-05 | 1992-04-15 | Mita Ind Co Ltd | 塗工液の循環システム |
JPH04186249A (ja) * | 1990-11-20 | 1992-07-03 | Mita Ind Co Ltd | ドラム塗布装置 |
JPH09122551A (ja) * | 1995-11-01 | 1997-05-13 | Fuji Electric Co Ltd | 塗布装置 |
JP3832784B2 (ja) * | 1997-08-28 | 2006-10-11 | 三菱化学株式会社 | 電子写真感光体製造用の浸漬塗布装置 |
-
2007
- 2007-09-26 JP JP2007248657A patent/JP4735628B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103920616A (zh) * | 2014-04-09 | 2014-07-16 | 江苏百利达股份有限公司 | 帘子布浸胶控制系统 |
CN103920616B (zh) * | 2014-04-09 | 2016-07-06 | 江苏百利达股份有限公司 | 帘子布浸胶控制系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009078217A (ja) | 2009-04-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9278768B2 (en) | Process liquid changing method and substrate processing apparatus | |
CN100511602C (zh) | 基板处理装置 | |
JP4735628B2 (ja) | ディップ装置 | |
EP2926935B1 (en) | Wire electric discharge machine | |
US20040253737A1 (en) | Device and method for monitoring and regulating a process solution | |
JP2010040756A (ja) | 半導体製造装置 | |
KR100587682B1 (ko) | 케미컬 공급 장치 및 그에 따른 공급방법 | |
JP6644618B2 (ja) | 水位制御装置 | |
JP5165185B2 (ja) | 基板処理システムおよび基板処理装置 | |
JP2004033800A (ja) | 残留塩素濃度の管理方法、超純水の製造方法および注入塩素濃度の管理方法 | |
JP2010078168A (ja) | 液体燃料燃焼装置 | |
JP2009114967A (ja) | ポンプ運転制御装置 | |
KR102337608B1 (ko) | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 | |
JPH1167712A (ja) | 薬液処理装置およびその流量制御方法 | |
JP5243924B2 (ja) | 気中塩分測定方法及びシステム | |
TW201313338A (zh) | 溶液供應單元、清潔系統及其清潔方法 | |
JP2007258564A (ja) | 基板処理装置及びその方法 | |
JP2008078503A (ja) | 半導体製造工程における廃液処理方法、及び基板処理装置 | |
KR100737752B1 (ko) | 처리액 공급장치 및 이를 이용한 처리액 공급방법 | |
KR100861834B1 (ko) | 항온수 제어장치의 자동 세정장치 및 방법 | |
JP2004114181A (ja) | 消泡剤供給装置 | |
JP2000284447A (ja) | 自動現像機の処理補充液検出装置 | |
KR20060058395A (ko) | 항온수 순환 시스템 | |
KR100190279B1 (ko) | 오버 플로우를 방지하기 위한 케미컬 공급 장치 및 그 방법 | |
KR20010028865A (ko) | 분리막 보호기능을 구비한 침지형 분리막 폐수처리 장치 및 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091222 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110318 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110329 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110411 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140513 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |