JP4732430B2 - アルミニウム−セラミックス複合体及びその製造方法 - Google Patents
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Description
アルミニウム−セラミックス複合体の製法については、高圧鍛造法以外にも加圧を行わずに含浸を行う非加圧含浸法(特許文献2)、セラミックス粉末とアルミニウム粉末を混合して温度と圧力を加えて製造を行う粉末冶金法(特許文献3)等の製法がある。
炭化珪素粉末A(大平洋ランダム社製:NG−80、平均粒径:200μm)1200g、炭化珪素粉末B(大平洋ランダム社製:NG−150、平均粒径:100μm)1200g、炭化珪素粉末C(屋久島電工社製:GC−1000F、平均粒径:10μm)600g、及びシリカゾル(日産化学社製:スノーテックス)300gを秤取し、攪拌混合機で30分間混合した後、Φ300mm×18mmの寸法の平板状に面圧30MPaでプレス成形した。
炭化珪素粉末B:1000g、炭化珪素粉末C:2000g、及びシリカゾル(日産化学社製:スノーテックス)300gを秤取し、攪拌混合機で30分間混合した後、Φ300mm×18mmの寸法の平板状に面圧30MPaでプレス成形した。得られた成形体を、温度120℃で2時間乾燥後、大気中、温度950℃で2時間焼成して、気孔率が40%の炭化珪素プリフォームを得た。得られた炭化珪素プリフォームは、平面研削盤でダイヤモンド製の砥石を用いて、15mmの厚みに面加工した後、マシニングセンターで外形寸法がΦ290mmの形状に外周部を加工した。
炭化珪素粉末A:1500g、炭化珪素粉末B:900g、窒化珪素粉末(電気化学工業社製:SN−9S、平均粒径:2μm)600g、及びシリカゾル(日産化学社製:スノーテックス)300gを秤取し、攪拌混合機で30分間混合した後、Φ300mm×18mmtの寸法の平板状に圧力30MPaでプレス成形した。
炭化珪素粉末A:1200g、炭化珪素粉末B:1200g、窒化アルミニウム粉末(トクヤマ社製:Hグレード、平均粒径:1.2μm)600g、及びシリカゾル(日産化学社製:スノーテックス)300gを秤取し、攪拌混合機で30分間混合した後、Φ300mm×18mmtの寸法の平板状に圧力30MPaでプレス成形した。
Claims (3)
- 炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウムから選ばれた少なくとも1種であるセラミックス多孔体にアルミニウム合金を含浸し、500℃〜550℃で10分以上保持し、3℃/分以下で降温するアニール処理を3回以上行った後、温度−200℃〜350℃の温度範囲にて、温度差100℃以上で、気相の場合には保持時間20分以上、液相の場合は保持時間10分以上の加熱冷却処理を10〜30回繰り返し行うことを特徴とするアルミニウム−セラミックス複合体の製造方法。
- 温度20℃と150℃のヒートサイクル試験を10回行った後の寸法変化量が、30ppm以下であることを特徴とする、請求項1記載の製造方法で作製されたアルミニウム−セラミックス複合体。
- 温度20℃の熱伝導率が100W/mK以上および温度150℃の熱膨張係数が10×10−6/K以下であることを特徴とする、請求項1記載の製造方法で作製されたアルミニウム−セラミックス複合体。
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