JP4727444B2 - ガス分析装置及び半導体製造装置 - Google Patents
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Description
2・・・・・・・光源
3・・・・・・・分離手段(光学フィルタ)
5・・・・・・・情報処理機構(チョッピング部)
6・・・・・・・光源保持構造体
7・・・・・・・光検出器保持構造体
11・・・・・・光導入窓
12・・・・・・光導出窓
41、42・・・光検出器
100・・・・・ガス分析装置
C・・・・・・・光チョッパ(チョッピング部)
H1・・・・・・第1の貫通孔
H2・・・・・・第2の貫通孔
L1・・・・・・測定光
L2・・・・・・リファレンス光
P1・・・・・・第1の断熱材
P2・・・・・・第2の断熱材
SG・・・・・・サンプルガス
Claims (10)
- 光導入窓及び光導出窓を有し、測定対象物質を含んだサンプルガスを収容する高温加熱型のセルと、前記測定対象物質に照射されると減衰する測定光及び前記測定対象物質に照射されても実質的に減衰しないリファレンス光を、前記光導入窓を介してセル内に照射する光源と、前記光源自体若しくは光源側に設けられ、該光源が照射する各光をチョッピングして、前記光源からの各光を通過させる又は前記光源への電力供給をONするON時と、前記光源からの各光を遮断する又は前記光源への電力供給をOFFするOFF時とを繰り返すチョッピング部と、前記セルの反光源側に設けられた光検出器とを具備するガス分析装置のガス分析方法であり、
前記セル内を通って前記光導出窓から導出された測定光及びリファレンス光を分離する分離ステップと、
前記分離ステップで分離された測定光及びリファレンス光をそれぞれ受光する受光ステップと、
前記ON時の測定光の光強度と前記OFF時の測定光の光強度との差分を算出して、前記受光ステップで受光した測定光における前記セルからの赤外光のうち前記光源から照射された光によるもの以外の赤外光をキャンセルする一方、前記ON時のリファレンス光の光強度と前記OFF時のリファレンス光の光強度との差分を算出して、前記受光ステップで受光したリファレンス光における前記セルからの赤外光のうち前記光源から照射された光によるもの以外の赤外光をキャンセルするキャンセルステップとを具備することを特徴とするガス分析方法。 - 光導入窓及び光導出窓を有し、測定対象物質を含んだサンプルガスを収容する高温加熱型のセルと、
前記測定対象物質に照射されると減衰する測定光及び前記測定対象物質に照射されても実質的に減衰しないリファレンス光を、前記光導入窓を介してセル内に照射する光源と、
前記光源自体若しくは光源側に設けられ、該光源が照射する各光をチョッピングして、前記光源からの各光を通過させる又は前記光源への電力供給をONするON時と、前記光源からの各光を遮断する又は前記光源への電力供給をOFFするOFF時とを繰り返すチョッピング部と、
前記セル内を通って前記光導出窓から導出された測定光及びリファレンス光を分離する分離手段と、
前記セルの反光源側に設けられ、前記分離手段で分離された測定光及びリファレンス光をそれぞれ受光する光検出器と、
前記ON時の測定光の光強度と前記OFF時の測定光の光強度との差分を算出して、前記光検出器で受光した測定光における前記セルからの赤外光のうち前記光源から照射された光によるもの以外の赤外光をキャンセルする一方、前記ON時のリファレンス光の光強度と前記OFF時のリファレンス光の光強度との差分を算出して、前記光検出器で受光したリファレンス光における前記セルからの赤外光のうち前記光源から照射された光によるもの以外の赤外光をキャンセルする情報処理装置とを具備して成ることを特徴とするガス分析装置。 - 前記チョッピング部が、前記セルと前記光源との間に設けられ、各光の光路を断続的に遮断するものであることを特徴とする請求項2記載のガス分析装置。
- 前記チョッピング部が、前記光源自体をチョッピング動作させるものであることを特徴とする請求項2記載のガス分析装置。
- 前記セルを、120℃以上に加熱していることを特徴とする請求項2乃至4いずれか記載のガス分析装置。
- 前記光源を収容保持する光源保持構造体を具備し、
前記光源保持構造体が、第1の断熱材を介して前記セルに取り付けられるものであり、前記第1の断熱材に設けた第1の貫通孔によって、前記光源保持構造体から光導入窓に至るまでの光路を形成していることを特徴とする請求項2乃至5いずれか記載のガス分析装置。 - 前記光検出器を収容保持する光検出器保持構造体を具備し、
前記光検出器保持構造体が、第2の断熱材を介して前記セルに取り付けられるものであり、前記第2の断熱材に設けた第2の貫通孔によって、前記光導出窓から光検出器保持構造体に至るまでの光路を形成していることを特徴とする請求項2乃至6いずれか記載のガス分析装置。 - 前記測定光及び/又はリファレンス光が、赤外光であることを特徴とする請求項2乃至7いずれか記載のガス分析装置。
- 前記セルが、サンプルガスを連続的に導入出できるフロータイプのものであり、インラインでの測定が可能なものであることを特徴とする請求項2乃至8いずれか記載のガス分析装置。
- 請求項2乃至9いずれか記載のガス分析装置と、
成膜ガスの供給を受け半導体ウエハの成膜を行う成膜室と、
前記成膜室内に付着した生成物をドライクリーニングする際に発生する排ガスを、前記成膜室から排出するガス排出経路とを具備し、
前記ガス分析装置を、前記ガス排出経路上にインラインで設けていることを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006045552A JP4727444B2 (ja) | 2006-02-22 | 2006-02-22 | ガス分析装置及び半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006045552A JP4727444B2 (ja) | 2006-02-22 | 2006-02-22 | ガス分析装置及び半導体製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007225386A JP2007225386A (ja) | 2007-09-06 |
JP4727444B2 true JP4727444B2 (ja) | 2011-07-20 |
Family
ID=38547349
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006045552A Active JP4727444B2 (ja) | 2006-02-22 | 2006-02-22 | ガス分析装置及び半導体製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4727444B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5416574B2 (ja) * | 2009-12-25 | 2014-02-12 | 株式会社堀場製作所 | 非分散型光分析装置 |
CN104237122B (zh) * | 2014-09-19 | 2017-08-15 | 中国科学技术大学先进技术研究院 | 一种可调节双反射红外气体浓度探测窗口结构 |
JP6543065B2 (ja) * | 2015-03-30 | 2019-07-10 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | ガス濃度測定装置 |
WO2018052074A1 (ja) * | 2016-09-15 | 2018-03-22 | 株式会社堀場エステック | 吸光度計及び該吸光度計を用いた半導体製造装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4652756A (en) * | 1985-05-20 | 1987-03-24 | Westinghouse Electric Corp. | Automated acousto-optic infra-red analyzer system for monitoring stack emissions |
JPS62118241A (ja) * | 1985-11-19 | 1987-05-29 | Shimadzu Corp | 多試料連続測定用固体水分測定装置 |
JP2882530B2 (ja) * | 1989-04-28 | 1999-04-12 | 日立化成工業株式会社 | 改良された時間分解赤外分光光度計及び改良された時間分解赤外分光光度測定法 |
JPH0552742A (ja) * | 1991-08-26 | 1993-03-02 | Nissin Electric Co Ltd | ガス濃度測定装置 |
JP3059262B2 (ja) * | 1991-10-08 | 2000-07-04 | 日本酸素株式会社 | ガス中の微量水分分析装置 |
JPH05215685A (ja) * | 1992-02-06 | 1993-08-24 | Fuji Electric Co Ltd | 赤外線ガス分析計 |
JP3266748B2 (ja) * | 1994-11-26 | 2002-03-18 | 株式会社堀場製作所 | 赤外線ガス分析計 |
KR100253089B1 (ko) * | 1997-10-29 | 2000-05-01 | 윤종용 | 반도체소자 제조용 화학기상증착장치 및 이의 구동방법, 그 공정챔버 세정공정 레시피 최적화방법 |
JP4937455B2 (ja) * | 2001-01-31 | 2012-05-23 | 株式会社堀場製作所 | Pfc除害装置の状態モニタ |
JP2003057177A (ja) * | 2001-08-17 | 2003-02-26 | Horiba Ltd | 赤外線ガス分析計 |
JP2003215037A (ja) * | 2002-01-25 | 2003-07-30 | Horiba Ltd | Ndir法によるhc分析方法および装置 |
-
2006
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007225386A (ja) | 2007-09-06 |
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