JP4481825B2 - 赤外線測定装置、及び、製造工程への赤外線測定装置のオンライン適用方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 44
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 110
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 32
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 claims description 26
- KXNLCSXBJCPWGL-UHFFFAOYSA-N [Ga].[As].[In] Chemical group [Ga].[As].[In] KXNLCSXBJCPWGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 23
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 14
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 3
- GGYFMLJDMAMTAB-UHFFFAOYSA-N selanylidenelead Chemical group [Pb]=[Se] GGYFMLJDMAMTAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- ZXEYZECDXFPJRJ-UHFFFAOYSA-N $l^{3}-silane;platinum Chemical group [SiH3].[Pt] ZXEYZECDXFPJRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910021339 platinum silicide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 39
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 30
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 20
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 19
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 18
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 15
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 14
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 14
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 13
- 230000006870 function Effects 0.000 description 12
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 9
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 8
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 7
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 7
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 7
- 238000010606 normalization Methods 0.000 description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 5
- 230000004044 response Effects 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 4
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 4
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 4
- 102100032352 Leukemia inhibitory factor Human genes 0.000 description 3
- 108090000581 Leukemia inhibitory factor Proteins 0.000 description 3
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- KCTKQZUYHSKJLP-UHFFFAOYSA-N 2-(4-methyl-5-oxo-4-propan-2-yl-1h-imidazol-2-yl)pyridine-3-carboxylate;propan-2-ylazanium Chemical compound CC(C)[NH3+].N1C(=O)C(C(C)C)(C)N=C1C1=NC=CC=C1C([O-])=O KCTKQZUYHSKJLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 2
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 2
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- -1 tungsten halogen Chemical class 0.000 description 2
- 230000005457 Black-body radiation Effects 0.000 description 1
- 238000004566 IR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000012369 In process control Methods 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 1
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 1
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002405 diagnostic procedure Methods 0.000 description 1
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000010965 in-process control Methods 0.000 description 1
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- XCAUINMIESBTBL-UHFFFAOYSA-N lead(ii) sulfide Chemical compound [Pb]=S XCAUINMIESBTBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000007620 mathematical function Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 239000000382 optic material Substances 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 1
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 description 1
- 239000002516 radical scavenger Substances 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 150000003657 tungsten Chemical class 0.000 description 1
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 1
- 238000001429 visible spectrum Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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Description
新シャッターレート=前シャッターレート・C係数となる。
新シャッターレート=前シャッターレート・D係数となる。
20 光源組立体
22,22a 光源
26 反射器
28 空冷シュラウド
30 光導波管
32 ディフューザー
34 シャッター機構
36 シャッターモーター
38 シャッターフラッグ
42 出力軸
46 セクション
48 セクション
50 光源光ホモジナイザー
52 光源窓
54 リング
56 ベースプレート
60 検出器モジュール、検出器組立体
62 検出器光ホモジナイザー
64,64a 光入力ポート、光ポート
66 光ファイバー
66a 光ファイバー束
66b 分割束、小束
67 検出器、検出器素子
68 信号検出器素子、光検出器素子
68a,68b,68c 吸収波長検出器素子
68d 基準波長検出器素子
68b,68d,68e,68f 空素子
69 検出器ハウジング
70a,70c,70e 分配出力端
70b,70d,70f 出力端
72 帯域フィルター、フィルター
72a,72c,72e 帯域フィルター
74 集光器
74a,74c,74e 集光器
75 リング
76 ランダム化光ファイバー製ビームスプリッター、光ビームスプリッター
77 保持具
78 入力窓、検出器窓
80 システムプロセッサー
82 シャッター制御器
83 直列通信ポート
84 検出器基板
88,88 リング
89 ベースプレート
90 紙ウエブ、ウエブ
132 光ファイバー製光ホモジナイザー、光ホモジナイザー
420 束
420a 端
430a 出力端
430 束
710 可変ゲインチャンネル増幅器、チャンネル増幅器
711 増幅器
740 制御器
750 光源強度制御器
760 シャッターモーター制御器
Claims (15)
- 製造工程中のウエブ(90)の少くとも1つの特性を測定するために光源(22)からの光を検出するための少くとも1つのセンサー(68a〜68d)を備えた赤外線分光測定デバイスにおいて、光源(22)を遮断するための方法であって、
出力軸(42)を有するモーター(36)を設ける工程と、
前記モーターの出力軸にシャッターフラッグ(38)を連結する工程と
前記シャッターフラッグを、前記光源を完全に遮蔽する位置へ回転させるために前記モーターを作動する工程と、
前記光源を遮断する遮断レートを制御する工程(82)と、
前記光源が前記シャッターフラッグ(38)によって遮断されているとき、前記センサー(68a〜68d)によって発せられた信号を測定する工程と、
前記光源が遮断されるたびに、前記信号からの基線ノイズ値を測定する工程と、
基線ノイズの変化値を測定するために前記基線ノイズ値をその前の基線ノイズ値と比較する工程と、
前記基線ノイズの変化値を第1閾値と比較する工程と、
前記基線ノイズの変化値が第1閾値を超えたならば、前記光源の遮断レートを高める工程を含むことを特徴とする光源遮断方法。 - 前記光源を遮断する遮断レートを制御する工程(82)は、往復遮断動作により毎秒0回〜30回の遮断動作を行う請求項1に記載の光源遮断方法。
- 前記第1閾値は、前の基線ノイズ変化値の倍数として設定される請求項1に記載の光源遮断方法。
- 前記倍数は、2である請求項3に記載の光源遮断方法。
- 前記基線ノイズの変化値を第2閾値と比較する工程と、
前記基線ノイズの変化値が第2閾値より小さくなったならば、前記光源の遮断レートを低下させる工程を含む請求項1に記載の光源遮断方法。 - 前記第2閾値は、前の基線ノイズ変化値の分数として設定される請求項5に記載の光源遮断方法。
- 前記分数は、2分の1である請求項6に記載の光源遮断方法。
- 前記光源が遮断されるたびに、前記信号からの平均暗状態値を計算する工程と、
前記平均暗状態値を用いて前記基線ノイズを測定する工程を含む請求項1に記載の光源遮断方法。 - 前記少くとも1つのセンサーは、インジウムガリウム砒素検出器(68a〜68d)である請求項1に記載の光源遮断方法。
- 前記少くとも1つのセンサーは、セレン化鉛検出器である請求項1に記載の光源遮断方法。
- 前記少くとも1つのセンサーは、珪化白金検出器である請求項1に記載の光源遮断方法。
- 前記モーター(36)は、ステップモーターである請求項1に記載の光源遮断方法。
- 前記光源を遮断する遮断レートを制御する工程(82)は、毎秒3〜4ミリ秒間の遮断動作を行う請求項1に記載の光源遮断方法。
- 製造工程中のウエブ(90)の少くとも1つの特性を測定するために光源(22)からの光を検出するための少くとも1つのセンサー(68a〜68d)を備えた赤外線分光測定デバイスにおいて、光源(22)を遮断するための方法であって、
出力軸(42)を有するステップモーター(36)を設ける工程と、
前記ステップモーターの出力軸にシャッターフラッグ(38)を連結する工程と
前記シャッターフラッグを、前記光源を完全に遮蔽する位置へ回転させるために前記ステップモーターを作動する工程と、
前記光源が完全に遮蔽されている間に前記少くとも1つのセンサーから収集されたデータに基づいて暗状態の検査を実施する工程と、
連続して逐次実施される暗状態の検査結果を相互に比較する工程と
を有し、
さらに、前記暗状態の検査結果の相互比較に従って前記光源を遮断する遮断レートを可変するために、前記ステップモーターを制御する工程(82)を有することを特徴とする光源遮断方法。 - 測定システムを校正するために製品のサンプルの少くとも1つの特性を測定する方法であって、
所定時間の間、前記製品を測定する通常の光強度で光源(22)が作動する工程と、
前記サンプルが前記光源からの光を受ける位置へ移動する工程と、
前記光源と前記サンプルとの間に介在する光遮蔽位置及び光非遮蔽位置に移動でき、且つ前記所定時間の中で前記光源を遮蔽する遮断の時間割合を制御することができるシャッターを設ける工程と、
前記サンプルの前記特性が影響されることなく且つ前記特性の測定に必要な時間だけ、前記製品の測定をする通常の光強度で前記サンプルを照射すると共に、前記シャッター(34)が前記所定時間のうち90%以上の時間を前記光遮蔽位置へ移動するように前記光源による前記サンプルの照射時間を制御する工程と、
前記光源が遮蔽されていないとき前記サンプルの前記少くとも1つの特性を測定する工程とを含むことを特徴とする方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/264,080 US6960769B2 (en) | 2002-10-03 | 2002-10-03 | Infrared measuring apparatus and method for on-line application in manufacturing processes |
PCT/US2003/031142 WO2004031752A2 (en) | 2002-10-03 | 2003-10-02 | An infrared measuring apparatus and method for on-line application in manufacturing processes |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006502387A JP2006502387A (ja) | 2006-01-19 |
JP2006502387A5 JP2006502387A5 (ja) | 2006-07-13 |
JP4481825B2 true JP4481825B2 (ja) | 2010-06-16 |
Family
ID=32042145
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004542019A Expired - Fee Related JP4481825B2 (ja) | 2002-10-03 | 2003-10-02 | 赤外線測定装置、及び、製造工程への赤外線測定装置のオンライン適用方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6960769B2 (ja) |
EP (1) | EP1546690B1 (ja) |
JP (1) | JP4481825B2 (ja) |
AU (1) | AU2003275370A1 (ja) |
CA (1) | CA2499396C (ja) |
DE (1) | DE60331668D1 (ja) |
WO (1) | WO2004031752A2 (ja) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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FI115856B (fi) * | 2000-02-10 | 2005-07-29 | Metso Automation Oy | Menetelmä ja laite päällysteen mittaamiseksi |
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-
2002
- 2002-10-03 US US10/264,080 patent/US6960769B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-10-02 EP EP03759646A patent/EP1546690B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-10-02 AU AU2003275370A patent/AU2003275370A1/en not_active Abandoned
- 2003-10-02 JP JP2004542019A patent/JP4481825B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-10-02 DE DE60331668T patent/DE60331668D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-10-02 CA CA2499396A patent/CA2499396C/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-10-02 WO PCT/US2003/031142 patent/WO2004031752A2/en active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1546690A2 (en) | 2005-06-29 |
CA2499396A1 (en) | 2004-04-15 |
CA2499396C (en) | 2012-09-18 |
WO2004031752A2 (en) | 2004-04-15 |
WO2004031752A3 (en) | 2004-07-15 |
US6960769B2 (en) | 2005-11-01 |
DE60331668D1 (de) | 2010-04-22 |
JP2006502387A (ja) | 2006-01-19 |
AU2003275370A1 (en) | 2004-04-23 |
AU2003275370A8 (en) | 2004-04-23 |
US20040065829A1 (en) | 2004-04-08 |
EP1546690B1 (en) | 2010-03-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060529 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100302 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100318 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130326 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140326 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |