JPH0552742A - ガス濃度測定装置 - Google Patents
ガス濃度測定装置Info
- Publication number
- JPH0552742A JPH0552742A JP29672391A JP29672391A JPH0552742A JP H0552742 A JPH0552742 A JP H0552742A JP 29672391 A JP29672391 A JP 29672391A JP 29672391 A JP29672391 A JP 29672391A JP H0552742 A JPH0552742 A JP H0552742A
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- JP
- Japan
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- gas
- pressure
- gas cell
- concentration
- infrared sensor
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- Pending
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 焦電型の赤外線センサを利用してガスの濃度
を測定するにあたり、測定感度を向上させることを目的
とする。 【構成】 赤外線発生源からの赤外線を、測定対象のガ
スが収納されているガスセルを通して焦電型の赤外線セ
ンサに入射する。このガスセル内の圧力を１気圧より高
い圧力に設定して測定を行う。高い圧力としたことによ
ってガスの見かけの濃度が高くなり、測定感度は高くな
る。
を測定するにあたり、測定感度を向上させることを目的
とする。 【構成】 赤外線発生源からの赤外線を、測定対象のガ
スが収納されているガスセルを通して焦電型の赤外線セ
ンサに入射する。このガスセル内の圧力を１気圧より高
い圧力に設定して測定を行う。高い圧力としたことによ
ってガスの見かけの濃度が高くなり、測定感度は高くな
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、焦電型の赤外線センサ
を用いたガス濃度測定装置に関する。
を用いたガス濃度測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば油入変圧器の絶縁油の劣化を調
べるのに、その絶縁油の一定量を取り出し、これをバブ
リングして溶存ガスを抽出し、そのガスの濃度を測定す
ることが行なわれている。
べるのに、その絶縁油の一定量を取り出し、これをバブ
リングして溶存ガスを抽出し、そのガスの濃度を測定す
ることが行なわれている。
【０００３】このようなガス濃度の測定に焦電型の赤外
線センサを用いることが行なわれている。その構成はガ
スセル内に測定対象のガスを封入し、赤外線を照射する
ようにされてある。赤外線はガスによって吸収されるこ
とにより、赤外線センサへの入射赤外線量が減少する。
その減少量はガスの濃度に比例するところから、その赤
外線センサの出力からガスの濃度を測定することができ
る。
線センサを用いることが行なわれている。その構成はガ
スセル内に測定対象のガスを封入し、赤外線を照射する
ようにされてある。赤外線はガスによって吸収されるこ
とにより、赤外線センサへの入射赤外線量が減少する。
その減少量はガスの濃度に比例するところから、その赤
外線センサの出力からガスの濃度を測定することができ
る。
【０００４】ところでこのような構成による測定装置に
おいて、ガス濃度の検出感度を高めることが要求される
とき、従来ではガスセルとして長いものを使用するよう
にしている。しかしこのように長いガスセルを使用する
と、それだけ測定装置として大型化する欠点がある。
おいて、ガス濃度の検出感度を高めることが要求される
とき、従来ではガスセルとして長いものを使用するよう
にしている。しかしこのように長いガスセルを使用する
と、それだけ測定装置として大型化する欠点がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、装置の大型
化を伴うことなく、ガス濃度の検出感度を向上させるこ
とを目的とする。
化を伴うことなく、ガス濃度の検出感度を向上させるこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、ガスセルの内
部を加圧することにより、１気圧より高い圧力とし、こ
こに導入されたガスの濃度を焦電型の赤外線センサによ
って測定するようにしたことを特徴とする。
部を加圧することにより、１気圧より高い圧力とし、こ
こに導入されたガスの濃度を焦電型の赤外線センサによ
って測定するようにしたことを特徴とする。
【０００７】
【作用】従来の測定方法によれば、ガスセルの内部は１
気圧とされていた。本発明ではこれより高い圧力に設定
して測定する。ガスセルの内部体積が一定であれば、気
圧を高めることによって、内部のガスの見かけの濃度が
高くなる。したがって赤外線センサの濃度に対する検出
出力は、１気圧の場合よりも減少することとなるので、
これによって検出感度が向上することになる。
気圧とされていた。本発明ではこれより高い圧力に設定
して測定する。ガスセルの内部体積が一定であれば、気
圧を高めることによって、内部のガスの見かけの濃度が
高くなる。したがって赤外線センサの濃度に対する検出
出力は、１気圧の場合よりも減少することとなるので、
これによって検出感度が向上することになる。
【０００８】
【実施例】本発明の実施例を図によって説明する。１は
ガスセルで、一方の端部に赤外線発生源２が、他方の端
部に焦電型の赤外線センサ３がそれぞれ設置されてい
る。４はサファイアガラスなどからなる赤外線入射窓、
５はバンドパスフィルタ、６は赤外線センサ３への入射
赤外線を断続光とするためのチョッパであり、たとえば
周縁に赤外線が通過するスリットが形成されてあって、
図示しないモータなどによって回転されるように構成さ
れている。
ガスセルで、一方の端部に赤外線発生源２が、他方の端
部に焦電型の赤外線センサ３がそれぞれ設置されてい
る。４はサファイアガラスなどからなる赤外線入射窓、
５はバンドパスフィルタ、６は赤外線センサ３への入射
赤外線を断続光とするためのチョッパであり、たとえば
周縁に赤外線が通過するスリットが形成されてあって、
図示しないモータなどによって回転されるように構成さ
れている。
【０００９】７は赤外線発生源２とガスセル１との間に
あって、両者を断熱する断熱材、８は測定対象のガスを
ガスセル１内に導入する導入口、９はガスセル１よりガ
スを排出する排出口である。これらの構成は従来のこの
種測定装置と特に相違するものではない。
あって、両者を断熱する断熱材、８は測定対象のガスを
ガスセル１内に導入する導入口、９はガスセル１よりガ
スを排出する排出口である。これらの構成は従来のこの
種測定装置と特に相違するものではない。
【００１０】本発明にしたがい、導入口８とガスセル１
との間に、エアーポンプ１０と、導入弁１１を接続す
る。また排出口９とガスセル１との間に、排出弁１２を
接続する。
との間に、エアーポンプ１０と、導入弁１１を接続す
る。また排出口９とガスセル１との間に、排出弁１２を
接続する。
【００１１】測定は次のようにして行う。すなわち最初
は導入弁１１および排出弁１２を開口状態としておき、
まず測定対象のガスを導入口９よりエアーポンプ１１を
利用してガスセル１内に導入する。
は導入弁１１および排出弁１２を開口状態としておき、
まず測定対象のガスを導入口９よりエアーポンプ１１を
利用してガスセル１内に導入する。
【００１２】そして測定対象のガスをある一定時間にわ
たって導入したことによって、ガスセル１の内部がその
ガスに置換されたあと、排出弁１２のみを閉じ、更にエ
アーポンプ１０の運転を継続する。するとガスセル１内
に導入されたガスの圧力は、エアーポンプ１０の封止圧
力まで加圧される。
たって導入したことによって、ガスセル１の内部がその
ガスに置換されたあと、排出弁１２のみを閉じ、更にエ
アーポンプ１０の運転を継続する。するとガスセル１内
に導入されたガスの圧力は、エアーポンプ１０の封止圧
力まで加圧される。
【００１３】このように封止圧力まで加圧されたあと、
導入弁１１を閉じ、およびエアーポンプ１０を停止させ
る。以上のようにしてガスセル１へのガスの導入を行
う。このときのガスセル１内の圧力は、１気圧より高い
圧力とされる。
導入弁１１を閉じ、およびエアーポンプ１０を停止させ
る。以上のようにしてガスセル１へのガスの導入を行
う。このときのガスセル１内の圧力は、１気圧より高い
圧力とされる。
【００１４】この状態で赤外線発生源２よりガスセル１
内に赤外線を入射し、ガス内を通過した赤外線が赤外線
センサ３によって検出され、入射赤外線量に比例する出
力を出す。赤外線はガスによって吸収されるため、ガス
導入前の赤外線センサの出力よりも減少する。したがっ
て赤外線センサの出力の変化からガスの濃度を測定する
ことができる。
内に赤外線を入射し、ガス内を通過した赤外線が赤外線
センサ３によって検出され、入射赤外線量に比例する出
力を出す。赤外線はガスによって吸収されるため、ガス
導入前の赤外線センサの出力よりも減少する。したがっ
て赤外線センサの出力の変化からガスの濃度を測定する
ことができる。
【００１５】この場合、ガスセル１内の圧力は、１気圧
より高い値で固定されているので、これが１気圧である
場合よりも、ガスの見かけの濃度は高くなっている。そ
のため気圧を高めた状態で測定した場合の検出出力は、
１気圧である場合の検出出力よりも減少する。すなわち
検出出力の変化は大きくなることにより、それだけ測定
感度が向上することになる。
より高い値で固定されているので、これが１気圧である
場合よりも、ガスの見かけの濃度は高くなっている。そ
のため気圧を高めた状態で測定した場合の検出出力は、
１気圧である場合の検出出力よりも減少する。すなわち
検出出力の変化は大きくなることにより、それだけ測定
感度が向上することになる。
【００１６】また低濃度のガスの測定であっても、前記
のようにガスセル１内の圧力を高めて行えば、１気圧の
場合よりも検出出力の変化が大きいことにより、その測
定が精度よく可能となる。換言すれば低濃度のガスの測
定が可能となるのである。
のようにガスセル１内の圧力を高めて行えば、１気圧の
場合よりも検出出力の変化が大きいことにより、その測
定が精度よく可能となる。換言すれば低濃度のガスの測
定が可能となるのである。
【００１７】以上の説明では、圧力の調整をエアーポン
プ１０の封止圧力によって行っているが、これに代えて
圧力センサを循環系内に設置しておき、その出力によっ
てガスセル１内の圧力を調整、または設定するようにし
てもよい。
プ１０の封止圧力によって行っているが、これに代えて
圧力センサを循環系内に設置しておき、その出力によっ
てガスセル１内の圧力を調整、または設定するようにし
てもよい。
【００１８】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、焦
電型赤外線センサを用いてガスの濃度を測定するにあた
り、その検出感度を、ガスセルの長大化を伴うことな
く、向上させることができる効果を奏する。
電型赤外線センサを用いてガスの濃度を測定するにあた
り、その検出感度を、ガスセルの長大化を伴うことな
く、向上させることができる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す断面図である。
１ ガスセル ２ 赤外線発生源 ３ 焦電型の赤外線センサ ８ ガス導入口 ９ ガス排出口 １０ エアーポンプ １１ 導入弁 １２ 排出弁
Claims (1)
- 【請求項１】 赤外線発生源からの赤外線を、測定対象
のガスが収納されているガスセルを通して焦電型の赤外
線センサに入射し、前記赤外線センサによる検出出力か
ら前記ガスの濃度を測定するガス濃度測定装置におい
て、前記ガスセル内の圧力を１気圧より高い圧力に設定
してなるガス濃度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29672391A JPH0552742A (ja) | 1991-08-26 | 1991-08-26 | ガス濃度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29672391A JPH0552742A (ja) | 1991-08-26 | 1991-08-26 | ガス濃度測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0552742A true JPH0552742A (ja) | 1993-03-02 |
Family
ID=17837260
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29672391A Pending JPH0552742A (ja) | 1991-08-26 | 1991-08-26 | ガス濃度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0552742A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999050646A1 (en) * | 1998-03-31 | 1999-10-07 | Anatel Corporation | Ndir instrument |
| JP2007225386A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Horiba Ltd | ガス分析装置及び半導体製造装置 |
| JP2019129298A (ja) * | 2018-01-26 | 2019-08-01 | 株式会社豊田中央研究所 | 成膜装置および半導体装置の製造方法 |
| KR20200085972A (ko) * | 2019-01-07 | 2020-07-16 | 한국교통대학교산학협력단 | 조기 암진단용 광학 센서 및 이를 포함하는 센서장치 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS633742A (ja) * | 1986-06-23 | 1988-01-08 | コパル電子株式会社 | 魚釣用両軸受型リ−ルのレベルワインド装置 |
| JPS6396541A (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-27 | Sanyo Electric Co Ltd | ガス濃度測定装置 |
| JPH0384439A (ja) * | 1989-08-28 | 1991-04-10 | Nissin Electric Co Ltd | アセチレンガス検出装置 |
-
1991
- 1991-08-26 JP JP29672391A patent/JPH0552742A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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|---|---|---|---|---|
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| KR100395460B1 (ko) * | 1998-03-31 | 2003-08-21 | 애나텔 코포레이션 | Ｎｄｉｒ 계기 |
| JP2007225386A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Horiba Ltd | ガス分析装置及び半導体製造装置 |
| JP4727444B2 (ja) * | 2006-02-22 | 2011-07-20 | 株式会社堀場製作所 | ガス分析装置及び半導体製造装置 |
| JP2019129298A (ja) * | 2018-01-26 | 2019-08-01 | 株式会社豊田中央研究所 | 成膜装置および半導体装置の製造方法 |
| KR20200085972A (ko) * | 2019-01-07 | 2020-07-16 | 한국교통대학교산학협력단 | 조기 암진단용 광학 센서 및 이를 포함하는 센서장치 |
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