JPH0843302A - 紫外線分析計 - Google Patents
紫外線分析計Info
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- JPH0843302A JPH0843302A JP19761094A JP19761094A JPH0843302A JP H0843302 A JPH0843302 A JP H0843302A JP 19761094 A JP19761094 A JP 19761094A JP 19761094 A JP19761094 A JP 19761094A JP H0843302 A JPH0843302 A JP H0843302A
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- detector
- cell
- gas
- component
- ultraviolet
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 サンプルガス中に共存する成分の影響を確実
にしかも安価に低減することができる紫外線分析計を提
供すること。 【構成】 サンプルガスＳが導入されるセル１の一端側
に紫外光源６を設ける一方、セル１の他端側にセルを通
過してきた光を二つの光路に分割するビームスプリッタ
１９を設け、一方の光路中に第１の検出器２２を設ける
とともに、他方の光路中に測定対象成分を封入したガス
フィルタ２３を介して第２の検出器２４を設け、第１の
検出器２２の出力と、第２の検出器２４の出力に一定の
定数を乗じたものとの差に基づいて測定対象成分の濃度
を得るようにした。
にしかも安価に低減することができる紫外線分析計を提
供すること。 【構成】 サンプルガスＳが導入されるセル１の一端側
に紫外光源６を設ける一方、セル１の他端側にセルを通
過してきた光を二つの光路に分割するビームスプリッタ
１９を設け、一方の光路中に第１の検出器２２を設ける
とともに、他方の光路中に測定対象成分を封入したガス
フィルタ２３を介して第２の検出器２４を設け、第１の
検出器２２の出力と、第２の検出器２４の出力に一定の
定数を乗じたものとの差に基づいて測定対象成分の濃度
を得るようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、紫外光源からの紫外
光を、サンプルガスが供給されるセルに照射し、セル透
過後の紫外光を検出器によって検出するようにした非分
散紫外吸収法（Non-Dispersive Ultra Violet 、ＮＤＵ
Ｖ）の紫外線分析計に関する。
光を、サンプルガスが供給されるセルに照射し、セル透
過後の紫外光を検出器によって検出するようにした非分
散紫外吸収法（Non-Dispersive Ultra Violet 、ＮＤＵ
Ｖ）の紫外線分析計に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば燃焼排ガス中に含まれるＳＯ2 の
濃度を測定するのに、従来からＮＤＵＶ法の紫外線分析
計が用いられているが、その際、サンプルガス中に共存
する妨害成分であるＣＯ2 や水分の干渉影響をできるだ
け少なくするため、図４に示すような構成が採用されて
いる。すなわち、この図において、１は例えば円筒状の
セルで、その両端部は紫外線透過性の良好なセル窓２，
３で封止され、サンプルガスまたは比較ガスの導入口４
および導出口５を備えている。
濃度を測定するのに、従来からＮＤＵＶ法の紫外線分析
計が用いられているが、その際、サンプルガス中に共存
する妨害成分であるＣＯ2 や水分の干渉影響をできるだ
け少なくするため、図４に示すような構成が採用されて
いる。すなわち、この図において、１は例えば円筒状の
セルで、その両端部は紫外線透過性の良好なセル窓２，
３で封止され、サンプルガスまたは比較ガスの導入口４
および導出口５を備えている。
【０００３】６はセル１の一端側に設けられる紫外光源
で、例えば低圧水銀ランプよりなる。７はセル１と紫外
光源６との間に介装される光量絞りとしてのスリットで
ある。８はセル１の他端側に設けられる検出器で、例え
ばシリコンフォトダイオードよりなる。９はセル１と検
出器８との間に介装される例えばバンドパスフィルタな
どの干渉フィルタで、セル１を通過した紫外光のうち、
特定波長のものを通過させるものである。
で、例えば低圧水銀ランプよりなる。７はセル１と紫外
光源６との間に介装される光量絞りとしてのスリットで
ある。８はセル１の他端側に設けられる検出器で、例え
ばシリコンフォトダイオードよりなる。９はセル１と検
出器８との間に介装される例えばバンドパスフィルタな
どの干渉フィルタで、セル１を通過した紫外光のうち、
特定波長のものを通過させるものである。
【０００４】１０はセル１にサンプルガスＳとリファレ
ンスガスＲとを交互に供給するためのガス切換え供給装
置で、例えばロータリバルブよりなり、２つのガス導入
口１１，１２と２つのガス導出口１３，１４を有すると
ともに、切換え部材としてのロータ１５を備えている。
そして、ガス導入口１１，１２には半透膜除湿器１６を
有するサンプルガスライン１７とリファレンスガスライ
ン１８がそれぞれ接続され、一方のガス導出口１３はセ
ル１のガス導入口４に接続され、他方のガス導出口１４
は図示してない排気部に接続されている。
ンスガスＲとを交互に供給するためのガス切換え供給装
置で、例えばロータリバルブよりなり、２つのガス導入
口１１，１２と２つのガス導出口１３，１４を有すると
ともに、切換え部材としてのロータ１５を備えている。
そして、ガス導入口１１，１２には半透膜除湿器１６を
有するサンプルガスライン１７とリファレンスガスライ
ン１８がそれぞれ接続され、一方のガス導出口１３はセ
ル１のガス導入口４に接続され、他方のガス導出口１４
は図示してない排気部に接続されている。
【０００５】上記構成の紫外線分析計においては、紫外
光源６から波長が２８０ｎｍの紫外線を発し、これによ
ってセル１を照射している状態で、ロータ１５を図示し
てないモータによって図中の矢印方向に一定速度で回転
させて、サンプルガスＳとリファレンスガスＲとを交互
に供給することにより、検出器８からはＳＯ2 の濃度を
表す出力が得られる。
光源６から波長が２８０ｎｍの紫外線を発し、これによ
ってセル１を照射している状態で、ロータ１５を図示し
てないモータによって図中の矢印方向に一定速度で回転
させて、サンプルガスＳとリファレンスガスＲとを交互
に供給することにより、検出器８からはＳＯ2 の濃度を
表す出力が得られる。
【０００６】しかしながら、上記図４のように構成した
紫外線分析計においては、次のような不都合があった。
すなわち、前記干渉フィルタ９としては、測定成分に対
して選択性の高いものが得られず、したがって、ＣＯ2
の干渉影響をそれほど低減することができず、かなりの
干渉影響を受けていた。また、サンプルガスライン１７
に半透膜除湿器１６を設けていることにより、サンプル
ガスＳ中に含まれる水分を除去することができるもの
の、半透膜除湿器１６はかなり高価であるとともに、パ
ージ用の乾燥空気を大量に消費するところから、コスト
アップになるといった問題点があった。
紫外線分析計においては、次のような不都合があった。
すなわち、前記干渉フィルタ９としては、測定成分に対
して選択性の高いものが得られず、したがって、ＣＯ2
の干渉影響をそれほど低減することができず、かなりの
干渉影響を受けていた。また、サンプルガスライン１７
に半透膜除湿器１６を設けていることにより、サンプル
ガスＳ中に含まれる水分を除去することができるもの
の、半透膜除湿器１６はかなり高価であるとともに、パ
ージ用の乾燥空気を大量に消費するところから、コスト
アップになるといった問題点があった。
【０００７】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、サンプルガス中に共存する成分の影響を確実
にしかも安価に低減することができる紫外線分析計を提
供することを目的としている。
たもので、サンプルガス中に共存する成分の影響を確実
にしかも安価に低減することができる紫外線分析計を提
供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明の紫外線分析計は、サンプルガスが導入さ
れるセルの一端側に紫外光源を設ける一方、セルの他端
側にセルを通過してきた光を二つの光路に分割するビー
ムスプリッタを設け、一方の光路中に第１の検出器を設
けるとともに、他方の光路中に測定対象成分を封入した
ガスフィルタを介して第２の検出器を設け、第１の検出
器の出力と、第２の検出器の出力に一定の定数を乗じた
ものとの差に基づいて測定対象成分の濃度を得るように
している。
め、この発明の紫外線分析計は、サンプルガスが導入さ
れるセルの一端側に紫外光源を設ける一方、セルの他端
側にセルを通過してきた光を二つの光路に分割するビー
ムスプリッタを設け、一方の光路中に第１の検出器を設
けるとともに、他方の光路中に測定対象成分を封入した
ガスフィルタを介して第２の検出器を設け、第１の検出
器の出力と、第２の検出器の出力に一定の定数を乗じた
ものとの差に基づいて測定対象成分の濃度を得るように
している。
【０００９】また、この発明の紫外線分析計は、サンプ
ルガスが導入されるセルの一端側に紫外光源を設ける一
方、セルの他端側に干渉フィルタを設け、この干渉フィ
ルタの透過側光路中に第１の検出器を設けるとともに、
干渉フィルタの反射側光路中に測定対象成分を封入した
ガスフィルタを介して第２の検出器を設け、第１の検出
器の出力と、第２の検出器の出力に一定の定数を乗じた
ものとの差に基づいて測定対象成分の濃度を得るように
してもよい。
ルガスが導入されるセルの一端側に紫外光源を設ける一
方、セルの他端側に干渉フィルタを設け、この干渉フィ
ルタの透過側光路中に第１の検出器を設けるとともに、
干渉フィルタの反射側光路中に測定対象成分を封入した
ガスフィルタを介して第２の検出器を設け、第１の検出
器の出力と、第２の検出器の出力に一定の定数を乗じた
ものとの差に基づいて測定対象成分の濃度を得るように
してもよい。
【００１０】
【作用】上記いずれの構成によっても、二つの検出器の
出力を差量計算することにより、共存成分に起因する出
力をゼロまたはこれに近い状態にすることができ、した
がって、干渉影響を確実に低減することができる。ま
た、高価な半透膜除湿器を設けたりする必要がないの
で、装置全体の構成が安価になるとともに、ランニング
コストも大幅に低減できる。
出力を差量計算することにより、共存成分に起因する出
力をゼロまたはこれに近い状態にすることができ、した
がって、干渉影響を確実に低減することができる。ま
た、高価な半透膜除湿器を設けたりする必要がないの
で、装置全体の構成が安価になるとともに、ランニング
コストも大幅に低減できる。
【００１１】
【実施例】図１は、この発明の第１実施例を示すもの
で、例えばＳＯ2 を測定するための紫外線分析計の構成
を概略的に示している。この図において、図４における
同じ符号は同じ部材であるので、その詳細な説明は省略
する。
で、例えばＳＯ2 を測定するための紫外線分析計の構成
を概略的に示している。この図において、図４における
同じ符号は同じ部材であるので、その詳細な説明は省略
する。
【００１２】図１において、１９はセル１のセル窓３の
外部に設けられる例えばハーフミラーよりなるビームス
プリッタで、水平な光軸Ｌに対して４５°の角度で傾け
て適宜のケース２０内に設けられている。そして、この
ケース２０のビームスプリッタ１９における光反射方向
（図示例ではケース２０の下方）側の光路（図中、実線
で示す）には、適宜の大きさの開口２１が開設され、こ
の開口２１に臨むようにして検出器（以下、第１の検出
器と言う）２２が設けられている。また、ケース２０の
ビームスプリッタ１９における光透過方向（図示例では
ケース２０の右方）側の光路（図中、点線で示す）に
は、ガスフィルタ２３を介して検出器（以下、第２の検
出器と言う）２４が設けられている。
外部に設けられる例えばハーフミラーよりなるビームス
プリッタで、水平な光軸Ｌに対して４５°の角度で傾け
て適宜のケース２０内に設けられている。そして、この
ケース２０のビームスプリッタ１９における光反射方向
（図示例ではケース２０の下方）側の光路（図中、実線
で示す）には、適宜の大きさの開口２１が開設され、こ
の開口２１に臨むようにして検出器（以下、第１の検出
器と言う）２２が設けられている。また、ケース２０の
ビームスプリッタ１９における光透過方向（図示例では
ケース２０の右方）側の光路（図中、点線で示す）に
は、ガスフィルタ２３を介して検出器（以下、第２の検
出器と言う）２４が設けられている。
【００１３】前記第１の検出器２２および第２の検出器
２４は、例えばシリコンフォトダイオードよりなる。ま
た、ガスフィルタ２３は、ケース２５の両端部が紫外線
透過性の良好な窓２６，２７で封止され、内部に検出対
象成分と同じガス、すなわち、この実施例においては、
ＳＯ2 が封入されている。そして、このガスフィルタ２
３は、そのケース２５の側面が窓２６側から窓２７に向
けて末窄まりとなるようにテーパ面に形成されている。
このようにすることにより、光源側の開口と検出器側の
開口とを合わせ込むことができる。
２４は、例えばシリコンフォトダイオードよりなる。ま
た、ガスフィルタ２３は、ケース２５の両端部が紫外線
透過性の良好な窓２６，２７で封止され、内部に検出対
象成分と同じガス、すなわち、この実施例においては、
ＳＯ2 が封入されている。そして、このガスフィルタ２
３は、そのケース２５の側面が窓２６側から窓２７に向
けて末窄まりとなるようにテーパ面に形成されている。
このようにすることにより、光源側の開口と検出器側の
開口とを合わせ込むことができる。
【００１４】上記のように構成した場合、セル１を通過
した紫外光は、ビームスプリッタ１９によって反射側光
路および透過側光路の光量がそれぞれ１／２となるよう
に分割される。そして、反射側光路に至った紫外光は、
第１の検出器２２にそのまま入射するので、測定対象成
分であるＳＯ2 の信号が大きく検出され、共存成分の信
号は小さく検出される。また、透過側光路に至った紫外
光は、ガスフィルタ２３を通過する際、ＳＯ2 によって
吸収を受けるので、第２の検出器においては、ＳＯ2 の
信号はきわめて小さく検出され、共存成分の信号は小さ
く検出される。そして、前記両検出器２２，２４の出力
は、図示してない信号処理部において、次のように処理
され、測定対象成分であるＳＯ2 の濃度Ｃが得られる。
すなわち、両検出器２２，２４の出力をそれぞれａ，ｂ
とするとき、 Ｃ∝ａ−α・ｂ（ここで、０＜α≦１０） ……（１）
した紫外光は、ビームスプリッタ１９によって反射側光
路および透過側光路の光量がそれぞれ１／２となるよう
に分割される。そして、反射側光路に至った紫外光は、
第１の検出器２２にそのまま入射するので、測定対象成
分であるＳＯ2 の信号が大きく検出され、共存成分の信
号は小さく検出される。また、透過側光路に至った紫外
光は、ガスフィルタ２３を通過する際、ＳＯ2 によって
吸収を受けるので、第２の検出器においては、ＳＯ2 の
信号はきわめて小さく検出され、共存成分の信号は小さ
く検出される。そして、前記両検出器２２，２４の出力
は、図示してない信号処理部において、次のように処理
され、測定対象成分であるＳＯ2 の濃度Ｃが得られる。
すなわち、両検出器２２，２４の出力をそれぞれａ，ｂ
とするとき、 Ｃ∝ａ−α・ｂ（ここで、０＜α≦１０） ……（１）
【００１５】なお、第２の検出器２４の出力ｂが共存成
分の濃度に対し直線性の信号が得られないときは、直線
化回路を用いるのがよい。
分の濃度に対し直線性の信号が得られないときは、直線
化回路を用いるのがよい。
【００１６】上記構成の紫外線分析計においては、第１
の検出器２２と第２の検出器２４の出力を差量計算する
だけで、共存成分に起因する出力をゼロまたはこれに近
い状態にすることができ、したがって、共存成分に影響
されない測定対象成分の濃度を精度よく得ることができ
る。また、高価な半透膜除湿器を設けたりする必要がな
いので、装置全体の構成が安価になるとともに、ランニ
ングコストも大幅に低減できる。
の検出器２２と第２の検出器２４の出力を差量計算する
だけで、共存成分に起因する出力をゼロまたはこれに近
い状態にすることができ、したがって、共存成分に影響
されない測定対象成分の濃度を精度よく得ることができ
る。また、高価な半透膜除湿器を設けたりする必要がな
いので、装置全体の構成が安価になるとともに、ランニ
ングコストも大幅に低減できる。
【００１７】そして、共存成分に対する両検出器２２，
２４の信号は、ほぼ同レベルが望ましいが、光学系にお
いては、両検出器２２，２４への光量調整はビームスプ
リッタ１９により行うことも可能である。これにより、
例えば紫外光源６のふらつきなどの補正も可能となる。
２４の信号は、ほぼ同レベルが望ましいが、光学系にお
いては、両検出器２２，２４への光量調整はビームスプ
リッタ１９により行うことも可能である。これにより、
例えば紫外光源６のふらつきなどの補正も可能となる。
【００１８】図２は、この発明の第２実施例を示すもの
で、この実施例では、上記第１実施例の紫外線分析計に
おいて、セル１とビームスプリッタ１９との間に例えば
バンドパスフィルタよりなる干渉フィルタ２８を介装し
ている。このように構成した場合、第１の検出器２２に
おけるＳ／Ｎを向上させることができ、それだけ精度の
高い測定を行なえる。
で、この実施例では、上記第１実施例の紫外線分析計に
おいて、セル１とビームスプリッタ１９との間に例えば
バンドパスフィルタよりなる干渉フィルタ２８を介装し
ている。このように構成した場合、第１の検出器２２に
おけるＳ／Ｎを向上させることができ、それだけ精度の
高い測定を行なえる。
【００１９】なお、上記第１実施例および第２実施例に
おいてはいずれも、ビームスプリッタ１９の反射側光路
に第１の検出器２２を設け、ビームスプリッタ１９の透
過側光路にガスフィルタ２３と第２の検出器２４を設け
ているが、前記透過側光路に第１の検出器２２を設け、
前記反射側光路にガスフィルタ２３と第２の検出器２４
を設けるようにしてもよい。
おいてはいずれも、ビームスプリッタ１９の反射側光路
に第１の検出器２２を設け、ビームスプリッタ１９の透
過側光路にガスフィルタ２３と第２の検出器２４を設け
ているが、前記透過側光路に第１の検出器２２を設け、
前記反射側光路にガスフィルタ２３と第２の検出器２４
を設けるようにしてもよい。
【００２０】また、上述の実施例においてはいずれも、
測定対象成分と共存成分とを同一の波長帯域において検
出し、その検出出力を差量処理するようにしていたが、
この発明はこれに限られるものではなく、図３に示すよ
うにしてもよい。すなわち、図３は、この発明の第３実
施例を示すもので、この図において、２９はセル１のセ
ル窓３の外部に設けられる例えばバンドパスフィルタよ
りなる干渉フィルタで、水平な光軸Ｌに対して４５°の
角度で傾けて適宜のケース３０内に設けられている。こ
の干渉フィルタ２９は、測定対象成分であるＳＯ2 によ
る吸収のピーク波長（２８０ｎｍ）を含む所定幅の波長
の紫外光のみを通過させ、これ以外の範囲の紫外光は反
射させるように構成されている。
測定対象成分と共存成分とを同一の波長帯域において検
出し、その検出出力を差量処理するようにしていたが、
この発明はこれに限られるものではなく、図３に示すよ
うにしてもよい。すなわち、図３は、この発明の第３実
施例を示すもので、この図において、２９はセル１のセ
ル窓３の外部に設けられる例えばバンドパスフィルタよ
りなる干渉フィルタで、水平な光軸Ｌに対して４５°の
角度で傾けて適宜のケース３０内に設けられている。こ
の干渉フィルタ２９は、測定対象成分であるＳＯ2 によ
る吸収のピーク波長（２８０ｎｍ）を含む所定幅の波長
の紫外光のみを通過させ、これ以外の範囲の紫外光は反
射させるように構成されている。
【００２１】そして、前記ケース３０の干渉フィルタ２
９における光透過方向（図示例ではケース３０の下方）
側の光路（図中、点線で示す）には、ガスフィルタ３１
を介して検出器（以下、第１の検出器と言う）３２が設
けられている。また、ケース３０の干渉フィルタ２９に
おける光反射方向（図示例ではケース３０の下方）側の
光路（図中、実線で示す）には、適宜の大きさの開口３
３が開設され、この開口３３に臨むようにしてガスフィ
ルタ３４が設けられ、さらに、ガスフィルタ３４の後段
に検出器（以下、第２の検出器と言う）３５が設けられ
ている。
９における光透過方向（図示例ではケース３０の下方）
側の光路（図中、点線で示す）には、ガスフィルタ３１
を介して検出器（以下、第１の検出器と言う）３２が設
けられている。また、ケース３０の干渉フィルタ２９に
おける光反射方向（図示例ではケース３０の下方）側の
光路（図中、実線で示す）には、適宜の大きさの開口３
３が開設され、この開口３３に臨むようにしてガスフィ
ルタ３４が設けられ、さらに、ガスフィルタ３４の後段
に検出器（以下、第２の検出器と言う）３５が設けられ
ている。
【００２２】前記第１の検出器３２および第２の検出器
３５は、例えばシリコンフォトダイオードよりなる。ま
た、ガスフィルタ３１，３４は、ケース３６，３７の両
端部が紫外線透過性の良好な窓３８，３９，４０，４１
で封止されており、一方のガスフィルタ３１のケース３
６内には、測定対象成分がＳＯ2 であるとき妨害成分で
あるところのＣＯ2 が封入されており、他方のガスフィ
ルタ３４のケース３７内には、測定対象成分であるＳＯ
2 が封入されている。そして、一方のガスフィルタ３１
は、そのケース３６の側面が窓３８側から窓３９に向け
て末窄まりとなるようにテーパ面に形成されている。こ
のようにすることにより、光源側の開口と検出器側の開
口とを合わせ込むことができる。
３５は、例えばシリコンフォトダイオードよりなる。ま
た、ガスフィルタ３１，３４は、ケース３６，３７の両
端部が紫外線透過性の良好な窓３８，３９，４０，４１
で封止されており、一方のガスフィルタ３１のケース３
６内には、測定対象成分がＳＯ2 であるとき妨害成分で
あるところのＣＯ2 が封入されており、他方のガスフィ
ルタ３４のケース３７内には、測定対象成分であるＳＯ
2 が封入されている。そして、一方のガスフィルタ３１
は、そのケース３６の側面が窓３８側から窓３９に向け
て末窄まりとなるようにテーパ面に形成されている。こ
のようにすることにより、光源側の開口と検出器側の開
口とを合わせ込むことができる。
【００２３】このように構成された紫外線分析計におい
ては、第１の検出器３２は、測定対象成分の吸収波長領
域で主として測定対象成分の濃度を検出し、第２の検出
器３５は、測定対象成分の吸収波長領域の周辺波長領域
において共存成分の濃度を検出する。
ては、第１の検出器３２は、測定対象成分の吸収波長領
域で主として測定対象成分の濃度を検出し、第２の検出
器３５は、測定対象成分の吸収波長領域の周辺波長領域
において共存成分の濃度を検出する。
【００２４】すなわち、セル１を通過した紫外光のう
ち、ＳＯ2 の吸収波長帯域の紫外光は、干渉フィルタ２
９を通過し、ガスフィルタ３１を経て第１の検出器３２
に入射する。そして、ガスフィルタ３１を通過する際、
ＣＯ2 の吸収を受けるため、この第１の検出器３２から
は測定対象成分であるＳＯ2 の信号が大きく検出され、
共存成分の信号は小さく検出される。また、セル１を通
過した紫外光のうち、ＳＯ2 の吸収波長帯域外の紫外光
は、干渉フィルタ２９において反射され、ガスフィルタ
３４を通過する際、ＳＯ2 によって吸収を受けるので、
第２の検出器においては、ＳＯ2 の信号はきわめて小さ
く検出され、共存成分の信号は小さく検出される。した
がって、この場合も、前記（１）式に基づいて測定対象
成分（ＳＯ2 ）の濃度を求めることができる。
ち、ＳＯ2 の吸収波長帯域の紫外光は、干渉フィルタ２
９を通過し、ガスフィルタ３１を経て第１の検出器３２
に入射する。そして、ガスフィルタ３１を通過する際、
ＣＯ2 の吸収を受けるため、この第１の検出器３２から
は測定対象成分であるＳＯ2 の信号が大きく検出され、
共存成分の信号は小さく検出される。また、セル１を通
過した紫外光のうち、ＳＯ2 の吸収波長帯域外の紫外光
は、干渉フィルタ２９において反射され、ガスフィルタ
３４を通過する際、ＳＯ2 によって吸収を受けるので、
第２の検出器においては、ＳＯ2 の信号はきわめて小さ
く検出され、共存成分の信号は小さく検出される。した
がって、この場合も、前記（１）式に基づいて測定対象
成分（ＳＯ2 ）の濃度を求めることができる。
【００２５】なお、この実施例において、ガスフィルタ
３１を省略してもよい。
３１を省略してもよい。
【００２６】この発明は、上記ＳＯ2 の濃度測定用の紫
外線分析計のみならず、他の成分、例えばアンモニアガ
ス、塩素ガス、水銀蒸気、一酸化窒素、硫化水素などを
測定する紫外線分析計にも同様に適用することができ
る。
外線分析計のみならず、他の成分、例えばアンモニアガ
ス、塩素ガス、水銀蒸気、一酸化窒素、硫化水素などを
測定する紫外線分析計にも同様に適用することができ
る。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、この発明において
は、セルを通過した紫外光を二つの光路に分割し、それ
ぞれの光路に検出器を設け、これら二つの検出器の出力
を差量計算するようにしているので、共存成分に起因す
る出力をゼロまたはこれに近い状態にすることができ、
したがって、干渉影響を確実に低減することができる。
また、高価な半透膜除湿器を設けたりする必要がないの
で、装置全体の構成が安価になるとともに、ランニング
コストも大幅に低減できる。さらに、この発明は、検出
器が測定対象成分に関して選択性がないような場合、特
に有効である。
は、セルを通過した紫外光を二つの光路に分割し、それ
ぞれの光路に検出器を設け、これら二つの検出器の出力
を差量計算するようにしているので、共存成分に起因す
る出力をゼロまたはこれに近い状態にすることができ、
したがって、干渉影響を確実に低減することができる。
また、高価な半透膜除湿器を設けたりする必要がないの
で、装置全体の構成が安価になるとともに、ランニング
コストも大幅に低減できる。さらに、この発明は、検出
器が測定対象成分に関して選択性がないような場合、特
に有効である。
【図１】この発明の第１実施例を示す構成図である。
【図２】この発明の第２実施例を示す構成図である。
【図３】この発明の第３実施例を示す構成図である。
【図４】従来技術を説明するための図である。
１…セル、６…紫外光源、１９…ビームスプリッタ、２
２，３２…第１の検出器、２３，３４…ガスフィルタ、
２４，３５…第２の検出器、２９…干渉フィルタ、Ｓ…
サンプルガス。
２，３２…第１の検出器、２３，３４…ガスフィルタ、
２４，３５…第２の検出器、２９…干渉フィルタ、Ｓ…
サンプルガス。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 清水 直仁 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内
Claims (2)
- 【請求項１】 サンプルガスが導入されるセルの一端側
に紫外光源を設ける一方、セルの他端側にセルを通過し
てきた光を二つの光路に分割するビームスプリッタを設
け、一方の光路中に第１の検出器を設けるとともに、他
方の光路中に測定対象成分を封入したガスフィルタを介
して第２の検出器を設け、第１の検出器の出力と、第２
の検出器の出力に一定の定数を乗じたものとの差に基づ
いて測定対象成分の濃度を得るようにしたことを特徴と
する紫外線分析計。 - 【請求項２】 サンプルガスが導入されるセルの一端側
に紫外光源を設ける一方、セルの他端側に干渉フィルタ
を設け、この干渉フィルタの透過側光路中に第１の検出
器を設けるとともに、干渉フィルタの反射側光路中に測
定対象成分を封入したガスフィルタを介して第２の検出
器を設け、第１の検出器の出力と、第２の検出器の出力
に一定の定数を乗じたものとの差に基づいて測定対象成
分の濃度を得るようにしたことを特徴とする紫外線分析
計。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19761094A JPH0843302A (ja) | 1994-07-30 | 1994-07-30 | 紫外線分析計 |
| US08/508,816 US5693945A (en) | 1994-07-30 | 1995-07-28 | Gas analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19761094A JPH0843302A (ja) | 1994-07-30 | 1994-07-30 | 紫外線分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0843302A true JPH0843302A (ja) | 1996-02-16 |
Family
ID=16377340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19761094A Pending JPH0843302A (ja) | 1994-07-30 | 1994-07-30 | 紫外線分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0843302A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999005508A1 (en) * | 1997-07-24 | 1999-02-04 | General Monitors, Incorporated | Ultraviolet toxic gas point detector |
| CN1295494C (zh) * | 2004-07-04 | 2007-01-17 | 华中科技大学 | 集成化微型光学分析仪 |
| US7227642B2 (en) | 2003-10-10 | 2007-06-05 | Horiba, Ltd. | Absorbance monitor |
| JP2007268427A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Nippon Instrument Kk | 水銀還元用触媒、水銀変換ユニットおよびこれを用いた排気ガス中の全水銀測定装置 |
| JP2008190950A (ja) * | 2007-02-02 | 2008-08-21 | Horiba Ltd | 試料中の酸化セレン除去方法と除去装置、およびこれを用いた石炭燃焼排気ガス中の水銀測定方法および測定装置 |
| JPWO2019044917A1 (ja) * | 2017-09-01 | 2020-05-28 | 東邦チタニウム株式会社 | 塩素濃度分析装置、塩素濃度分析方法、四塩化チタンの製造装置及びスポンジチタンの製造方法 |
| CN116297279A (zh) * | 2023-05-18 | 2023-06-23 | 至芯半导体(杭州)有限公司 | 甲醛气体/voc气体浓度检测方法、系统、装置及设备 |
| KR102616114B1 (ko) * | 2022-12-14 | 2023-12-20 | 주식회사 다산에스엠 | 자동차 배기가스에 포함된 no 가스 검출기 |
-
1994
- 1994-07-30 JP JP19761094A patent/JPH0843302A/ja active Pending
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