JP3291934B2 - 赤外線ガス分析計 - Google Patents
赤外線ガス分析計Info
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- JP3291934B2 JP3291934B2 JP23235294A JP23235294A JP3291934B2 JP 3291934 B2 JP3291934 B2 JP 3291934B2 JP 23235294 A JP23235294 A JP 23235294A JP 23235294 A JP23235294 A JP 23235294A JP 3291934 B2 JP3291934 B2 JP 3291934B2
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- Japan
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はボイラーや燃焼炉などか
ら排出される燃焼排ガスなどのガス成分濃度を測定する
のに利用される非分散型赤外線ガス分析計に関するもの
である。
ら排出される燃焼排ガスなどのガス成分濃度を測定する
のに利用される非分散型赤外線ガス分析計に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】非分散型赤外線ガス分析計では測定セル
の一端側から赤外線の測定光を照射し、測定セルを透過
した測定光を測定セルの他端側に配置された検出器で検
出している。その検出器には測定成分ガスが不活性ガス
で希釈されて充填されている。このような赤外線ガス分
析計で例えば煙道排ガス中のＳＯ2濃度を測定する場
合、排ガス中に共存している水蒸気がＳＯ2と赤外吸収
波長が重なるため水蒸気が干渉成分となり、ＳＯ2濃度
の測定値に影響を与える。このような干渉成分による干
渉を補正する１つの方法として、図１に示されるように
主検出器の他に干渉補償検出器を備えたものが用いられ
ている。
の一端側から赤外線の測定光を照射し、測定セルを透過
した測定光を測定セルの他端側に配置された検出器で検
出している。その検出器には測定成分ガスが不活性ガス
で希釈されて充填されている。このような赤外線ガス分
析計で例えば煙道排ガス中のＳＯ2濃度を測定する場
合、排ガス中に共存している水蒸気がＳＯ2と赤外吸収
波長が重なるため水蒸気が干渉成分となり、ＳＯ2濃度
の測定値に影響を与える。このような干渉成分による干
渉を補正する１つの方法として、図１に示されるように
主検出器の他に干渉補償検出器を備えたものが用いられ
ている。
【０００３】図１では、試料ガスが流れる試料セル（測
定セル）２の一端に光源４が配置され、光源４からの赤
外線がモータ６で回転するセクター８により断続光とし
て試料セル２に照射される。試料セル２内を流通してい
る試料ガスを透過した測定光を検出するために、試料セ
ル２の他端側には測定光の光軸方向の前方に主検出器１
０、後方に干渉補償検出器１２が配置されている。主検
出器１０は透過型となっており、主検出器１０を透過し
た赤外光が干渉補償検出器１２に入射する。主検出器１
０と干渉補償検出器１２はそれぞれコンデンサマイクロ
フォンを備えた独立した検出器であり、主検出器１０に
は測定対象成分であるＳＯ2がＡｒなどの不活性ガスで
希釈された混合ガスが充填されており、その混合ガスは
入射する赤外線の固有波長域を吸収する。一方、干渉補
償検出器１２には水蒸気又は水蒸気とは赤外の吸収波長
の重なるエチレンなどの代替ガスがＡｒなどの不活性ガ
スで希釈された混合ガスが充填されている。
定セル）２の一端に光源４が配置され、光源４からの赤
外線がモータ６で回転するセクター８により断続光とし
て試料セル２に照射される。試料セル２内を流通してい
る試料ガスを透過した測定光を検出するために、試料セ
ル２の他端側には測定光の光軸方向の前方に主検出器１
０、後方に干渉補償検出器１２が配置されている。主検
出器１０は透過型となっており、主検出器１０を透過し
た赤外光が干渉補償検出器１２に入射する。主検出器１
０と干渉補償検出器１２はそれぞれコンデンサマイクロ
フォンを備えた独立した検出器であり、主検出器１０に
は測定対象成分であるＳＯ2がＡｒなどの不活性ガスで
希釈された混合ガスが充填されており、その混合ガスは
入射する赤外線の固有波長域を吸収する。一方、干渉補
償検出器１２には水蒸気又は水蒸気とは赤外の吸収波長
の重なるエチレンなどの代替ガスがＡｒなどの不活性ガ
スで希釈された混合ガスが充填されている。
【０００４】図１の分析計では試料セル２への入射光は
試料ガス中のＳＯ2と干渉成分であるＨ2Ｏによる吸収を
受けているため、主検出器１０では試料ガス中のＳＯ2
とＨ2Ｏの両方の濃度に応じた出力がコンデンサマイク
ロフォンから取り出され、主検出器１０からは試料ガス
中のＨ2Ｏの影響を受けたＳＯ2測定値が得られる。干渉
補償検出器１２は主検出器１０と同様な構造であるが、
内部には水蒸気又は水蒸気の代替ガスが充填されている
ため、干渉補償検出器１２では試料ガス中の水蒸気の濃
度に応じた測定値が得られる。この測定値を主検出器１
０からの測定値から引くことによって水蒸気の影響を補
正したＳＯ2濃度を得ることができる。
試料ガス中のＳＯ2と干渉成分であるＨ2Ｏによる吸収を
受けているため、主検出器１０では試料ガス中のＳＯ2
とＨ2Ｏの両方の濃度に応じた出力がコンデンサマイク
ロフォンから取り出され、主検出器１０からは試料ガス
中のＨ2Ｏの影響を受けたＳＯ2測定値が得られる。干渉
補償検出器１２は主検出器１０と同様な構造であるが、
内部には水蒸気又は水蒸気の代替ガスが充填されている
ため、干渉補償検出器１２では試料ガス中の水蒸気の濃
度に応じた測定値が得られる。この測定値を主検出器１
０からの測定値から引くことによって水蒸気の影響を補
正したＳＯ2濃度を得ることができる。
【０００５】干渉成分の影響を除く他の方法は、一実施
例である図２に示されるように、検出器として試料セル
２を透過した測定光の光軸方向の前後に直列に配置され
た２つの受光室２０，２２をもつ前後室型検出器を用い
たものである。この検出器では前室２０と後室２２はコ
ンデンサマイクロフォン２４で隔てられて２つの受光室
の圧力差が検出されるとともに、前室２０と後室２２は
スローリーク２６によって連通し、両室のガス圧をバラ
ンスさせている。従来はこの２つの受光室２０，２２に
は測定成分ガスのみが不活性ガスにより希釈されて充填
されている。
例である図２に示されるように、検出器として試料セル
２を透過した測定光の光軸方向の前後に直列に配置され
た２つの受光室２０，２２をもつ前後室型検出器を用い
たものである。この検出器では前室２０と後室２２はコ
ンデンサマイクロフォン２４で隔てられて２つの受光室
の圧力差が検出されるとともに、前室２０と後室２２は
スローリーク２６によって連通し、両室のガス圧をバラ
ンスさせている。従来はこの２つの受光室２０，２２に
は測定成分ガスのみが不活性ガスにより希釈されて充填
されている。
【０００６】前後室型検出器を用いると、前室２０で吸
収帯エネルギーの最大のところが吸収され、後室２２で
は吸収帯の側端部のエネルギーが吸収されるように設計
されている。この検出器では前室２０と後室２２のエネ
ルギー差が出力となるので、このときのスペクトル感度
は図３の実線に示されるような特性になる。ここで、被
測定成分の吸収帯から僅かにずれているような干渉成分
の吸収帯（破線で示されるもの）の検出器に対する影響
は、斜線で示されるように正の部分と負の部分に分かれ
るため互いに打ち消し合うようになる。そして、前室２
０と後室２２の間にトリマー２８を設け、トリマー２８
により後室２２への光入射量を調節することにより干渉
成分による正負の斜線部を等しくすれば、干渉感度を完
全に除去できる仕組みになっている。
収帯エネルギーの最大のところが吸収され、後室２２で
は吸収帯の側端部のエネルギーが吸収されるように設計
されている。この検出器では前室２０と後室２２のエネ
ルギー差が出力となるので、このときのスペクトル感度
は図３の実線に示されるような特性になる。ここで、被
測定成分の吸収帯から僅かにずれているような干渉成分
の吸収帯（破線で示されるもの）の検出器に対する影響
は、斜線で示されるように正の部分と負の部分に分かれ
るため互いに打ち消し合うようになる。そして、前室２
０と後室２２の間にトリマー２８を設け、トリマー２８
により後室２２への光入射量を調節することにより干渉
成分による正負の斜線部を等しくすれば、干渉感度を完
全に除去できる仕組みになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】図１に示された主検出
器と干渉補償検出器の２つの検出器を用いる装置では、
２つの検出器の出力を引き算しているため、ゼロ安定
性、感度安定性、Ｓ／Ｎ比などの検出器の精度が、１つ
の検出器を用いる場合に比べて悪くなる。また、主検出
器と干渉補償検出器の感度がずれることがあるため、測
定前又は定期的に干渉補償検出器の校正を行なう必要が
ある。さらに、１成分の測定に対して２個の検出器を使
うため、コスト高になる問題もある。
器と干渉補償検出器の２つの検出器を用いる装置では、
２つの検出器の出力を引き算しているため、ゼロ安定
性、感度安定性、Ｓ／Ｎ比などの検出器の精度が、１つ
の検出器を用いる場合に比べて悪くなる。また、主検出
器と干渉補償検出器の感度がずれることがあるため、測
定前又は定期的に干渉補償検出器の校正を行なう必要が
ある。さらに、１成分の測定に対して２個の検出器を使
うため、コスト高になる問題もある。
【０００８】図２の前後室型検出器を用いる装置では、
図１の２つの検出器を用いる装置における上記の問題は
ないが、干渉成分の感度が大きい場合、干渉を完全に除
去し切れないことがある。例えば、ＳＯ2計に対する干
渉成分として水蒸気が存在する場合などであるが、この
場合、干渉感度が後室より前室の方が大きくなるためで
あり、干渉の影響をなくすには後室の干渉感度を前室の
干渉感度と同じになるように上げる必要がある。トリマ
ー２８は後室の干渉感度を下げる方向には作用するが、
上げる方向には作用せず、他に有効な手段は知られてい
ない。本発明は図２のように前後室型検出器を用いると
ともに、干渉成分の感度が大きい場合にも干渉の影響を
なくすことができるようにすることを目的とするもので
ある。
図１の２つの検出器を用いる装置における上記の問題は
ないが、干渉成分の感度が大きい場合、干渉を完全に除
去し切れないことがある。例えば、ＳＯ2計に対する干
渉成分として水蒸気が存在する場合などであるが、この
場合、干渉感度が後室より前室の方が大きくなるためで
あり、干渉の影響をなくすには後室の干渉感度を前室の
干渉感度と同じになるように上げる必要がある。トリマ
ー２８は後室の干渉感度を下げる方向には作用するが、
上げる方向には作用せず、他に有効な手段は知られてい
ない。本発明は図２のように前後室型検出器を用いると
ともに、干渉成分の感度が大きい場合にも干渉の影響を
なくすことができるようにすることを目的とするもので
ある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明では、前後室型検
出器を用いた赤外線ガス分析計において、その前後室型
検出器の２つの受光室には、測定成分ガスと、測定成分
ガスとは赤外吸収波長の重なる干渉成分ガス又はその干
渉成分ガスとは赤外吸収波長の重なる代替ガスが不活性
ガスで希釈されて充填されている。２つの受光室の混合
ガスに含まれる干渉成分ガス又は代替ガスの濃度は、後
室の干渉感度が前室と同じか前室より大きくなるような
濃度に設定する。
出器を用いた赤外線ガス分析計において、その前後室型
検出器の２つの受光室には、測定成分ガスと、測定成分
ガスとは赤外吸収波長の重なる干渉成分ガス又はその干
渉成分ガスとは赤外吸収波長の重なる代替ガスが不活性
ガスで希釈されて充填されている。２つの受光室の混合
ガスに含まれる干渉成分ガス又は代替ガスの濃度は、後
室の干渉感度が前室と同じか前室より大きくなるような
濃度に設定する。
【００１０】
【作用】前後室型検出器の２つの受光室に測定成分ガス
の他に干渉成分ガス又はその代替ガスを混入したので、
後室の干渉感度を前室と同じか前室より大きくすること
ができ、検出器全体として干渉感度を前室と後室とで等
しく調整することにより、干渉成分の影響を除去してよ
り精度の高い測定値を得ることができる。
の他に干渉成分ガス又はその代替ガスを混入したので、
後室の干渉感度を前室と同じか前室より大きくすること
ができ、検出器全体として干渉感度を前室と後室とで等
しく調整することにより、干渉成分の影響を除去してよ
り精度の高い測定値を得ることができる。
【００１１】
【実施例】図２は一実施例を表わす。試料セル２、光源
４、モータ６により回転するセクター８は図１のものと
同じである。試料セル２に対し光源４と反対側の位置に
検出器２１が配置され、検出器２１は２つの受光室２０
と２２が試料セル２を透過した測定光の光軸方向の前後
に直列に配置された前後室型検出器となっている。２つ
の受光室２０と２２はコンデンサマイクロフォン２４で
隔てられており、コンデンサマイクロフォン２４により
２つの受光室２０，２２間の圧力差が検出される。前室
２０と後室２２はコンデンサマイクロフォン２４で完全
に仕切られているわけではなく、スローリーク２６によ
って連通しており、両室２０，２２間のガス圧がバラン
スされている。スローリーク２６によるリーク量は、セ
クター８により断続して試料セル２に入射する測定光が
検出器２１に入射することによる両室２０，２２での圧
力差変化に対して殆ど影響を与えない程度の小さいもの
である。このスローリーク２４が存在することにより両
室２０，２２には同じガスが充填されることになる。前
室２０と後室２２の間には後室２２への入射光量の調整
を行なうトリマー２８が設けられている。前室２０と後
室２２の光路長は使用条件に応じて設計されるが、図２
の例では前室２０よりも後室２２の方が光路長が長くな
るように設定されている。
４、モータ６により回転するセクター８は図１のものと
同じである。試料セル２に対し光源４と反対側の位置に
検出器２１が配置され、検出器２１は２つの受光室２０
と２２が試料セル２を透過した測定光の光軸方向の前後
に直列に配置された前後室型検出器となっている。２つ
の受光室２０と２２はコンデンサマイクロフォン２４で
隔てられており、コンデンサマイクロフォン２４により
２つの受光室２０，２２間の圧力差が検出される。前室
２０と後室２２はコンデンサマイクロフォン２４で完全
に仕切られているわけではなく、スローリーク２６によ
って連通しており、両室２０，２２間のガス圧がバラン
スされている。スローリーク２６によるリーク量は、セ
クター８により断続して試料セル２に入射する測定光が
検出器２１に入射することによる両室２０，２２での圧
力差変化に対して殆ど影響を与えない程度の小さいもの
である。このスローリーク２４が存在することにより両
室２０，２２には同じガスが充填されることになる。前
室２０と後室２２の間には後室２２への入射光量の調整
を行なうトリマー２８が設けられている。前室２０と後
室２２の光路長は使用条件に応じて設計されるが、図２
の例では前室２０よりも後室２２の方が光路長が長くな
るように設定されている。
【００１２】ＳＯ2計を例にすると、前室２０と後室２
２には測定成分ガスとしてのＳＯ2の他に、ＳＯ2と赤外
吸収波長の重なる干渉成分ガスとしてＨ2Ｏ、又はＨ2Ｏ
と赤外吸収波長の重なる代替ガスとしてプロピレン（Ｃ
3Ｈ6）やエチレン（Ｃ2Ｈ4）などの炭化水素系ガスがア
ルゴン（Ａｒ）などの活性ガスで希釈されて充填されて
いる。干渉成分ガス又は代替ガスの濃度は前室２０と後
室２２のサイズによって実験的に定められ、後室２２で
の干渉感度が前室２０での干渉感度と同じか、又はそれ
より大きくなるように設定されている。後室２２の方が
干渉ガス感度が大きい場合は、両室２０，２２の間に設
けられたトリマー２８を調整することにより干渉感度が
両室２０，２２で等しくなるように調整する。
２には測定成分ガスとしてのＳＯ2の他に、ＳＯ2と赤外
吸収波長の重なる干渉成分ガスとしてＨ2Ｏ、又はＨ2Ｏ
と赤外吸収波長の重なる代替ガスとしてプロピレン（Ｃ
3Ｈ6）やエチレン（Ｃ2Ｈ4）などの炭化水素系ガスがア
ルゴン（Ａｒ）などの活性ガスで希釈されて充填されて
いる。干渉成分ガス又は代替ガスの濃度は前室２０と後
室２２のサイズによって実験的に定められ、後室２２で
の干渉感度が前室２０での干渉感度と同じか、又はそれ
より大きくなるように設定されている。後室２２の方が
干渉ガス感度が大きい場合は、両室２０，２２の間に設
けられたトリマー２８を調整することにより干渉感度が
両室２０，２２で等しくなるように調整する。
【００１３】測定成分がＳＯ2で、干渉成分が水蒸気の
場合についてより具体的に説明する。ＳＯ2は赤外域の
７.２μｍ付近に吸収をもっているが、その波長域は水
蒸気の吸収帯と重なるため、水蒸気の干渉がある。試料
ガスが燃焼排ガスの場合、必ず水蒸気を含んでおり、試
料ガスを電子クーラーなどで除湿しているが、それでも
２℃飽和水蒸気程度（約７０００ｐｐｍ）の水蒸気は含
まれている。この２℃飽和水蒸気が試料ガスに含まれた
場合、前後室型検出器としてＳＯ2のみを希釈して充填
した従来の検出器の場合には、ＳＯ2濃度換算で数十ｐ
ｐｍの干渉影響が出る。これは検出器の前室での水蒸気
の感度が後室より大きくなるためであり、その場合には
トリマー２８では調整することはできない。
場合についてより具体的に説明する。ＳＯ2は赤外域の
７.２μｍ付近に吸収をもっているが、その波長域は水
蒸気の吸収帯と重なるため、水蒸気の干渉がある。試料
ガスが燃焼排ガスの場合、必ず水蒸気を含んでおり、試
料ガスを電子クーラーなどで除湿しているが、それでも
２℃飽和水蒸気程度（約７０００ｐｐｍ）の水蒸気は含
まれている。この２℃飽和水蒸気が試料ガスに含まれた
場合、前後室型検出器としてＳＯ2のみを希釈して充填
した従来の検出器の場合には、ＳＯ2濃度換算で数十ｐ
ｐｍの干渉影響が出る。これは検出器の前室での水蒸気
の感度が後室より大きくなるためであり、その場合には
トリマー２８では調整することはできない。
【００１４】この干渉影響を除くために、一例として、
検出器の充填ガスとしてＳＯ2とＣ3Ｈ6をＡｒで希釈し
た混合ガスを用いた。混合ガスには干渉成分ガスとして
水蒸気を混合するのが望ましいが、水蒸気は低温で結露
するなど不安定であるため、水蒸気と赤外吸収波長の重
なるＣ3Ｈ6を代替ガスとして用いた。ＳＯ2とＣ3Ｈ6は
常圧では反応せず安定である。充填された混合ガス中に
数％のＣ3Ｈ6を混合することにより、検出器２１の後室
２２の水蒸気感度が前室２０より大きくなるので、トリ
マー２８で光量を調整することによって前室２０と後室
２２の水蒸気感度を等しくすることができ、水蒸気干渉
影響のない精度の高いＳＯ2濃度測定が可能になった。
検出器の充填ガスとしてＳＯ2とＣ3Ｈ6をＡｒで希釈し
た混合ガスを用いた。混合ガスには干渉成分ガスとして
水蒸気を混合するのが望ましいが、水蒸気は低温で結露
するなど不安定であるため、水蒸気と赤外吸収波長の重
なるＣ3Ｈ6を代替ガスとして用いた。ＳＯ2とＣ3Ｈ6は
常圧では反応せず安定である。充填された混合ガス中に
数％のＣ3Ｈ6を混合することにより、検出器２１の後室
２２の水蒸気感度が前室２０より大きくなるので、トリ
マー２８で光量を調整することによって前室２０と後室
２２の水蒸気感度を等しくすることができ、水蒸気干渉
影響のない精度の高いＳＯ2濃度測定が可能になった。
【００１５】図４は他の実施例を表わしたものである。
図２の実施例と比較すると、図２では測定セルが試料セ
ル２のみであるのに対し、図４の実施例では測定セルと
して試料セル２の他に、試料ガス成分やその干渉ガス成
分を含まない不活性なガスが充填された比較セル２ｒが
試料セル２に平行に配置されている。また、モータ６に
より回転するセクター８ａは光源４からの赤外光を試料
セル２と比較セル２ｒに交互に入射させるためのもので
あり、試料セル２を透過した赤外光と比較セル２ｒを透
過した赤外光を共通の検出器２１（この検出器は図２に
示されたものと同じ検出器）に導くために、両セル２，
２ｒの測定光出射端と検出器２１の間に集光器３０が配
置されている。
図２の実施例と比較すると、図２では測定セルが試料セ
ル２のみであるのに対し、図４の実施例では測定セルと
して試料セル２の他に、試料ガス成分やその干渉ガス成
分を含まない不活性なガスが充填された比較セル２ｒが
試料セル２に平行に配置されている。また、モータ６に
より回転するセクター８ａは光源４からの赤外光を試料
セル２と比較セル２ｒに交互に入射させるためのもので
あり、試料セル２を透過した赤外光と比較セル２ｒを透
過した赤外光を共通の検出器２１（この検出器は図２に
示されたものと同じ検出器）に導くために、両セル２，
２ｒの測定光出射端と検出器２１の間に集光器３０が配
置されている。
【００１６】図４の赤外線ガス分析計はレシオ方式と呼
ばれており、試料セル２を透過した赤外光による測定値
と比較セル２ｒを透過した赤外光による測定値との比を
用いて濃度測定を行なう。
ばれており、試料セル２を透過した赤外光による測定値
と比較セル２ｒを透過した赤外光による測定値との比を
用いて濃度測定を行なう。
【００１７】本発明はまた、図２のように測定セルとし
て試料セル１つだけを用いる装置で、試料セルに試料ガ
スとＮ2などのゼロガスとを交互に流通させるクロスフ
ロー方式の分析計にも同様に適用することができる。
て試料セル１つだけを用いる装置で、試料セルに試料ガ
スとＮ2などのゼロガスとを交互に流通させるクロスフ
ロー方式の分析計にも同様に適用することができる。
【００１８】
【発明の効果】本発明は前後室型検出器を用いるので主
検出器と干渉補償検出器の２つの検出器を用いるガス分
析計に比べて、ゼロ安定性、感度安定性、Ｓ／Ｎ比など
の検出器精度の問題、干渉補償検出器の校正が必要にな
る問題、コスト高になる問題などはない。そして、本発
明では前後室型検出器の２つの受光室に測定成分ガスの
他に、測定成分ガスとは赤外吸収波長の重なる干渉成分
ガス又はその干渉成分ガスとは赤外吸収波長の重なる代
替ガスを混入させたので、後室の干渉ガス感度を前室と
同じかそれよりも大きくすることができ、トリマーによ
って前室と後室とで干渉ガス成分の感度を同じにするこ
とができ、干渉影響のない精度の高い測定を行なうこと
ができるようになる。
検出器と干渉補償検出器の２つの検出器を用いるガス分
析計に比べて、ゼロ安定性、感度安定性、Ｓ／Ｎ比など
の検出器精度の問題、干渉補償検出器の校正が必要にな
る問題、コスト高になる問題などはない。そして、本発
明では前後室型検出器の２つの受光室に測定成分ガスの
他に、測定成分ガスとは赤外吸収波長の重なる干渉成分
ガス又はその干渉成分ガスとは赤外吸収波長の重なる代
替ガスを混入させたので、後室の干渉ガス感度を前室と
同じかそれよりも大きくすることができ、トリマーによ
って前室と後室とで干渉ガス成分の感度を同じにするこ
とができ、干渉影響のない精度の高い測定を行なうこと
ができるようになる。
【図１】主検出器と干渉補償検出器を備えた従来のガス
分析計を示す概略平面図である。
分析計を示す概略平面図である。
【図２】一実施例を示す概略平面図である。
【図３】前後室型検出器のスペクトル感度を示す波形図
である。
である。
【図４】他の実施例を示す平面図である。
２ 試料セル ４ 光源 ２０ 前室 ２１ 前後室型検出器 ２２ 検出器の後室 ２４ コンデンサマイクロフォン ２６ スローリーク ２８ トリマー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/00 - 21/01 G01N 21/17 - 21/61 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (1)
- 【請求項１】 測定セルの一端側に測定セルに赤外線の
測定光を照射する光源部が配置され、測定セルの他端側
には測定セルを透過した測定光を受光する位置で２つの
受光室が測定光の光軸方向に直列に配置され、その２つ
の受光室は小さいリーク部を介して連通しているととも
に、コンデンサマイクロフォン又はマスフローセンサで
隔てられて２つの受光室間の圧力差が電気信号に変換さ
れる前後室型検出器を構成している赤外線ガス分析計に
おいて、 前記２つの受光室には、測定成分ガスと、測定成分ガス
とは赤外吸収波長の重なる干渉成分ガス又はその干渉成
分ガスとは赤外吸収波長の重なる代替ガスが不活性ガス
で希釈されて充填されていることを特徴とする非分散型
赤外線ガス分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23235294A JP3291934B2 (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 赤外線ガス分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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