JPH0219717Y2

JPH0219717Y2 -

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Publication number: JPH0219717Y2
Application number: JP1292280U
Authority: JP
Priority date: 1979-02-22
Filing date: 1980-02-06
Publication date: 1990-05-30
Also published as: EP0015068B1; JPS55125542U; EP0015068B2; EP0015068A1; DE3064346D1

Description

【考案の詳細な説明】この考案は、スペクトル的に重なる複数成分か
らなる均一ガス試料中の所定ガスの濃度を測定す
る非分散型赤外分析装置における精度を高める装
置、さらに詳しくは、ガス試料中の妨害ガスの濃
度を測定してガス試料中の所定ガス成分の測定に
及ぼす妨害ガスの影響を排除する装置に関するも
のである。

先行技術はガス試料中の所定成分の濃度を測定
するのに多くの方法及び装置を開示した、その中
で最も特殊なものがガス（又は空気）検出器を利
用した非分散型赤外分析装置である。

問題の成分を充てんしたガス検出器は、一般に
所定成分の濃度を精確に表示するが、試料流に存
在する他のガス成分が所定成分の主吸収帯に重な
つたり或いは主吸収帯内に存在する問題が度々生
じる。例えば、二酸化炭素は一酸化炭素の主赤外
吸収帯に重なる赤外吸収帯を有し、一方水蒸気は
一酸化炭素の主吸収帯内に存在する小吸収帯を有
する。従つて、これらのガスが存在すると、非分
散式赤外法による一酸化炭素の測定が妨害され
る。水蒸気と一酸化炭素によつて吸収された赤外
線エネルギーを補うために、先行技術は特に高感
度のガス検出器を備えて一酸化炭素および（また
は）水蒸気の濃度を測定し、これらの濃度の作用
（または影響）を一酸化炭素検出器で測定した濃
度から差し引いた。この方法では、ガス試料の試
験に極めて複雑で大型かつ高価な一酸化炭素検出
器を要する。一酸化炭素のようなガスの濃度を正
確に測定するために、測定せんとする妨害物質の
各々の余分のガス検出器を要し、その結果高コス
トとなる。

従つて、本考案の目的は、ガス試料の成分濃度
を高精度で測定する単純で双対ビームの非分散型
赤外分析装置を提供することである。

本考案のもう１つの目的は、ガス試料流中の成
分ガスを安く正確に測定することである。

さらに、本考案の目的は高精度のガス濃度分析
装置を提供することである。

ガス検出器を利用した双対ビーム、非分散型赤
外分析装置の試料室（セル）内に配置の半導体検
出器からなる本考案によつて、前述の目的は達せ
られ、そして前述の欠点は解消される。これらの
半導体検出器は、被測定ガス成分によつて吸収さ
れる赤外線の波長とは異なる妨害物質の波長に対
応する波長の赤外線を通す狭帯域フイルターの後
に配置する。半導体検出器への入射エネルギーは
電気信号に変換され、さらにこの信号を処理して
妨害ガスの濃度で示す。処理した信号は、ガス検
出器の出す信号と代数学的に組み合せ、得られた
信号が妨害ガスのもたらす不正確さがないガス試
料の所定成分濃度を表示する。

第１図は、赤外線源１０Ａ及び１０Ｂ、比較セ
ル１２Ａ、試料セル１２Ｂ、室１４Ａと１４Ｂを
有するガス検出器、表示器１６及び狭帯域フイル
ター１８Ａと１８Ｂからなる先行技術による双対
ビーム、非分散型赤外分析装置９を示す。

狭帯域フイルター１８Ａ，１８Ｂは必須でない
が、スペクトル的に妨害（又は干渉）する物質の
数をフイルターの帯域幅内に吸収帯を有するガス
に限定することによつて、成分ガスの測定を改善
するのに推せんされる。従つて、狭帯域フイルタ
ー１８Ａと１８Ｂは、本考案を併用する非分散型
赤外分析装置の一部として含まれる。しかし、こ
れら狭帯域フイルター１８Ａ，１８Ｂは必須のも
のではない。

実際に、比較セル１２Ａは不活性ガスを充てん
するか或いは真空にする。その必須特性は、比較
セル１２Ａが赤外エネルギーを吸収しないガス、
又は赤外エネルギー吸収が問題の特定用途に対し
て一定であるガスを含むことである。被測定成分
ガスを含むガス試料流は試料セル１２Ｂを流通す
る。適度に釣り合つた２つの狭帯域フイルター１
８Ａと１８Ｂは、ガス検出器の室１４Ａと１４Ｂ
の前に配置して被測定成分ガスの強い吸収帯と一
致する赤外線の狭帯を通す。狭帯域フイルター１
８Ａと１８Ｂは市販のいずれの型でもよいが、サ
フアイアをベースにした干渉フイルターが望まし
い。狭帯域フイルターは、比較セル１２Ａと試料
セル１２Ｂと一直線である検出器の窓を覆う。検
出器の室１４Ａと１４Ｂは、一般に被測定ガスと
同種のガス（この場合は一酸化炭素）を充てんす
る、そしてダイアフラム（仕切板）２０で隔離さ
れる。ダイアフラム２０はアルミニウム箔のよう
な導電材料の極薄板であつてコンデンサの可変板
の役目をする。ダイアフラム２０の隣にコンデン
サの固定板の役目をする電極２２が配置される。

作動時、赤外線源１０Ａと１０Ｂは広帯域の赤
外線スペクトルを出す。回転チヨツパ・ブレード
２４が作動して赤外線源１０Ａと１０Ｂを望まし
くは約10回／秒の割合で同時に遮断する。チヨツ
パ・ブレード２４の作用は、比較セル１２Ａと試
料セル１２Ｂを同期に通過する脈動赤外線を提供
することである。被測定ガス成分（この場合一酸
化炭素）の特徴でもある赤外エネルギーの広い帯
が比較セル１２Ａを下方へ進んで狭いバンド・フ
イルター１８Ａに入射する。この干渉フイルター
１８Ａは、一酸化炭素の4.7μ吸収帯のような被測
定ガス成分の吸収帯と一致する波長のみを透過す
る。ガス検出器の比較（（または標準）室14A内
で、比例する量の赤外線がその中に含まれる一酸
化炭素によつて吸収されて加熱作用をもたたら
す。同様に、赤外線源１０Ｂからの赤外エネルギ
ーも試料セル１２Ｂを進む。しかし、室１４Ｂへ
透過される赤外線は、第１図および第３図に示す
ように、試料セル１２Ｂに存在する一酸化炭素に
よる吸収によつて少なくなる。試料セル１２Ｂ内
のガス成分によつて吸収されなかつた吸収帯域幅
内の赤外エネルギーは、ガス検出器室１４Ｂ内の
一酸化炭素に比例して吸収される。ガス検出器室
１４Ａの一酸化炭素は、赤外エネルギーが試料セ
ル１２Ｂに含まれる一酸化炭素に吸収されたの
で、ガス検出器室１４Ｂの一酸化炭素よりも著し
く高温に熱せられる。ガス検出器室１４Ａと１４
Ｂにおける不均な加熱は圧力差をもたらし、従つ
てダイアフラム２０を偏位させ、これは電極２２
とダイアフラム２０間の電気容量を変えることに
なる。電極２２とダイアフラム２０間の電気容量
変化を測定する表示器１６がガス成分、一酸化炭
素の濃度を示す。

第２図には、一酸化炭素、二酸化炭素および水
蒸気によつて一部分を吸収された赤外スペクト
ル・グラフを示す。二酸化炭素の吸収帯は
“CO₂”印を付した点線で示す。水蒸気の吸収帯
は“H₂O”印を付したスパイクした実線で示す。
一酸化炭素の吸収帯は“CO”印を付した実線で
示す。2.6μ、2.694μ（2.7μ）、2.76μ、及び4.7μの
所
にそれぞれ中心点をもつ帯域幅は、本考案に併用
する光学フイルターの示す代表的なものである。
一酸化炭素、二酸化炭素及び水蒸気による吸収
は、ａ点とｂ点の間のグラフに見られる。一酸化
炭素は、4.7μの所に中心をもつ狭帯域幅内の赤外
エネルギーを吸収する。しかし、この帯域幅にお
いて、二酸化炭素と水蒸気も少量の赤外エネルギ
ーを吸収する。2.694μに中心をもつ“Ｃ”点と
“ｄ”点間で、二酸化炭素と水蒸気が強い吸収体
であるが、一酸化炭素は本質的に赤外エネルギー
の非吸収体である。2.6μに中心をもつ“ｅ”点と
“ｆ”点間で、水蒸気は強吸収体であるが一酸化
炭素と二酸化炭素は赤外エネルギーの無視できる
吸収体である。従つて、水蒸気は2.6μを中心にし
た波長で単独に測定され、そして二酸化炭素の独
立測定は、2.7μにおける二酸化炭素と水蒸気の測
定から2.6μで測定した水蒸気の作用を差し引くこ
とにより得られる。2.6μにおける水蒸気の測定と
2.7μにおける水蒸気及び二酸化炭素の測定が望ま
しいが、また、二酸化炭素と水蒸気は2.7μに中心
をもつ帯域幅の外に2.76μを中心とした帯域幅に
おける赤外エネルギーの吸収体である。従つて、
一酸化炭素の濃度測定は微量の二酸化炭素及び水
蒸気も含む（一酸化炭素測定の誤差）が、水蒸気
と二酸化炭素の濃度は、一酸化炭素による赤外エ
ネルギーの吸収なしに測定することができる。

第３図には、本考案の原理に従つて構成した非
分散型赤外分析装置を示す。第３図に示す分析装
置において、第１図に示す分析装置と同一の部分
は、同一の数字を有し、それらについては新ため
て説明をしない。半導体検出器３０と３１は、試
料セル１２Ｂ内に配置され、それらの前には光学
フイルター３２と３３、及び電子回路３６へのリ
ード線３４と３５をそれぞれ有するように示され
ている。半導体検出器３１は、サーミスタ、硫化
鉛センサー、セレン化鉛センサー、ピロ電気装
置、又は半導体黒体検出器である。感度と低コス
トの点でピロ電気装置が望ましい。光学フイルタ
ー３２，３３は市販のいずれの型のものでもよい
が、石英基質上の狭帯域、干渉型赤外フイルター
が望ましい。フイルター３２，３３は、妨害ガス
の吸収帯と一致するいずれの値の帯域幅中点も有
しうる。水蒸気と二酸化炭素の存在下で一酸化炭
素を測定する場合の光学フイルター３２は、2.6μ
に中心点をもつ0.05μの帯域幅を有することが望
ましい。光学フイルター３３は、2.76μに中心点
をもつ0.04μの帯域幅も適当であるが、2.694μに
中心点をもつ0.03μの帯域幅を有することが望ま
しい。電子回路３６も導体３８を介してダイアフ
ラム２０から入力を受けて、導体３８を介して出
力を表示計１６へ出す。

2.6μと2.694μ（これらはそれぞれ光学フイルタ
ーの通す帯域幅の望ましい中心点である）の領域
における赤外線は、試料ガス通路１２Ｂを下方へ
進む、そして試料ガスに含まれる二酸化炭素およ
び（または）は水蒸気によつて部分的に吸収され
る。水蒸気または二酸化炭素によつて吸収されな
い赤外線部は、光学フイルター３２と３３によつ
てそれぞれ半導体検出器３０と３１へ通される。
通過した赤外線のエネルギーは、半導体検出器の
出す信号となる。半導体検出器３０と３１の出す
信号は、それぞれ試験せんとするガス試料中の水
蒸気と二酸化炭素の濃度に関係する。分析するガ
ス成分（この場合一酸化炭素）の主吸収帯域幅内
の赤外線は光学フイルター３２と３３を通過しな
い。一酸化炭素の吸収帯域幅内の赤外線は、狭帯
域フイルター１８Ｂを通つてガス検出器室１４Ｂ
内の一酸化炭素に吸収される。4.7μに中心をもつ
一酸化炭素の吸収帯域幅内の赤外線は、半導体検
出器３０と３１の出力に影響を与えず、そして
2.6μと2.7μに中心をもつ二酸化炭素と水蒸気の吸
収帯域幅内の赤外線はガス検出器１４の出力に影
響を及ぼさない。非分散型赤外分析装置の操作
は、先行技術のものと本質的に変らない。しかし
ながら、ガス検出器１４と半導体検出器３０，３
１の出す信号は、表示器１６で示す前にさらに電
子回路３６で処理する。

第４図は、入力側の導体３８を介して電極２２
に接続し出力側を導体５４を介してチヨツプ周波
数帯域フイルター５２に接続した電荷検出器およ
び増幅器５０からなる電子回路３６のブロツク図
である。チヨツパ周波数帯域フイルター５２の出
力端子は導体５８を介して復調器５６の入力端子
に接続する。復調器５６は導体６２を介してフイ
ルター６０に接続する。フイルター６０は、導体
６６を介して加算回路６４に接続、そしてその加
算回路は導体７０を介して計数増幅器６８に接続
する。計数増幅器６８はゼロ制御部６９を備えて
低域フイルター７２に接続する、そして低域フイ
ルター７２は導体４０を介して一酸化炭素表示器
１６に接続する。また、電子回路３６はは、入力
端子を導体３４と３５を介してそれぞれ半導体検
出器３０と３１に接続している増幅器８０と８２
からなる。増幅器８０は導体９０を介してチヨツ
パ周波数帯域フイルター８８に接続し、このフイ
ルター８８は導体９４を介して復調器９２に接続
する。復調器９２は導体９８を介して低域フイル
ター９６に接続し、この低域フイルター９６は導
体１０４と１０６を介してそれぞれ加算係数器１
００とH₂O／CO₂制御器１０２に接続する。加算
係数器１００はゼロ制御器１１０からの付加入力
を受け、そして導体１１４を介して出力をH₂O
制御器１１２へ出す。H₂O制御器１１２は、導
体１１６を介して加算回路６４への第２入力であ
る出力を出す。

増幅器８２は導体１２０を介してチヨツパ周波
数帯域フイルター１１８へ接続し、フイルター１
１８は導体１２４を介して復調器１２２に接続す
る。復調器１２２は導体１２８を介して低域フイ
ルター１２６に接続、そしてこの低域フイルター
１２６は１つの入力を導体１３２を介して加算係
数器１３０に送る。加算係数器１３０は、導体１
３４と１３６を介してそれぞれH₂O／CO₂制御器
１０２とゼロ制御器１３３から入力を受ける。加
算係数器１３０は導体１４０を介して線形化回路
１３８への入力を出す。線形制御器１３９を備え
た線形化回路１３８は、入力を導体１４４を介し
てCO₂制御器１４２へ送る。CO₂制御器１４２
は、CO₂＋H₂O制御器１４３を備えて第３入力を
導体１４６を介して加算回路６４に送る。電子回
路３６を離散型構成要素からなるように説明した
が、多くの変化が可能であり、かつ電子回路３６
の機能はマイクロプロセツサ等で達せられること
を理解されたい。

作動時の電荷検出器５０は、電極２２から導体
３８を介してキヤパシタンスの表示を受ける。こ
の信号は交流信号であつてチヨツパ周波数帯域フ
イルター５２へ送られる、このフイルター５２は
スプリアスな交流信号を除去してチヨツパ２４の
決める周波数（10ヘルツが望ましい）をもつたク
リーンな交流信号を復調器５６へ供給する。復調
器５６は、全波整流器の働をして交流リプルを含
む直流信号をフイルター６０へ供給する。フイル
ター６０は、加算回路６４が導体６６を介して平
坦な直流信号を受けるように10ヘルツ・リプルを
有する直流信号を平坦化する。従つて、導体６６
から加算回路６４への信号は、純粋な直流信号で
あつて、その振幅は、問題の成分ガス（本例では
一酸化炭素）の濃度と成分ガス（本例では二酸化
炭素と水蒸気）の検出に利用する同一波長におけ
る吸収帯を有する妨害ガスの濃度の和に比例す
る。

増幅器８０は、導体３４を介して半導体検出器
３０から交流信号を受ける。この交流信号は増幅
してチヨツパ周波数帯域フイルター８８へ送る。
チヨツパ周波数帯域フイルター８８は、全てのス
プリアスな交流信号を除去してチツツパ・プレー
ド２４の周波数である10ヘルツの交流信号を復調
器９２へ出す。復調器９２は、復調器５６と同一
の働をする。即ち全波整流の交流信号をフイルタ
ー９６に出し、そこで交流リプルを含む直流信号
を平坦化して純粋な直流信号にする。フイルター
９６からの直流信号は加算係数器１００へ送り、
そこでゼロ制御器１１０からの直流信号と一緒に
なる。また、フイルター９６からの直流信号は
H₂O／CO₂制御器１０２を介して加算係数器１３
０へ送られる。加算係数器１００はH₂O制御器
１１２への信号を出す、制御器１１２はその信号
をさらに処理してフイルター６０から加算回路６
４へ供給する極性と逆の極性をもつた信号に逆転
させる。導体１１６から加算係数器６４への信号
は、ガス試料中の水蒸気の濃度に比例した振幅を
有する純粋な直流信号である。増幅器８２は、半
導体検出器３１からの信号を受けて、この入力を
増幅してチヨツパ周波数帯域フイルター１１８
（該フイルターはフイルター８８と５２と同一の
働、即ち所望の10ヘルツ信号からスプリアス交流
信号を除去する働をする）へ信号を出す。クリー
ンな交流信号は、次に全波整流器の働をする復調
器１２２に送つてそこで交流リプルを含む直流信
号をフイルター１２６へ出す、フイルター１２６
はそのリプルを除去して平坦な直流信号を加算係
数器１３０へ出す。加算係数器１３０は、
H₂O／CO₂制御器１０２を介してフイルター９６
からの信号の一部とゼロ制御器１３３からの直流
入力を受ける。CO₂／H₂O制御器１０２は、半導
体検出器３１の出す信号に影響を及ぼす水蒸気の
吸収を補正する信号を提供する。加算係数器１３
０はこれら３つの信号を組み合せて線形化回路１
３８への出力を出す。線形化回路１３８は、加算
係数器１３０からの信号を直線化して二酸化炭素
センサー３１からの信号とガス試料に存在する二
酸化炭素量に基因する導体６６からの一酸化炭素
測定信号における誤差を確実に直線関係にする
（第５図参照）。増幅器１４２は、試験試料中の二
酸化炭素のために導体６６からの一酸化炭素信号
に合わせるのに必要な線形化回路１３８から所要
量の信号を供給する利得調整器を備える。また、
増幅器１４２は、この信号を再びフイルター６０
の出す極性と逆の極性信号に逆転して、この逆転
信号を加算回路６４へ送り、そこで試料中の一酸
化炭素及び水蒸気の量を示す直流信号と一緒にな
る。加算回路６４からの信号は、試料中の一酸化
炭素量と導体６６，１１６及び１４６からの合流
信号の電圧を比例関係にする計数増幅器６８に供
給される。計数増幅器６８からの信号は低域フイ
ルター７２に通して残留するスプリアスな直流信
号を除去し、この信号を一酸化炭素表示器１６へ
送り、そこで試料中の一酸化炭素量が表示され
る。

第５図は、試験試料中の二酸化炭素濃度と電圧
の関係グラフを示す。実線Ａは、加算係数器１３
０の出力端子に見られる、二酸化炭素濃度と半導
体検出器３１からの電圧の関係を示す。破線Ｂ
は、二酸化炭素濃度と線形化回路１３８（周知の
適当なもの）からの電圧間の直線関係を示す。線
Ａ，Ｂは共に水蒸気含量が零の場合である。破線
Ｃは一定量の水蒸気を含む場合の二酸化炭素含量
と線形化回路１３８の出力との関係を示す、この
場合導体１３４を介したH₂O／CO₂制御器１０２
からの信号はない。点線Ｄは一定量の水蒸気を含
む場合の二酸化炭素含量と線形化回路１３の出力
との関係を示すが、この場合には導体１３４を介
したH₂O／CO₂制御器１０２からの信号があり制
御器１０２は水蒸気に対するレスポンスが二酸化
炭素の存在又は不在の場合と同一であるように調
整される。検出器３１の出す電圧は、試験試料に
二酸化炭素が存在するため、導体６６における二
酸化炭素測定信号と直線関係をもたない、従つて
線形化回路１３８を使用して二酸化炭素に基因す
る誤差除去性能を改善する。一度、センサー３１
からの電圧が導体１４４において直線化される
と、レスポンスは二酸化炭素又は水蒸気と本質的
に直線になる（両成分の片方のみが存在する場
合）。しかしながら、H₂O／CO₂制御器及び導体
１３４上の水蒸気信号が無くて、二酸化炭素と水
蒸気が種々の量で存在する場合には、それら両成
分のために一酸化炭素測定誤差と導体１４４にお
けるレスポンス間の直線関係は本質的にある領域
に限定される。制御器１０２は、二酸化炭素と水
蒸気が存在する場合にそれら成分のために導体６
６における一酸化炭素測定誤差信号に対して、導
体１４４におけるレスポンスが二酸化炭素と水蒸
気のかなりの変動範囲に対して直線であるように
水蒸気信号のあるものを除去するために調整され
る。

センサー３０の出す電圧は、水蒸気含量と本質
的に直線関係にある、従つて殆んどの用途に対し
て線型化回路を要しない。

前述の如く、ガス検出器１４はガス試料中の一
酸化炭素含量を示す信号を出すが、この信号は、
一酸化炭素と同一帯域幅内で赤外エネルギーを吸
収する二酸化炭素及び水蒸気のために不正確なも
のも含む（第２図参照）。一方、半導体検出器３
０は、光学フイルター３２が2.595μ（2.6μ）に中
心をもつ帯域幅（0.05μの望ましい帯域幅をもつ）
を有するから、試料中の水蒸気の量を示す信号を
出す。半導体センサー３１からの信号は、光学フ
イルター３３が2.692μを中心にした帯域幅
（0.03μの望ましい帯域幅をもつ）〔これとは別に
2.764μを中心にし0.04μの望ましい帯域幅をもつ
ものも使用できる〕を有するから、試料中の二酸
化炭素と水蒸気の量も示す信号を出す。加算回路
６４は、ガス検出器１４から試料中の一酸化炭素
と二酸化炭素と水蒸気の表示をを受け、かつ半導
体検出器３０から試料中の水蒸気を表わす信号
と、半導体検出器３１から試料中の二酸化炭素と
水蒸気を表わす信号を受ける。ガス検出器１４か
らの信号は正、一方半導体検出器３０と３１から
の信号は電子回路３６で処理後は負であるので、
一酸化炭素と二酸化炭素と水蒸気を加えた量から
二酸化炭素を表わす信号と水蒸気を表わす信号を
引いたものが計数増幅器６８に一酸化炭素のみを
表わす信号を与える。計数増幅器６８からの信号
は、さらに処理して試験するガス試料に存在する
一酸化炭素のより正確な測定値として一酸化炭素
表示器１６に送る。

前述の実施態様は、水蒸気と二酸化炭素に基づ
く測定誤差をなくする装置及び方法を開示した。
しかしながら、水蒸気測定用のセンサ及び関連回
路の削除によつて、開示装置の単純化が容易にで
きる。光学フイルター３２、半導体センサ３０、
増幅器８０、フイルター８８、復調器９２、フイ
ルター９６、加算係数器１００、H₂O制御器１
１２、H₂O／CO₂制御器１０２、及び線形化回路
１３８を削除することによつて、少量の水蒸気又
は二酸化炭素の影響を無くする回路が開示され
る。水蒸気の量が約３％以上に増加したり、二酸
化炭素が約７％以上に増加すると、線形化回路１
３８が必要で第４図に示す位置に挿入しなければ
ならない。光学フイルター３３、半導体センサ３
１、増幅器８２、チヨツプ周波数帯域フイルター
１１８、復調器１２２、フイルター１２６、加算
計数器１３０、線形化回路１３８及びCO₂制御器
１４２からなる補正回路が、ガス検知器１４に関
連した回路と共に二酸化炭素の誤差又は水蒸気の
誤差を補正するシステムを与える（但し、分析す
るガス試料中に二酸化炭素か水蒸気のいずれかが
存在し、両方が存在しない場合）。

この外、センサを備えた光学フイルター３２、
増幅器８０、チヨツプ周波数帯域フイルター８
８、復調器９２、フイルター９６、加算増幅器１
００、及びH₂O制御器１１２は、ガス検出器１
４及び加算回路６４を有する関連回路と共に使用
すると、ガス試料流の水蒸気の誤差を排除するこ
とができる。

以上、説明のために望ましい実施態様を示した
が、それは本考案の限定を意図するものではな
い。本考案は実用新案登録請求の範囲によつての
み限定される。

【図面の簡単な説明】

第１図は、ガス検出器を利用した先行技術によ
る双対ビーム、非分散型赤外分析装置を示す。第
２図は、問題の数種のガスによつて吸収された赤
外線の帯を示す。第３図は、本考案の教示に従つ
て作製した双対ビーム、非分散型赤外分析装置を
示す。第４図は本考案の電子回路のブロツク図で
ある。第５図は、線形化及び非線形測定計器に対
する電位と濃度の関係を示すグラフである。語句の説明、Fig１，Fig３において、Γ……
赤外線に不活性なバツクグランド・ガス、●……
一酸化炭素又は被測定成分、●……妨害ガス、□
……赤外線ビーム。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】１赤外エネルギーの吸収によつて所定ガス成分
の濃度を測定するガス検出器を備え、その成分
濃度を示す第１信号を出す双対ビーム非分散型
赤外分析装置において、下記のａ，ｂ，ｃ，
ｄ、及びｅからなることを特徴とする妨害ガス
の測定作用を無効にする装置。 (a) 前記所定ガス成分の帯域幅における赤外エ
ネルギーを吸収する妨害ガスによつて吸収さ
れる赤外エネルギーを検出して、それに対応
した第２信号を出す赤外エネルギー応答装
置。 (b) 前記応答装置と協同して、妨害ガスの吸収
する赤外帯域幅の通過を許し、前記所定ガス
成分の吸収する赤外帯域幅を拒否するフイル
ター装置。 (c) 前記応答装置に接続し、前記第２信号を受
けて実質的に整流された第３信号を出す整流
装置。 (d) 前記整流装置に接続し、前記第３信号を受
けて該第３信号を計数して前記第１信号に合
致したものにする計数装置。 (e) 前記の計数装置とガス分析装置に接続し、
前記計数した第３信号と第１信号を組み合せ
て前記所定ガス成分を代表する出力を出す組
合せ装置。２前記応答装置がピロ電気センサーからなる実
用新案登録請求の範囲第１項の装置。３前記応答装置が黒体検出器からなる実用新案
登録請求の範囲第１項の装置。４前記フイルター装置が、2.7μに中心波長を有
する波長の帯域幅に対応する石英基質上の干渉
フイルターからなる実用新案登録請求の範囲第
２項又は第３項の装置。５前記フイルター装置が、2.6μに中心波長を有
する波長の帯域幅に対応する石英基質上の干渉
フイルターからなる実用新案登録請求の範囲第
２項又は第３項の装置。６前記整流装置が同期整流器からなる実用新案
登録請求の範囲第２項又は第３項の装置。