JPH1082740A - 赤外線式ガス分析計 - Google Patents
赤外線式ガス分析計Info
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- JPH1082740A JPH1082740A JP23680496A JP23680496A JPH1082740A JP H1082740 A JPH1082740 A JP H1082740A JP 23680496 A JP23680496 A JP 23680496A JP 23680496 A JP23680496 A JP 23680496A JP H1082740 A JPH1082740 A JP H1082740A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
- G01N21/3518—Devices using gas filter correlation techniques; Devices using gas pressure modulation techniques
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な構成で、しかも複雑な作業を伴うこと
なく簡単に校正を行うことができる赤外線式ガス分析計
を提供する。 【解決手段】 校正の際には、電磁弁９ａ、９ｂを切り
替えることにより流路をゼロガス精製器８に切換え測定
セル３にゼロガスを流した状態にする。そして、モータ
４を駆動することにより、相関フィルタ２に配設したＣ
Ｏセル、Ｎ2 セルを順次測定セル３の光学フィルタ３ｃ
上に位置決めし、検出器５で検出したＣＯの吸収波長帯
の赤外光の検出値の比を用いてゼロ校正を行う。次に、
モータ４を駆動することにより、相関フィルタ２の光学
フィルタ７が貼付された位置のＣＯセル、Ｎ2 セルを順
次測定セル３の光学フィルタ３ｃ上に位置決めし、透過
した赤外光を順次検出器５で検出する。この時、Ｎ２セ
ル、光学フィルタ７を通過した赤外光は既知濃度の校正
ガスを流したときにガスに吸収されずに検出器に到達す
る赤外線の光量に一致するので、両検出信号の比よりス
パン校正を行うことができる。
なく簡単に校正を行うことができる赤外線式ガス分析計
を提供する。 【解決手段】 校正の際には、電磁弁９ａ、９ｂを切り
替えることにより流路をゼロガス精製器８に切換え測定
セル３にゼロガスを流した状態にする。そして、モータ
４を駆動することにより、相関フィルタ２に配設したＣ
Ｏセル、Ｎ2 セルを順次測定セル３の光学フィルタ３ｃ
上に位置決めし、検出器５で検出したＣＯの吸収波長帯
の赤外光の検出値の比を用いてゼロ校正を行う。次に、
モータ４を駆動することにより、相関フィルタ２の光学
フィルタ７が貼付された位置のＣＯセル、Ｎ2 セルを順
次測定セル３の光学フィルタ３ｃ上に位置決めし、透過
した赤外光を順次検出器５で検出する。この時、Ｎ２セ
ル、光学フィルタ７を通過した赤外光は既知濃度の校正
ガスを流したときにガスに吸収されずに検出器に到達す
る赤外線の光量に一致するので、両検出信号の比よりス
パン校正を行うことができる。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、化学工場や製鉄所
のガス濃度に関するプロセスコントロール、ボイラーや
燃焼炉の煙道ガス分析、大気汚染の監視、自動車の排ガ
ス測定などに使用され、ガス分子固有の赤外線吸収効果
を利用してガス及び蒸気中にある特定成分の濃度を連続
的に測定する赤外線式ガス分析計であって、特に相関フ
ィルタを備えた赤外線式ガス分析計に関する。
のガス濃度に関するプロセスコントロール、ボイラーや
燃焼炉の煙道ガス分析、大気汚染の監視、自動車の排ガ
ス測定などに使用され、ガス分子固有の赤外線吸収効果
を利用してガス及び蒸気中にある特定成分の濃度を連続
的に測定する赤外線式ガス分析計であって、特に相関フ
ィルタを備えた赤外線式ガス分析計に関する。
【０００２】
【従来技術】図４は、従来の相関フィルタを備えた赤外
線式ガス分析計の一例であるＣＯ分析計を示しており、
光源１１からの赤外光は、ガス相関フィルタ１２を介し
て測定セル１３に照射される。この測定セル１３には導
入口１３ａ、排出口１３ｂが設けられ、試料ガスを連続
的に流すことができるようになっており、また、測定セ
ル１３の前面に配設された光学フィルタ１３ｃは、ＣＯ
の吸収波長帯の赤外光のみ透過させる作用を有し、これ
により、ＣＯ2 等ＣＯと吸収波長帯が近接するガス成分
による干渉誤差を排除することが可能となる。
線式ガス分析計の一例であるＣＯ分析計を示しており、
光源１１からの赤外光は、ガス相関フィルタ１２を介し
て測定セル１３に照射される。この測定セル１３には導
入口１３ａ、排出口１３ｂが設けられ、試料ガスを連続
的に流すことができるようになっており、また、測定セ
ル１３の前面に配設された光学フィルタ１３ｃは、ＣＯ
の吸収波長帯の赤外光のみ透過させる作用を有し、これ
により、ＣＯ2 等ＣＯと吸収波長帯が近接するガス成分
による干渉誤差を排除することが可能となる。
【０００３】ガス相関フィルタ１２は、図５に示される
ように、測定対象となるガス（ＣＯ）と赤外光を吸収し
ないいわゆるゼロガス（Ｎ2 ）がそれぞれ封入されたＣ
Ｏセル１２ａ、及びＮ2 セル１２ｂを有し、図４のモー
タ１４によって適宜回転駆動される。
ように、測定対象となるガス（ＣＯ）と赤外光を吸収し
ないいわゆるゼロガス（Ｎ2 ）がそれぞれ封入されたＣ
Ｏセル１２ａ、及びＮ2 セル１２ｂを有し、図４のモー
タ１４によって適宜回転駆動される。
【０００４】検出器１５は、相関フィルタ１２のＣＯセ
ル１２ａを介して得られた赤外光とＮ2 セル１２ｂを介
して得られた赤外光とを交互に検出し、データ処理部１
６は、それぞれ交互に検出されたデータから試料ガス中
のＣＯ濃度を算出する。
ル１２ａを介して得られた赤外光とＮ2 セル１２ｂを介
して得られた赤外光とを交互に検出し、データ処理部１
６は、それぞれ交互に検出されたデータから試料ガス中
のＣＯ濃度を算出する。
【０００５】すなわち、ＣＯセル１２ａを透過した赤外
光は、ＣＯの吸収波長帯の赤外光が完全に吸収されてい
るため、検出器１５で検出されるデータは、測定セル１
３中のＣＯ濃度に関係なく、赤外光のＣＯ吸収波長帯成
分がゼロとなり、一方、Ｎ2セル１２ｂを透過した赤外
光は、ＣＯの吸収波長帯の赤外光がそのまま残るので、
検出器１５で検出されるデータは、測定セル１３中のＣ
Ｏ濃度に応じた値となる。このため、データ処理部１６
で両者の比を求めることにより、試料ガス中のＣＯ濃度
が算出される。
光は、ＣＯの吸収波長帯の赤外光が完全に吸収されてい
るため、検出器１５で検出されるデータは、測定セル１
３中のＣＯ濃度に関係なく、赤外光のＣＯ吸収波長帯成
分がゼロとなり、一方、Ｎ2セル１２ｂを透過した赤外
光は、ＣＯの吸収波長帯の赤外光がそのまま残るので、
検出器１５で検出されるデータは、測定セル１３中のＣ
Ｏ濃度に応じた値となる。このため、データ処理部１６
で両者の比を求めることにより、試料ガス中のＣＯ濃度
が算出される。
【０００６】このような赤外線式ガス分析計では、ゼロ
値と測定範囲（スパン）を定期的に比較標準を使って校
正する必要があり、従来、測定中に電磁弁などを使って
ゼロガスまたはスパンガスを測定ガスの代わりに流すこ
とによってゼロ点またはスパン点を校正していた。した
がって、校正ガスが次々と大気中に放出されることにな
り、他の方式のガス分析計に比べて校正ガスの消費量が
著しく多く、校正コストが高くついていた。
値と測定範囲（スパン）を定期的に比較標準を使って校
正する必要があり、従来、測定中に電磁弁などを使って
ゼロガスまたはスパンガスを測定ガスの代わりに流すこ
とによってゼロ点またはスパン点を校正していた。した
がって、校正ガスが次々と大気中に放出されることにな
り、他の方式のガス分析計に比べて校正ガスの消費量が
著しく多く、校正コストが高くついていた。
【０００７】このため、スパン校正時に校正ガスを使わ
ずに、既知濃度の校正ガスを流したときにガスに吸収さ
れずに検出器に到達する赤外線の光量に一致するよう
に、赤外線光路中に遮光板を設けて赤外線の光量を調整
することが行われている。すなわち、ガス分析計のゼロ
校正を行う場合は、測定セルにゼロガスを流し、ゼロ校
正を行う。次に、スパン校正を行う場合は、ゼロ校正を
行う場合と同様に測定セルにゼロガスを流し、遮光板を
赤外線光路に正確に一致するように挿入した状態でスパ
ン校正を行う。なお、遮光板は予めスパンガスによって
出力値を確認しておく必要があり、この時の出力値が校
正値となる。
ずに、既知濃度の校正ガスを流したときにガスに吸収さ
れずに検出器に到達する赤外線の光量に一致するよう
に、赤外線光路中に遮光板を設けて赤外線の光量を調整
することが行われている。すなわち、ガス分析計のゼロ
校正を行う場合は、測定セルにゼロガスを流し、ゼロ校
正を行う。次に、スパン校正を行う場合は、ゼロ校正を
行う場合と同様に測定セルにゼロガスを流し、遮光板を
赤外線光路に正確に一致するように挿入した状態でスパ
ン校正を行う。なお、遮光板は予めスパンガスによって
出力値を確認しておく必要があり、この時の出力値が校
正値となる。
【０００８】また、遮光板の代わりに、光学フィルタも
しくはガスを封入したフィルタを使用することもある。
しくはガスを封入したフィルタを使用することもある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】従来の赤外線式ガス分
析計では、上記のようにしてゼロ校正、スパン校正が行
われているが、遮光板や光学フィルタを動かす機構が必
要となり、構成が複雑になるという問題点があった。ま
た、遮光板や光学フィルタを何度も動かす際、これらの
遮光板や光学フィルタを赤外線光路に正確に一致した位
置に設ける必要があるので、位置検出器も必要となり、
更に構成が複雑になるという問題点もあった。
析計では、上記のようにしてゼロ校正、スパン校正が行
われているが、遮光板や光学フィルタを動かす機構が必
要となり、構成が複雑になるという問題点があった。ま
た、遮光板や光学フィルタを何度も動かす際、これらの
遮光板や光学フィルタを赤外線光路に正確に一致した位
置に設ける必要があるので、位置検出器も必要となり、
更に構成が複雑になるという問題点もあった。
【００１０】本発明は、上記の問題点に鑑みて創案され
たものであって、簡単な構成で、しかも複雑な作業を伴
うことなく簡単に校正を行うことができる赤外線式ガス
分析計を提供することをを目的とする。
たものであって、簡単な構成で、しかも複雑な作業を伴
うことなく簡単に校正を行うことができる赤外線式ガス
分析計を提供することをを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、試料
ガスが導入される測定セルに、赤外光を相関フィルタを
介して照射し、この測定セルを透過した赤外光を検出す
ることにより特定ガス成分の分析を行う赤外線式ガス分
析計において、前記相関フィルタに簡易校正用の遮光板
または光学フィルタを貼付したことを特徴とする。
ガスが導入される測定セルに、赤外光を相関フィルタを
介して照射し、この測定セルを透過した赤外光を検出す
ることにより特定ガス成分の分析を行う赤外線式ガス分
析計において、前記相関フィルタに簡易校正用の遮光板
または光学フィルタを貼付したことを特徴とする。
【００１２】また、請求項２の発明は、試料ガスが導入
される測定セルに、赤外光を相関フィルタを介して照射
し、この測定セルを透過した赤外光を検出することによ
り特定ガス成分の分析を行う赤外線式ガス分析計におい
て、前記相関フィルタに簡易校正用のガスフィルタを設
けたことを特徴とする。
される測定セルに、赤外光を相関フィルタを介して照射
し、この測定セルを透過した赤外光を検出することによ
り特定ガス成分の分析を行う赤外線式ガス分析計におい
て、前記相関フィルタに簡易校正用のガスフィルタを設
けたことを特徴とする。
【００１３】本発明の赤外線式ガス分析計は、上記のよ
うに構成されており、校正時には相関フィルタの光学フ
ィルタまたは遮光板が貼付された部分あるいは簡易校正
用のガスフィルタが設けられた部分を光路中に配置する
ことにより、スパンガスを測定セルに流したのと同様の
状態にすることができるので、特に遮光板の移動機構や
位置検出器を必要とすることなく簡易に校正を行うこと
ができる。
うに構成されており、校正時には相関フィルタの光学フ
ィルタまたは遮光板が貼付された部分あるいは簡易校正
用のガスフィルタが設けられた部分を光路中に配置する
ことにより、スパンガスを測定セルに流したのと同様の
状態にすることができるので、特に遮光板の移動機構や
位置検出器を必要とすることなく簡易に校正を行うこと
ができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図１及
び図２に基づいて説明する。
び図２に基づいて説明する。
【００１５】図１は本発明にかかる赤外線式ガス分析計
の全体概略図で、基本的な構造は図４の赤外線式ガス分
析計とほぼ同様であり、赤外線光源１、相関フィルタ
２、測定セル３、モータ４、検出器５、データ処理部
６、ゼロガス精製器８及び電磁弁９ａ、９ｂよりなり、
相関フィルタ２の表面の一部に光学フィルタ７が貼付さ
れている。測定セル３には、導入口３ａ、排出口３ｂが
設けられ、試料ガスを連続して流すことができるように
なっており、相関フィルタ２、光学フィルタ３ｃを通過
した赤外光は、測定セル３内の試料ガス中を通過し、窓
３ｄから検出器５に到達する。光学フィルタ３ｃは図４
の赤外線式ガス分析計と同様にＣＯの吸収波長帯の赤外
光のみ透過させる作用を有する。
の全体概略図で、基本的な構造は図４の赤外線式ガス分
析計とほぼ同様であり、赤外線光源１、相関フィルタ
２、測定セル３、モータ４、検出器５、データ処理部
６、ゼロガス精製器８及び電磁弁９ａ、９ｂよりなり、
相関フィルタ２の表面の一部に光学フィルタ７が貼付さ
れている。測定セル３には、導入口３ａ、排出口３ｂが
設けられ、試料ガスを連続して流すことができるように
なっており、相関フィルタ２、光学フィルタ３ｃを通過
した赤外光は、測定セル３内の試料ガス中を通過し、窓
３ｄから検出器５に到達する。光学フィルタ３ｃは図４
の赤外線式ガス分析計と同様にＣＯの吸収波長帯の赤外
光のみ透過させる作用を有する。
【００１６】検出器５は、特定ガス成分の吸収波長帯の
赤外線強度、本実施例では、ＣＯの吸収波長帯の赤外線
強度を個別に検出して、データ処理部６に出力する。こ
こで用いる検出器は、ＰｂＳｅセンサや焦電センサ等の
赤外線センサである。データ処理部６は、従来と同様相
関フィルタ２の測定対象ガスが封入されたセルとゼロガ
スが封入されたセルをそれぞれ通過した赤外光の検出デ
ータから、測定対象ガスの濃度を算出する。
赤外線強度、本実施例では、ＣＯの吸収波長帯の赤外線
強度を個別に検出して、データ処理部６に出力する。こ
こで用いる検出器は、ＰｂＳｅセンサや焦電センサ等の
赤外線センサである。データ処理部６は、従来と同様相
関フィルタ２の測定対象ガスが封入されたセルとゼロガ
スが封入されたセルをそれぞれ通過した赤外光の検出デ
ータから、測定対象ガスの濃度を算出する。
【００１７】図２はこの相関フィルタの構成の一実施例
を示す図であり、相関フィルタ２には、ＣＯガスを封入
したＣＯセル２ａ、２ｃ、赤外光を吸収しないいわゆる
ゼロガス（Ｎ2 ）が封入されたＮ2 セル２ｂ、２ｄが略
等間隔で同形に形成されている。
を示す図であり、相関フィルタ２には、ＣＯガスを封入
したＣＯセル２ａ、２ｃ、赤外光を吸収しないいわゆる
ゼロガス（Ｎ2 ）が封入されたＮ2 セル２ｂ、２ｄが略
等間隔で同形に形成されている。
【００１８】そして、相関フィルタ２の一面であって図
２に示すようにその上半分、即ち、ＣＯセル２ｃとＮ2
セル２ｄ上には、ＣＯの吸収波長域の赤外線を一定量し
か透過させない光学フィルタ７が貼付されている。この
光学フィルタの赤外線透過量は既知濃度の校正ガスを流
したときにガスに吸収されずに検出器に到達する赤外線
の光量に一致するように調整されている。また、相関フ
ィルタ２の下半分にはガスを封入するため窓材２ｅが貼
付されている。なお、ＣＯセル２ａと２ｃ及びＮ2 セル
２ｂと２ｄは、それぞれ連通孔２ｆを介して内部でつな
がっているので、ガスの封入が一回で済むため、ガス封
入作業が簡略化される。
２に示すようにその上半分、即ち、ＣＯセル２ｃとＮ2
セル２ｄ上には、ＣＯの吸収波長域の赤外線を一定量し
か透過させない光学フィルタ７が貼付されている。この
光学フィルタの赤外線透過量は既知濃度の校正ガスを流
したときにガスに吸収されずに検出器に到達する赤外線
の光量に一致するように調整されている。また、相関フ
ィルタ２の下半分にはガスを封入するため窓材２ｅが貼
付されている。なお、ＣＯセル２ａと２ｃ及びＮ2 セル
２ｂと２ｄは、それぞれ連通孔２ｆを介して内部でつな
がっているので、ガスの封入が一回で済むため、ガス封
入作業が簡略化される。
【００１９】次に、本発明の赤外線式ガス分析計の使用
方法を説明する。測定を行う場合には測定セル３にサン
プルガスを導入し、モータ４を駆動することにより、相
関フィルタ２に配設したＣＯセル２ａ、Ｎ2 セル２ｂを
順次測定セル３の光学フィルタ３ｃ上に位置決めし、そ
れぞれのセル及び測定セル３を透過した赤外光を順次検
出器５で検出する。
方法を説明する。測定を行う場合には測定セル３にサン
プルガスを導入し、モータ４を駆動することにより、相
関フィルタ２に配設したＣＯセル２ａ、Ｎ2 セル２ｂを
順次測定セル３の光学フィルタ３ｃ上に位置決めし、そ
れぞれのセル及び測定セル３を透過した赤外光を順次検
出器５で検出する。
【００２０】ここで、ＣＯセル２ａを透過した赤外光
は、ＣＯの吸収波長帯の赤外光が完全に吸収されるた
め、検出器５で検出されるデータは、測定セル４中のＣ
Ｏ濃度に関係なく、赤外光のＣＯの吸収波長帯成分がゼ
ロの値となり、Ｎ2 セル２ｂを透過した赤外光は、ＣＯ
の吸収波長帯の赤外光がそのまま残るので、検出器５で
検出されるデータは、測定セル４中のＣＯ濃度に応じた
値となる。
は、ＣＯの吸収波長帯の赤外光が完全に吸収されるた
め、検出器５で検出されるデータは、測定セル４中のＣ
Ｏ濃度に関係なく、赤外光のＣＯの吸収波長帯成分がゼ
ロの値となり、Ｎ2 セル２ｂを透過した赤外光は、ＣＯ
の吸収波長帯の赤外光がそのまま残るので、検出器５で
検出されるデータは、測定セル４中のＣＯ濃度に応じた
値となる。
【００２１】このため、データ処理部６で、ＣＯセル２
ａ及びＮ2 セル２ｂを透過したＣＯの吸収波長帯の赤外
光の検出値の比から、試料ガス中のＣＯ濃度を算出する
ことができる。
ａ及びＮ2 セル２ｂを透過したＣＯの吸収波長帯の赤外
光の検出値の比から、試料ガス中のＣＯ濃度を算出する
ことができる。
【００２２】一方、校正の際には、電磁弁９ａ、９ｂを
切り替えることにより流路をゼロガス精製器８に切換え
測定セル３にゼロガスを流した状態にする。そして、ま
ず、測定時と同様に、モータ４を駆動することにより、
相関フィルタ２に配設したＣＯセル２ａ、Ｎ2 セル２ｂ
を順次測定セル３の光学フィルタ３ｃ上に位置決めし、
それぞれのセル及び測定セル３を透過した赤外光を順次
検出器５で検出し、検出したＣＯの吸収波長帯の赤外光
の検出値の比を用いてゼロ校正を行う。次に、モータ４
を駆動することにより、相関フィルタ２に配設したＣＯ
セル２ｃ、Ｎ2セル２ｄを順次測定セル３の光学フィル
タ３ｃ上に位置決めする。これにより、それぞれのセル
２ｃ、２ｄ、光学フィルタ７、測定セル３を透過した赤
外光が順次検出器５で検出される。この時、Ｎ２セル２
ｄ、光学フィルタ７を通過した赤外光は既知濃度の校正
ガスを流したときにガスに吸収されずに検出器に到達す
る赤外線の光量に一致するので、両検出信号の比よりス
パン校正を行うことができる。
切り替えることにより流路をゼロガス精製器８に切換え
測定セル３にゼロガスを流した状態にする。そして、ま
ず、測定時と同様に、モータ４を駆動することにより、
相関フィルタ２に配設したＣＯセル２ａ、Ｎ2 セル２ｂ
を順次測定セル３の光学フィルタ３ｃ上に位置決めし、
それぞれのセル及び測定セル３を透過した赤外光を順次
検出器５で検出し、検出したＣＯの吸収波長帯の赤外光
の検出値の比を用いてゼロ校正を行う。次に、モータ４
を駆動することにより、相関フィルタ２に配設したＣＯ
セル２ｃ、Ｎ2セル２ｄを順次測定セル３の光学フィル
タ３ｃ上に位置決めする。これにより、それぞれのセル
２ｃ、２ｄ、光学フィルタ７、測定セル３を透過した赤
外光が順次検出器５で検出される。この時、Ｎ２セル２
ｄ、光学フィルタ７を通過した赤外光は既知濃度の校正
ガスを流したときにガスに吸収されずに検出器に到達す
る赤外線の光量に一致するので、両検出信号の比よりス
パン校正を行うことができる。
【００２３】なお、上記の実施例では、相関フィルタの
表面の一部に光学フィルタを貼付した例を説明したが、
光学フィルタを貼付する代わりに、遮光板を貼付しても
よく、また、図３に示すように、既知濃度の校正ガスを
封入したガスフィルタ２ｇを相関フィルタ２に設けてお
くことにより同様に簡易校正を行うことができる。
表面の一部に光学フィルタを貼付した例を説明したが、
光学フィルタを貼付する代わりに、遮光板を貼付しても
よく、また、図３に示すように、既知濃度の校正ガスを
封入したガスフィルタ２ｇを相関フィルタ２に設けてお
くことにより同様に簡易校正を行うことができる。
【００２４】また、上記実施例では光学フィルタ７を貼
付した部分にＣＯセル２ｃを設けたが、校正時にＣＯセ
ル２ａを使用して校正を行うこともできるので、ＣＯセ
ル２ｃを設けなくともよく、また、相関フィルタ２を光
源１と測定セル３の間に配設したが、測定セル３と検出
器５との間に配設することも可能である。
付した部分にＣＯセル２ｃを設けたが、校正時にＣＯセ
ル２ａを使用して校正を行うこともできるので、ＣＯセ
ル２ｃを設けなくともよく、また、相関フィルタ２を光
源１と測定セル３の間に配設したが、測定セル３と検出
器５との間に配設することも可能である。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、ガス相関フィルタに光
学フィルタまたは遮光板を貼付、あるいは、ガスフィル
タを配設するだけで簡単に簡易スパン校正を行うことが
でき、遮光板や光学フィルタを動かす機構が不要とな
り、また、遮光板や光学フィルタの移動時に必要な位置
検出器も不要となるので、簡単な構成で容易にスパン校
正を行うことができる。
学フィルタまたは遮光板を貼付、あるいは、ガスフィル
タを配設するだけで簡単に簡易スパン校正を行うことが
でき、遮光板や光学フィルタを動かす機構が不要とな
り、また、遮光板や光学フィルタの移動時に必要な位置
検出器も不要となるので、簡単な構成で容易にスパン校
正を行うことができる。
【図１】本発明にかかる赤外線式ガス分析計の一実施例
を示す図である。
を示す図である。
【図２】本発明にかかる赤外線式ガス分析計に使用する
相関フィルタの一実施例を示す図である。
相関フィルタの一実施例を示す図である。
【図３】本発明にかかる赤外線式ガス分析計に使用する
相関フィルタの他の実施例を示す図である。
相関フィルタの他の実施例を示す図である。
【図４】従来の赤外線式ガス分析計を示す図である。
【図５】従来の赤外線式ガス分析計に使用する相関フィ
ルタを示す図である。
ルタを示す図である。
１ 光源 ２ 相関フ
ィルタ ３ 測定セル ４ モータ ５ 検出器 ６ データ
処理部 ７ 光学フィルタ ８ ゼロガ
ス精製器 ９ａ、９ｂ 電磁弁
ィルタ ３ 測定セル ４ モータ ５ 検出器 ６ データ
処理部 ７ 光学フィルタ ８ ゼロガ
ス精製器 ９ａ、９ｂ 電磁弁
Claims (2)
- 【請求項１】 試料ガスが導入される測定セルに、赤外
光を相関フィルタを介して照射し、この測定セルを透過
した赤外光を検出することにより特定ガス成分の分析を
行う赤外線式ガス分析計において、前記相関フィルタに
簡易校正用の遮光板または光学フィルタを貼付したこと
を特徴とする赤外線式ガス分析計。 - 【請求項２】 試料ガスが導入される測定セルに、赤外
光を相関フィルタを介して照射し、この測定セルを透過
した赤外光を検出することにより特定ガス成分の分析を
行う赤外線式ガス分析計において、前記相関フィルタに
簡易校正用のガスフィルタを設けたことを特徴とする赤
外線式ガス分析計。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23680496A JPH1082740A (ja) | 1996-09-06 | 1996-09-06 | 赤外線式ガス分析計 |
| US08/917,474 US5894128A (en) | 1996-09-06 | 1997-08-26 | Infrared type gas analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23680496A JPH1082740A (ja) | 1996-09-06 | 1996-09-06 | 赤外線式ガス分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1082740A true JPH1082740A (ja) | 1998-03-31 |
Family
ID=17006038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23680496A Withdrawn JPH1082740A (ja) | 1996-09-06 | 1996-09-06 | 赤外線式ガス分析計 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5894128A (ja) |
| JP (1) | JPH1082740A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006523304A (ja) * | 2003-03-24 | 2006-10-12 | ヴァイサラ オーワイジェー | ファブリペロー干渉計のミラー間の距離の電圧感度を決定する方法 |
| JP2010210251A (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-24 | Yazaki Corp | 濃度測定装置 |
| KR101041768B1 (ko) | 2009-04-10 | 2011-06-17 | (주)켄텍 | 일산화탄소-이산화탄소 성분 동시 측정 장치 |
| CN104237126A (zh) * | 2014-09-09 | 2014-12-24 | 中国科学院电工研究所 | 一种采用轴向多层滤光片盘结构的光声光谱检测装置 |
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| KR20200144651A (ko) * | 2019-06-19 | 2020-12-30 | 주식회사 템퍼스 | 가스 센서 시스템 및 이의 교정 방법 |
| KR20230030741A (ko) * | 2021-08-26 | 2023-03-07 | (주)켄텍 | 개선된 상관 필터를 구비한 일산화탄소-이산화탄소 성분 동시 측정 장치 |
| WO2023218983A1 (ja) * | 2022-05-09 | 2023-11-16 | 株式会社堀場製作所 | 赤外線ガス分析計及び赤外線ガス分析方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7091487B2 (en) * | 2000-06-02 | 2006-08-15 | Lattice Intellectual Property Limited | Non-dispersive ir measurement of gases using an optical filter |
| US6382500B1 (en) | 2000-08-22 | 2002-05-07 | Advanced Micro Devices, Inc. | Solder reflow furnace with flux effluent collector and method of preventing flux contamination |
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| CN108663341A (zh) * | 2018-06-29 | 2018-10-16 | 深圳大学 | 一种医用呼吸二氧化碳浓度测量系统 |
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| JPS63308541A (ja) * | 1987-06-10 | 1988-12-15 | Horiba Ltd | 赤外線ガス分析計 |
| US5060505A (en) * | 1989-09-12 | 1991-10-29 | Sensors, Inc. | Non-dispersive infrared gas analyzer system |
| DE3932838C2 (de) * | 1989-09-30 | 1996-03-07 | Hartmann & Braun Ag | Nichtdispersiver Infrarot-Gasanalysator |
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-
1996
- 1996-09-06 JP JP23680496A patent/JPH1082740A/ja not_active Withdrawn
-
1997
- 1997-08-26 US US08/917,474 patent/US5894128A/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
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