JPS6217183B2 - - Google Patents
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- JPS6217183B2 JPS6217183B2 JP56191331A JP19133181A JPS6217183B2 JP S6217183 B2 JPS6217183 B2 JP S6217183B2 JP 56191331 A JP56191331 A JP 56191331A JP 19133181 A JP19133181 A JP 19133181A JP S6217183 B2 JPS6217183 B2 JP S6217183B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/37—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using pneumatic detection
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、サンプル流体中に含まれる二種類の
測定対象成分を一台の分析計で同時に測定できる
ようにした非分散型赤外線分析計に関する。
測定対象成分を一台の分析計で同時に測定できる
ようにした非分散型赤外線分析計に関する。
この種の分析計の一つに第１図に示すものがあ
る。この分析計は流路切換部６を一定周期で切り
換えることにより２個のセル２，２′にゼロ流体
とサンプル流体とを交互に切換供給するいわゆる
クロスモジユレーシヨン方式を採用し、かつ受光
室７ａ，７ｂを有するニユーマテイツク型検出器
７と受光室８ａ，８ｂを有するニユーマテイツク
型検出器８とを光源１，１′より発しセル２，
２′を通る光路に対して直列に配置したものであ
り、ゼロドリフトがなく、Ｓ／Ｎ比も良いという
利点に加えて、２個の受光室を有するニユーマテ
イツク型検出器を用いているため周囲温度変化や
熱的ゆらぎの影響を受けにくいという利点を有す
るが、測定対象成分相互間の干渉影響や、サンプ
ル流体中に含まれる他の成分の干渉影響を受ける
という欠点を有している。特に測定対象成分の一
方が他方に比較して低濃度である場合、その低濃
度ガスの干渉影響による誤差は非常に大きなもの
となる可能性がある。又、前述の様な場合、第１
図に示した分析計はセル２，２′として同一セル
長のセルを用いているため２成分とも精度良く測
定しようとする目的のためにはむりが生じる。
る。この分析計は流路切換部６を一定周期で切り
換えることにより２個のセル２，２′にゼロ流体
とサンプル流体とを交互に切換供給するいわゆる
クロスモジユレーシヨン方式を採用し、かつ受光
室７ａ，７ｂを有するニユーマテイツク型検出器
７と受光室８ａ，８ｂを有するニユーマテイツク
型検出器８とを光源１，１′より発しセル２，
２′を通る光路に対して直列に配置したものであ
り、ゼロドリフトがなく、Ｓ／Ｎ比も良いという
利点に加えて、２個の受光室を有するニユーマテ
イツク型検出器を用いているため周囲温度変化や
熱的ゆらぎの影響を受けにくいという利点を有す
るが、測定対象成分相互間の干渉影響や、サンプ
ル流体中に含まれる他の成分の干渉影響を受ける
という欠点を有している。特に測定対象成分の一
方が他方に比較して低濃度である場合、その低濃
度ガスの干渉影響による誤差は非常に大きなもの
となる可能性がある。又、前述の様な場合、第１
図に示した分析計はセル２，２′として同一セル
長のセルを用いているため２成分とも精度良く測
定しようとする目的のためにはむりが生じる。
即ち、サンプル流体を供給したセル内での吸収
は、第２図に示すように、濃度×セル長に対し、
ベールの法則に近い曲線状に変化し、その値が小
さいほどリニアリテイが良い。従つて、低濃度測
定対象成分に対して最適なセル長を選定すれば、
他方の高濃度測定対象成分の測定については、検
量線が大きく曲がり、計器の目盛精度が悪くな
り、逆に、セル長を短くして高濃度測定対象成分
の測定に対するリニアリテイを良くすれば、低濃
度測定対象成分の測定のＳ／Ｎ比が悪くなるので
ある。
は、第２図に示すように、濃度×セル長に対し、
ベールの法則に近い曲線状に変化し、その値が小
さいほどリニアリテイが良い。従つて、低濃度測
定対象成分に対して最適なセル長を選定すれば、
他方の高濃度測定対象成分の測定については、検
量線が大きく曲がり、計器の目盛精度が悪くな
り、逆に、セル長を短くして高濃度測定対象成分
の測定に対するリニアリテイを良くすれば、低濃
度測定対象成分の測定のＳ／Ｎ比が悪くなるので
ある。
本発明は、このような不都合を解消すべくなさ
れたものであり、少なくとも一方のセルの直前又
は直後に、一方の測定対象成分の吸収波長のみを
透過させる正のフイルタ、又は、他方の測定対象
成分の吸収波長のみを遮断する負のフイルタを挿
入した点に特徴がある。なお、測定対象成分の測
定濃度範囲に大きな差がある場合には、各セルを
各一成分の測定濃度範囲に適したセル長とし、少
くともセル長の長いセルの直前又は直後にフイル
タを挿入する。
れたものであり、少なくとも一方のセルの直前又
は直後に、一方の測定対象成分の吸収波長のみを
透過させる正のフイルタ、又は、他方の測定対象
成分の吸収波長のみを遮断する負のフイルタを挿
入した点に特徴がある。なお、測定対象成分の測
定濃度範囲に大きな差がある場合には、各セルを
各一成分の測定濃度範囲に適したセル長とし、少
くともセル長の長いセルの直前又は直後にフイル
タを挿入する。
以下、本発明を第３図、第４図、第５図に示す
実施例に基づいて詳細に説明する。
実施例に基づいて詳細に説明する。
第３図は、本発明に係る二成分測定用非分散型
赤外線分析計を示す。１，１′は赤外線を照射す
る光源、２，２′は入口３，３′と出口４，４′を
有する２個の同一セル長のセルであり、入口３，
３′への流体供給路５，５′には、回動自在な弁等
によつて構成される流路切換部６が設けられてい
て、この流路切換部６を一定周期で切換動作する
ことにより、ゼロ流体（例えば、N2等のゼロガ
ス）Ｚとサンプル流体（例えば、大気、燃焼排ガ
ス等のサンプルガス）Ｓとを両セル２，２′に交
互に切換供給すべく構成してある。７，８は、各
測定対象成分に対応する２個のニユーマテイツク
型検出器、例えば、コンデンサマイクロフオン型
検出器で、これらを光源１，１′に対して光学的
直列関係に配置してある。即ち、各検出器７，８
は、測定対象成分（又は同じ吸収波長帯の成分）
とゼロガスとを一定分圧で混合した混成ガスを封
入した２つの同一の大きさの受光室７ａ，７ｂ，
８ａ，８ｂを有し、これらの受光室７ａ，７ｂ，
８ａ，８ｂが両セル２，２′を通る２つの光路
Ａ，Ｂ上に位置するように配置される。封入する
混成ガスは、測定対象によつて異なり、例えば、
検出器７をCO測定用、検出器８をCO2測定用と
する場合、受光室７ａ，７ｂにはCOとゼロガス
の混成ガスが受光室８ａ，８ｂにはCO2とゼロガ
スの混成ガスが夫々封入されることになる。尚、
コンデンサマイクロフオン型検出器に代えて、２
つの受光室間に白金等の熱線を設け、両室内のガ
スの赤外線吸収によつて生じる圧力差による風の
流れが前記熱線に作用して抵抗値を変化させると
いう原理を利用したいわゆるマイクロフローセン
サを用いてもよいことは勿論である。９，１０は
増巾器である。
赤外線分析計を示す。１，１′は赤外線を照射す
る光源、２，２′は入口３，３′と出口４，４′を
有する２個の同一セル長のセルであり、入口３，
３′への流体供給路５，５′には、回動自在な弁等
によつて構成される流路切換部６が設けられてい
て、この流路切換部６を一定周期で切換動作する
ことにより、ゼロ流体（例えば、N2等のゼロガ
ス）Ｚとサンプル流体（例えば、大気、燃焼排ガ
ス等のサンプルガス）Ｓとを両セル２，２′に交
互に切換供給すべく構成してある。７，８は、各
測定対象成分に対応する２個のニユーマテイツク
型検出器、例えば、コンデンサマイクロフオン型
検出器で、これらを光源１，１′に対して光学的
直列関係に配置してある。即ち、各検出器７，８
は、測定対象成分（又は同じ吸収波長帯の成分）
とゼロガスとを一定分圧で混合した混成ガスを封
入した２つの同一の大きさの受光室７ａ，７ｂ，
８ａ，８ｂを有し、これらの受光室７ａ，７ｂ，
８ａ，８ｂが両セル２，２′を通る２つの光路
Ａ，Ｂ上に位置するように配置される。封入する
混成ガスは、測定対象によつて異なり、例えば、
検出器７をCO測定用、検出器８をCO2測定用と
する場合、受光室７ａ，７ｂにはCOとゼロガス
の混成ガスが受光室８ａ，８ｂにはCO2とゼロガ
スの混成ガスが夫々封入されることになる。尚、
コンデンサマイクロフオン型検出器に代えて、２
つの受光室間に白金等の熱線を設け、両室内のガ
スの赤外線吸収によつて生じる圧力差による風の
流れが前記熱線に作用して抵抗値を変化させると
いう原理を利用したいわゆるマイクロフローセン
サを用いてもよいことは勿論である。９，１０は
増巾器である。
前記両セル２，２′のうち、一方のセル２の直
後（又は直前でもよい。）に、一方の測定対象成
分の吸収波長に対応する正のフイルタ、例えば、
COの吸収波長帯の赤外線のみを透過させるソリ
ツドタイプのバンドパスフイルタF1を挿入し、
他方のセル２′の直後（又は直前でもよい。）に
は、他方の測定対象成分の吸収波長に対応する正
のフイルタ、例えば、CO2の吸収波長帯の赤外線
のみを透過させるソリツドタイプのバンドパスフ
イルタF2を挿入してある。
後（又は直前でもよい。）に、一方の測定対象成
分の吸収波長に対応する正のフイルタ、例えば、
COの吸収波長帯の赤外線のみを透過させるソリ
ツドタイプのバンドパスフイルタF1を挿入し、
他方のセル２′の直後（又は直前でもよい。）に
は、他方の測定対象成分の吸収波長に対応する正
のフイルタ、例えば、CO2の吸収波長帯の赤外線
のみを透過させるソリツドタイプのバンドパスフ
イルタF2を挿入してある。
上記の構成によれば、流路切換部６の切換動作
により、両セル２，２′内に、ゼロガスとサンプ
ルガスが一定周期で交互に切換供給される。光源
１，１′からセル２，２′へと照射された赤外線
は、サンプルガスが供給されているときにはサン
プルガス中の測定対象成分（例えば、COと
CO2）によりその濃度に応じて吸収されるが、ゼ
ロガスが供給されているときは吸収されることな
くセルを通過する。そして、一方のセル２を通る
光路Ａには、一方の測定対象成分（例えばCO）
の吸収波長に対応する正のフイルタF1が、他方
のセル２′を通る光路Ｂには他方の測定対象成分
（例えばCO2）の吸収波長に対応する正のフイルタ
F2が挿入されているので、光路Ａに配置されて
いる室７ａ，８ａには一方の測定対象成分（例え
ばCO）の吸収波長に対応する波長しか入射せ
ず、光路Ｂに配置されている室７ｂ，８ｂには他
方の測定対象成分（例えばCO2）の吸収波長に対
応する波長しか入射しない。それゆえ、検出器７
においては、室７ａへは、サンプルガス中の一方
の測定対象成分（例えばCO）の吸収波長で且つ
その一方の測定対象成分（例えばCO）の濃度情
報のみを含む光とゼロガス情報（濃度ゼロの情
報）を含む光が交互に入射すると共に、室７ｂへ
は、他方の測定対象成分（例えばCO2）の吸収波
長で且つ前記一方の測定対象成分（例えばCO）
の濃度情報を含まない光とゼロガス情報を含む光
（何れにしても濃度ゼロの情報を含む光）が交互
に入射する状態で、一方の測定対象成分（例えば
CO）の検出が行われることになり、また、検出
器８においては、室８ｂへは、サンプルガス中の
他方の測定対象成分（例えばCO2）の吸収波長で
且つその他方の測定対象成分（例えばCO2）の濃
度情報のみを含む光とゼロガス情報（濃度ゼロの
情報）を含む光が交互に入射すると共に、室８ａ
へは、一方の測定対象成分（例えばCO）の吸収
波長で且つ前記他方の測定対象成分（例えば
CO2）の濃度情報を含まない光とゼロガス情報を
含む光（何れにしても濃度ゼロの情報を含む光）
が交互に入射する状態で、他方の測定対象成分
（例えばCO2）の検出が行われることになり、従つ
て、サンプルガス中の測定対象成分相互の干渉影
響やサンプルガス中の測定対象成分以外の成分に
よる干渉影響が防止され、Ｓ／Ｎ比を向上し得
る。
により、両セル２，２′内に、ゼロガスとサンプ
ルガスが一定周期で交互に切換供給される。光源
１，１′からセル２，２′へと照射された赤外線
は、サンプルガスが供給されているときにはサン
プルガス中の測定対象成分（例えば、COと
CO2）によりその濃度に応じて吸収されるが、ゼ
ロガスが供給されているときは吸収されることな
くセルを通過する。そして、一方のセル２を通る
光路Ａには、一方の測定対象成分（例えばCO）
の吸収波長に対応する正のフイルタF1が、他方
のセル２′を通る光路Ｂには他方の測定対象成分
（例えばCO2）の吸収波長に対応する正のフイルタ
F2が挿入されているので、光路Ａに配置されて
いる室７ａ，８ａには一方の測定対象成分（例え
ばCO）の吸収波長に対応する波長しか入射せ
ず、光路Ｂに配置されている室７ｂ，８ｂには他
方の測定対象成分（例えばCO2）の吸収波長に対
応する波長しか入射しない。それゆえ、検出器７
においては、室７ａへは、サンプルガス中の一方
の測定対象成分（例えばCO）の吸収波長で且つ
その一方の測定対象成分（例えばCO）の濃度情
報のみを含む光とゼロガス情報（濃度ゼロの情
報）を含む光が交互に入射すると共に、室７ｂへ
は、他方の測定対象成分（例えばCO2）の吸収波
長で且つ前記一方の測定対象成分（例えばCO）
の濃度情報を含まない光とゼロガス情報を含む光
（何れにしても濃度ゼロの情報を含む光）が交互
に入射する状態で、一方の測定対象成分（例えば
CO）の検出が行われることになり、また、検出
器８においては、室８ｂへは、サンプルガス中の
他方の測定対象成分（例えばCO2）の吸収波長で
且つその他方の測定対象成分（例えばCO2）の濃
度情報のみを含む光とゼロガス情報（濃度ゼロの
情報）を含む光が交互に入射すると共に、室８ａ
へは、一方の測定対象成分（例えばCO）の吸収
波長で且つ前記他方の測定対象成分（例えば
CO2）の濃度情報を含まない光とゼロガス情報を
含む光（何れにしても濃度ゼロの情報を含む光）
が交互に入射する状態で、他方の測定対象成分
（例えばCO2）の検出が行われることになり、従つ
て、サンプルガス中の測定対象成分相互の干渉影
響やサンプルガス中の測定対象成分以外の成分に
よる干渉影響が防止され、Ｓ／Ｎ比を向上し得
る。
第４図は別の実施例を示し、この実施例の二成
分測定用非分散型赤外線分析計は、サンプルガス
中の測定対象成分の一方が低濃度、他方が高濃度
である場合に好適である。即ち、第３図と同様な
構成において、一方のセル２を低濃度の測定対象
成分（例えばCO）の測定に最適な長いセル長と
し、この長いセル２の直後（又は直前でもよ
い。）に低濃度測定対象成分の吸収波長に対応す
る正のフイルタ（例えば、COの吸収波長帯の赤
外線のみを通すソリツドタイプのバンドパスフイ
ルタ）F1を挿入し、他方のセル２′を高濃度の測
定対象成分（例えばCO2）の測定に最適な短いセ
ル長とし、この短いセル２′の直後（又は直前で
もよい。）には、高濃度測定対象成分の吸収波長
に対応する正のフイルタ（例えば、CO2の吸収波
長帯の赤外線のみを通すソリツドタイプのバンド
パスフイルタ）F2を挿入してある。尚、セル
２′のセル長を短くすることによつて生じる光路
部分２″には大気中の成分による影響を受けない
ようにゼロガスを封入しておくことが望ましい
が、これは本発明に必須の構成ではない。その他
の構成は、第３図の実施例と同じであるため、同
一の構成部材に同一符号を付し、説明を省く。
分測定用非分散型赤外線分析計は、サンプルガス
中の測定対象成分の一方が低濃度、他方が高濃度
である場合に好適である。即ち、第３図と同様な
構成において、一方のセル２を低濃度の測定対象
成分（例えばCO）の測定に最適な長いセル長と
し、この長いセル２の直後（又は直前でもよ
い。）に低濃度測定対象成分の吸収波長に対応す
る正のフイルタ（例えば、COの吸収波長帯の赤
外線のみを通すソリツドタイプのバンドパスフイ
ルタ）F1を挿入し、他方のセル２′を高濃度の測
定対象成分（例えばCO2）の測定に最適な短いセ
ル長とし、この短いセル２′の直後（又は直前で
もよい。）には、高濃度測定対象成分の吸収波長
に対応する正のフイルタ（例えば、CO2の吸収波
長帯の赤外線のみを通すソリツドタイプのバンド
パスフイルタ）F2を挿入してある。尚、セル
２′のセル長を短くすることによつて生じる光路
部分２″には大気中の成分による影響を受けない
ようにゼロガスを封入しておくことが望ましい
が、これは本発明に必須の構成ではない。その他
の構成は、第３図の実施例と同じであるため、同
一の構成部材に同一符号を付し、説明を省く。
上記の構成によれば、前述した実施例の場合と
同様に測定対象成分相互の干渉影響や測定対象成
分以外の成分による干渉影響を防止できるばかり
でなく、両セル２，２′を各々の測定対象成分の
測定に適したセル長に選定できるので、低濃度成
分を測定する検出器は勿論、高濃度成分を測定す
る検出器にあつても、リニアリテイの良い出力が
得られるのであり、Ｓ／Ｎ比を向上し、濃度差が
大きい二成分を精度良く測定し得る。
同様に測定対象成分相互の干渉影響や測定対象成
分以外の成分による干渉影響を防止できるばかり
でなく、両セル２，２′を各々の測定対象成分の
測定に適したセル長に選定できるので、低濃度成
分を測定する検出器は勿論、高濃度成分を測定す
る検出器にあつても、リニアリテイの良い出力が
得られるのであり、Ｓ／Ｎ比を向上し、濃度差が
大きい二成分を精度良く測定し得る。
第５図は別の実施例を示し、この実施例は、第
４図と同様な構成において、セル長の短いセル
２′側のフイルタを省略した点に特徴がある。即
ち、低濃度成分（例えばCO）の測定にあたつて
は、赤外線吸収量が小さいので、検出器感度を高
くする必要があり、それだけサンプルガス中の高
濃度成分（例えばCO2）や他の成分による干渉影
響を受けやすくなり、従つて、フイルタF1が不
可欠となるが、高濃度成分を測定する場合には、
赤外線吸収量が大きくて、低濃度成分や他の成分
による干渉影響を受けにくいので、高濃度成分の
測定信号を得るセル２′側の前記フイルタF2を省
略しても実用範囲での十分な測定精度を確保でき
るのである。なお、前述までの実施例の説明にお
いては、挿入するフイルタとしてソリツドタイプ
のバンドパスフイルタといつた正のフイルタを用
いた場合で説明したが、ガスフイルタより成る、
負のフイルタを用いる事も出来る。その場合は、
第３図、第４図、第５図のフイルタF1としては
例えばCO2ガスと、COに対して干渉影響を及ぼ
すガスで測定ガス中に含まれることがわかつてい
るガスとを封入し、第３，４図のフイルタF2と
してはCOガスと、CO2に対して干渉影響を及ぼ
すガスで測定ガス中に含まれることがわかつてい
るガスとを封入する。
４図と同様な構成において、セル長の短いセル
２′側のフイルタを省略した点に特徴がある。即
ち、低濃度成分（例えばCO）の測定にあたつて
は、赤外線吸収量が小さいので、検出器感度を高
くする必要があり、それだけサンプルガス中の高
濃度成分（例えばCO2）や他の成分による干渉影
響を受けやすくなり、従つて、フイルタF1が不
可欠となるが、高濃度成分を測定する場合には、
赤外線吸収量が大きくて、低濃度成分や他の成分
による干渉影響を受けにくいので、高濃度成分の
測定信号を得るセル２′側の前記フイルタF2を省
略しても実用範囲での十分な測定精度を確保でき
るのである。なお、前述までの実施例の説明にお
いては、挿入するフイルタとしてソリツドタイプ
のバンドパスフイルタといつた正のフイルタを用
いた場合で説明したが、ガスフイルタより成る、
負のフイルタを用いる事も出来る。その場合は、
第３図、第４図、第５図のフイルタF1としては
例えばCO2ガスと、COに対して干渉影響を及ぼ
すガスで測定ガス中に含まれることがわかつてい
るガスとを封入し、第３，４図のフイルタF2と
してはCOガスと、CO2に対して干渉影響を及ぼ
すガスで測定ガス中に含まれることがわかつてい
るガスとを封入する。
以上の各実施例から明らかな通り、本発明によ
れば、サンプル流体中の二成分を測定するにあた
り、各測定対象成分に対応する２個のニユーマテ
イツク型検出器を光源に対して光学的直列関係に
配置したので、周囲温度による影響を受けにくい
ばかりでなく、少なくとも一方のセルの直前又は
直後に、一方の測定対象成分の吸収波長のみを透
過させる正のフイルタ、又は、他方の測定対象成
分の吸収波長のみを遮断する負のフイルタを挿入
したことにより、測定対象成分相互又は他の成分
による干渉影響を防止でき、Ｓ／Ｎ比を向上し得
る効果がある。
れば、サンプル流体中の二成分を測定するにあた
り、各測定対象成分に対応する２個のニユーマテ
イツク型検出器を光源に対して光学的直列関係に
配置したので、周囲温度による影響を受けにくい
ばかりでなく、少なくとも一方のセルの直前又は
直後に、一方の測定対象成分の吸収波長のみを透
過させる正のフイルタ、又は、他方の測定対象成
分の吸収波長のみを遮断する負のフイルタを挿入
したことにより、測定対象成分相互又は他の成分
による干渉影響を防止でき、Ｓ／Ｎ比を向上し得
る効果がある。
第１図は従来の二成分測定用非分散型赤外線分
析計の構成図、第２図は吸光度と濃度×セル長と
の関係を説明する図である。第３図は本発明の実
施例を示す二成分測定用非分散型赤外線分析計の
構成図、第４図と第５図は各々別の実施例を示す
構成図である。 ２，２′……セル、７，８……ニユーマテイツ
ク型検出器、F1，F2……フイルタ。
析計の構成図、第２図は吸光度と濃度×セル長と
の関係を説明する図である。第３図は本発明の実
施例を示す二成分測定用非分散型赤外線分析計の
構成図、第４図と第５図は各々別の実施例を示す
構成図である。 ２，２′……セル、７，８……ニユーマテイツ
ク型検出器、F1，F2……フイルタ。
Claims (1)
- １ ２個のセルにゼロ流体とサンプル流体とを交
互に切換供給するよう構成すると共に、各測定対
象成分に対応する２個のニユーマテイツク型検出
器を光源に対して光学的直列関係に配置してなる
分析計において、少なくとも一方のセルの直前又
は直後に、一方の測定対象成分の吸収波長のみを
透過させる正のフイルタ、又は、他方の測定対象
成分の吸収波長のみを遮断する負のフイルタを挿
入してなる二成分測定用非分散型赤外線分析計。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56191331A JPS5892843A (ja) | 1981-11-26 | 1981-11-26 | 二成分測定用非分散型赤外線分析計 |
| US06/437,885 US4514635A (en) | 1981-11-26 | 1982-10-29 | Non-dispersive infrared analyzer |
| DE3243301A DE3243301C2 (de) | 1981-11-26 | 1982-11-23 | Nichtdispersiver Infrarot-Gasanalysator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56191331A JPS5892843A (ja) | 1981-11-26 | 1981-11-26 | 二成分測定用非分散型赤外線分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5892843A JPS5892843A (ja) | 1983-06-02 |
| JPS6217183B2 true JPS6217183B2 (ja) | 1987-04-16 |
Family
ID=16272771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56191331A Granted JPS5892843A (ja) | 1981-11-26 | 1981-11-26 | 二成分測定用非分散型赤外線分析計 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4514635A (ja) |
| JP (1) | JPS5892843A (ja) |
| DE (1) | DE3243301C2 (ja) |
Families Citing this family (14)
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|---|---|---|---|---|
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| DE3619301A1 (de) * | 1986-06-07 | 1987-12-10 | Ruhrgas Ag | Verfahren und einrichtung zur messung der aldehydkonzentration in abgasen |
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| US7664607B2 (en) | 2005-10-04 | 2010-02-16 | Teledyne Technologies Incorporated | Pre-calibrated gas sensor |
| DE102008007407A1 (de) * | 2008-02-04 | 2009-08-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Messküvette für einen Gasanalysator und ihre Verwendung |
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| US9861297B2 (en) * | 2013-09-09 | 2018-01-09 | Riken | Gas analysis device and gas analysis method |
Family Cites Families (7)
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| DE2827345A1 (de) * | 1978-06-22 | 1980-01-10 | Hartmann & Braun Ag | Nichtdispersiver infrarot-gasanalysator |
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-
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- 1981-11-26 JP JP56191331A patent/JPS5892843A/ja active Granted
-
1982
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- 1982-11-23 DE DE3243301A patent/DE3243301C2/de not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5892843A (ja) | 1983-06-02 |
| DE3243301C2 (de) | 1986-01-16 |
| US4514635A (en) | 1985-04-30 |
| DE3243301A1 (de) | 1983-06-01 |
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